JPH05152403A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH05152403A JPH05152403A JP3312874A JP31287491A JPH05152403A JP H05152403 A JPH05152403 A JP H05152403A JP 3312874 A JP3312874 A JP 3312874A JP 31287491 A JP31287491 A JP 31287491A JP H05152403 A JPH05152403 A JP H05152403A
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- JP
- Japan
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- defect
- interval
- circuit
- piece
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】パターン間隔検査における疑似欠陥検出を防
ぎ、検出精度を高める。 【構成】光電変換スキャナ１で読み出した画像データ１
１を２値化回路２にて２値画像データ１２に変換する。
パターン間隔検査回路３にて、２値画像データ１２を入
力し間隔不良データ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂ
とを検出する。また、細線化回路４にて、２値画像デー
タ１２を入力し細線化画像データ１４を出力する。ラン
ド接続点検出回路５では、細線化画像データ１４を入力
してランド接続点１５を検出する。３分岐点検出回路６
では、細線化画像データ１４を入力して３分岐点１６を
検出する。間隔不良データ１３ａ、疑似間隔不良データ
１３ｂと、ランド接続点１５、および３分岐点１６を与
えて疑似欠陥処理回路７にて疑似間隔不良データ１３ｂ
をリセットして、計測回路８において間隔不良データ１
３ａの発生位置を求める。
ぎ、検出精度を高める。 【構成】光電変換スキャナ１で読み出した画像データ１
１を２値化回路２にて２値画像データ１２に変換する。
パターン間隔検査回路３にて、２値画像データ１２を入
力し間隔不良データ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂ
とを検出する。また、細線化回路４にて、２値画像デー
タ１２を入力し細線化画像データ１４を出力する。ラン
ド接続点検出回路５では、細線化画像データ１４を入力
してランド接続点１５を検出する。３分岐点検出回路６
では、細線化画像データ１４を入力して３分岐点１６を
検出する。間隔不良データ１３ａ、疑似間隔不良データ
１３ｂと、ランド接続点１５、および３分岐点１６を与
えて疑似欠陥処理回路７にて疑似間隔不良データ１３ｂ
をリセットして、計測回路８において間隔不良データ１
３ａの発生位置を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパターン検査装置に関
し、特に回路配線パターンの間隔不良を検出するパター
ン検査装置に関する。
し、特に回路配線パターンの間隔不良を検出するパター
ン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のパターン検査装置は、図
３に例示するように、光電変換スキャナ１と、光電変換
スキャナ１で走査して読み出した画像データ１１を
“０”，“１”の２値画像データ１２に変換する２値化
回路２と、２値画像データ１２を入力してパターン間の
間隔不良箇所を示す間隔不良データ１３ａと、疑似間隔
不良データ１３ｂとを検出するパターン間隔検査回路３
と、間隔不良データ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂ
との欠陥発生位置を求める計測回路８とを含んで構成さ
れる。
３に例示するように、光電変換スキャナ１と、光電変換
スキャナ１で走査して読み出した画像データ１１を
“０”，“１”の２値画像データ１２に変換する２値化
回路２と、２値画像データ１２を入力してパターン間の
間隔不良箇所を示す間隔不良データ１３ａと、疑似間隔
不良データ１３ｂとを検出するパターン間隔検査回路３
と、間隔不良データ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂ
との欠陥発生位置を求める計測回路８とを含んで構成さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のパターン検
査装置では、疑似間隔不良を真の間隔不良と区別する手
段が無いため、検出しなくて良い箇所でも間隔不良とし
て検出してしまうという欠点がある。
査装置では、疑似間隔不良を真の間隔不良と区別する手
段が無いため、検出しなくて良い箇所でも間隔不良とし
て検出してしまうという欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の装置は、検査対
象のパターンを走査撮像する光電変換スキャナと、前記
光電変換スキャナで走査して読み出した入力画像を２値
画像に変換する２値化回路と、前記２値画像を入力して
間隔不良と疑似間隔不良とを検出するパターン間隔検査
回路と、前記２値画像を入力して細線化画像を生成する
細線化回路と、前記細線化画像を入力してランド接続点
を検出するランド接続点検出回路と、前記細線化画像を
入力して３分岐点を検出する３分岐点検出回路と、前記
ランド接続点と前記３分岐点と前記間隔不良と前記疑似
間隔不良とを入力して前記疑似間隔不良をリセットし前
記間隔不良を出力する疑似欠陥処理回路と、前記間隔不
良の欠陥発生位置を求める計測回路とを備えている。
象のパターンを走査撮像する光電変換スキャナと、前記
光電変換スキャナで走査して読み出した入力画像を２値
画像に変換する２値化回路と、前記２値画像を入力して
間隔不良と疑似間隔不良とを検出するパターン間隔検査
回路と、前記２値画像を入力して細線化画像を生成する
細線化回路と、前記細線化画像を入力してランド接続点
を検出するランド接続点検出回路と、前記細線化画像を
入力して３分岐点を検出する３分岐点検出回路と、前記
ランド接続点と前記３分岐点と前記間隔不良と前記疑似
間隔不良とを入力して前記疑似間隔不良をリセットし前
記間隔不良を出力する疑似欠陥処理回路と、前記間隔不
良の欠陥発生位置を求める計測回路とを備えている。
【０００５】
【実施例】次に発明について図面を参照にして説明す
る。
る。
【０００６】図１は、本発明の一実施例を示すブロック
図である。同図において、光電変換スキャナ１で読みだ
した画像データ１１は、２値化回路２で“０”，“１”
の２値画像データ１２に変換され、パターン間隔検査回
路３と細線化回路４とに入力される。パターン間隔検査
回路３は、２値画像データ１２を入力して、間隔不良デ
ータ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂとを出力する。
細線化回路４では、２値画像データ１２を入力して、細
線化画像データ１４を出力する。
図である。同図において、光電変換スキャナ１で読みだ
した画像データ１１は、２値化回路２で“０”，“１”
の２値画像データ１２に変換され、パターン間隔検査回
路３と細線化回路４とに入力される。パターン間隔検査
回路３は、２値画像データ１２を入力して、間隔不良デ
ータ１３ａと疑似間隔不良データ１３ｂとを出力する。
細線化回路４では、２値画像データ１２を入力して、細
線化画像データ１４を出力する。
【０００７】ランド接続点検出回路５では、細線化画像
データ１４と予め定義してあるパターンとが一致した場
合に、ランド接続点１５を検出する。３分岐点検出回路
６では、細線化画像データ１４と予め定義してあるパタ
ーンとが一致した場合に、３分岐点１６を検出する。
データ１４と予め定義してあるパターンとが一致した場
合に、ランド接続点１５を検出する。３分岐点検出回路
６では、細線化画像データ１４と予め定義してあるパタ
ーンとが一致した場合に、３分岐点１６を検出する。
【０００８】疑似欠陥処理回路７では、間隔不良データ
１３ａ、疑似間隔不良データ１３ｂ、ランド接続点１
５、および３分岐点１６を入力して、疑似間隔不良デー
タ１３ｂをリセットした上で、残った間隔不良データ１
３ａを出力する。計測回路８では、間隔不良データ１３
ａを入力し、間隔不良の発生位置を求める。
１３ａ、疑似間隔不良データ１３ｂ、ランド接続点１
５、および３分岐点１６を入力して、疑似間隔不良デー
タ１３ｂをリセットした上で、残った間隔不良データ１
３ａを出力する。計測回路８では、間隔不良データ１３
ａを入力し、間隔不良の発生位置を求める。
【０００９】図２は本実施例の疑似欠陥処理回路７の動
作を説明するためのパターン図である。上述のように２
値画像データ１２から間隔不良データ１３ａと疑似間隔
不良データ１３ｂとを検出し、また、２値画像データ１
２を細線化処理し、細線化データ１４を生成する。細線
化データ１４のパターンと予め定義してあるパターンと
が一致した場合に、ランド接続点１５と３分岐点１６と
を検出する。
作を説明するためのパターン図である。上述のように２
値画像データ１２から間隔不良データ１３ａと疑似間隔
不良データ１３ｂとを検出し、また、２値画像データ１
２を細線化処理し、細線化データ１４を生成する。細線
化データ１４のパターンと予め定義してあるパターンと
が一致した場合に、ランド接続点１５と３分岐点１６と
を検出する。
【００１０】ランド接続点１５を中心に上下左右に長方
形マスクｍ０〜ｍ３を作成し、間隔不良データ１３ａと
疑似間隔不良データ１３ｂとの上をラスタ走査する。ま
た、ランド接続点１５を中心に上下左右に３角形マスク
Ｍ０〜Ｍ３を作成し、間隔不良データ１３ａと疑似間隔
不良データ１３ｂとに同期して３分岐点１６上を走査
し、三角形マスクＭ０〜Ｍ３のいずれか１つの中に３分
岐点１６が存在する場合に、それと対応する長方形マス
クｍ０〜ｍ３内の不良データを疑似間隔不良データ１３
ｂとしてリセットする。
形マスクｍ０〜ｍ３を作成し、間隔不良データ１３ａと
疑似間隔不良データ１３ｂとの上をラスタ走査する。ま
た、ランド接続点１５を中心に上下左右に３角形マスク
Ｍ０〜Ｍ３を作成し、間隔不良データ１３ａと疑似間隔
不良データ１３ｂとに同期して３分岐点１６上を走査
し、三角形マスクＭ０〜Ｍ３のいずれか１つの中に３分
岐点１６が存在する場合に、それと対応する長方形マス
クｍ０〜ｍ３内の不良データを疑似間隔不良データ１３
ｂとしてリセットする。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、疑
似欠陥処理回路を設けることにより、疑似間隔不良を排
除でき、パターンの間隔検査を正確に行うことが出来
る。
似欠陥処理回路を設けることにより、疑似間隔不良を排
除でき、パターンの間隔検査を正確に行うことが出来
る。
【図１】本発明の実施例のブロック図である。
【図２】本発明の実施例の動作を説明するためのパター
ン図。
ン図。
【図３】従来装置のブロック図。
１ 光電変換スキャナ ２ ２値化回路 ３ パターン間隔検査回路 ４ 細線化回路 ５ ランド接続点検出回路 ６ ３分岐点検出回路 ７ 疑似欠陥処理回路 ８ 計測回路 １１ 画像データ １２ ２値画像データ １３ａ 間隔不良データ １３ｂ 疑似間隔不良データ １４ 細線化画像データ １５ ランド接続点 １６ ３分岐点 Ｍ０〜Ｍ３ 三角形マスク ｍ０〜ｍ３ 長方形マスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｓ 8406−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象のパターンを走査撮像する光電
変換スキャナと、前記光電変換スキャナで走査して読み
出した入力画像を２値画像に変換する２値化回路と、前
記２値画像を入力して間隔不良と疑似間隔不良とを検出
するパターン間隔検査回路と、前記２値画像を入力して
細線化画像を生成する細線化回路と、前記細線化画像を
入力してランド接続点を検出するランド接続点検出回路
と、前記細線化画像を入力して３分岐点を検出する３分
岐点検出回路と、前記ランド接続点と前記３分岐点と前
記間隔不良と前記疑似間隔不良とを入力して前記疑似間
隔不良をリセットし前記間隔不良を出力する疑似欠陥処
理回路と、前記間隔不良の欠陥発生位置を求める計測回
路とを備えていることを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3312874A JPH05152403A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3312874A JPH05152403A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152403A true JPH05152403A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18034483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3312874A Withdrawn JPH05152403A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152403A (ja) |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP3312874A patent/JPH05152403A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |