JPH04259863A - 回路パターンの判定方式 - Google Patents
回路パターンの判定方式Info
- Publication number
- JPH04259863A JPH04259863A JP3022012A JP2201291A JPH04259863A JP H04259863 A JPH04259863 A JP H04259863A JP 3022012 A JP3022012 A JP 3022012A JP 2201291 A JP2201291 A JP 2201291A JP H04259863 A JPH04259863 A JP H04259863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- circuit pattern
- data
- determination
- data file
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回路基板のパターンの判
定方式に関し、特に回路パターンの静電容量による判定
方式に関する。
定方式に関し、特に回路パターンの静電容量による判定
方式に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の回路パターンの判定方式は、図3
に示すように、検査が開始されると、データが読み込ま
れ(ステップ31)、被検査物である回路パターンの線
長より静電容量の理論値を算出し(ステップ32)、こ
の理論値を基準値として判定範囲の上限値,下限値の設
定を行う。次いで、被検査パッドから回路パターンの静
電容量測定を行い(ステップ33)、良否の判定を行う
(ステップ34)。そして、判定結果が不良であれば、
フォールトデータファイルに書き込まれる(ステップ3
5)。続いて、次のデータが読み込まれ(ステップ36
)、全データが終るまでステップ32からステップ36
の処理を繰り返し(ステップ37)、検査は終了する。
に示すように、検査が開始されると、データが読み込ま
れ(ステップ31)、被検査物である回路パターンの線
長より静電容量の理論値を算出し(ステップ32)、こ
の理論値を基準値として判定範囲の上限値,下限値の設
定を行う。次いで、被検査パッドから回路パターンの静
電容量測定を行い(ステップ33)、良否の判定を行う
(ステップ34)。そして、判定結果が不良であれば、
フォールトデータファイルに書き込まれる(ステップ3
5)。続いて、次のデータが読み込まれ(ステップ36
)、全データが終るまでステップ32からステップ36
の処理を繰り返し(ステップ37)、検査は終了する。
【0003】図4はデータの構成を示したものであって
、被検査対象のパッド名15、パッドのx座標16,y
座標17、回路パターンの線長18およびネット名21
より構成されている。
、被検査対象のパッド名15、パッドのx座標16,y
座標17、回路パターンの線長18およびネット名21
より構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の回路パ
ターンの判定方式は、理論値の算出を回路パターンの線
長と回路パターンの単位長さ当りの静電容量とから求め
ているため、回路パターン形成における設計値との違い
、また、単位長さ当りの静電容量の設定の違い等により
、算出した理論値が実測値との判定に際し、必ずしも正
しく判断されるとは限らないため、疑似不良が発生する
という欠点がある。
ターンの判定方式は、理論値の算出を回路パターンの線
長と回路パターンの単位長さ当りの静電容量とから求め
ているため、回路パターン形成における設計値との違い
、また、単位長さ当りの静電容量の設定の違い等により
、算出した理論値が実測値との判定に際し、必ずしも正
しく判断されるとは限らないため、疑似不良が発生する
という欠点がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の回路パターンの
判定方式は、回路パターンの線長から算出した静電容量
の理論値、もしくは予めデータファイルに格納されてい
る回路パターンの静電容量の実績値から判定のための基
準値を設定し、被検査対象となった回路パターンの静電
容量の実測値と前記基準値とを比較し回路パターンの良
否を判定すると共に、良判定となった前記実測値を実績
値として前記データファイルに格納することを特徴とす
る。
判定方式は、回路パターンの線長から算出した静電容量
の理論値、もしくは予めデータファイルに格納されてい
る回路パターンの静電容量の実績値から判定のための基
準値を設定し、被検査対象となった回路パターンの静電
容量の実測値と前記基準値とを比較し回路パターンの良
否を判定すると共に、良判定となった前記実測値を実績
値として前記データファイルに格納することを特徴とす
る。
【0006】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0007】図1は本発明の一実施例を実現する処理を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【0008】図2は本実施例のデータの構成を示す図で
ある。本実施例の回路パターンの判定方式は、図1に示
すように、検査が開始されると、データが読み込まれ(
ステップ1)、判定選択フラグ20により実績値19に
よる判定が可能かどうかを判断する(ステップ2)。 そして、既に実績値19がデータにセットされていて使
用可能な場合には、この実績値19を基準値として設定
し(ステップ3)、また、実績値19がデータにセット
されていない場合には、回路パターンの線長18より理
論値を算出し(ステップ4)、この理論値を基準値とし
て判定範囲の上限値,下限値が設定される。
ある。本実施例の回路パターンの判定方式は、図1に示
すように、検査が開始されると、データが読み込まれ(
ステップ1)、判定選択フラグ20により実績値19に
よる判定が可能かどうかを判断する(ステップ2)。 そして、既に実績値19がデータにセットされていて使
用可能な場合には、この実績値19を基準値として設定
し(ステップ3)、また、実績値19がデータにセット
されていない場合には、回路パターンの線長18より理
論値を算出し(ステップ4)、この理論値を基準値とし
て判定範囲の上限値,下限値が設定される。
【0009】続いて、被検査パッドから対象となる回路
パターンの静電容量の測定を行い(ステップ5)、判定
上限値および下限値により判定を行う(ステップ6)。 ここで、判定結果が良であれば、パスデータファイルに
結果が書き込まれ(ステップ7)、また、判定結果が不
良であれば、フォルトデータファイルに結果が書き込ま
れる(ステップ8)。そして、次のデータが読み込まれ
(ステップ9)、全データが終るまでステップ2からス
テップ9の処理を繰り返す(ステップ10)。全データ
に対する検査が終了すると、実績値セットを実施するか
否かの判断要求があり(ステップ11)、実施する場合
には、パスデータファイルより良品パッドの測定値(実
績値)がデータファイル内の各パッドのデータの実績値
にセットされると共に、判定選択フラグ20がセットさ
れ(ステップ12)、検査を終了する。
パターンの静電容量の測定を行い(ステップ5)、判定
上限値および下限値により判定を行う(ステップ6)。 ここで、判定結果が良であれば、パスデータファイルに
結果が書き込まれ(ステップ7)、また、判定結果が不
良であれば、フォルトデータファイルに結果が書き込ま
れる(ステップ8)。そして、次のデータが読み込まれ
(ステップ9)、全データが終るまでステップ2からス
テップ9の処理を繰り返す(ステップ10)。全データ
に対する検査が終了すると、実績値セットを実施するか
否かの判断要求があり(ステップ11)、実施する場合
には、パスデータファイルより良品パッドの測定値(実
績値)がデータファイル内の各パッドのデータの実績値
にセットされると共に、判定選択フラグ20がセットさ
れ(ステップ12)、検査を終了する。
【0010】図2は本実施例のデータの構成を示したも
のであって、被検査対象のパッド名15、パッドのx座
標16,y座標17、回路パターンの線長18、回路パ
ターンの静電容量の実測値19、判定選択フラグ20お
よびネット名21より構成されている。
のであって、被検査対象のパッド名15、パッドのx座
標16,y座標17、回路パターンの線長18、回路パ
ターンの静電容量の実測値19、判定選択フラグ20お
よびネット名21より構成されている。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の回路パタ
ーンの判定方式は、判定用データとして、線長データと
実績値データとを持ち、検査実績の無い場合には、線路
長データによる判定を実施すると共に、その検査結果か
ら実績値データを設定することにより、次の検査の際に
は実績値データによる判定に移行させ、常に実績値デー
タを更新することによって判定基準がより正確なものと
なり、疑似不良が減少するという効果がある。
ーンの判定方式は、判定用データとして、線長データと
実績値データとを持ち、検査実績の無い場合には、線路
長データによる判定を実施すると共に、その検査結果か
ら実績値データを設定することにより、次の検査の際に
は実績値データによる判定に移行させ、常に実績値デー
タを更新することによって判定基準がより正確なものと
なり、疑似不良が減少するという効果がある。
【図1】本発明の一実施例を実現する処理を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図2】本実施例のデータの構成を示す図である。
【図3】従来例の処理を示すフローチャートである。
【図4】従来例のデータの構成を示す図である。
15 パッド名
16 x座標
17 y座標
18 線路長
19 実績値
20 判定選択フラグ
21 ネット名
Claims (1)
- 【請求項1】 回路パターンの線長から算出した静電
容量の理論値、もしくは予めデータファイルに格納され
ている回路パターンの静電容量の実績値から判定のため
の基準値を設定し、被検査対象となった回路パターンの
静電容量の実測値と前記基準値とを比較し回路パターン
の良否を判定すると共に、良判定となった前記実測値を
実績値として前記データファイルに格納することを特徴
とする回路パターンの判定方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3022012A JPH04259863A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 回路パターンの判定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3022012A JPH04259863A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 回路パターンの判定方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04259863A true JPH04259863A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=12071090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3022012A Pending JPH04259863A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 回路パターンの判定方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04259863A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218443A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Micronics Japan Co Ltd | 多層配線基板及びその検査方法 |
JP2008218441A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Micronics Japan Co Ltd | 多層配線基板及びその検査方法 |
JP2009186198A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP3022012A patent/JPH04259863A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218443A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Micronics Japan Co Ltd | 多層配線基板及びその検査方法 |
JP2008218441A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Micronics Japan Co Ltd | 多層配線基板及びその検査方法 |
JP2009186198A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
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