JPH07320499A - メモリの試験装置およびメモリの試験方法 - Google Patents

メモリの試験装置およびメモリの試験方法

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JPH07320499A
JPH07320499A JP6115085A JP11508594A JPH07320499A JP H07320499 A JPH07320499 A JP H07320499A JP 6115085 A JP6115085 A JP 6115085A JP 11508594 A JP11508594 A JP 11508594A JP H07320499 A JPH07320499 A JP H07320499A
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JP
Japan
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memory
data
cell
test
test pattern
Prior art date
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JP6115085A
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English (en)
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Shigehisa Shimomura
茂久 下村
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 少ないテストパターンで、短時間にメモリの
不良を試験することができる。 【構成】 パターン生成部5によりデータの並びがラン
ダムとなるテストパターンを試験メモリ6のセル数に比
例する個数生成し、メモリコントローラ2が該生成した
個数分のテストパターンに対応するデータを対象となる
メモリの各セルに書き込み、該書き込まれたデータを各
セルから読み出し、読み出されたデータと当該書き込み
データとを照合判定部4が比較照合して、メモリの不良
を判定する構成を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、RAM等のメモリ集積
回路を試験するメモリの試験装置およびメモリの試験方
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、RAM等のメモリ集積回路のテス
ト方法において、書き込んだデータの並び方に特長のあ
るパターンとして、図4のチェッカーボードパターンや
図5のストライプパターン等が用いられている。なお、
図4,図5において、11はメモリセル、12はデータ
である。一方、不良検出能力の高いテストパターンとし
てマーチングパターンやギャロッピングパターン等が知
られているが、これらのパターンは読み書きをするアド
レスの進め方に特長のあるパターンであり、本発明で
は、書き込んだデータの並び方に特長のあるパターンに
注目している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図4のチェッカーボー
ドパターンや図5のストライプパターンは、いずれもメ
モリセルに物理的に規則正しくデータを書き込むもので
あり、実際にRAMを使う時に書き込むデータには近く
はない。よって比較的不良検出能力が低いという欠点が
あった。
【0004】また、一般的に不良検出能力の高いテスト
パターンほどパターン数が多くなる傾向があり、特に、
ギャロッピングパターン等は、メモリセル数をNとした
時、N2に比例してパターン数が多くなり、最近ではメ
モリが大容量化しているため試験時間が非常に長くかか
ってしまい、研究開発用や不良解析用としてしか用いら
れていない。よって、量産用に、比較的パターン数の少
ないテスト(Nに比例するパターン数)で不良検出能力
を上げることが望まれている。
【0005】本発明は、上記の問題点を解消するために
なされたもので、第1の目的は、データの並びがランダ
ムとなるテストパターンを試験するメモリのセル数に比
例する個数生成し、該生成した個数分のテストパターン
に対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き込
み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、当該
書き込みデータと比較照合して、メモリの不良を判定す
ることにより、少ないテストパターンで、短時間にメモ
リの不良を試験することができるメモリの試験装置を提
供することである。
【0006】第2の目的は、データの並びがランダムと
なるテストパターンを試験するメモリのセル数に比例す
る個数生成し、該生成した個数分のテストパターンの反
転パターンに対応するデータを対象となるメモリの各セ
ルに書き込み、該書き込まれたデータを各セルから読み
出し、当該書き込みデータと比較照合して、メモリの不
良を判定することにより、より少ないテストパターン
で、短時間にメモリの不良を試験することができるメモ
リの試験装置を提供することである。
【0007】第3の目的は、データの並びがランダムと
なるテストパターンを試験するメモリのセル数に比例す
る個数生成し、該生成した個数分のテストパターンのパ
ターンに対応するデータを対象となるメモリの各セルに
対して書き込みアドレスをランダムに設定しながら書き
込み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、当
該書き込みデータと比較照合して、メモリの不良を判定
することにより、より少ないテストパターンで、短時間
にメモリの不良を試験することができるメモリの試験装
置を提供することである。
【0008】第4の目的は、データの並びがランダムと
なるテストパターンを試験するメモリのセル数に比例す
る個数生成し、該生成した個数分のテストパターンに対
応するデータを対象となるメモリの各セルに書き込み、
該書き込まれたデータを各セルから読み出し、当該書き
込みデータと比較照合して、メモリの不良を判定するこ
とにより、少ないテストパターンで、短時間にメモリの
不良を試験することができるメモリの試験方法を提供す
ることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第1の発明
は、データの並びがランダムとなるテストパターンをメ
モリのセル数Nに比例する個数分生成する生成手段と、
この生成手段により生成されたテストパターンに対応す
るデータを前記メモリの各セルに順次書き込み、該セル
に書き込まれたデータを読み出すデータ読書き手段と、
このデータ読書き手段により前記メモリの各セルから読
み出されるデータと前記生成手段により生成されたテス
トパターンに対応するデータとを比較照合して、前記メ
モリの不良を判定する判定手段とを有するものである。
【0010】本発明に係る第2の発明は、データ読書き
手段は、生成手段により生成されたテストパターンの反
転パターンに対応するデータを前記メモリの各セルに順
次書き込み、該セルに書き込まれたデータを読み出すよ
うに構成したものである。
【0011】本発明に係る第3の発明は、データ読書き
手段は、生成手段により生成されたテストパターンのメ
モリに対する書き込みアドレスをランダムに設定しなが
ら前記テストパターンに対応するデータを前記メモリの
各セルに順次書き込み、該セルに書き込まれたデータを
読み出すように構成したものである。
【0012】本発明に係る第4の発明は、データの並び
がランダムとなるテストパターンをメモリのセル数Nに
比例する個数分生成する生成工程と、該生成されたテス
トパターンに対応するデータを前記メモリの各セルに順
次書き込み、該セルに書き込まれたデータを読み出すデ
ータ読書き工程と、前記メモリの各セルから読み出され
るデータと前記生成手段により生成されたテストパター
ンに対応するデータとを比較照合して、前記メモリの不
良を判定する判定工程とを有するものである。
【0013】
【作用】第1の発明において、生成手段によりデータの
並びがランダムとなるテストパターンを試験するメモリ
のセル数に比例する個数生成し、データ読書き手段が該
生成した個数分のテストパターンに対応するデータを対
象となるメモリの各セルに書き込み、該書き込まれたデ
ータを各セルから読み出し、読み出されたデータと当該
書き込みデータとを判定手段が比較照合して、メモリの
不良を判定して、少ないテストパターンで、短時間にメ
モリの不良を試験するものである。
【0014】第2の発明において、生成手段によりデー
タの並びがランダムとなるテストパターンを試験するメ
モリのセル数に比例する個数生成し、データ読書き手段
が該生成した個数分のテストパターンの反転パターンに
対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き込
み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、読み
出されたデータと当該書き込みデータとを判定手段が比
較照合して、メモリの不良を判定して、より少ないテス
トパターンで、短時間にメモリの不良を試験するもので
ある。
【0015】第3の発明において、生成手段によりデー
タの並びがランダムとなるテストパターンを試験するメ
モリのセル数に比例する個数生成し、データ読書き手段
が該生成した個数分のテストパターンのパターンに対応
するデータを対象となるメモリの各セルに対して書き込
みアドレスをランダムに設定しながら書き込み、該書き
込まれたデータを各セルから読み出し、読み出されたデ
ータと当該書き込みデータとを判定手段が比較照合し
て、メモリの不良を判定して、より少ないテストパター
ンで、短時間にメモリの不良を試験するものである。
【0016】第4の発明において、データの並びがラン
ダムとなるテストパターンを試験するメモリのセル数に
比例する個数生成し、該生成した個数分のテストパター
ンに対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き
込み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、当
該書き込みデータと比較照合して、メモリの不良を判定
することにより、少ないテストパターンで、短時間にメ
モリの不良を試験するものである。
【0017】
【実施例】
〔第1実施例〕図1は本発明の一実施例を示すメモリの
試験装置の構成を説明するブロック図である。
【0018】図において、1はメモリの試験装置本体
で、試験メモリ6に対するデータ書き込み又は読み出し
を制御するメモリコントローラ2,入力部3から入力さ
れる試験メモリ6のセル数Nに比例する個数分、データ
の並びがランダムとなるテストパターン(後述する図2
参照)を生成するパターン生成部5,試験メモリ6の各
セルに書き込まれたデータとパターン生成部5で生成さ
れたテストパターンのデータとを比較照合して一致する
かどうかを判定する照合判定部4を備えている。7は表
示部で、照合判定部4の判定結果を表示する。なお、上
記2,4,5をCPU,RAM,ROMを備える1つの
プロセッサにより構成することも可能である。
【0019】以下、本実施例と第1〜第3の発明の各手
段との対応及びその作用について説明する。
【0020】第1の発明は、データの並びがランダムと
なるテストパターンをメモリのセル数Nに比例する個数
分生成する生成手段(本実施例では、パターン生成部
5)と、この生成手段により生成されたテストパターン
に対応するデータを前記メモリ(試験メモリ6に相当す
る)の各セルに順次書き込み、該セルに書き込まれたデ
ータを読み出すデータ読書き手段(本実施例ではメモリ
コントローラ2)と、このデータ読書き手段により前記
メモリの各セルから読み出されるデータと前記生成手段
により生成されたテストパターンに対応するデータとを
比較照合して、前記メモリの不良を判定する判定手段
(本実施例では照合判定部4)とを有し、パターン生成
部5によりデータの並びがランダムとなるテストパター
ンを試験メモリ6のセル数に比例する個数生成し、メモ
リコントローラ2が該生成した個数分のテストパターン
に対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き込
み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、読み
出されたデータと当該書き込みデータとを照合判定部4
が比較照合して、メモリの不良を判定して、少ないテス
トパターンで、短時間にメモリの不良を試験するもので
ある。
【0021】第2の発明は、パターン生成部5によりデ
ータの並びがランダムとなるテストパターンを試験メモ
リ6のセル数に比例する個数生成し、メモリコントロー
ラ2が該生成した個数分のテストパターンの反転パター
ンに対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き
込み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、読
み出されたデータと当該書き込みデータとを照合判定部
4が比較照合して、メモリの不良を判定して、より少な
いテストパターンで、短時間にメモリの不良を試験する
ものである。
【0022】第3の発明は、パターン生成部5によりデ
ータの並びがランダムとなるテストパターンを試験する
メモリのセル数に比例する個数生成し、メモリコントロ
ーラ2が該生成した個数分のテストパターンのパターン
に対応するデータを対象となるメモリの各セルに対して
書き込みアドレスをランダムに設定しながら書き込み、
該書き込まれたデータを各セルから読み出し、読み出さ
れたデータと当該書き込みデータとを照合判定部4が比
較照合して、メモリの不良を判定して、より少ないテス
トパターンで、短時間にメモリの不良を試験するもので
ある。
【0023】図2は、図1に示したパターン生成部によ
り生成されるテストパターンを示す図である。
【0024】同図において、11はメモリセル、12は
前記メモリセル11に書き込まれたデータを示す。
【0025】本発明では図4や図5のような規則的なパ
ターンとは違い、図2のようなランダムなパターンを用
いる。テストの手順としては従来と同じで、テストパタ
ーンをメモリに順次書き込んでいきそれを読み返し、書
き込んだはずのデータと比較することで不良のメモリセ
ルを検出する。
【0026】また、従来と同様に“0”と“1”のデー
タを反転させたパターン(裏パターン)でもテストを行
う。 〔第2実施例〕図2の実施例のようなテストパターン
は、乱数表や算術乱数などあらゆる乱数を基に作成する
ことができる。
【0027】特にさまざまな乱数を基に作成したテスト
パターンの中から、テストの対象となるメモリICの不
良検出能力の高いテストパターンを見つけることで、よ
り高い効果を得ることができる。
【0028】テストパターンは1種類だけであると、不
良検出能力に当たり外れがでてくるため、複数の異なる
ランダムパターンを用いることで、より高い不良検出能
力を得ることができる。
【0029】また、テストパターンをランダムにするの
ではなく、テストパターンをメモリに読み書きするアド
レスの進め方をランダムにすることで、あたかもランダ
ムなテストパターンを書き込んだかのようにしても効果
は同じである。
【0030】図3は本発明のメモリの試験方法の一実施
例を示すフローチャートである。なお、(1)〜(6)
は各ステップを示す。
【0031】入力部3から試験メモリ6のセル数が入力
されると(1)、パターン生成部5がデータの並びがラ
ンダムとなるテストパターンを生成し(2)、生成され
たテストパターンに対応するデータをメモリコントロー
ラ2が試験メモリ6の各セルに書き込み、該書き込まれ
たデータを各セルから読み出し(3)、該読み出されデ
ータと前記パターン生成部5が生成したランダムパター
ンに対応するデータが一致するかどうかを比較照合し
(4)、一致する場合には、ステップ(1)で入力され
たセル数Nに比例する個数分のパターン生成が終了して
いるかどうかを判定し(5)、YESならば処理を終了
し、NOならばステップ(2)に戻る。
【0032】一方、ステップ(4)の判定で、NOの場
合には該試験メモリ6のいずれかのセルは不良と判定さ
れ、エラー表示を表示部7に行う。
【0033】以下、本実施例と第4の発明の各手段との
対応及びその作用について説明する。
【0034】第4の発明は、データの並びがランダムと
なるテストパターンをメモリのセル数Nに比例する個数
分生成する生成工程(上記ステップ(2))と、該生成
されたテストパターンに対応するデータを前記メモリの
各セルに順次書き込み、該セルに書き込まれたデータを
読み出すデータ読書き工程(ステップ(3))と、前記
メモリの各セルから読み出されるデータと前記生成手段
により生成されたテストパターンに対応するデータとを
比較照合して、前記メモリの不良を判定する判定工程
(上記ステップ(4))とを実行し、データの並びがラ
ンダムとなるテストパターンを試験するメモリのセル数
に比例する個数生成し、該生成した個数分のテストパタ
ーンに対応するデータを対象となるメモリの各セルに書
き込み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、
当該書き込みデータと比較照合して、メモリの不良を判
定することにより、少ないテストパターンで、短時間に
メモリの不良を試験するものである。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る第1
の発明によれば、生成手段によりデータの並びがランダ
ムとなるテストパターンを試験するメモリのセル数に比
例する個数生成し、データ読書き手段が該生成した個数
分のテストパターンに対応するデータを対象となるメモ
リの各セルに書き込み、該書き込まれたデータを各セル
から読み出し、読み出されたデータと当該書き込みデー
タとを判定手段が比較照合して、メモリの不良を判定す
るので、少ないテストパターンで、短時間にメモリの不
良を試験することができる。
【0036】第2の発明によれば、生成手段によりデー
タの並びがランダムとなるテストパターンを試験するメ
モリのセル数に比例する個数生成し、データ読書き手段
が該生成した個数分のテストパターンの反転パターンに
対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き込
み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、読み
出されたデータと当該書き込みデータとを判定手段が比
較照合して、メモリの不良を判定するので、より少ない
テストパターンで、短時間にメモリの不良を試験するこ
とができる。
【0037】第3の発明によれば、生成手段によりデー
タの並びがランダムとなるテストパターンを試験するメ
モリのセル数に比例する個数生成し、データ読書き手段
が該生成した個数分のテストパターンのパターンに対応
するデータを対象となるメモリの各セルに対して書き込
みアドレスをランダムに設定しながら書き込み、該書き
込まれたデータを各セルから読み出し、読み出されたデ
ータと当該書き込みデータとを判定手段が比較照合し
て、メモリの不良を判定するので、より少ないテストパ
ターンで、短時間にメモリの不良を試験することができ
る。
【0038】第4の発明によれば、データの並びがラン
ダムとなるテストパターンを試験するメモリのセル数に
比例する個数生成し、該生成した個数分のテストパター
ンに対応するデータを対象となるメモリの各セルに書き
込み、該書き込まれたデータを各セルから読み出し、当
該書き込みデータと比較照合して、メモリの不良を判定
することにより、少ないテストパターンで、短時間にメ
モリの不良を試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すメモリの試験装置の構
成を説明するブロック図である。
【図2】図1に示したパターン生成部で生成されるテス
トパターンの一例を示す図である。
【図3】本発明のメモリの試験方法の一実施例を示すフ
ローチャートである。
【図4】従来のメモリの試験装置で使用されるテストパ
ターンの一例を示す図である。
【図5】従来のメモリの試験装置で使用されるテストパ
ターンの一例を示す図である。
【符号の説明】
1 メモリの試験装置本体 2 メモリコントローラ 3 入力部 4 照合判定部 5 パターン生成部 6 試験メモリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11C 11/401 H01L 21/66 Z 7630−4M

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 データの並びがランダムとなるテストパ
    ターンをメモリのセル数Nに比例する個数分生成する生
    成手段と、この生成手段により生成されたテストパター
    ンに対応するデータを前記メモリの各セルに順次書き込
    み、該セルに書き込まれたデータを読み出すデータ読書
    き手段と、このデータ読書き手段により前記メモリの各
    セルから読み出されるデータと前記生成手段により生成
    されたテストパターンに対応するデータとを比較照合し
    て、前記メモリの不良を判定する判定手段とを有するこ
    とを特徴とするメモリの試験装置。
  2. 【請求項2】 データ読書き手段は、生成手段により生
    成されたテストパターンの反転パターンに対応するデー
    タを前記メモリの各セルに順次書き込み、該セルに書き
    込まれたデータを読み出すことを特徴とする請求項1記
    載のメモリの試験装置。
  3. 【請求項3】 データ読書き手段は、生成手段により生
    成されたテストパターンのメモリに対する書き込みアド
    レスをランダムに設定しながら前記テストパターンに対
    応するデータを前記メモリの各セルに順次書き込み、該
    セルに書き込まれたデータを読み出すことを特徴とする
    請求項1記載のメモリの試験装置。
  4. 【請求項4】 データの並びがランダムとなるテストパ
    ターンをメモリのセル数Nに比例する個数分生成する生
    成工程と、該生成されたテストパターンに対応するデー
    タを前記メモリの各セルに順次書き込み、該セルに書き
    込まれたデータを読み出すデータ読書き工程と、前記メ
    モリの各セルから読み出されるデータと前記生成手段に
    より生成されたテストパターンに対応するデータとを比
    較照合して、前記メモリの不良を判定する判定工程とを
    有することを特徴とするメモリの試験方法。
JP6115085A 1994-05-27 1994-05-27 メモリの試験装置およびメモリの試験方法 Pending JPH07320499A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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