JPH04236759A - 蒸着装置 - Google Patents
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- JPH04236759A JPH04236759A JP1955791A JP1955791A JPH04236759A JP H04236759 A JPH04236759 A JP H04236759A JP 1955791 A JP1955791 A JP 1955791A JP 1955791 A JP1955791 A JP 1955791A JP H04236759 A JPH04236759 A JP H04236759A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蒸着装置に関すものであ
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着装置の基本構成は、図３に示
す様に、真空槽１、蒸発源２、真空排気系３、試料取付
ホルダ４、蒸着マスク５、試料６、上部防着板７、側部
防着板８、下部防着板９、試料加熱ヒ―タ―１０、蒸着
材１３から成っている。図４は蒸着マスク５の平面図を
示しており、試料６の蒸着部分１２を制限するマスク開
口部１１が開いている。
す様に、真空槽１、蒸発源２、真空排気系３、試料取付
ホルダ４、蒸着マスク５、試料６、上部防着板７、側部
防着板８、下部防着板９、試料加熱ヒ―タ―１０、蒸着
材１３から成っている。図４は蒸着マスク５の平面図を
示しており、試料６の蒸着部分１２を制限するマスク開
口部１１が開いている。
【０００３】この様な蒸着装置で蒸着を行う場合、まず
、真空排気装置３によって、真空槽１内の気体を排気し
、目的とする真空度まで真空引きを行う。目的とする真
空度まで達した後、蒸発源２の蒸着材１３を加熱溶融さ
せ、蒸着材１３の蒸気を発生させ、蒸着マスク５を合せ
た試料６に蒸着を行う。この時、試料６は試料加熱ヒ―
タ１０によって加熱されていてもよい。又、蒸着材１３
の加熱、溶融には、電子ビ―ム、レ―ザ―ビ―ム、抵抗
加熱、誘導加熱等、いずれかの方法を用いる。
、真空排気装置３によって、真空槽１内の気体を排気し
、目的とする真空度まで真空引きを行う。目的とする真
空度まで達した後、蒸発源２の蒸着材１３を加熱溶融さ
せ、蒸着材１３の蒸気を発生させ、蒸着マスク５を合せ
た試料６に蒸着を行う。この時、試料６は試料加熱ヒ―
タ１０によって加熱されていてもよい。又、蒸着材１３
の加熱、溶融には、電子ビ―ム、レ―ザ―ビ―ム、抵抗
加熱、誘導加熱等、いずれかの方法を用いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
図３の様な蒸着装置で蒸着を行う場合、目的とする試料
６の蒸着部分１２（蒸着マスク開口部１１を通して試料
の蒸着される部分）以外にも、蒸着マスク５及び真空槽
１の内面の全体に蒸着材が付着するのを防ぐための上部
防着板７、側部防着板８、下部防着板９に蒸着材が付着
する。
図３の様な蒸着装置で蒸着を行う場合、目的とする試料
６の蒸着部分１２（蒸着マスク開口部１１を通して試料
の蒸着される部分）以外にも、蒸着マスク５及び真空槽
１の内面の全体に蒸着材が付着するのを防ぐための上部
防着板７、側部防着板８、下部防着板９に蒸着材が付着
する。
【０００５】そのため、蒸着部分１２に付着する（有効
となる）蒸着材１３の割合は、全蒸発量の僅か数重量％
程度であり、残りの９０数重量％は蒸着マスク５を主と
して真空槽１の上部、側部、下部の防着板７、８、９等
に付着してしまう。この蒸着マスク５を主として、防着
板７、８、９等に付着した蒸着材１３は、従来は後で薬
品によって溶融して剥離させるか、機械的に剥離させる
ことにより、屑となり無駄となっていた。
となる）蒸着材１３の割合は、全蒸発量の僅か数重量％
程度であり、残りの９０数重量％は蒸着マスク５を主と
して真空槽１の上部、側部、下部の防着板７、８、９等
に付着してしまう。この蒸着マスク５を主として、防着
板７、８、９等に付着した蒸着材１３は、従来は後で薬
品によって溶融して剥離させるか、機械的に剥離させる
ことにより、屑となり無駄となっていた。
【０００６】又、何度が蒸着を行うと蒸着マスク５や、
防着板７、８、９等に蒸着材１３が厚く付着し、剥離が
困難になるとともに、付着した蒸着材１３によってガス
が吸収され、それが原因で、真空槽内の真空度の悪化を
起こしていた。
防着板７、８、９等に蒸着材１３が厚く付着し、剥離が
困難になるとともに、付着した蒸着材１３によってガス
が吸収され、それが原因で、真空槽内の真空度の悪化を
起こしていた。
【０００７】以上のことから、従来の蒸着装置では、高
価な蒸着材１３を有効に利用することが難しかった、又
蒸着マスク５及び防着板７、８、９等に付着した蒸着材
１３の剥離のために多くの時間がかかること（約４時間
）、更に防着板に付着した蒸着材によりガスが吸収され
真空槽内の真空度の悪化を起こすことによって、蒸着膜
の品質（純度）の低下を起こす可能性が高い等が問題と
なっていた。
価な蒸着材１３を有効に利用することが難しかった、又
蒸着マスク５及び防着板７、８、９等に付着した蒸着材
１３の剥離のために多くの時間がかかること（約４時間
）、更に防着板に付着した蒸着材によりガスが吸収され
真空槽内の真空度の悪化を起こすことによって、蒸着膜
の品質（純度）の低下を起こす可能性が高い等が問題と
なっていた。
【０００８】本発明の目的とするところは前記した従来
技術の問題点を解決することであり、第１に従来無駄に
なっていた不要部分の蒸着材１３を回収し、蒸着材を有
効利用出来る蒸着装置を提供することであり、第２に防
着板７、８、９よりの蒸着材１３の剥離のための時間を
短縮し、生産効率の高い蒸着装置を提供すること。更に
第３に防着板に付着した蒸着材による吸収ガスによる真
空度の悪化を防ぐことの出来る蒸着装置を提供すること
である。
技術の問題点を解決することであり、第１に従来無駄に
なっていた不要部分の蒸着材１３を回収し、蒸着材を有
効利用出来る蒸着装置を提供することであり、第２に防
着板７、８、９よりの蒸着材１３の剥離のための時間を
短縮し、生産効率の高い蒸着装置を提供すること。更に
第３に防着板に付着した蒸着材による吸収ガスによる真
空度の悪化を防ぐことの出来る蒸着装置を提供すること
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の要旨は
、蒸着マスク５及び、上部防着板７、８、９等の蒸着材
が付着する部分に蒸着材１３との密着度強度が弱い有機
物フィルム又は無機物フィルムを施したことによって、
蒸着材１３の回収利用、及び、剥離のため時間の短縮、
吸収ガスの減少を図ったことにある。
、蒸着マスク５及び、上部防着板７、８、９等の蒸着材
が付着する部分に蒸着材１３との密着度強度が弱い有機
物フィルム又は無機物フィルムを施したことによって、
蒸着材１３の回収利用、及び、剥離のため時間の短縮、
吸収ガスの減少を図ったことにある。
【００１０】即ち、本発明の上記目的は被蒸着試料以外
への蒸着材の付着を防止する蒸着マスク、及び防着板を
有する蒸着装置において、蒸着マスクの防着部分及び防
着板の表面に蒸着材との密着強度の低い耐熱性フィルム
を施したことを特徴とする蒸着装置によって達成される
。
への蒸着材の付着を防止する蒸着マスク、及び防着板を
有する蒸着装置において、蒸着マスクの防着部分及び防
着板の表面に蒸着材との密着強度の低い耐熱性フィルム
を施したことを特徴とする蒸着装置によって達成される
。
【００１１】本発明における蒸着材との密着強度の低い
耐熱性のフィイルムとしては、有機物、無機物フィルム
のどちらでもよい。具体的にはポリイミド、テフロン、
ふっ化エチレンプロピレン、四ふっ化エチレン、ふっ素
樹脂等のフィルムを用いる。本発明において防着板の表
面に蒸着材との密着力の低い耐熱性フィルムを施すとい
うことは、防着板の表面に耐熱性フィルムをフィルム膜
として取付けてもよいし、防着板にフィルムの溶液を塗
布してもよいことを意味する。
耐熱性のフィイルムとしては、有機物、無機物フィルム
のどちらでもよい。具体的にはポリイミド、テフロン、
ふっ化エチレンプロピレン、四ふっ化エチレン、ふっ素
樹脂等のフィルムを用いる。本発明において防着板の表
面に蒸着材との密着力の低い耐熱性フィルムを施すとい
うことは、防着板の表面に耐熱性フィルムをフィルム膜
として取付けてもよいし、防着板にフィルムの溶液を塗
布してもよいことを意味する。
【００１２】本発明では、蒸着材が最も厚く付着し、又
、付着した蒸着材の純度が試料に付着したものと同じで
ある蒸着マスクに付着した蒸着材１３は、回収して再び
蒸発源の中に投入し蒸着材と溶融混合することにより、
高価な蒸着材の消耗を押え製造コストの低減を図れる。 又、上部防着板７を含め、側部防着板８、下部防着板９
等に付着した蒸着材は、厚さが薄いこと純度が若干低下
することから、回収には利用しないが、本発明の使用す
る耐熱性フィルムを防着材より剥離し、取換えることに
よって時間を短縮出来、生産効率の上昇がはかれる。又
、防着板に付着した蒸着材による吸収ガスを減少させる
ことが出来て蒸着製品の品質の向上を図れる。
、付着した蒸着材の純度が試料に付着したものと同じで
ある蒸着マスクに付着した蒸着材１３は、回収して再び
蒸発源の中に投入し蒸着材と溶融混合することにより、
高価な蒸着材の消耗を押え製造コストの低減を図れる。 又、上部防着板７を含め、側部防着板８、下部防着板９
等に付着した蒸着材は、厚さが薄いこと純度が若干低下
することから、回収には利用しないが、本発明の使用す
る耐熱性フィルムを防着材より剥離し、取換えることに
よって時間を短縮出来、生産効率の上昇がはかれる。又
、防着板に付着した蒸着材による吸収ガスを減少させる
ことが出来て蒸着製品の品質の向上を図れる。
【００１３】
【実施例】実施例−１
本発明による、蒸着材の回収機能を有する蒸着装置の一
実施例を図１及び図２によって説明する。図２は図１で
の試料６と、蒸着マスク５の一部拡大断面図を、蒸着材
の回収の工程の順にしたがって （ａ）→ （ｂ）→
（ｃ）→ （ｄ）図で示したものである。
実施例を図１及び図２によって説明する。図２は図１で
の試料６と、蒸着マスク５の一部拡大断面図を、蒸着材
の回収の工程の順にしたがって （ａ）→ （ｂ）→
（ｃ）→ （ｄ）図で示したものである。
【００１４】図１において真空槽１は吸収ガスの少ない
ステンレス製であり、蒸発源２は熱伝導性の高い銅合金
で出来ている。蒸着材１３は高純度９９．９９９％以上
のアルミニウムを使用し、試料６は厚さ０．１５ｍｍの
鉄―４２％ニッケル合金のリ―ドフレ―ムとし、ステン
レス製の蒸着マスク５に、開口部分を除いて蒸着材との
密着強度の低い耐熱フィルム１４として厚さ５０μｍの
ポリイミドフィルムを張り付け、蒸着材１３のアルミニ
ウムの真空蒸着を行った。
ステンレス製であり、蒸発源２は熱伝導性の高い銅合金
で出来ている。蒸着材１３は高純度９９．９９９％以上
のアルミニウムを使用し、試料６は厚さ０．１５ｍｍの
鉄―４２％ニッケル合金のリ―ドフレ―ムとし、ステン
レス製の蒸着マスク５に、開口部分を除いて蒸着材との
密着強度の低い耐熱フィルム１４として厚さ５０μｍの
ポリイミドフィルムを張り付け、蒸着材１３のアルミニ
ウムの真空蒸着を行った。
【００１５】その後、蒸着マスク５に張り付けたポリイ
ミドフィルム１４上に付着した蒸着材１３を、ポリイミ
ドフィルム１４から引き剥して回収し、回収した蒸着材
１３は再び蒸発源２の蒸着材１３に加えた。
ミドフィルム１４上に付着した蒸着材１３を、ポリイミ
ドフィルム１４から引き剥して回収し、回収した蒸着材
１３は再び蒸発源２の蒸着材１３に加えた。
【００１６】又、上部防着板７や、側部防着板８、下部
防着板９等は、ポリイミドフィルム１４を防着板より剥
離することにより、同時に、付着した蒸着材１３も防着
板より取除くことが出来る。
防着板９等は、ポリイミドフィルム１４を防着板より剥
離することにより、同時に、付着した蒸着材１３も防着
板より取除くことが出来る。
【００１７】図２（ａ）は、試料６にポリイミドフィル
ム１４を張り付けた蒸着マスク５を密着させ、図示しな
いホルダ―４に固定した状態を示す。
ム１４を張り付けた蒸着マスク５を密着させ、図示しな
いホルダ―４に固定した状態を示す。
【００１８】図２（ｂ）は、真空槽１内を真空排気装置
３で７×１０−７ＴＯＲＲまで真空引き後、蒸着材１３
を電子ビ―ムにて加熱溶融し、真空蒸着によって、厚さ
７μｍの蒸着膜１５を形成している状態を示す。その後
、試料６は取外され、新に蒸着を行っていない試料が取
り付けられ、蒸着マスク５は、そのまま１０回程くりか
えし使用される。その結果厚さ７０μｍの蒸着膜１５が
ポリイミドフィルム１４の上に形成される。
３で７×１０−７ＴＯＲＲまで真空引き後、蒸着材１３
を電子ビ―ムにて加熱溶融し、真空蒸着によって、厚さ
７μｍの蒸着膜１５を形成している状態を示す。その後
、試料６は取外され、新に蒸着を行っていない試料が取
り付けられ、蒸着マスク５は、そのまま１０回程くりか
えし使用される。その結果厚さ７０μｍの蒸着膜１５が
ポリイミドフィルム１４の上に形成される。
【００１９】７０μｍの蒸着膜１５は図２（ｃ）に示す
様に、ポリイミドフィルム１４との接着力が弱いため、
箔状にして剥離することが出来るため、ポリイミドフィ
ルム１４から剥離回収し、再び蒸発源２へ投入され５×
１０−７ＴＯＲＲ以下の真空中で電子ビ―ムにて加熱溶
融され蒸着材１３を得ることが出来る。防着板７、８、
９は付着する蒸着膜が薄いこと、又、純度が若干低下（
酸化）しやすいことから、１００回の使用後、ポリイミ
ドフィルム１４ごと防着板７、８、９から剥離させ、そ
れによって吸収ガスの発生を押え、真空度及び蒸着膜１
５の品質の純度の低下を防ぐ。
様に、ポリイミドフィルム１４との接着力が弱いため、
箔状にして剥離することが出来るため、ポリイミドフィ
ルム１４から剥離回収し、再び蒸発源２へ投入され５×
１０−７ＴＯＲＲ以下の真空中で電子ビ―ムにて加熱溶
融され蒸着材１３を得ることが出来る。防着板７、８、
９は付着する蒸着膜が薄いこと、又、純度が若干低下（
酸化）しやすいことから、１００回の使用後、ポリイミ
ドフィルム１４ごと防着板７、８、９から剥離させ、そ
れによって吸収ガスの発生を押え、真空度及び蒸着膜１
５の品質の純度の低下を防ぐ。
【００２０】本発明による蒸着装置では、防着板７、８
、９に付着した蒸着材の剥離に要する時間がポリイミド
フィルム１４の張り替えも含めて約１時間となり、従来
の機械的な剥離法の約４時間に比べて、約３時間の短縮
となった。
、９に付着した蒸着材の剥離に要する時間がポリイミド
フィルム１４の張り替えも含めて約１時間となり、従来
の機械的な剥離法の約４時間に比べて、約３時間の短縮
となった。
【００２１】図２（ｄ）は、蒸着膜１５を剥離した後の
蒸着マスク５の状態を示し、工程は再び（ａ）に戻る。
蒸着マスク５の状態を示し、工程は再び（ａ）に戻る。
【００２２】本実施例では真空蒸着法蒸着装置について
述べたが、本発明の技術的思想はイオンプレ―ティング
、スパッタリング等、他の気相めっき法に利用すること
も可能である。なお、本実施例ではポリイミドフィルム
を使用したため、試料６の加熱温度は最大２５０℃まで
とした。
述べたが、本発明の技術的思想はイオンプレ―ティング
、スパッタリング等、他の気相めっき法に利用すること
も可能である。なお、本実施例ではポリイミドフィルム
を使用したため、試料６の加熱温度は最大２５０℃まで
とした。
【００２３】又、本実施例では、蒸着材としてアルミニ
ウムを使用したが、密着材と密着強度の低い耐熱性フィ
ルム１４を交換することにより、銅、チタン等他の蒸着
材にも使用可能である。
ウムを使用したが、密着材と密着強度の低い耐熱性フィ
ルム１４を交換することにより、銅、チタン等他の蒸着
材にも使用可能である。
【００２４】本実施例では有機物であるポリイミドフィ
ルムを用いて蒸着材１３の回収を行ったが、他に無機物
フィルムを用いることも可能である。
ルムを用いて蒸着材１３の回収を行ったが、他に無機物
フィルムを用いることも可能である。
【００２５】実施例−２
フッ素樹脂１４を蒸着マスク５や防着板７、８、９にコ
―ティングすることで、蒸着膜１５の剥離を容易に行え
る様にした。又、フッ素樹脂を利用したことにより、試
料６の加熱温度を約７００℃まで高めることが可能とな
った。フッ素樹脂をコ―ィングしたことにより蒸着膜１
５の剥離は、実施例―１よりも約３０分短縮することが
出来た。これは、フッ素樹脂１４と蒸着膜１５の接着力
が、ポリイミドフィルムよりもさらに低いためである。 しかし、密着力が低すぎるため、蒸着膜１５を回収可能
な厚さまですることが出来ず、途中で剥離してしまい、
この場合蒸着材の回収は不能となるとともに、剥離した
蒸着膜１５自体が真空槽１内で異物となる可能性も出て
くる。しかし、真空槽１内の防着材に付着した蒸着材の
除去や蒸着品質の向上は期待できる。
―ティングすることで、蒸着膜１５の剥離を容易に行え
る様にした。又、フッ素樹脂を利用したことにより、試
料６の加熱温度を約７００℃まで高めることが可能とな
った。フッ素樹脂をコ―ィングしたことにより蒸着膜１
５の剥離は、実施例―１よりも約３０分短縮することが
出来た。これは、フッ素樹脂１４と蒸着膜１５の接着力
が、ポリイミドフィルムよりもさらに低いためである。 しかし、密着力が低すぎるため、蒸着膜１５を回収可能
な厚さまですることが出来ず、途中で剥離してしまい、
この場合蒸着材の回収は不能となるとともに、剥離した
蒸着膜１５自体が真空槽１内で異物となる可能性も出て
くる。しかし、真空槽１内の防着材に付着した蒸着材の
除去や蒸着品質の向上は期待できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明による蒸着装置を用いることによ
り、蒸着マスクに付着した蒸着膜が回収可能となり、蒸
着材の有効利用率も従来の数％から約４０％となり、大
幅な製造コストの低減が可能となった。 又、防着板
に付着した蒸着膜の剥離に要する時間も約４時間から約
１時間へと短縮することが出来、蒸着装置の稼動率が向
上することで、生産効率も向上した。
り、蒸着マスクに付着した蒸着膜が回収可能となり、蒸
着材の有効利用率も従来の数％から約４０％となり、大
幅な製造コストの低減が可能となった。 又、防着板
に付着した蒸着膜の剥離に要する時間も約４時間から約
１時間へと短縮することが出来、蒸着装置の稼動率が向
上することで、生産効率も向上した。
【００２７】又、従来の防着板に付着した蒸着膜による
吸収ガスの発生が防着板に張付けた耐熱性フィルムの取
換えによって減少することで、真空度の低下を防止でき
、製品の蒸着膜の純度、すなわち品質も向上させること
が出来た。
吸収ガスの発生が防着板に張付けた耐熱性フィルムの取
換えによって減少することで、真空度の低下を防止でき
、製品の蒸着膜の純度、すなわち品質も向上させること
が出来た。
【図１】本発明の蒸着装置の一実施例を示す正面断面図
。
。
【図２】本発明の蒸着装置に用いる蒸着マスクの蒸着材
回収工程を説明する拡大一部断面図。
回収工程を説明する拡大一部断面図。
【図３】従来の蒸着装置の正面断面図。
【図４】蒸発装置に用いる蒸着マスクの拡大平面図の一
例である。
例である。
１ 真空槽
２ 蒸発源
３ 真空排気系
４ 試料取付ホルダ
５ 蒸着マスク
６ 試料
７ 上部防着板
８ 側部防着板
９ 下部防着板
１０ 試料加熱ヒ―タ―
１１ マスク開口部
１２ 蒸着部分
１３ 蒸着材
１４ 蒸着材との密着強度の低い耐熱フィイルム（例
えばポリイミドフィルム） １５ 蒸着膜
えばポリイミドフィルム） １５ 蒸着膜
Claims (1)
- 【請求項１】 被蒸着試料以外への蒸着材の付着を防
止する蒸着マスク、及び防着板を有する蒸着装置におい
て、蒸着マスクの防着部分及び防着板の表面に蒸着材と
の密着強度の低い耐熱性フィルムを施したことを特徴と
する蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1955791A JPH04236759A (ja) | 1991-01-19 | 1991-01-19 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1955791A JPH04236759A (ja) | 1991-01-19 | 1991-01-19 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236759A true JPH04236759A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=12002619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1955791A Pending JPH04236759A (ja) | 1991-01-19 | 1991-01-19 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236759A (ja) |
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-
1991
- 1991-01-19 JP JP1955791A patent/JPH04236759A/ja active Pending
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