JPH04187754A - モータ回転軸およびその製法 - Google Patents
モータ回転軸およびその製法Info
- Publication number
- JPH04187754A JPH04187754A JP2316560A JP31656090A JPH04187754A JP H04187754 A JPH04187754 A JP H04187754A JP 2316560 A JP2316560 A JP 2316560A JP 31656090 A JP31656090 A JP 31656090A JP H04187754 A JPH04187754 A JP H04187754A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating shaft
- journal
- motor rotating
- journal portion
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims abstract description 16
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 14
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910019912 CrN Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910000705 Fe2N Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910017389 Fe3N Inorganic materials 0.000 abstract 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 abstract 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 abstract 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004334 fluoridation Methods 0.000 description 3
- -1 for example Substances 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000897 Babbitt (metal) Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021562 Chromium(II) fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021565 Chromium(IV) fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000727 Fe4N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015484 FeFz Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005256 carbonitriding Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- RNFYGEKNFJULJY-UHFFFAOYSA-L chromium(ii) fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Cr+2] RNFYGEKNFJULJY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000003682 fluorination reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002221 fluorine Chemical class 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000002436 steel type Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/14—Special methods of manufacture; Running-in
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/24—Nitriding
- C23C8/26—Nitriding of ferrous surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/34—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases more than one element being applied in more than one step
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C3/00—Shafts; Axles; Cranks; Eccentrics
- F16C3/02—Shafts; Axles
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/16—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
- H02K5/167—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings
- H02K5/1672—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings radially supporting the rotary shaft at both ends of the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/16—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
- H02K5/173—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using bearings with rolling contact, e.g. ball bearings
- H02K5/1732—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using bearings with rolling contact, e.g. ball bearings radially supporting the rotary shaft at both ends of the rotor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ocean & Marine Engineering (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
- Shafts, Cranks, Connecting Bars, And Related Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、ジャーナル部が硬質窒化層で形成され耐久性
等が飛躍的に向上しているモータ回転軸およびその製法
に関するものである。
等が飛躍的に向上しているモータ回転軸およびその製法
に関するものである。
一般に、産業用ロボット等のアクチュエータに用いる直
流または交流サーボモータは、ロボットの位置制御を素
速く、高精度に行うため、素速い応答性が要求され、ま
た、始動、停止および正転、逆転の切り換えを頻繁に行
うため、これらの動きに耐えられるだけの耐久性が要求
されている。
流または交流サーボモータは、ロボットの位置制御を素
速く、高精度に行うため、素速い応答性が要求され、ま
た、始動、停止および正転、逆転の切り換えを頻繁に行
うため、これらの動きに耐えられるだけの耐久性が要求
されている。
このようなサーボモータの一般的な構造を、直流サーボ
モータを例にあげて、第４図に示す。すなわち、サーボ
モータ２００ケース２１の左右両側壁に設けた軸受メタ
ル２３に、電機子２４．電機子巻線２５．整流子２６等
を取り付けた鋼製のモータ回転軸（回転子）２２のジャ
ーナル部２２ａを回転自在に支受し、上記電機子２４に
対面する位置に永久磁石２７を上記ケース２１に固定し
、上記モータ回転軸２２の一端を位置・速度検出器３０
に連結し、他端の出力部２２ｂを歯車等の減速機２９に
連結している。サーボモータ２０はこのような構造をし
ていることから、上記要求を満足させるためには、軸受
メタル２３に対するジャーナル部２２ａを耐久性に冨ん
だものとする必要がある。
モータを例にあげて、第４図に示す。すなわち、サーボ
モータ２００ケース２１の左右両側壁に設けた軸受メタ
ル２３に、電機子２４．電機子巻線２５．整流子２６等
を取り付けた鋼製のモータ回転軸（回転子）２２のジャ
ーナル部２２ａを回転自在に支受し、上記電機子２４に
対面する位置に永久磁石２７を上記ケース２１に固定し
、上記モータ回転軸２２の一端を位置・速度検出器３０
に連結し、他端の出力部２２ｂを歯車等の減速機２９に
連結している。サーボモータ２０はこのような構造をし
ていることから、上記要求を満足させるためには、軸受
メタル２３に対するジャーナル部２２ａを耐久性に冨ん
だものとする必要がある。
このため、モータ回転軸２２を構成する鋼材の種類を特
定し、鋼材自体の高い耐久性により、ジャーナル部２２
ａの耐久性を向上させることが行われている。しかしな
がら、このようにする場合には、材料のコストアップ、
高重量化等の問題が生じる。
定し、鋼材自体の高い耐久性により、ジャーナル部２２
ａの耐久性を向上させることが行われている。しかしな
がら、このようにする場合には、材料のコストアップ、
高重量化等の問題が生じる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、コス
トアップや高重量化を招くことなく、ジャーナル部の耐
久性を高めることをその目的とする。
トアップや高重量化を招くことなく、ジャーナル部の耐
久性を高めることをその目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、モータ回転軸の
ジャーナル部の表面層が、硬質窒化層に形成されている
モータ回転軸を第１の要旨とし、モータ回転軸のジャー
ナル部をフッ素系ガス雰囲気下で加熱状態で保持してそ
の表面にフッ化膜を生成した後、窒化雰囲気下で加熱状
態で保持して上記ジャーナル部の表面層に硬質窒化層を
形成するモータ回転軸の製法を第２の要旨とする。
ジャーナル部の表面層が、硬質窒化層に形成されている
モータ回転軸を第１の要旨とし、モータ回転軸のジャー
ナル部をフッ素系ガス雰囲気下で加熱状態で保持してそ
の表面にフッ化膜を生成した後、窒化雰囲気下で加熱状
態で保持して上記ジャーナル部の表面層に硬質窒化層を
形成するモータ回転軸の製法を第２の要旨とする。
すなわぢ、本発明のモータ回転軸は、そのジャーナル部
の表面層が硬質窒化層に形成されているものであり、回
転軸全体が硬質材料で構成されているものではないため
、安価で、それ程重量も重くなく、しかも耐久性に富ん
でいる。また、本発明の方法は、モータ回転軸のジャー
ナル部をフッ素系ガス雰囲気下で加熱状態で保持してそ
の表面にフッ化膜を生成した後、窒化雰囲気下で加熱状
態で保持して上記フッ化膜を除去すると同時に、その除
去跡（上記ジャーナル部の表面層）を硬質の窒化層に形
成するようにしている。この方法は、窒化処理に先立っ
てフッ化処理をすることにより、ジャーナル部表面を清
浄化すると同時に活性化するため、窒化層を均一にかつ
かなり深く迄形成することができ、耐久性に冨む硬質窒
化層の層厚を均一にかつ厚くできるようになる。
の表面層が硬質窒化層に形成されているものであり、回
転軸全体が硬質材料で構成されているものではないため
、安価で、それ程重量も重くなく、しかも耐久性に富ん
でいる。また、本発明の方法は、モータ回転軸のジャー
ナル部をフッ素系ガス雰囲気下で加熱状態で保持してそ
の表面にフッ化膜を生成した後、窒化雰囲気下で加熱状
態で保持して上記フッ化膜を除去すると同時に、その除
去跡（上記ジャーナル部の表面層）を硬質の窒化層に形
成するようにしている。この方法は、窒化処理に先立っ
てフッ化処理をすることにより、ジャーナル部表面を清
浄化すると同時に活性化するため、窒化層を均一にかつ
かなり深く迄形成することができ、耐久性に冨む硬質窒
化層の層厚を均一にかつ厚くできるようになる。
つぎに、本発明について詳しく説明する。
本発明のフッ化処理に使用するフッ素系ガスとは、ＮＦ
、、ＢＦ、、ＣＦ、、ＨＦ、ＳＦ、、Ｆ！から選ばれた
少なくとも一つのフッ素源成分をＮ２等の不活性ガス中
に含有させたもののことをいう。これらフッ素源成分の
中でも、反応性、取扱い性等の面でＮＦ、が最も優れて
おり実用的である。
、、ＢＦ、、ＣＦ、、ＨＦ、ＳＦ、、Ｆ！から選ばれた
少なくとも一つのフッ素源成分をＮ２等の不活性ガス中
に含有させたもののことをいう。これらフッ素源成分の
中でも、反応性、取扱い性等の面でＮＦ、が最も優れて
おり実用的である。
本発明の窒化処理方法は、先に述べたように、上記フッ
素系ガス雰囲気下で、上記モータ回転軸（鋼製、例えば
ステンレス鋼）のジャーナル部（ジャーナル部以外の部
分を公知の硬化防止剤を塗布してマスキングした状態に
しておく）を、例えばＮ Ｆ ｓの場合、２５０〜４０
０℃の温度に加熱保持し上記ジャーナル部の表面を処理
した後、公知の窒化用ガス例えばアンモニアを用いて窒
化処理（または浸炭窒化処理）を行う。このようなフッ
素系ガスにおけるＮＦ３等のフッ素源成分の濃度は、例
えば１０００〜１１０００００ｐｐであり、好ましくは
２００００〜７００００ｐｐｍ、より好ましいのは３０
０００〜５００００ｐｐｍである。このようなフッ素系
ガス雰囲気中での保持時間は、鋼種、モータ回転軸の寸
法、加熱温度等に応じて適当な時間を選べばよく、通常
は数分ないし数十分である。
素系ガス雰囲気下で、上記モータ回転軸（鋼製、例えば
ステンレス鋼）のジャーナル部（ジャーナル部以外の部
分を公知の硬化防止剤を塗布してマスキングした状態に
しておく）を、例えばＮ Ｆ ｓの場合、２５０〜４０
０℃の温度に加熱保持し上記ジャーナル部の表面を処理
した後、公知の窒化用ガス例えばアンモニアを用いて窒
化処理（または浸炭窒化処理）を行う。このようなフッ
素系ガスにおけるＮＦ３等のフッ素源成分の濃度は、例
えば１０００〜１１０００００ｐｐであり、好ましくは
２００００〜７００００ｐｐｍ、より好ましいのは３０
０００〜５００００ｐｐｍである。このようなフッ素系
ガス雰囲気中での保持時間は、鋼種、モータ回転軸の寸
法、加熱温度等に応じて適当な時間を選べばよく、通常
は数分ないし数十分である。
本発明の方法をより具体的に説明すると、第４図に示す
鋼製のモータ回転軸２２（ジャーナル部以外マスキング
されている）のジャーナル部２２ａを例えば脱脂洗浄し
、第１図に示す熱処理炉１に装入する。この炉ｌは、外
殻２内に設けたヒータ３の内側に内容器４を入れたビッ
ト炉で、ガス導入管５と排気管６が挿入されている。ガ
ス導入管５にはボンベ１５．１６から流量計１７．バル
ブ１８等を経由してガスが供給される。内部の雰囲気は
モータ７で回転するファン８によって撹拌される。上記
モータ回転軸２２は金属製のコンテナ１１に入れて炉内
に装入される。図中、工３は真空ポンプ、１４は除害装
置である。この炉中にフッ素系ガス、例えばＮＦ、とＮ
２の混合ガスを導入し、所定の反応温度に加熱する。Ｎ
Ｆ ｓは２５０〜４００℃の温度で活性基のフッ素を
発生し、これにより上記ジャーナル部２２ａの表面の有
機、無機系の汚染を除去すると同時に、このフッ素が上
記ジャーナル部２２ａの表面のＦｅ、クロム生地ないし
はＦｅ Ｏ，Ｆｅ ｚ Ｏｚ 、 Ｃｒ ｚ ０３等
の酸化物と次式に示すように反応し、ジャーナル部２２
ａの表面に、ＦｅＦｚ、ＦｅＦｓ、ＣｒＦ２ 、 Ｃ
ｒ Ｆａ等の化合物を組織中に含むごく薄いフッ化膜を
形成する。
鋼製のモータ回転軸２２（ジャーナル部以外マスキング
されている）のジャーナル部２２ａを例えば脱脂洗浄し
、第１図に示す熱処理炉１に装入する。この炉ｌは、外
殻２内に設けたヒータ３の内側に内容器４を入れたビッ
ト炉で、ガス導入管５と排気管６が挿入されている。ガ
ス導入管５にはボンベ１５．１６から流量計１７．バル
ブ１８等を経由してガスが供給される。内部の雰囲気は
モータ７で回転するファン８によって撹拌される。上記
モータ回転軸２２は金属製のコンテナ１１に入れて炉内
に装入される。図中、工３は真空ポンプ、１４は除害装
置である。この炉中にフッ素系ガス、例えばＮＦ、とＮ
２の混合ガスを導入し、所定の反応温度に加熱する。Ｎ
Ｆ ｓは２５０〜４００℃の温度で活性基のフッ素を
発生し、これにより上記ジャーナル部２２ａの表面の有
機、無機系の汚染を除去すると同時に、このフッ素が上
記ジャーナル部２２ａの表面のＦｅ、クロム生地ないし
はＦｅ Ｏ，Ｆｅ ｚ Ｏｚ 、 Ｃｒ ｚ ０３等
の酸化物と次式に示すように反応し、ジャーナル部２２
ａの表面に、ＦｅＦｚ、ＦｅＦｓ、ＣｒＦ２ 、 Ｃ
ｒ Ｆａ等の化合物を組織中に含むごく薄いフッ化膜を
形成する。
Ｆｅ Ｏ＋２ Ｆ−＋Ｆｅ Ｆｚ ＋ １／２０ｚＣｒ
ｚ Ｏ：＋ ＋４Ｆ−２ＣｒＦｚ ＋３／２０２この反
応により、上記ジャーナル部２２ａの表面の酸化皮膜は
フッ化膜に変換され、表面に吸着されていた０□も除去
される。そして、このようなフッ化膜は、０□、Ｈｚ
、Ｈｚ Ｏが存在しない場合、６００°Ｃ以下の温度で
安定であって、後続の窒化処理までの間における金属素
地への酸化皮膜の形成や０２の吸着を防止する。また、
このようなフッ化処理では、その第１段階で炉材表面に
対してフッ化膜が形成されることとなることから、その
膜によって、以後の炉材表面に対するフッ素系ガスに基
づく損傷が防止されるようになる。
ｚ Ｏ：＋ ＋４Ｆ−２ＣｒＦｚ ＋３／２０２この反
応により、上記ジャーナル部２２ａの表面の酸化皮膜は
フッ化膜に変換され、表面に吸着されていた０□も除去
される。そして、このようなフッ化膜は、０□、Ｈｚ
、Ｈｚ Ｏが存在しない場合、６００°Ｃ以下の温度で
安定であって、後続の窒化処理までの間における金属素
地への酸化皮膜の形成や０２の吸着を防止する。また、
このようなフッ化処理では、その第１段階で炉材表面に
対してフッ化膜が形成されることとなることから、その
膜によって、以後の炉材表面に対するフッ素系ガスに基
づく損傷が防止されるようになる。
このように、フッ素系ガスで処理された上記ジャーナル
部２２ａを引き続き４８０〜７００°Ｃの窒化温度に加
熱し、その状態でＮＨ３、あるいはＮ Ｈｓと炭素源を
有するガス（例えばＲＸガス）との混合ガスを添加する
。これにより、上記フッ化膜が、Ｈ２または微量の水分
によって例えば次式のように還元あるいは破壊され、そ
れによって活性な金属素地が露呈形成される。
部２２ａを引き続き４８０〜７００°Ｃの窒化温度に加
熱し、その状態でＮＨ３、あるいはＮ Ｈｓと炭素源を
有するガス（例えばＲＸガス）との混合ガスを添加する
。これにより、上記フッ化膜が、Ｈ２または微量の水分
によって例えば次式のように還元あるいは破壊され、そ
れによって活性な金属素地が露呈形成される。
ＣｒＦ４＋２Ｈｚ →ｃｒ＋４ＨＦ
２ Ｆ ｅ Ｆ ｓ ＋３ Ｈ２→２ Ｆ ｅ ＋６
ＨＦこのようにして、活性な金属素地が形成されると同
時に、活性なＮ原子が金属内に侵入、拡散してゆき、そ
の結果、金属素地表面にＣｒＮ、ＦｅｗＮ、Ｆｅ、Ｎ、
Ｆｅ４Ｎ等の窒化物を含有する化合物層（窒化層）が形
成される。ついで、処理後、回転軸２２のマスキングを
とることが行われる。
ＨＦこのようにして、活性な金属素地が形成されると同
時に、活性なＮ原子が金属内に侵入、拡散してゆき、そ
の結果、金属素地表面にＣｒＮ、ＦｅｗＮ、Ｆｅ、Ｎ、
Ｆｅ４Ｎ等の窒化物を含有する化合物層（窒化層）が形
成される。ついで、処理後、回転軸２２のマスキングを
とることが行われる。
このような窒化層が形成されるのは、従来の窒化法でも
同様であるが、従来法では、常温より窒化温度まで上昇
する間に形成される酸化皮膜や、このとき吸着される０
２分によって表面の活性度が低下しているので、Ｎ原子
の表面吸着の度合いが低く、不均一である。また、この
ような不均一性は、Ｎ Ｈ３の分解の度合いを炉内で均
一に保つことが実際上困難であることによっても拡大さ
れる。本発明の方法では、上記ジャーナル部２２ａの表
面におけるＮ原子の吸着が均一かつ迅速に行われるので
、上記のような問題は生じない。
同様であるが、従来法では、常温より窒化温度まで上昇
する間に形成される酸化皮膜や、このとき吸着される０
２分によって表面の活性度が低下しているので、Ｎ原子
の表面吸着の度合いが低く、不均一である。また、この
ような不均一性は、Ｎ Ｈ３の分解の度合いを炉内で均
一に保つことが実際上困難であることによっても拡大さ
れる。本発明の方法では、上記ジャーナル部２２ａの表
面におけるＮ原子の吸着が均一かつ迅速に行われるので
、上記のような問題は生じない。
このようにして得られたモータ回転軸２２は、第２図に
示すように、そのジャーナル部２２ａの表面層が硬質窒
化層Ａで形成されていることから、耐久性に冨んでいる
。
示すように、そのジャーナル部２２ａの表面層が硬質窒
化層Ａで形成されていることから、耐久性に冨んでいる
。
第３図に示したサーボモータ２０には、モータ回転軸２
２の軸受としてころがり軸受３１が使用されている。そ
れ以外の部分は第４図と実質的に同じである。この場合
には上記モータ回転軸２２のジャーナル部２２ａととも
にころがり軸受３１（特に、玉等の転動体とその保持器
）を本発明の窒化処理方法により窒化処理する。これに
より、ころがり軸受３１自身の摩擦抵抗が軽減され、し
かも、上記ジャーナル部２２ａところがり軸受３１との
嵌合が一層堅固なものになる。
２の軸受としてころがり軸受３１が使用されている。そ
れ以外の部分は第４図と実質的に同じである。この場合
には上記モータ回転軸２２のジャーナル部２２ａととも
にころがり軸受３１（特に、玉等の転動体とその保持器
）を本発明の窒化処理方法により窒化処理する。これに
より、ころがり軸受３１自身の摩擦抵抗が軽減され、し
かも、上記ジャーナル部２２ａところがり軸受３１との
嵌合が一層堅固なものになる。
なお、上記実施例では、モータ回転軸として鋼製のもの
を用いているが、アルミニウム、チタン等の鋼基外の金
属材で構成しても上記と同様の効果が得られる。
を用いているが、アルミニウム、チタン等の鋼基外の金
属材で構成しても上記と同様の効果が得られる。
〔発明の効果］
以上のように、本発明のモータ回転軸は、回転軸の全体
を硬質材料で構成しているのではなく、ジャーナル部の
表面層を硬質窒化層で構成しているため、安価で重量も
重くなく、しかも耐久性に冨んでいる。また、本発明の
方法は、窒化処理に先立って、フッ化処理を行う。これ
により、ジャーナル部の表面の酸化皮膜等の不働態皮膜
がフッ化膜に変化し、ジャーナル部の表面の保護が行わ
れる。したがって、フッ化膜の形成から窒化処理の間に
時間的な経過があっても、上記ジャーナル部の表面に形
成されたフッ化膜は良好な状態で上記ジャーナル部の表
面の保護を行う結果、上記ジャーナル部の表面に対する
再度の酸化皮膜の形成が防止される。このフッ化膜は後
続の窒化処理時に分解除去され、それによって上記ジャ
ーナル部の表面が露呈するようになる。この露呈された
金属表面は活性な状態となっていることから、窒化処理
におけるＮ原子はジャーナル部内に浸透しやすくなって
おり、上記Ｎ原子は深く均一に浸透する。これにより、
ジャーナル部の表面層が、厚みが厚く、かつ均一な硬質
窒化層に形成される。
を硬質材料で構成しているのではなく、ジャーナル部の
表面層を硬質窒化層で構成しているため、安価で重量も
重くなく、しかも耐久性に冨んでいる。また、本発明の
方法は、窒化処理に先立って、フッ化処理を行う。これ
により、ジャーナル部の表面の酸化皮膜等の不働態皮膜
がフッ化膜に変化し、ジャーナル部の表面の保護が行わ
れる。したがって、フッ化膜の形成から窒化処理の間に
時間的な経過があっても、上記ジャーナル部の表面に形
成されたフッ化膜は良好な状態で上記ジャーナル部の表
面の保護を行う結果、上記ジャーナル部の表面に対する
再度の酸化皮膜の形成が防止される。このフッ化膜は後
続の窒化処理時に分解除去され、それによって上記ジャ
ーナル部の表面が露呈するようになる。この露呈された
金属表面は活性な状態となっていることから、窒化処理
におけるＮ原子はジャーナル部内に浸透しやすくなって
おり、上記Ｎ原子は深く均一に浸透する。これにより、
ジャーナル部の表面層が、厚みが厚く、かつ均一な硬質
窒化層に形成される。
５ＵＳ３１６系ステンレス鋼製のモータ回転軸（１５０
Ｘφ２５ｍｍ）のジャーナル部をトリクロロエタン洗浄
した後、このジャーナル部以外の部分をマスキングして
、第１図に示すような熱処理炉１に入れ、ＮＦ、を５０
００ｐｐｍ含有するＮ２ガス雰囲気で３００°Ｃで１５
分間保持した。その後５３０°Ｃに加熱し、５０％ＮＨ
，＋５０％Ｎ２の混合ガスを炉内に導入して３時間窒化
処理を行い、しかるのち空冷して取り出した。
Ｘφ２５ｍｍ）のジャーナル部をトリクロロエタン洗浄
した後、このジャーナル部以外の部分をマスキングして
、第１図に示すような熱処理炉１に入れ、ＮＦ、を５０
００ｐｐｍ含有するＮ２ガス雰囲気で３００°Ｃで１５
分間保持した。その後５３０°Ｃに加熱し、５０％ＮＨ
，＋５０％Ｎ２の混合ガスを炉内に導入して３時間窒化
処理を行い、しかるのち空冷して取り出した。
得られたモータ回転軸のジャーナル部の窒化層の厚みは
１０〜７０μｍであり、その表面硬度は１０００〜１３
５０Ｈｖであった。この表面硬度は、従来知られた方法
で窒化処理したものと比べて、はるかに大きくなってい
る。
１０〜７０μｍであり、その表面硬度は１０００〜１３
５０Ｈｖであった。この表面硬度は、従来知られた方法
で窒化処理したものと比べて、はるかに大きくなってい
る。
第１図は本発明の一実施例に用いる熱処理炉の断面図、
第２図は回転軸のジャーナル部の窒化層の状態を示す断
面図、第３図および第４図はモータ回転軸を組込んだモ
ータの断面図である。 １・・・熱処理炉 ２２・・・モータ回転軸 ２２ａ・
・・モータ回転軸のジャーナル部 特許出願人 大同酸素株式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 第２図 第３図
第２図は回転軸のジャーナル部の窒化層の状態を示す断
面図、第３図および第４図はモータ回転軸を組込んだモ
ータの断面図である。 １・・・熱処理炉 ２２・・・モータ回転軸 ２２ａ・
・・モータ回転軸のジャーナル部 特許出願人 大同酸素株式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）モータ回転軸のジャーナル部の表面層が、硬質窒
化層に形成されていることを特徴とするモータ回転軸。 - （２）モータ回転軸のジャーナル部をフッ素系ガス雰囲
気下で加熱状態で保持してその表面にフッ化膜を生成し
た後、窒化雰囲気下で加熱状態で保持して上記ジャーナ
ル部の表面層に硬質窒化層を形成したことを特徴とする
モータ回転軸の製法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2316560A JP3026595B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | モータ回転軸およびその製法 |
| KR1019920701269A KR100262228B1 (ko) | 1990-11-20 | 1991-11-20 | 모터회전축 제조방법 |
| DE69117171T DE69117171T2 (de) | 1990-11-20 | 1991-11-20 | Herstellung von einer rotierenden motorwelle |
| EP92902473A EP0511409B1 (en) | 1990-11-20 | 1991-11-20 | Method of manufacturing a rotating shaft of motor |
| PCT/JP1991/001596 WO1992008819A1 (en) | 1990-11-20 | 1991-11-20 | Rotating shaft of motor and method of manufacture thereof |
| US08/227,686 US6179932B1 (en) | 1990-11-20 | 1994-04-14 | Motor rotary shaft and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2316560A JP3026595B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | モータ回転軸およびその製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04187754A true JPH04187754A (ja) | 1992-07-06 |
| JP3026595B2 JP3026595B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=18078460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2316560A Expired - Lifetime JP3026595B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | モータ回転軸およびその製法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6179932B1 (ja) |
| EP (1) | EP0511409B1 (ja) |
| JP (1) | JP3026595B2 (ja) |
| KR (1) | KR100262228B1 (ja) |
| DE (1) | DE69117171T2 (ja) |
| WO (1) | WO1992008819A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0754123A (ja) * | 1994-06-17 | 1995-02-28 | Daido Hoxan Inc | 鋼の窒化方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3174422B2 (ja) * | 1993-03-01 | 2001-06-11 | エア・ウォーター株式会社 | ステンレス窒化品 |
| US5403409A (en) * | 1993-03-01 | 1995-04-04 | Daidousanso Co., Ltd. | Nitrided stainless steel products |
| JPH102336A (ja) * | 1996-04-16 | 1998-01-06 | Koyo Seiko Co Ltd | 軸受用保持器とその製造方法 |
| DE69835281T2 (de) * | 1997-04-03 | 2007-08-09 | Jtekt Corp., Osaka | Wälzlager |
| JP3699803B2 (ja) * | 1997-05-09 | 2005-09-28 | 光洋精工株式会社 | 軸受の製造方法および軸受 |
| EP1165852A4 (en) * | 1999-02-08 | 2003-05-02 | Quality Heat Technologies Pty | SURFACE TREATMENT METHOD AND APPARATUS |
| DE10227521A1 (de) * | 2002-06-20 | 2004-01-15 | Robert Bosch Gmbh | Bauelement mit einem Bereich aus nichtmagnetischem Stahl und einer magnetischen Randschicht und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2009108949A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Panasonic Corp | 流体軸受装置と、それを用いたモータ、情報記録再生装置および流体軸受装置に用いるシャフトの製造方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029010B2 (ja) * | 1979-09-25 | 1985-07-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 焼結含油軸受と回転軸の組み合せ方法 |
| JPS58160618A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | クランクシヤフトの表面処理方法 |
| JPS5967365A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-17 | Daido Steel Co Ltd | 機械部品の製造方法 |
| DE3312868C2 (de) * | 1983-04-09 | 1986-03-20 | Glyco-Antriebstechnik Gmbh, 6200 Wiesbaden | Hydropumpe |
| JPH081184B2 (ja) * | 1987-09-30 | 1996-01-10 | 株式会社日立製作所 | 圧縮機 |
| JPH01286751A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-11-17 | Hitachi Ltd | Ｄｃサーボモートル |
| JPH01158211A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-21 | Toyota Motor Corp | オイル漏れ防止処置が講じられたシャフト |
| JPH01158212A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-21 | Toyota Motor Corp | オイル漏れ防止処置が講じられたシャフト |
| JPH02175855A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-07-09 | Hashimoto Kasei Kogyo Kk | フッ化不働態膜が形成された金属材料並びにその金属材料を用いた装置 |
| JPH086751B2 (ja) * | 1988-10-21 | 1996-01-29 | いすゞ自動車株式会社 | 回転機における軸受構造 |
| JPH089766B2 (ja) * | 1989-07-10 | 1996-01-31 | 大同ほくさん株式会社 | 鋼の窒化方法 |
| JP2501925B2 (ja) * | 1989-12-22 | 1996-05-29 | 大同ほくさん株式会社 | 金属材の前処理方法 |
| JPH0791628B2 (ja) * | 1989-12-22 | 1995-10-04 | 大同ほくさん株式会社 | 窒化炉装置 |
| US5112030A (en) * | 1990-10-01 | 1992-05-12 | Daidousanso Co., Ltd. | Heat treat furnace for fluorinating steel material |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2316560A patent/JP3026595B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-11-20 EP EP92902473A patent/EP0511409B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-20 WO PCT/JP1991/001596 patent/WO1992008819A1/ja active IP Right Grant
- 1991-11-20 DE DE69117171T patent/DE69117171T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-20 KR KR1019920701269A patent/KR100262228B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-04-14 US US08/227,686 patent/US6179932B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0754123A (ja) * | 1994-06-17 | 1995-02-28 | Daido Hoxan Inc | 鋼の窒化方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6179932B1 (en) | 2001-01-30 |
| EP0511409A1 (en) | 1992-11-04 |
| JP3026595B2 (ja) | 2000-03-27 |
| EP0511409A4 (en) | 1993-09-08 |
| DE69117171T2 (de) | 1996-09-12 |
| WO1992008819A1 (en) | 1992-05-29 |
| EP0511409B1 (en) | 1996-02-14 |
| KR100262228B1 (ko) | 2000-07-15 |
| KR920704400A (ko) | 1992-12-19 |
| DE69117171D1 (de) | 1996-03-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH089766B2 (ja) | 鋼の窒化方法 | |
| JP2501925B2 (ja) | 金属材の前処理方法 | |
| JP3161644B2 (ja) | オーステナイト系ステンレス製品の窒化方法 | |
| EP0408168B1 (en) | Method of pretreating metallic works and method of nitriding steel | |
| JPH04187754A (ja) | モータ回転軸およびその製法 | |
| JP3439132B2 (ja) | マルエージング鋼の窒化方法およびそれによって得られたマルエージング鋼製品 | |
| JP3026596B2 (ja) | クランクシヤフトおよびその製法 | |
| JP2633076B2 (ja) | 硬質オーステナイト系ステンレスねじおよびその製法 | |
| JP2881111B2 (ja) | 鋼の窒化方法 | |
| EP0744471B1 (en) | Method of nitriding steel | |
| CN1032263C (zh) | 电动机转轴的制造方法 | |
| JP3428847B2 (ja) | 窒化処理方法およびそれに用いる装置 | |
| JPS60165370A (ja) | ステンレス鋼の窒化処理方法 | |
| US6020025A (en) | Method of manufacturing a crank shaft | |
| US5426998A (en) | Crank shaft and method of manufacturing the same | |
| JP3005953B2 (ja) | 鋼の窒化方法 | |
| JP3396336B2 (ja) | 鋼材の窒化方法 | |
| JP2971456B1 (ja) | 鋼材の表面硬化処理方法 | |
| JP2868889B2 (ja) | アルミニウム粉末加圧成形品の製法 | |
| JP3428776B2 (ja) | 鋼の窒化方法 | |
| JP2506227B2 (ja) | 鋼の窒化方法およびそれに用いる熱処理炉 | |
| JP2966519B2 (ja) | 熱交換器の製法 | |
| JP2002266869A (ja) | 転がり軸受用鋼製保持器 | |
| KR950000306B1 (ko) | 강의 질화 방법 및 그 것을 이용한 열처리로 | |
| JP2868895B2 (ja) | 鋼材の酸化方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100128 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 11 |