JPH04151550A - ヒータ付酸素センサ - Google Patents
ヒータ付酸素センサInfo
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- JPH04151550A JPH04151550A JP2277281A JP27728190A JPH04151550A JP H04151550 A JPH04151550 A JP H04151550A JP 2277281 A JP2277281 A JP 2277281A JP 27728190 A JP27728190 A JP 27728190A JP H04151550 A JPH04151550 A JP H04151550A
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- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 37
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 37
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の利用分野)
本発明は、内燃機関等の排気ガス中の酸素濃度を測定す
るヒータ付酸素センサに関する。
るヒータ付酸素センサに関する。
(従来技術)
従来から、自動車等の排気ガスを所定のレベルに規制す
るために酸素センサにより排気ガス中の酸素濃度を実測
しこの情報を空燃比調整系にフィドバソクして空気と燃
料の比率を理論空燃比に調整することが行われている。
るために酸素センサにより排気ガス中の酸素濃度を実測
しこの情報を空燃比調整系にフィドバソクして空気と燃
料の比率を理論空燃比に調整することが行われている。
かかる酸素センサの作動原理は、被測定側の酸素濃度と
基準側(空気中)の酸素濃度の比に応じて生ずる起電力
により被測定側の酸素濃度を検知するというものである
。
基準側(空気中)の酸素濃度の比に応じて生ずる起電力
により被測定側の酸素濃度を検知するというものである
。
このような酸素センサは、エンジン稼働時の400゛C
以上の高温域では問題ないが、エンジン始動時ないしは
排気ガス温度が350°C以下と低い場合は、起電力が
うまく測定できず空燃比の調整ができないという問題が
あった。
以上の高温域では問題ないが、エンジン始動時ないしは
排気ガス温度が350°C以下と低い場合は、起電力が
うまく測定できず空燃比の調整ができないという問題が
あった。
この点を改良するため、酸素センサの取付位置を排気ガ
ス温度が高いエンジン直下の排気管にしたりすることも
行われているが、一般には酸素センサにヒータを一体化
しセンサの作動性を向上させるということが行われてい
る。
ス温度が高いエンジン直下の排気管にしたりすることも
行われているが、一般には酸素センサにヒータを一体化
しセンサの作動性を向上させるということが行われてい
る。
そこで、従来における代表的なヒータ付酸素センサの斜
視図を第5図に示した。
視図を第5図に示した。
第5図によれば、固体電解質31の表面に測定用電極3
2と基準用電極33が被着され、セル部34が形成され
た長尺状の酸素センサ本体Aと、内部に発熱体35が絶
縁体36中に埋設された長尺状ヒータ本体Bが積層一体
化されている。かかるセンサは、各本体を同時に焼成す
ることにより一体化するかあるいはそれぞれ個別に作製
した後に接着し積層一体化することにより作製される。
2と基準用電極33が被着され、セル部34が形成され
た長尺状の酸素センサ本体Aと、内部に発熱体35が絶
縁体36中に埋設された長尺状ヒータ本体Bが積層一体
化されている。かかるセンサは、各本体を同時に焼成す
ることにより一体化するかあるいはそれぞれ個別に作製
した後に接着し積層一体化することにより作製される。
この積層タイプのセンサは、センサ全体を小型化できる
のでヒータによる加熱効率を上げるために非常に効果が
期待できる。
のでヒータによる加熱効率を上げるために非常に効果が
期待できる。
(発明が解決しようとする課題)
しかし、かかる積層タイプのセンサは、酸素センサ本体
A及びヒータ本体Bのそれぞれが使用条件において破損
しない程度の強度が要求されるために適度の厚みをもっ
て形成されている。そのために第5図のようにセル部4
がヒータBと反対側に被着形成されたタイプでは、セル
部4の温度を使用温度である、例えば800°C程度ま
で加熱するのに非常に大きな出力を要し、積層型として
の省エネのメリットが発揮できないという問題があった
。
A及びヒータ本体Bのそれぞれが使用条件において破損
しない程度の強度が要求されるために適度の厚みをもっ
て形成されている。そのために第5図のようにセル部4
がヒータBと反対側に被着形成されたタイプでは、セル
部4の温度を使用温度である、例えば800°C程度ま
で加熱するのに非常に大きな出力を要し、積層型として
の省エネのメリットが発揮できないという問題があった
。
(発明の目的)
よって、本発明の目的は、上記積層タイプのヒータ付酸
素センサにおいて、センサ本体およびヒータ本体側々の
強度を低下させることなく、ヒータによりセル部の加熱
を効率的に行うことによりヒータの消費電力を低減した
センサを提供するにある。
素センサにおいて、センサ本体およびヒータ本体側々の
強度を低下させることなく、ヒータによりセル部の加熱
を効率的に行うことによりヒータの消費電力を低減した
センサを提供するにある。
(問題点を解決するための手段)
本発明者等は、上記の問題点に対し検討を重ねた結果、
ヒータによりセンサに対してヒータに近接するほど温度
が高くなるような温度分布に着目し、センサのセル部を
従来のヒータの反対側からヒータとの取付は面側に形成
するとともに、電極取付は位置に対応するヒータの発熱
部の絶縁層の厚みを薄くして、電極をヒータに非接触に
形成することにより、前記目的が達成できることを知見
した。
ヒータによりセンサに対してヒータに近接するほど温度
が高くなるような温度分布に着目し、センサのセル部を
従来のヒータの反対側からヒータとの取付は面側に形成
するとともに、電極取付は位置に対応するヒータの発熱
部の絶縁層の厚みを薄くして、電極をヒータに非接触に
形成することにより、前記目的が達成できることを知見
した。
(作用)
上記の構成によれば、センサセル部がヒータ本体との取
付は面側に形成するとともに、ヒータ本体の発熱部にお
ける絶縁層の厚みを薄くすることにより、発熱体から発
生した熱は、絶縁層による熱損失量が低減され、酸素セ
ンサセル部は効率的に加熱されることにより、ヒータへ
の低消費電力化が図られる。
付は面側に形成するとともに、ヒータ本体の発熱部にお
ける絶縁層の厚みを薄くすることにより、発熱体から発
生した熱は、絶縁層による熱損失量が低減され、酸素セ
ンサセル部は効率的に加熱されることにより、ヒータへ
の低消費電力化が図られる。
また、センサセル部とヒータの間に間隔を設けることに
より、センサセル部電極がヒータとの接触により摩耗す
る様な問題を防止することができる。
より、センサセル部電極がヒータとの接触により摩耗す
る様な問題を防止することができる。
(実施例)
以下、本発明を第1図乃至第4図を基に説明する。
第1図は、本発明のヒータ付き酸素センサの一実施例の
断面図である。
断面図である。
第1図は、本発明の一実施例を示す分解斜視図である。
図中、Aは酸素センサ本体、Bはヒータ本体である。酸
素センサ本体Aは、ジルコニア等から形成される固体電
解質板1と、その表面に被着形成された測定用電極2お
よび基準用電極3から構成されるセル部4と、該セル部
4と電気的に接続されセル部4から発生した起電力を取
り出すためのリード部5から構成される。固体電解質板
1には、大気導入口6が形成され、測定用電極2は排気
ガス等の被測定ガスと接するように、また基準用電極3
は大気導入口6を通じて大気と接するように構成されて
いる。
素センサ本体Aは、ジルコニア等から形成される固体電
解質板1と、その表面に被着形成された測定用電極2お
よび基準用電極3から構成されるセル部4と、該セル部
4と電気的に接続されセル部4から発生した起電力を取
り出すためのリード部5から構成される。固体電解質板
1には、大気導入口6が形成され、測定用電極2は排気
ガス等の被測定ガスと接するように、また基準用電極3
は大気導入口6を通じて大気と接するように構成されて
いる。
なお、測定用電極2は固体電解質1のヒータ本体Bとの
取付は面7と同一平面上に形成されている。
取付は面7と同一平面上に形成されている。
一方、ヒータ本体Bは、アルミナ等のセラミックからな
る絶縁体8中にW、Mo、Ni、PL等の発熱体9が埋
設された発熱部10と、該発熱部10に電力を供給する
ためのリード部11から構成される。
る絶縁体8中にW、Mo、Ni、PL等の発熱体9が埋
設された発熱部10と、該発熱部10に電力を供給する
ためのリード部11から構成される。
ヒータの発熱部10のセンサとの取付は面側の絶縁体8
の外表面には凹部12を形成されている。
の外表面には凹部12を形成されている。
この凹部12は、第2回の要部断面図に示すように、埋
設された発熱体9が露出しない程度の厚みに形成され、
具体的には、発熱体9が絶縁体8のほぼ中心部に形成さ
れている場合、凹部の深さlは全体の厚みLに対して1
/3以下となるように形成される。これはヒータの発熱
部10において所定の強度を維持するためのものである
。
設された発熱体9が露出しない程度の厚みに形成され、
具体的には、発熱体9が絶縁体8のほぼ中心部に形成さ
れている場合、凹部の深さlは全体の厚みLに対して1
/3以下となるように形成される。これはヒータの発熱
部10において所定の強度を維持するためのものである
。
また、この凹部は第1図のようにヒータ本体Bの端面1
3で開放するように形成される。
3で開放するように形成される。
上記酸素センサ本体Aとヒータ本体Bとは、センサの測
定用電極2とヒータの凹部12とが対向するようにして
積層一体化される。
定用電極2とヒータの凹部12とが対向するようにして
積層一体化される。
かかる構成によれば、測定用電極2はヒータの凹部12
とセンサ本体Aの取付は面7によって形成される孔を通
じて被測定ガスと接することができる。また、センサセ
ル部3は、発熱部4と近接して設けられるとともに、発
熱部4における絶縁体8の厚みが薄いことにより発熱体
9から発生した熱は低損失で、セル部3に到達すること
からセル部3は効率的に加熱される。よって、ヒータ発
熱体9に供給される電力を極力低減することができるの
である。
とセンサ本体Aの取付は面7によって形成される孔を通
じて被測定ガスと接することができる。また、センサセ
ル部3は、発熱部4と近接して設けられるとともに、発
熱部4における絶縁体8の厚みが薄いことにより発熱体
9から発生した熱は低損失で、セル部3に到達すること
からセル部3は効率的に加熱される。よって、ヒータ発
熱体9に供給される電力を極力低減することができるの
である。
かかるセラミックヒータを作製する方法としては、例え
ば、酸素センサ本体Aの作製にあたっていは、原料とし
てジルコニア質原料を用い、これを従来から用いられて
いる任意の方法、例えばプレス法、ドクターブレード法
等によって第3図に示すようなグリーンシート14.1
5.16を用意する。グリーンシート14の表面にはP
t、Rh、Pd等からなる電極形成用ペーストをスクリ
ーン印刷法等により測定用電極パターン17および基準
電極用パターン18およびリードパターン19が被着形
成される。またグリーンシート15は、その中央部に大
気導入口を形成するための孔20が形成される。さらに
グリーンシート14は大気導入孔を外気と導通させるた
めの孔21およびリードパターン19と電気的に導通さ
れた端子電極パターン22が形成される。これらのグリ
ーンシートを積層圧着して酸素センサ本体成形体を作製
した後、各ペーストおよび固体電解質が焼成する温度に
て同時に焼成することにより得ることができる。
ば、酸素センサ本体Aの作製にあたっていは、原料とし
てジルコニア質原料を用い、これを従来から用いられて
いる任意の方法、例えばプレス法、ドクターブレード法
等によって第3図に示すようなグリーンシート14.1
5.16を用意する。グリーンシート14の表面にはP
t、Rh、Pd等からなる電極形成用ペーストをスクリ
ーン印刷法等により測定用電極パターン17および基準
電極用パターン18およびリードパターン19が被着形
成される。またグリーンシート15は、その中央部に大
気導入口を形成するための孔20が形成される。さらに
グリーンシート14は大気導入孔を外気と導通させるた
めの孔21およびリードパターン19と電気的に導通さ
れた端子電極パターン22が形成される。これらのグリ
ーンシートを積層圧着して酸素センサ本体成形体を作製
した後、各ペーストおよび固体電解質が焼成する温度に
て同時に焼成することにより得ることができる。
一方、ヒータ本体は第4図に示すようにアルミナ等の絶
縁性セラミックグリーンシート23の表面にW、Mo、
Pt等の高融点金属粉末を含有するペーストを用いてス
クリーン印刷法等により抵抗発熱部パターン24および
リード部パターン25を形成するか、または上記の高融
点金属からなる金属線を配置する。グリーンシート23
上に形成された発熱部24およびリード部25の上にグ
リーンシート23よりも厚みの薄いグリーンシート26
を積層し、さらにグリーンシート26の上に図示するよ
うに発熱部24に対応する部分が除去された孔部27を
有するグリーンシート28を積層する。
縁性セラミックグリーンシート23の表面にW、Mo、
Pt等の高融点金属粉末を含有するペーストを用いてス
クリーン印刷法等により抵抗発熱部パターン24および
リード部パターン25を形成するか、または上記の高融
点金属からなる金属線を配置する。グリーンシート23
上に形成された発熱部24およびリード部25の上にグ
リーンシート23よりも厚みの薄いグリーンシート26
を積層し、さらにグリーンシート26の上に図示するよ
うに発熱部24に対応する部分が除去された孔部27を
有するグリーンシート28を積層する。
次に、これらのグリーンシートを圧着しセラミックおよ
び高融点金属がそれぞれ焼結するとともに密着するよう
な温度条件で焼成することにより得ることができる。
び高融点金属がそれぞれ焼結するとともに密着するよう
な温度条件で焼成することにより得ることができる。
その後、上記のようにして得られた各本体をアルミナセ
メント等の耐熱性の接着材で積層一体化する。
メント等の耐熱性の接着材で積層一体化する。
また、他の方法としてはヒータ本体成形体を酸素センサ
本体成形体の焼成条件と同様のArやN等の不活性雰囲
気で焼成可能なようにヒータの絶縁体をフォルステライ
ト、発熱体をW、Mo、Ni等により形成することによ
り、酸素センサ本体とヒータ本体とを1250〜135
0“Cの温度で同時に焼成し積層一体化することもでき
る。
本体成形体の焼成条件と同様のArやN等の不活性雰囲
気で焼成可能なようにヒータの絶縁体をフォルステライ
ト、発熱体をW、Mo、Ni等により形成することによ
り、酸素センサ本体とヒータ本体とを1250〜135
0“Cの温度で同時に焼成し積層一体化することもでき
る。
(発明の効果)
以上詳述したように、本発明のヒータ付き酸素センサは
、酸素センサセル部がヒータの発熱体の近傍に設置され
ることによりセル部の加熱が効率的に行われるために発
熱体の電力消費を低減することができる。
、酸素センサセル部がヒータの発熱体の近傍に設置され
ることによりセル部の加熱が効率的に行われるために発
熱体の電力消費を低減することができる。
また、酸素センサセル部は、被測定ガス流と直接接する
ことがないことから、電極と固体電解質場合によっては
さらに電極保護層の3種の材料から構成されるセンサセ
ル部への熱衝撃が緩和できるので、酸素センサの性能を
長期にわたり維持することができる。
ことがないことから、電極と固体電解質場合によっては
さらに電極保護層の3種の材料から構成されるセンサセ
ル部への熱衝撃が緩和できるので、酸素センサの性能を
長期にわたり維持することができる。
第1図は本発明のヒータ付酸素センサの一実施例を示す
分解斜視図、第2図は要部断面図、第3図は酸素センサ
本体の作製方法を説明するための分解斜視図、第4図は
ヒータ本体の作製方法を説明するための分解斜視図、第
5図は従来のヒータ付き酸素センサの斜視図である。 酸素センサ本体 ヒータ本体 固体電解質 測定用電極 基準用電極 セル部 リード部 絶縁体 発熱部 凹部
分解斜視図、第2図は要部断面図、第3図は酸素センサ
本体の作製方法を説明するための分解斜視図、第4図は
ヒータ本体の作製方法を説明するための分解斜視図、第
5図は従来のヒータ付き酸素センサの斜視図である。 酸素センサ本体 ヒータ本体 固体電解質 測定用電極 基準用電極 セル部 リード部 絶縁体 発熱部 凹部
Claims (1)
- 固体電解質の表面に測定用電極と基準用電極が形成され
てなるセル部を具備した長尺状酸素センサ本体と、セラ
ミック焼結体内部に発熱体を埋設してなる長尺状ヒータ
本体とを積層一体化したヒータ付酸素センサにおいて、
前記測定用電極が前記酸素センサ本体の前記ヒータ本体
との取付面側に前記ヒータ本体と非接触で被着形成され
ていることを特徴とするヒータ付酸素センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2277281A JPH04151550A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ヒータ付酸素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2277281A JPH04151550A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ヒータ付酸素センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04151550A true JPH04151550A (ja) | 1992-05-25 |
Family
ID=17581345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2277281A Pending JPH04151550A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ヒータ付酸素センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04151550A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003130840A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Kyocera Corp | 理論空燃比センサ素子 |
JP2003194762A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-09 | Kyocera Corp | 酸素センサ |
JP2004327255A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Kyocera Corp | セラミックヒータ構造体の製造方法、並びにセラミックヒータ構造体 |
JP2015194474A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-11-05 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ及びガス検出素子 |
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JP2020034505A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Soken | ガスセンサ、及びガス検出システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63290952A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-28 | Hitachi Ltd | 酸素濃度検出器 |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP2277281A patent/JPH04151550A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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