JPH04143908A - 積層型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
積層型磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH04143908A JPH04143908A JP26769590A JP26769590A JPH04143908A JP H04143908 A JPH04143908 A JP H04143908A JP 26769590 A JP26769590 A JP 26769590A JP 26769590 A JP26769590 A JP 26769590A JP H04143908 A JPH04143908 A JP H04143908A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、コンピュータの外部記憶装置等に用いられる
磁気記録再生装置に使用する積層室磁気ヘッドの製造方
法に関するものである。
磁気記録再生装置に使用する積層室磁気ヘッドの製造方
法に関するものである。
従来の技術
近年、コンピュータ用外部記憶装置やビデオテープレコ
ーダの小梨化、大容量化に伴い記録密度の向上か要請さ
れている。これに応えるため、スパッタリング法や蒸着
法等の真空薄膜成形技術を応用し、Ｆｅ−Ｎｉ合金やＦ
ｅ−Ａｌ−３ｉ合金等の金属磁性膜と絶縁膜を交互に積
層した積層膜て磁気コアを形成した、高周波数帯域まで
磁気特性の良好な積層型磁気ヘットか開発されている。
ーダの小梨化、大容量化に伴い記録密度の向上か要請さ
れている。これに応えるため、スパッタリング法や蒸着
法等の真空薄膜成形技術を応用し、Ｆｅ−Ｎｉ合金やＦ
ｅ−Ａｌ−３ｉ合金等の金属磁性膜と絶縁膜を交互に積
層した積層膜て磁気コアを形成した、高周波数帯域まで
磁気特性の良好な積層型磁気ヘットか開発されている。
以下、従来の積層型磁気ヘットについて説明する。第２
図は従来の積層型磁気ヘッドの斜視図である。
図は従来の積層型磁気ヘッドの斜視図である。
ｌａ、ｌｂはＴ ＋ ０２ ・Ｃａ Ｏ等からなる非磁
性基板、２はＦ ｅ −Ｎ ｉ合金やＦｅ−Ａｌ−３ｉ
合金等からなる金属磁性膜、３は５１０２やＡ１□０、
等からなる絶縁膜、４は金属磁性膜２と絶縁膜３を所定
の厚さでスパッタリング法等により形成し交互に積層し
てなる磁気コア、５は接着用ガラス膜、１１は絶縁膜、
１２はボンディングガラス膜、１３はモールドガラス、
Ｉ４はギャップ部、１８はコイルである。
性基板、２はＦ ｅ −Ｎ ｉ合金やＦｅ−Ａｌ−３ｉ
合金等からなる金属磁性膜、３は５１０２やＡ１□０、
等からなる絶縁膜、４は金属磁性膜２と絶縁膜３を所定
の厚さでスパッタリング法等により形成し交互に積層し
てなる磁気コア、５は接着用ガラス膜、１１は絶縁膜、
１２はボンディングガラス膜、１３はモールドガラス、
Ｉ４はギャップ部、１８はコイルである。
以上のように構成された従来の積層型磁気ヘッドについ
て、以下その製造工程を第３図（イ）〜（ハ）により説
明する。図（イ）において、非磁性基板１ｂの側壁上に
、金属磁性Ｍ２、絶縁膜３を数層真空薄膜成形して、積
層状磁気コア４を形成し、その上に接着用ガラス膜５を
所定厚み真空薄膜成形し、非磁性基板１ａを接着し、磁
気コアブロック６を形成する。次いで、図（ロ）に示す
ように、磁気コアブロック６をスライダー用コ了７と巻
線用コア８とに切断し、その断面を後加工で鏡面仕上げ
し、ギャップ対向面９とする。次に、図（ハ）に示すよ
うに、巻線用コア８にコイル溝ＩＯを形成した後、ギャ
ップ材としてＳｉＣ、やＡｌ２Ｏ２等の絶縁膜１１．そ
の上にホンディングガラス膜１２を真空薄膜成形で、ス
ライダー用コア７、巻線用コア８の各々のギャップ対向
面９に形成する。次いて、第２図に示すようにホンディ
ングガラス膜を向い合せ、モールドガラス１３て接着し
、ギャップ部１４を形成後加工した後、コイル１８をコ
イル溝１０に巻いて積層梨磁気ヘッドを製造していた。
て、以下その製造工程を第３図（イ）〜（ハ）により説
明する。図（イ）において、非磁性基板１ｂの側壁上に
、金属磁性Ｍ２、絶縁膜３を数層真空薄膜成形して、積
層状磁気コア４を形成し、その上に接着用ガラス膜５を
所定厚み真空薄膜成形し、非磁性基板１ａを接着し、磁
気コアブロック６を形成する。次いで、図（ロ）に示す
ように、磁気コアブロック６をスライダー用コ了７と巻
線用コア８とに切断し、その断面を後加工で鏡面仕上げ
し、ギャップ対向面９とする。次に、図（ハ）に示すよ
うに、巻線用コア８にコイル溝ＩＯを形成した後、ギャ
ップ材としてＳｉＣ、やＡｌ２Ｏ２等の絶縁膜１１．そ
の上にホンディングガラス膜１２を真空薄膜成形で、ス
ライダー用コア７、巻線用コア８の各々のギャップ対向
面９に形成する。次いて、第２図に示すようにホンディ
ングガラス膜を向い合せ、モールドガラス１３て接着し
、ギャップ部１４を形成後加工した後、コイル１８をコ
イル溝１０に巻いて積層梨磁気ヘッドを製造していた。
発明か解決しようとする課題
しかしなから上記従来の製造方法では、トラック幅の厚
みに積層された積層膜からな−る磁気コアをギャップを
介して対面させて形成するので、ギャップ形成時にギャ
ップ部で磁気コアがズしろという問題点があった。その
結果、ギャップを介して対面している磁気コアか少なく
なり、実効トラック幅か減少し、再生出力を低下させる
とともに、また一方、他のトラックにまで、記録・再生
をしてしまい、クロストーク等の問題を生していた。
みに積層された積層膜からな−る磁気コアをギャップを
介して対面させて形成するので、ギャップ形成時にギャ
ップ部で磁気コアがズしろという問題点があった。その
結果、ギャップを介して対面している磁気コアか少なく
なり、実効トラック幅か減少し、再生出力を低下させる
とともに、また一方、他のトラックにまで、記録・再生
をしてしまい、クロストーク等の問題を生していた。
課題を解決するための手段
本発明は、積層型磁気ヘットの製造方法において、積層
状磁気コアをトラック幅より厚く形成し、ギャップ形成
後に前記積層状磁気コアをギャップ近傍にて凸状に加工
しトラック幅を規制する工程を有するようにしたもので
ある。
状磁気コアをトラック幅より厚く形成し、ギャップ形成
後に前記積層状磁気コアをギャップ近傍にて凸状に加工
しトラック幅を規制する工程を有するようにしたもので
ある。
作用
上記構成により、積層状磁気コアをトラック幅より厚く
形成してギャップ形成後にトラック幅を規制し、必要な
トラック幅をフォトリソグラフィ等の精密加工技術によ
り得るのでガートバンドか正確に得られ、池のトラック
から記録信号を再生することか無く、また、記録時には
必要なトラック以外に信号を記録することか無くなる。
形成してギャップ形成後にトラック幅を規制し、必要な
トラック幅をフォトリソグラフィ等の精密加工技術によ
り得るのでガートバンドか正確に得られ、池のトラック
から記録信号を再生することか無く、また、記録時には
必要なトラック以外に信号を記録することか無くなる。
実施例
第１図（イ）〜（ホ）は本発明の一実施例における積層
型磁気ヘッドの製造工程図である。図（イ）に示すよう
に、従来例に従い形成されたスライダー用コア７とコイ
ル溝ＩＯを加工した巻線用コア８を製造し、次いで、ス
ライダー用コア７とｐｍ用コア８のギャップ対向面にギ
ャップ材として、Ｓ ｊ Ｏ２ヤＡ Ｉ ２０３等の絶
縁膜１１とホンディングガラス膜Ｉ２を５００人スパッ
タリング法等によって形成する。次に、同図（ロ）に示
すようにモールドガラス１３を前記巻線用コア８のコイ
ル溝ｌＯに流し前記ポンディングガラス膜１２を対面さ
せて接着しギャップ部１４を形成し、浮上面１５を後加
工により鏡面仕上げにする。更に、第１図（ハ）に示す
ように表面にレジスト１６を塗布し、続いて第１図（ニ
）に示すようにフォトリソグラフィ法により前記浮上面
１５の前記磁気コア４のギヤツブ部１４上で前記非磁性
基板＋ａ、Ｉｂか浮上面１５のトラックに現れないよう
に所定のトラック幅のレジストパターン１７を出し、第
１図（ホ）に示すようにイオンミーリング法等で前記磁
気コア４を凸状に加工することによりトラック幅規制を
行い所定のトラック幅を得ることかできる。また、他の
実施例を第１図（へ）〜（チ）に示す。前記第１図（ロ
）で磁気コアブロックの前記浮上面１５をラッピング法
等の機械加工により鏡面に仕上げた後、第１図（へ）に
示すように研削加工やラッピング法等の機械加工により
前記浮上面１５上において前記非磁性基板１ｂが前記浮
上面１５上のギャップ部１４でトラックに現れないよう
に前記非磁性基板ｌｂ側を削り落とす。更に、第１図（
ト）に示すようにトラック幅分だけ前記磁気コア４が凸
状になるようにもう一方の前記非磁性基板ｌａ側を削り
落としトラック幅を規制し、所定のトラック幅を得る。
型磁気ヘッドの製造工程図である。図（イ）に示すよう
に、従来例に従い形成されたスライダー用コア７とコイ
ル溝ＩＯを加工した巻線用コア８を製造し、次いで、ス
ライダー用コア７とｐｍ用コア８のギャップ対向面にギ
ャップ材として、Ｓ ｊ Ｏ２ヤＡ Ｉ ２０３等の絶
縁膜１１とホンディングガラス膜Ｉ２を５００人スパッ
タリング法等によって形成する。次に、同図（ロ）に示
すようにモールドガラス１３を前記巻線用コア８のコイ
ル溝ｌＯに流し前記ポンディングガラス膜１２を対面さ
せて接着しギャップ部１４を形成し、浮上面１５を後加
工により鏡面仕上げにする。更に、第１図（ハ）に示す
ように表面にレジスト１６を塗布し、続いて第１図（ニ
）に示すようにフォトリソグラフィ法により前記浮上面
１５の前記磁気コア４のギヤツブ部１４上で前記非磁性
基板＋ａ、Ｉｂか浮上面１５のトラックに現れないよう
に所定のトラック幅のレジストパターン１７を出し、第
１図（ホ）に示すようにイオンミーリング法等で前記磁
気コア４を凸状に加工することによりトラック幅規制を
行い所定のトラック幅を得ることかできる。また、他の
実施例を第１図（へ）〜（チ）に示す。前記第１図（ロ
）で磁気コアブロックの前記浮上面１５をラッピング法
等の機械加工により鏡面に仕上げた後、第１図（へ）に
示すように研削加工やラッピング法等の機械加工により
前記浮上面１５上において前記非磁性基板１ｂが前記浮
上面１５上のギャップ部１４でトラックに現れないよう
に前記非磁性基板ｌｂ側を削り落とす。更に、第１図（
ト）に示すようにトラック幅分だけ前記磁気コア４が凸
状になるようにもう一方の前記非磁性基板ｌａ側を削り
落としトラック幅を規制し、所定のトラック幅を得る。
この時、前記浮上面１５での磁気コア４のギヤツブ部１
４上にはトラックに前記非磁性基板１ａ、１ｂか現れな
いように注意する。そして、第１図（チ）に示すように
研削加工やラッピング法等の機械加工により、所定の積
層型磁気ヘットの形状に加工し、コイル１８を前記コイ
ル溝ＩＯに巻いて積層型磁気ヘッドを作成する。ここで
、前記磁気コア４は凸状にしているか前記ギヤ・ノブ１
４上のトラックで前記非磁性基板か前記浮上面１５に現
れなければ台形等とのような形でも構わない。また、凸
部の高さは、磁気ヘッドの使用条件に合わせて適宜選択
されるか、可能な範囲で磁気記録媒体から離れるように
形成されるのか望ましい。尚、レジスト１６はポジ、ネ
ガとちらのレジストでも構わない。
４上にはトラックに前記非磁性基板１ａ、１ｂか現れな
いように注意する。そして、第１図（チ）に示すように
研削加工やラッピング法等の機械加工により、所定の積
層型磁気ヘットの形状に加工し、コイル１８を前記コイ
ル溝ＩＯに巻いて積層型磁気ヘッドを作成する。ここで
、前記磁気コア４は凸状にしているか前記ギヤ・ノブ１
４上のトラックで前記非磁性基板か前記浮上面１５に現
れなければ台形等とのような形でも構わない。また、凸
部の高さは、磁気ヘッドの使用条件に合わせて適宜選択
されるか、可能な範囲で磁気記録媒体から離れるように
形成されるのか望ましい。尚、レジスト１６はポジ、ネ
ガとちらのレジストでも構わない。
発明の効果
本発明は、磁気コアかギヤ、ツブ形成時ギヤ１．プ部て
ズしてもトラック幅か変動することかなく精度の良いト
ランク幅が得られ、トラック幅変動による生産歩留りの
低下か改善され生産効率か著しく向上する。また、トラ
ック幅規制により浮上面において積層膜を磁気記録媒体
から十分に離れる高さに凸状に加工しているため前記磁
気記録媒体の必要なトランク以外への信号の記録や再生
をすることかなく、クロストーク等が改善され、Ｓ／Ｎ
比か良くなり記録再生特性が向上する。
ズしてもトラック幅か変動することかなく精度の良いト
ランク幅が得られ、トラック幅変動による生産歩留りの
低下か改善され生産効率か著しく向上する。また、トラ
ック幅規制により浮上面において積層膜を磁気記録媒体
から十分に離れる高さに凸状に加工しているため前記磁
気記録媒体の必要なトランク以外への信号の記録や再生
をすることかなく、クロストーク等が改善され、Ｓ／Ｎ
比か良くなり記録再生特性が向上する。
第１図は本発明の一実施例における積層型磁気ヘットの
製造方法を示す工程図、第２図は従来の積層型磁気ヘン
トの斜視図、第３図は従来例の製造方法の工程図である
。 Ｉａ、１ｂ・・・非磁性基板 ２・・・金属磁性膜 ３・・絶縁膜４・・・磁気コ
ア ５・・接着用ガラス膜６・・・磁気コアブロ
ック ７・・・スライダー用コア ８・・・捲線用コア ９・・・ギャップ対向面 ｌＯ・コイル溝１１・・・絶
縁膜 １２・・・ホンディングガラス膜 １３・・・モールドガラス ４・・・ギャップ部 ・・浮上面 ・レジスト ７ ・・ レジストパターン ８・・・コイル
製造方法を示す工程図、第２図は従来の積層型磁気ヘン
トの斜視図、第３図は従来例の製造方法の工程図である
。 Ｉａ、１ｂ・・・非磁性基板 ２・・・金属磁性膜 ３・・絶縁膜４・・・磁気コ
ア ５・・接着用ガラス膜６・・・磁気コアブロ
ック ７・・・スライダー用コア ８・・・捲線用コア ９・・・ギャップ対向面 ｌＯ・コイル溝１１・・・絶
縁膜 １２・・・ホンディングガラス膜 １３・・・モールドガラス ４・・・ギャップ部 ・・浮上面 ・レジスト ７ ・・ レジストパターン ８・・・コイル
Claims (1)
- 一対の非磁性基板間に金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層
した積層膜を有する積層型磁気ヘッドの製造方法におい
て、少なくともギャップ近傍で前記積層膜の膜厚を前記
トラック幅より小さくなるように前記積層膜を凸状に加
工する工程を有することを特徴とする積層型磁気ヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26769590A JPH04143908A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26769590A JPH04143908A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04143908A true JPH04143908A (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=17448255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26769590A Pending JPH04143908A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04143908A (ja) |
-
1990
- 1990-10-04 JP JP26769590A patent/JPH04143908A/ja active Pending
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