JPH037574B2 - - Google Patents
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- JPH037574B2 JPH037574B2 JP61066639A JP6663986A JPH037574B2 JP H037574 B2 JPH037574 B2 JP H037574B2 JP 61066639 A JP61066639 A JP 61066639A JP 6663986 A JP6663986 A JP 6663986A JP H037574 B2 JPH037574 B2 JP H037574B2
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- arm
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- pulley
- turntable
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
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JP6663986A JPS62222906A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | ウエ−ハ搬送機構 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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JP6663986A Granted JPS62222906A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | ウエ−ハ搬送機構 |
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-
1986
- 1986-03-25 JP JP6663986A patent/JPS62222906A/ja active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS62222906A (ja) | 1987-09-30 |
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