JPS60135192A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS60135192A JPS60135192A JP24686983A JP24686983A JPS60135192A JP S60135192 A JPS60135192 A JP S60135192A JP 24686983 A JP24686983 A JP 24686983A JP 24686983 A JP24686983 A JP 24686983A JP S60135192 A JPS60135192 A JP S60135192A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- rotation
- motor
- workpiece
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はモータを介してのアームの回転連動を直線運動
に変換するとともに、前記モータ自体の向きを変えるこ
とによって、アーム先端部に支持されたワークを任意の
角度・任意の半径位置から他の任意の角度・任意の半径
位置に前記モータ中心を経由或は紅白しない最短距離と
の間の任意の経路で移動させることができる搬送装置に
関するものである。
に変換するとともに、前記モータ自体の向きを変えるこ
とによって、アーム先端部に支持されたワークを任意の
角度・任意の半径位置から他の任意の角度・任意の半径
位置に前記モータ中心を経由或は紅白しない最短距離と
の間の任意の経路で移動させることができる搬送装置に
関するものである。
（従来技術）
従来、特定位置を中心とした任７ばの角度・任意の半径
位置にワークを移動させる方法としては、例えば、第１
図、第２図に示すように旋回装置１００に伸縮自在のシ
リンダ１０１駆動形式のアーム１０２或はパンタグラフ
形式のアームを装着したロボット装置１０６があるが、
これらはいずれの場合も、アーム１０２が特定位置の旋
回装置１００中心を越えて反対方向に移動することがで
きないため、アーム１０２にワーク受皿１０４を介して
支持されたワーク、例えば電子部品のウェハの移動に際
しては、その度に旋回装置１００を大きく回転させなけ
ればならず、その結果、ワークの移動に時間がかかるば
かりか、ワークの移動に際してはワークを半径方向任意
の位置と旋回装置１００中心位置との間において往復動
させなければならず、その場合、旋回装置１００中心位
置での反転時にワークに反力が作用することもあって、
ワークの１回の移動に際してスローアップ・スローダウ
ンを２＠行わなければならず、これが原因で制御が複雑
になるばかりか、機械全体の動作も滑らかでなく、その
分だけ機械に無理がかかってワークの搬送が不安定にな
るばかりか機械の耐久性が損われると云う欠点があった
。
位置にワークを移動させる方法としては、例えば、第１
図、第２図に示すように旋回装置１００に伸縮自在のシ
リンダ１０１駆動形式のアーム１０２或はパンタグラフ
形式のアームを装着したロボット装置１０６があるが、
これらはいずれの場合も、アーム１０２が特定位置の旋
回装置１００中心を越えて反対方向に移動することがで
きないため、アーム１０２にワーク受皿１０４を介して
支持されたワーク、例えば電子部品のウェハの移動に際
しては、その度に旋回装置１００を大きく回転させなけ
ればならず、その結果、ワークの移動に時間がかかるば
かりか、ワークの移動に際してはワークを半径方向任意
の位置と旋回装置１００中心位置との間において往復動
させなければならず、その場合、旋回装置１００中心位
置での反転時にワークに反力が作用することもあって、
ワークの１回の移動に際してスローアップ・スローダウ
ンを２＠行わなければならず、これが原因で制御が複雑
になるばかりか、機械全体の動作も滑らかでなく、その
分だけ機械に無理がかかってワークの搬送が不安定にな
るばかりか機械の耐久性が損われると云う欠点があった
。
又、ワークがウェハのように、空気中の浮遊塵を含むご
みの付着が製品の不良平に大きく左右するような製品は
、クリーンルームと称されるごみのきわめて少ない部屋
により製造されるが、その環境をいくらクリーンにして
も製品の搬送過程においてごみの発生する装置、例えば
前述の伸縮自在のシリンダ１０１駆動形式のアーム１０
２のロボット装置１０３のように、アーム１０２の移動
にガイドロッド１０５、即ち、直接接触させるような摺
動部を必要とする装置ではごみの発生を抑える事は不可
能であり、製品の不良率が増大するという欠点があった
。
みの付着が製品の不良平に大きく左右するような製品は
、クリーンルームと称されるごみのきわめて少ない部屋
により製造されるが、その環境をいくらクリーンにして
も製品の搬送過程においてごみの発生する装置、例えば
前述の伸縮自在のシリンダ１０１駆動形式のアーム１０
２のロボット装置１０３のように、アーム１０２の移動
にガイドロッド１０５、即ち、直接接触させるような摺
動部を必要とする装置ではごみの発生を抑える事は不可
能であり、製品の不良率が増大するという欠点があった
。
（発明の目的）
本発明は向きを変えて搬送方向を定める回転体の中心を
越えてアームを直線移動させしかもガイドレールのよう
な摺動部を用いることなく直線移動させる搬送装置を提
供することによって、借造簡単にして容易かつごみの発
生を最小限に抑えた状態でワークを任意の角度・任意の
半径位置から他の任意の角度・任意の半径位置に移動さ
せることにある。
越えてアームを直線移動させしかもガイドレールのよう
な摺動部を用いることなく直線移動させる搬送装置を提
供することによって、借造簡単にして容易かつごみの発
生を最小限に抑えた状態でワークを任意の角度・任意の
半径位置から他の任意の角度・任意の半径位置に移動さ
せることにある。
（発明の構成）
本発明は第６図に示すように、モータ１を介して回転す
る第１アーム２の先端部に該第１アーム２０１回転によ
って該第１アーム２の回転と逆方向に１回転可能な該第
１アーム２と同一長ぎの第２アーム３を取付け、該第２
アーム乙の先端部にワーク受具４を取付け、かつ、前記
モータ１自体を前記モータ１の正・逆回転方向に予め設
定した所定角度回転させるための回転角度位置決め装置
５を設けた搬送装置にある。
る第１アーム２の先端部に該第１アーム２０１回転によ
って該第１アーム２の回転と逆方向に１回転可能な該第
１アーム２と同一長ぎの第２アーム３を取付け、該第２
アーム乙の先端部にワーク受具４を取付け、かつ、前記
モータ１自体を前記モータ１の正・逆回転方向に予め設
定した所定角度回転させるための回転角度位置決め装置
５を設けた搬送装置にある。
（発明の実施例）
次に、本発明の一実施例の構成を第４図、第５図によっ
て説明する。
て説明する。
床面１０に固定される基台１１上に軸受装ｈｔ１２を介
して回転可能に取付けられた揺動アームを兼ねたコの字
状可動フレーム１３と、前記基台１１上の固定フレーム
１４に取付けられた減速機付モータ１５の軸１６に取付
けられたクランクアーム１７とはコネクチングロッド１
８を介して連節され、クランクアーム１７の１回転によ
って可動フレーム１６は９０°の角度で揺動する。
して回転可能に取付けられた揺動アームを兼ねたコの字
状可動フレーム１３と、前記基台１１上の固定フレーム
１４に取付けられた減速機付モータ１５の軸１６に取付
けられたクランクアーム１７とはコネクチングロッド１
８を介して連節され、クランクアーム１７の１回転によ
って可動フレーム１６は９０°の角度で揺動する。
このように揺動する可動フレーム１３のコノ字状内側に
はその揺動中心を細心と一致させた状態で減速機付モー
タ１９が上向きに取付けられ、可動フレーム１６の上面
から突出したモータ１９の軸２０には、該軸２０に取付
けられた第１アーム２１の先端部に該第１アーム２１と
同一長さの第２７−ム２２を軸２６を介して回転可能に
取付けるとともに、任意の回転伝達装置、例えば可動フ
レーム１６上面に軸２０と同心上に固着されたタイミン
グプーリ２４と第２アーム２２の軸２６に取付けられた
ギヤ比２：１のタイミングプーリ２５とのタイミングベ
ルト２６を介しての連結にょる第１アーム２１の１回転
によって、第２アーム２２を第１７−ム２１の回転と逆
方向に１回転させて第２７−ム２２の先端部を軸２ｏの
中心を通る一直線上に移動させる回転−直線変換機構２
７が取付けられ、第２アーム２２の先端部には搬送用ワ
ークを受けるワーク受具２８が取付けられている。
はその揺動中心を細心と一致させた状態で減速機付モー
タ１９が上向きに取付けられ、可動フレーム１６の上面
から突出したモータ１９の軸２０には、該軸２０に取付
けられた第１アーム２１の先端部に該第１アーム２１と
同一長さの第２７−ム２２を軸２６を介して回転可能に
取付けるとともに、任意の回転伝達装置、例えば可動フ
レーム１６上面に軸２０と同心上に固着されたタイミン
グプーリ２４と第２アーム２２の軸２６に取付けられた
ギヤ比２：１のタイミングプーリ２５とのタイミングベ
ルト２６を介しての連結にょる第１アーム２１の１回転
によって、第２アーム２２を第１７−ム２１の回転と逆
方向に１回転させて第２７−ム２２の先端部を軸２ｏの
中心を通る一直線上に移動させる回転−直線変換機構２
７が取付けられ、第２アーム２２の先端部には搬送用ワ
ークを受けるワーク受具２８が取付けられている。
次に、本実施例の作用について説明する。
このように構成された搬送装置２９において、モータ１
９を介して第１アーム２１が第６図に示すように第１ア
ーム２１と第２７−ム２２の直線状態からθ１回転する
と、第２アーム２２はθ２＝２×０１回転し、その結果
、第２アーム２２先端部のワーク受具２８中心は第５図
のＡ位置がらに位置に直線移動するとともに、更に第１
アーム２１が回転しても、第１アーム２１対第２７−ム
２２の回転角度１：２は一定であることがら、第２アー
ム２２先端部のワーク受具２８中心は第４図、第５図の
Ａ点と第１アーム２１の回転中心とを結ぶ一直線上を第
１アーム２１の長さの４倍のストロークで第４図、第５
図のＢ点に移動するが、ワーク受具２８が第１７−ム２
１の回転中心を通過する付近においてモータ１５を駆動
して可動フレーム１６を図示矢印Ｐのように９０６回転
させると、ワーク受具２８は例えば図示矢印Ｑの軌跡を
通ってＡ点からＣ点に滑らかに移動する。
９を介して第１アーム２１が第６図に示すように第１ア
ーム２１と第２７−ム２２の直線状態からθ１回転する
と、第２アーム２２はθ２＝２×０１回転し、その結果
、第２アーム２２先端部のワーク受具２８中心は第５図
のＡ位置がらに位置に直線移動するとともに、更に第１
アーム２１が回転しても、第１アーム２１対第２７−ム
２２の回転角度１：２は一定であることがら、第２アー
ム２２先端部のワーク受具２８中心は第４図、第５図の
Ａ点と第１アーム２１の回転中心とを結ぶ一直線上を第
１アーム２１の長さの４倍のストロークで第４図、第５
図のＢ点に移動するが、ワーク受具２８が第１７−ム２
１の回転中心を通過する付近においてモータ１５を駆動
して可動フレーム１６を図示矢印Ｐのように９０６回転
させると、ワーク受具２８は例えば図示矢印Ｑの軌跡を
通ってＡ点からＣ点に滑らかに移動する。
なお、本実施例においてはモータ１５、クランクアーム
１７、コネクチングロッド１８からなるクランク機構３
０を介して可動フレーム１６を９０’の範囲内で任意の
角度回転させるようにしたが、これを例えば可動フレー
ム１６を支持する軸受装置１２を減速機付パルスモータ
とすることによって可動フレーム１６を６６００任意の
角度回転可能にして、ワーク受具２８を任意の角度・任
意の半径位置から他の任意の角度・任意の半径位置に制
限のない状態で自在に移動させることができる。
１７、コネクチングロッド１８からなるクランク機構３
０を介して可動フレーム１６を９０’の範囲内で任意の
角度回転させるようにしたが、これを例えば可動フレー
ム１６を支持する軸受装置１２を減速機付パルスモータ
とすることによって可動フレーム１６を６６００任意の
角度回転可能にして、ワーク受具２８を任意の角度・任
意の半径位置から他の任意の角度・任意の半径位置に制
限のない状態で自在に移動させることができる。
（発明の効果）
本発明はガイドレールのような摺動部を用いることなく
、シかも、向きを変えて搬送方向を定める回転体の中心
を越えてアームを直線移動させることによって、構造簡
単にして容易かつごみの発生を最小限に抑えた状態でワ
ークを任意の角度・任意の半径位置から他の任意の角度
・任意の半径位置に移動させることができる効果がある
。
、シかも、向きを変えて搬送方向を定める回転体の中心
を越えてアームを直線移動させることによって、構造簡
単にして容易かつごみの発生を最小限に抑えた状態でワ
ークを任意の角度・任意の半径位置から他の任意の角度
・任意の半径位置に移動させることができる効果がある
。
第１図は従来の実施例の正面図、第２図はその平向図、
第３図は本発明の構成を明示する全体構成図、第４図は
本発明の一実施例の斜視図、第５図はその説明図である
。 １・・・モータ ２・・・第１アーム ６・・・第２アーム ４・・・ワーク受具５・・・回転
角度位置決め装置 出 願 人 名古屋機工株式会社 代 理 人 弁理士 岡 １）英 彦
第３図は本発明の構成を明示する全体構成図、第４図は
本発明の一実施例の斜視図、第５図はその説明図である
。 １・・・モータ ２・・・第１アーム ６・・・第２アーム ４・・・ワーク受具５・・・回転
角度位置決め装置 出 願 人 名古屋機工株式会社 代 理 人 弁理士 岡 １）英 彦
Claims (1)
- モータを介して回転する第１アームの先端部に該第１ア
ームの１回転によって該第１アームの回転と逆方向に１
回転可能な該第１アームと同一長さの第２アームを取付
け、該第２アームの先端部にワーク受具を取付け、かつ
、前記モータ自体を前記モータの正・逆回転方向に予め
設定した所定角度回転させるための回転角度位置決め装
置を設けることを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24686983A JPS60135192A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24686983A JPS60135192A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135192A true JPS60135192A (ja) | 1985-07-18 |
Family
ID=17154936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24686983A Pending JPS60135192A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60135192A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150087U (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-22 | ||
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPS6456983U (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-10 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590290A (en) * | 1978-12-07 | 1980-07-08 | Reis Walter Gmbh & Co | Handling device |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24686983A patent/JPS60135192A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590290A (en) * | 1978-12-07 | 1980-07-08 | Reis Walter Gmbh & Co | Handling device |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150087U (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-22 | ||
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH037574B2 (ja) * | 1986-03-25 | 1991-02-01 | Hitachi Electr Eng | |
| JPS6456983U (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-10 |
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