JPH0370133A

JPH0370133A - ワークの自動洗浄装置

Info

Publication number: JPH0370133A
Application number: JP1204821A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kudo; 秀雄工藤
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1989-08-09
Filing date: 1989-08-09
Publication date: 1991-03-26
Anticipated expiration: 2012-12-03
Also published as: EP0412796A3; DE69009120T2; EP0412796A2; DE69009120D1; US5081733A; EP0412796B1; JP2683940B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体ウェーハ等の薄円板状のワークを自動
的に洗浄する装置に関する。

（従来の技術）半導体素子製造において、半導体ウェーへの表面に付着
した不純物は半導体素子の性能に悪影響を及ぼす。

そこで、半導体ウェーハの製造工程の中には洗浄工程が
含まれており、この洗浄工程ではウェーハが種々の方法
によって洗浄されるか、ウェーへの洗浄方法には大別し
て物理的洗浄方法と化学的洗浄方法とがある。

上記前者の物理的洗浄方法としては、洗浄ブラシ等を用
いてウェーハ表面に付着した不純物を直接除去する方法
、噴射ノズルから加圧流体をウェーハの一部又は全体に
向けて噴射し、これによって不純物を除去する方法、ウ
ェーハを液中に浸漬してこれに超音波を当てて該ウェー
ハに付着した不純物を除去する方法（超音波洗浄法）等
がある。

又、前記後者の化学的洗浄方法としては、種々の薬剤、
酵素等によってウェーハ表面に付着した不純物を化学的
に分解除去する方法等がある。

尚、物理的洗浄方法と化学的洗浄方法が併用されること
もある。

（発明か解決しようとするａ題）上述の各洗浄方法を用いればウェーハ表面に付着した不
純物は一応除去される訳であるが、これらの方法によっ
て洗ｒＤされたウェーハは洗浄液から一旦取り出されて
次工程へ移されるため、洗浄液から取り出されたウェー
ハの表面か乾燥し、洗浄液中に溶解した不純物が該ウェ
ーハの表面に析出して再付着したり、空気中の不純物が
ウェーハ表面に新たに付着するという問題がある。

又、ウェーハの洗浄方法や装置自体に関する提案は今ま
でに種々なされている（例えば、特公昭５２−３４８５
９号、同６０−３６０９９号公報参照）が、ウェーハの
投入から洗浄工程を経てこれの回収に至る一連の作業を
全自動的に行なう装置は未た提案されておらず、これら
一連の作業は人手に頼っているのが実情であり、従って
斯かる一連の作業には多くの時間と労力を要し、作業能
率の向上や省力化か望まれていた。

本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、その目的と
する処は、ワークを効果的に洗浄することかてきるとと
もに、ワークの投入から洗浄工程を経てこれの回収に至
る一連の作業を全自動的に行なうことによって作業能率
及び洗浄処理能力の向上及び省力化を図ることかできる
ワークの自動洗浄装置を提供するにある。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成すべく本発明は、洗浄すべきワークを液
中で１枚ずつ供給するワークフィーダー部と、供給され
たワークを液中て回転する一対の回転ブラシｎｌＩに挟
持してこれの両面を同時に洗浄するスクラバー部と、該
スクラバー部にて洗浄されたワークを液中て受け取って
これを回収するワーク受取部と、前記スクラバー部と前
記ワークフィーダー部及び／又は前記ワーク受取部とを
液体によって隔離する隔離セクション部とを含んでワー
クの自動洗浄装置を構成したことをその特徴とする。

（作用）本発明によれば、ワークの投入から洗浄工程を経てこれ
の回収に至る一連の作業を全自動的に行なうことがてき
、特にスクラバー部では一対の回転ブラシによってワー
クの両面か同時に洗浄されるため、ワークの洗浄か効果
的に、且つ能率良く行なわれ、作業能率及び洗浄処理能
力の向上、省力化が図られる。

又、本発明によれば、ワークの投入から洗浄工程を経て
これの回収に至る一連の作業は、ワークを液中に常時浸
漬させた状態で行なわれるため、該ワークの乾燥が防が
れてこれの汚染や傷の発生が効果的に防止される。

（実施例）以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図は本発明に係る自動洗浄装置の平面図、第２図は
同装置の側面図であり、該自動洗浄装置ｌはウェーハフ
ィーダ一部Ａ、隔離セクション部Ｂ、スクライバーｅｓ
　ｃ　、隔離セクション部Ｂ゛ウェーハ受取部りをこの
順に組み付けて構成され、これらウェーハフィーダ一部
Ａ、隔離セクション部Ｂ、Ｂ’　、スクライバ一部Ｃ及
びウェーハ受取部りは個々にユニットを構成しており、
これらはそれぞれのフランジ２，３，４，５，６゜３’
　、４’　、７を締結することによって互いに結合され
て１つの装置を構成している。

ところで、上記ウェーハフィーダ一部Ａには隔壁８にて
区画される容器Ｓｌ、Ｓ２か、隔離セクション部Ｂには
容器Ｓ１か、スクライバ一部Ｃには容器Ｓ４か、隔離セ
クション部Ｂには容器ＳＩ”か、ウェーハ受取部ＤＣは
容器Ｓｓかそれぞれ設けられており、容器ＳＩ　、Ｓ２
　、Ｓ：＋　。

Ｓ、’　、ＳＳ内には純水が収容され、容器Ｓ４内には
洗浄液が収容されている。そして、これら容器ＳＩ　、
Ｓ２　、Ｓ：＋　、３４　、Ｓ３°、Ｓ、は隔壁８．９
，１０．１０’　、１１．に形成された後述の開口部を
介して相連通せしめられるか、開口部は隔壁８，９，１
０．ｔｏ’　、ｘｉの各々に設けられたシャッター装置
１２によって開閉される。

又、各容器ｓ、−５５の両側には、これらの容器Ｓ１〜
Ｓ、からオーバーフローした純水又は洗冷液を回収する
ためのタンク１３，１３．１４．１４，１５，１５．１
６，１６．１５゜１５’、１７．１７か取り付けられて
おり、第２図に示すようにこれら各タンク１３〜１７か
ら下方へ導出するパイプ１８・・・は水平に延設された
パイプ１９に連結されている。

ここで、前記ウェーハフィーダ一部Ａの構成の詳細を第
３図乃至第１０図に基づいて説明する。

尚、第３図はウェーハフィーダ一部Ａの上半部の側面図
、第４図は同つェーハフィーダ一部Ａの要部の側断面図
、第５図は同平面図、第６図はカセットａ置台の駆動機
構を示す破断側面図、第７図は同破断正面図、ｐ！４８
図はシャッター装置の破断正面図、第９図は同断面側面
図、第１０図は同シャッター装置の作用を示す第９図と
同様の図である。

該ウェーハフィーダ一部Ａにおいては、第３図に示すよ
うに前記容器ＳＩの左方に隔壁２０にて区画される空間
Ｓか形成され、この空間Ｓ内には第４図に示すプッシャ
ー２１か設けられている。

又、隔壁２０上にはカセットａ置台駆動機構２２か固設
されている。尚、第３図中、８は前記隔壁、１２．１２
は前記シャッター装置、１３゜１４は前記タンク、Ｓｒ
　、Ｓ２は前記容器である。

ここて、前記プッシャー２１の構成の詳細を第４図及び
第５図に基づいて説明するに１図中、２３は公知のロッ
トレスシリンダであって、これはロットガイド２４．２
４に沿って移動するスライダ２５を有しており、このス
ライダ２５にはブツシュロッド２６が取り付けられてい
る。このブツシュロッド２６は前記隔壁２０を貫通して
前記容器Ｓ１内に臨んでおり、その先部にはウェーハＷ
（第５図参照）の外周に当接すべきプッシャー板２７か
取り付けられている。

ところで、容器Ｓｌ内にはカセットａｉ台２８か前記駆
動機構２２から垂直下方に延出する上下動自在な左右２
本のロット２９　、、２９に取り付けられて収納されて
おり、該カセット載置台２８上には、多数のウェーハＷ
・・・を適当な間隔で積層収納して成るカセット３０か
ａｆｊｌされている。

又、容器Ｓｌを形成する側壁３１．３１の各々には、第
４図及び第５図に示すように前記タンク１３に開口する
矩形の切欠き３１ａが形成されており、この切欠き３１
ａは側壁３１の内側に上下動可能に取り付けられた堰板
３２にて被われている。即ち、堰板３２の両端部には上
下方向に長い長円孔３２ａ、３２ａか穿設されており、
各長円孔３２ａにはボルト３３が挿通している。

次に、前記カセット載置台駆動機構２２の構成の詳細を
第６図及び第７図に基づいて説明する。

図中、３４は枠状の基台であって、この基台３４の上下
にはベースプレート３５．３６か取り付けられており、
上方のベースプレート３５には駆動モータ３７か取り付
けられており、該駆動モータ３７から上方へ延出する出
力軸には大径のギヤ３８か結着されている。又、上下の
ベースプレート３５．３６間にはボールネジ軸３９か垂
直、且つ回転自在に支承されており、該ボールネジ軸３
９のベースプレート３５の上方へ臨む上端部には前記ギ
ヤ３８に噛合する小径のギヤ４０か結着されている。そ
して、ボールネジ軸３９にはスライダ４１か螺合、挿通
しており、該スライダ４１はボールネジ軸３９か回転す
ると１両ベースプレー）−３５，３６間に垂直に架設さ
れたロットガイド４２．４２に案内されて上下動する。

尚、このスライダ４１に前記ロッド２９，２９がボルト
４３．４３にて垂直に取り付けられている。

次に、前記シャッター装Ｗ！１１２の構成の詳細を第８
図乃至第１０１１１に基づいて説明する。

図示のように、前記隔壁８の上端にはベースプレート４
４が取り付けられており、このベースプレート４４の中
央と一端部にはエアシリンダ４５．４６がそれぞれ取り
付けられている。そして、エアシリンダ４５から下方へ
延出するロッド４５ａには幅方向に長いシャッタ一部材
４７か取り付けられており、該シャッタ一部材４７には
ポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）材から成
る薄い矩形フィルム状のバルブシート４８かビス４９・
・・にて取り付けられている。尚、シャ・ンタ一部材４
７の両側にはロッドガイド５０．５０が立設されており
、これらロッドガイド５０゜５０はガイドブツシュ５１
．５１を介してベースプレート４４に摺動臼イＥに挿通
している。

一方、ベースプレート４４の両端部には第８図に示すよ
うに支持プレート５２．５２がボルト５３・・・によっ
て垂直に支持されており、これら支持プレート５２．５
２間には軸５４が回動自在に支承されて架設されている
。そして、この軸５４には押圧部材５５か取り付けられ
ており、この押圧部材５５は軸５４の両端に結着された
本体プレート５６．５６と、これら本体プレート５６゜
５６間に取り付けられた押圧片５７とて構成されている
。この押圧片５７はポリエーテル・エーテル・ケトン（
ＰＥＥＫ）材から成り、その中央部には隔壁８に穿設さ
れた幅広の開口部８ａと同様の開口部５７ａか穿設され
ている。

又、前記軸５４の本体プレート５６．５６の内側にはア
ーム５８．５９が結着されており、アーム５８と前記ベ
ースプレート４４との間にはスプリング６０か介装され
ている。そして、第８図に示すようにアーム５９の上面
には前記エアシリンダ４６から下方へ延出するロッド４
６ａの下端が当接している。

他方、前記アーム５８の上方には、ベースプレート４４
に垂直に取り付けられたストッパ６１が臨んでいる。尚
、このストッパ６１は軸５４及びこれに取り付けられた
前記押圧部材５５の回動を規制するものである。

次に、前記隔離セクション部Ｂの構成の詳細を第１１図
及び第１２図に基づいて説明する。尚、第１１図は隔離
セクション部Ｂの破断乎面図、第１２図は同破断側面図
である。

前記隔壁９，１０にて区画される前記容器Ｓ。

内の底部には、噴流水によってウェーハＷを図示矢印方
向へ搬送すべき搬送機４Ｉ６２と、搬送されたウェーハ
Ｗを受け止めてこれをシャッター装置１２の動きに連動
して適当なタイミングでシャッター装置１２を通過させ
るためのストッパ機構６３とか設けられている。

上記搬送機構６２は第１２図に示すように３枚重ねされ
た矩形のプレート６４，６５．６６を有し、プレート６
４．６５間には流路６７が、プレート６５．６６間には
波路６８が形成されている。そして、ｍ路６８にはフラ
ンジ６９が開口しており、この流路６８はフランジ６９
に接続された不図示のバイブを介して圧力水供給装置（
図示せず）に接続されている。

又、前記プレート６５には両流路６７．６８を相連通せ
しめる多数の円孔７０−・・か穿設されており、プレー
ト６４には多数の噴出口７１−・・かウェーハＷの搬送
方向に向かって斜めに穿設されている。そして、プレー
ト６４上の両端には、ウェーハＷをガイドすべきラビリ
ンス状のガイドプレート７２．７２がウェーハＷの搬送
方向に長く取り付けられている。

而して、該搬送機構６２の上方には、これと矩形ボック
ス状の蓋部材７３との間にウェーハＷが通過すべき流路
７４が形成されている。尚、蓋部材７３は容器Ｓ３の側
壁７５．７５の上端にボルト７６・・・にて取り付けら
れている。

尚、前記ウェーハフィーダ一部Ａの容器Ｓ、内にも上記
と同様な搬送機構６２（第１２図参照）か設けられてい
る。

一方、前記ストッパａ構６３は隔壁ｌＯの上流側に設け
られ、これは容器Ｓ３の側壁７５．７５間に水平に、且
つ回転自在に架設された軸７７をイ１し、該軸７７の中
央部にはストッパ部材７８が結若されている。そして、
第１１図に示すように軸７７の一端は一方の側壁７５を
貫通してこれの外方へ突出しており、その突出端は側壁
７５に取り付けられたロータリーアクチュエータ７９の
出力軸７９ａにカップリング８０によって連結されてい
る。

尚、各側壁７５には前記タンクＳ３に開口する矩形の切
欠き７５ａか形成されており、各切欠き７５ａは各側ｇ
１７５の内側に上下動可能に取り付けられた堰板８１に
て被われている。

ところで、前記隔離セクション部Ｂ°の構成は以上説明
した隔離セクション部Ｂのそれと全く同じであるため、
これについての説明は省略する。

次に、前記スクラバー部Ｃの構成の詳細を第１３［ｍ乃
至第１９図に基づいて説明する。尚、第１３図はスクラ
バー部Ｃの破断側面図、第１４図は同スクラバー部Ｃを
第１３図の手前側から見た要部の破断側面図、第１５図
は同スクラバー部Ｃの平面図、第１６図及び第１７図は
同スクラバー部Ｃの回転ブラシの駆動機構を示す破断平
面図、第１８図は第１７図ａ部（軸シール部）の拡大詳
細図、第１９図は第１８図のＸ−Ｘ線断面図である。

第１４図に示すように、前記隔壁１０，１０゜（第１図
参照）にて区画される前記容器Ｓ、内には幅方向（第１
４図の紙面垂直方向）に長い断面梢円状の空間８２が形
成されており、この空間８２内には幅方向に長い上下２
本の回転ブラシ８３．８４が回転自在に支持されて収納
されている。尚、これら回転ブラシ８３．８４の上流及
び下流には、噴流水によってウェーハＷを第１３図の左
方から右方へ搬送すべき前記と同様の搬送機４ｆｉ６２
．６２か設けられている。

ところで、前記回転ブラシ８３．８４はその外周面に布
ブラシを接着して構成され、これらは各々独立に反対方
向（第１３図の矢印方向）に回転駆動せしめられるが、
下側の回転ブラシ８４は容器Ｓ４に対してその位置か固
定されており、上側の回転ブラシ８３は第１４図に示す
回転軸８５゜８６を中心に揺動可能に支持されている。

即ち、第１６図に示すように下側の回転ブラシ８４を支
持する回転軸８７の両端は容器Ｓ４の側壁８８．８８及
び前記タンクＩＳ、１６を貫通してこれらの外部に臨み
、その両端はベアリング８９・・・を介して支持ブロッ
ク９０．９０に回転自在に支承されており、該回転軸８
７の一端にはタイミングプーリ９１か結着されている。

又、第１６図中、９２は駆動モータてあって、該駆動モ
ータ９２の出力軸９２ａには、支持ブロック９３．９４
にベアリング９５．９５を介して回転自在に支承された
回転軸９６の一端がカップリング９７によって連結され
ており、この回転軸９６の中間にはタイミンクプーリ９
８か結着され、自由端にはギヤ９９か結着されている。

そして、このタイミンクプーリ９８と前記タイミングプ
ーリ９１との間には無端状のタイミングベルト１００か
巻き掛けられている。尚、各側壁８８及びタンク１６の
回転軸８７が貫通する部位は、シールリング１０１によ
ってシールされている。

一方、第１３図及び第１７図に示すように回転軸９６の
上方には前記回転軸８５が回転自在に陀されており、前
記上方の回転ブラシ８３は該回転軸８５．８６にその一
端か枢着された枠状のアーム１０２の他端に回転自在に
支承されている（第１３図及び第１７図参照）。

上記回転軸８５は第１７図に示すようにベアリング１０
３，１０３を介して支持ブロック１０４．１０５に回転
自在に支承されており、該回転軸８５の中間にはタイミ
ングプーリ１０６か結着されており、自由端にはギヤ１
０７が結着されている。そして、このギヤ１０７は前記
ギヤ９９に噛合している（第１３図参照）。

又、第１７図に示すように回転ブラシ８３を支持する回
転軸１０８の両端は前記回転輪８７と同様に容器Ｓ４の
側９８８．８８及びタンク１６゜１６を貫通してこれら
の外部へ臨み、その両端は前記アーム１０２の端部に回
転自在に支承されている。そして、この回転＠１０８の
一端にはタイミングプーリ１０９が結着されており、該
タイミングプーリ１０９と前記タイミングプーリ１０６
との間には無端状のタイミングベルト１１０か巻き掛け
られている。

ここで、容器Ｓ４の側壁８８．８８及びタンク１６．１
６の回転軸１０８か貫通する部位のシールａ造を第１８
図及び第１９図に基づいて説明する。

即ち、容器Ｓ４の各側壁８８及びタンク１６には、回転
軸１０８（回転ブラシ８３〉の揺動を許容する円弧状の
貫通孔８８ａ１円形の貫通孔ｌｅａがそれぞれ穿設され
ており、これら貫通孔８８ａ、１６ａに回転軸１０８が
貫通している。

そして、各側壁８８及びタンク１６の回転軸１０８か貫
通ずる部位は１回転軸１０８の外周に僅かの隙間を設け
て嵌合するリング状のシールリング１１１．Ｉｌｌによ
ってシールされるが、これらシールリングＩｌｌ、１１
１は回転軸１０８（回転ブラシ８３〉の揺動に伴ってこ
れと共にＣＴ通孔８８ａ、１６ａに沿って摺動が可能な
ようにリング押え１１２．１１２によって保持されてい
る。

ところで、第１６図及び第１７図に示すように前記回転
軸８６は回転軸８５の反対側にこれと同軸に配されてお
り、これはベアリング１１３゜１１３を介して支持ブロ
ック１１４，１１４に回転自在に支承されている。そし
て、この回転軸８６には、第１４図に示すように前記ア
ーム１０２の中間部か結着されており、該アーム１０２
の回転軸８６からの距離が図示の文、。

立２　（文、〉立２〉の位置にはビン１１５゜１１６か
突設されており、これらのピン１１５゜１１６には複゛
数のリング状ウェイト１１７・・・１１８・・・か挿通
されて支持されている。又、同回転＠８６にはレバー１
１９の一端か結着されており、該レバー１１９の他端近
傍にはストッパシリンダ１２０か固設されており、該ス
トッパシリンダ１２０から延出するロット１２０ａの先
部にはレバー１１９に当接すべきローラ１２１が軸支さ
れている。尚、レバー１１９の中間部位置近傍には、第
１４図に示すように該レバー１１９の回動を規制すべき
ストッパボルト１２２が進退自在に設けられている。

ところで、第１３図及び第１４図に示すように容器Ｓ、
の上部にはウェーハＷの回転駆動機構１２３が設けられ
ている。この回転駆動ａ構１２３の詳細は第１４図及び
第１５図に示されるか、容器Ｓ、上に固設されたベース
１２４上には左右２木のＬＭガイド１２５，１２５がウ
ェーハＷの搬送方向（第１４図の左右方向）に敷設され
ており、　該ＬＭガイド１２５，１２５にはこれに沿っ
て摺動する可動ベース１２６か設けられている。そして
、この可動べ・−ス１２６上にはスライド軸１２７が幅
方向に配されており、該スライド軸１２７の外周にはこ
れの長さ方向に摺動可能なスライドフッシュ１２８か嵌
合されている。尚、前記可動ベース１２６は第１５図に
示すようにこれと前記ベース１２４間に介装された左右
２木のスプリング１２９，１２９によって常時一方向（
第１５図中、右方）に付勢されており、これの中央に軸
支されたカムフォロア１３０はこれの右方に設けられた
偏心カム１３１の外周に当接している。偏心カム１３１
はベース１２４上に固設された駆動モータ１３２によっ
て回転駆動されるが、これは駆動モータ１３２に直結さ
れたギヤへラド１３３の出力軸１３３ａの端部に結着さ
れている。

上記スライド軸１２７の一端とスライドブツシュ１２８
にはスライドベース１３４，１３４か水平面内で傾斜し
て取り付けられており、各スライドベース１３４にはこ
れに沿って摺動可能な可動ベース１３５が嵌合保持され
ており、この可動ベース１３５の先部には上下方向に長
いＬＭガイド１３６が設けられている。尚、可動ベース
１３５にはこれをスライド軸１２７上にクランプすべき
クランプレバ−１３７が設けられている。

而して、前記各ＬＭガイド１３６には可動ベース１３８
かスライダ１３９を介して上下動自在にに合しており、
該可動ベース１３８はこれと前記可動ベース１３５間に
介装されたスプリング１４０によって常時下方へ付勢さ
れており、第１４図に示すストッパボルト１４１がＬＭ
ガイド１３６の上端に当接する位置で静止している。そ
して、この可動ベース１３８には、連結一体化された駆
動モータ１４２及びギヤヘッド１４３と、これらの下方
に設けられる筒状部材１４４と、後方（ｉ１４図中、右
方）に設けられるエアシリンダ１４５が取り付けられて
いる。

上記ギヤヘッド１４３から下方へ延出する出力軸１４３
ａと、前記筒状部材１４４内に挿通して上下のベアリン
ク１４６，１４６にて回転自在に支示された回転軸１４
７とはカップリング１４８にて連結されており、回転軸
１４７の下端にはウェーハ駆動軸１４９の上端が螺着さ
れており、該ウェーハ駆動軸１４９の下部外周には、ウ
ェーハＷの外周に当接すべきＶノツチ状のｆＭ　１４９
　ａか形成されている。

又、ｉ１４図に示すように前記エアシリンダ１４５の下
方からはロッド１４５ａか延出しており、前記可動ベー
ス１３５にはロット１４５ａが当接すべきストッパプレ
ート１５０が取り付けられている。

次に、ウェーハ受取部りの４Ｉ成の詳細を第２０図乃至
第２３図に基づいて説明する。尚、第２０図はウェーハ
受取部りの平面図、第２１図は第２０図の矢視Ｙ方向の
図、第２２図は第２０図の矢視Ｚ方向の図、第２３図は
同つェーハ受取部Ｄ（バケット部分）の作用説明図であ
る。

前記容器Ｓ、内には前記搬送機構６２と同様な搬送機構
（図示せず）が設けられ、容器Ｓ、の各側壁１５１には
前記タンク１７に開口する切欠き１５１ａか形成されて
おり、この切欠き１５１ａは側壁１５１の内側に上下動
可能に取り付けられた堰板１５２によって被われている
。

ところで、容器ＳＳの外側方には、洗浄か終了したウェ
ーハＷを受け取ってこれを回収する回収機構１５３が設
けられている。この回収機構１５３は容器Ｓ５の側方に
立設された支柱１５４を有しており、該支柱１５４には
ロットレスシリンダ１５５か取り付けられている。この
ロッドレスシリンダ１５５は上下動するスライダ１５６
を有しており、このスライダ１５６には容器ＳＩの幅方
向に延出するアーム１５７が結着されている。そして、
アーム１５７の左右にはステイ１５８．１５８か水平に
突設されており９これらステ４１５８，１５８間には枠
構造を威すバケット１５９の上端ボス部１５９ａがボル
ト１６０によって回転自在に枢着されて支持されている
。

上記バケット１５９は、帯状のプレートをコの字状に折
曲成形して成る支持部１６１と該支持部１６１に回動自
在に枢着された回収部１６２とでａ成され、回収部１６
２は針金にて袋状に構成され、第２３図に示すようにそ
の上端か開口しており、その下端の両側にはガイドロー
ラ１６３゜１６３か軸支されている。

一方、容器Ｓ５内の上記バケット１５９のガイドローラ
１６３，１６３の下方には、第２３図に示すように左右
２つのカムプレート１６４゜１６４か設けられており、
各カムプレート１６４はバケット１５９のガイドローラ
１６３が当接すべきカム而１６４ａを有している。尚、
カム而１６４ａはウェーハＷの搬送方向に向かって（第
２３図の左方から右方に向かって）その高さか低くなる
ような曲面形状を有している。

次に１本自動洗浄装２２１の作用を説明する。

先ず、ウェーハフィーダ一部Ａにおいて、容器ＳＩ内の
カセットａ、Ｖ台２８にセットされたカセット３０内に
は前述のように多数のウェーハＷ・・・かｙｉｔ収容さ
れており、カセット３０全体は容器Ｓ１内に収容された
純水の中に浸漬されている。

而して、カセット３０内のウェーハＷ・・・はプッシャ
ー２１によって上方から順次１枚ずつカセット３０から
押し出される。即ち、プッシャー２１のロッドレスシリ
ンダ２３か駆動されてスライダ２５かロッドガイド２４
．２４に沿って第４図及び第５図の矢印方向に移動する
と、これに取り付けられたブツシュロッド２６及びプッ
シャー板２７も同方向へ移動し、プッシャー板２７はカ
セット３０内の最上段に位置するウェーハＷの外周に当
接してこれをカセット３０から押し出す、このとき、こ
の動作に連動して隔壁８上に設置されたシャッター装置
１２が駆動されてこれか開状態となる。このときのシャ
ッター装２１１２の作用を第８図乃至第１０図に基づい
て説明する。

即ち、第８図及び第９図はシャッター装置１２の閉状述
を示し、このとき８壁８に形成された開口部８ａはバル
ブシート４８によって閉しられており、エアシリンダ４
６のロッド４６ａはアーム５９に当接して該アーム５９
、ｆｍ５４及び押圧部材５５をスプリング６０の弾発力
に抗して第９図の矢印方向に回動せしめるため、押圧部
材５５の押圧片５７は図示のようにバルブシート４８を
隔！８ｆｌｌに所定の力で押圧している。

而して、前記プッシャー２１が駆動されると、先ず、エ
アシリンダ４６か駆動されてそのロッド４６ａか上動す
る。すると、アーム５９、軸５４及び押圧部材５５かス
プリング６０の弾発力を受けて第１０図の矢印方向に回
動せしめられ、これによって押圧片５７によるバルブシ
ート４８の隔壁８への押圧が解除される。

次に、他方のエアシリンダ４５かＮＡ動されてそのロッ
ト４５ａが上動せしめられると、これに取り付けられた
シャッタ一部材４７及びバルブシート４８が第１０図に
示すように上動し、この結果、隔壁８に形成された開口
部８ａが開けられ、内容器ＳＩ、Ｓ２はこの開口部８ａ
を介して相連通せしめられる。従って、プッシャー２１
によって１枚ずつ供給されるウェーハＷは第１０図に示
すように連通状態にある両ｌ１ｌＪ１日部５７ａ、８ａ
を通過して容器Ｓ２内に搬入せしめられる。尚。

シャッター装置１２が開状態にあって、両容器Ｓ、、Ｓ
、が連通状態にあるときに容器ＳＩ。

Ｓ２の！川で純水の流れが生じることは好ましくないが
１本実施例では例えば容器ＳＩについて言えば、第４図
及び第５図に示すボルト３３・・・を緩めて堰板３２を
上下動させれば、容器Ｓ、内の純水の液位を調整するこ
とかできるため、開口部８ａに作用する静圧を略等しく
保つことができ、これによって開口部８ａを通過する純
水の流れを抑えることかできる。又、開口部８ａの近傍
で純水に乱れか生ずることもウェーハＷの品質を高く保
つ上から好ましくないが、本実施例ではバルブシート４
８をフィルム状としてその厚さを極力薄くしたため、こ
れか純水内で上下動しても純水に乱れか生ずることがな
い。

斯くて、ウェーハＷが容器Ｓ２内に搬入されると、エア
シリンダ４５か再び駆動されてそのロッド４５ａか下か
り、バルブシート４８も開口部８ａを被う位置に下がる
。そして、次にエアシリンダ４６が駆動されてそのロッ
ド４６ａがアーム５９に当接し、該アーム５９、軸５４
及び押圧部材５５が第９図の矢印方向に回転せしめられ
ると、同図に示すように押圧部材５５の押圧片５７によ
ってバルブシート４８がｗ１１ａｇＩＩに押圧され、開
０部８ａかバルブシート４８によって確更に閉じられて
両容器Ｓ、、Ｓ２の連通が遮断される。

以上のようにしてカセット３ｏ内の最上段のウェーハＷ
がプッシャー２１によって送り出されると、第６図に示
すカセット依置台駆動機構２２の駆動モータ３７か駆動
され、これの回転はギヤ３８．４０を経てボールネジ軸
３９に伝達され。

該ボールネジ軸３９が回転駆動される。このボールネジ
軸３９が回転すると、これに螺合するスライダ４１かロ
ットガイド４２．４２に案内されて所定量だけ上動せし
められ、このスライダ４１に取り付けられたロッド２９
，２９．これらロッド２９．２９に支持されたカセット
載置台２８及び該カセットａ置台２８上にセットされた
カセット３０か同量だけ上動せしめられ、カセット３０
内の次の段のウェーハＷかプッシャー２１のプッシャー
板２７が当接する位置で次の供給のために待機する。

而して、容器Ｓ２内に搬入されたウェーハＷは該容器Ｓ
２内に設置された搬送機構６２によって搬送され、該ウ
ェーハＷか容器Ｓ２内の所定位置を通過したことが不図
示のセンサによって検知されると、前記隔壁９上に設置
されたシャッター装置１２か開き、ウェーハＷは隔壁９
の開口部（図示せず）を通過して隔離セクション部Ｂの
容器Ｓ３内に搬入せしめられる。

隔離セクション部Ｂにおいて、容器Ｓ３内に搬入された
前記ウェーハＷは該容器Ｓ、内に設置された搬送機４１
ｉ６２によって第１１図及び第１２図の矢印方向へガイ
ドプレート７２．７２に沿って搬送される。即ち、搬送
機構６２において、圧力水か流路６８に供給されると、
この圧力水は円孔７０・・・及び流路６７を経て噴出口
７１・・・から容器Ｓ３内に斜めに噴出される。すると
、ウェーハＷは噴出口７１・・・から噴出される噴流に
よって第１１図及び第１２図の矢印方向へ搬送される。

そして、ウェーハＷが蓋部材７３に設けられた光電スイ
ッチ等のセンサを通過したことを該センサが検知すると
、ロータリーアクチュエータ７９が駆動されて軸７７が
第１２図の矢印方向に回転せしめられ、同図中、鎖線に
て示す水平状態にあったストッパ部材７８が実線にて示
す垂ｉｔＬ状態となり、容器Ｓ３内の純水中を搬送され
るウェーハＷはこのストッパ部材７８に当接してここて
−は停止せしめられる。

その後、ロータリーアクチュエータ７９か再び駆動され
て軸７７か逆転せしめられると、ストッパ部材７８か第
１２図の破線矢印方向に回転して水平状態に復帰し、ウ
ェーハＷの通過を許容する。これと同時に、隔壁ｌＯ上
に設けられたシャッター装置１２か開き、ウェーハＷは
隔壁１０に形成された開口部１０ａ（第１４図参照）を
通過してスクラバー部Ｃの容器Ｓ４内の洗詐液中に搬送
される。そして、このウェーハＷか容器Ｓ４内に完全に
搬送されると、シャッター装置１２によって開口部１０
ａが再び閉じられ、両容器Ｓコ。

Ｓ４の連通が遮断される。尚、前記と同様に開口部１０
ａを介して純水又は洗浄液が流動することは好ましくな
いため、開口部１０ａに作用する静圧か略等しく保たれ
ねばならないか、この静圧の調整は、例えば堰板８１の
高さを調整して容器Ｓ：ｌ内の純水の液位を変えること
によってなされる。

スクラバー部Ｃの容器Ｓ４内に搬入された前記ウェーハ
Ｗは容器Ｓ４内に設けられた搬送機構６２によって洗ｆ
ｉ＋液中を回転ブラシ８３．８４方向へ搬送される。こ
のとき、上方の回転ブラシ８３は上方へ持ち上げられて
これと下方の回転ブラシ８４間には所定の隙間が形成さ
れている。即ち、第１４図に示すストッパシリンダ１２
０か駆動されてこれのロッド１２０ａの先部に軸支され
たローラ１２１かレバー１１９に当接すると、該レバー
１１９は第１５図中、時計方向へ回動せしめられ、アー
ム１０２に軸支された上方の回転ブラシ８３が回転軸８
５．８６を中心に上方へ揺動してこれと下方の回転ブラ
シ８４との間に所定の隙間か形成される。

又、このとき、ウェーハ駆動軸１４９，１４９は第１４
図に示すように下降してその下限位置に待機している。

即ち、第１４図に示すようにエアシリンダ１４５のロッ
ト１４５ａか上動して該ロット１４５ａかストッパプレ
ーｔ−１ｓｏから離れると、各可動ベース１３８はウェ
ーハ駆動軸１４９’ｐと共にＬＭガイド１３６に沿って
自重で下降し、これに取り付けたストッパボルト１４１
がＬＭガイド１３６の上端に当接する位置で静止する。

この結果、各ウェーハ駆動軸１４９は上述のようにその
下限位置で待機することとなるが。

ストッパボルト１４１を回してこれの突出長さを変える
ことによって各ウェーハ駆動軸１４９の高さ位置を微調
整することがてきる。

而して、容器Ｓ４内のウェーハＷは上下の回転ブラシ８
３．８４間の隙間を通って搬送せしめられ、その外周か
ウェーハ駆動＠１４９，１４９の溝１４９ａ、１４９ａ
に当接した時点て作出する。すると、第１４図に示すス
トッパシリンダ１２０が再び駆動されてそのロッド１２
０ａか退くと、これの先部に軸支されたローラ１２１か
レバー１１９から離れる。然るに、前述のようにアーム
１０２にｃ’：Ｌ回転軸８５．ｓａか６＆ｌ！［ｉ＋　
。

文、（文、＞ｉ２）の位置にウェイト１１７・・・１１
８・・・かそれぞれ設けられているため、ウェイト１１
７・・・によってアーム１０２を第１４図中、反昨計方
向に回そうとするモーメントの方か大きく、アーム１０
２は回転軸８５．８６を中心に反蒔計方向に揺動する。

従って、ウェーハＷは上下の回転ブラシ８３．８４間に
所定圧て挟持されることとなる。尚、ウェイト１１７・
・・、１１８・・・の数を変えてアーム１０２に作用す
る互いに逆方向のモーメントのバランスを変えれば、ウ
ェーハＷか両回転ブラシ８３．８４から受ける押圧力を
任意に調整することかできる。

ところで、上述のように上方の回転ブラシ８３か回転軸
８５．８６を中心に揺動する場合、これを支持する回転
軸１０８は第１８図及び第１９図に示す容器Ｓ４の各側
壁８８及びタンク１６に穿設された貫通孔８８ａ、１６
ａに沿って移動するか、各側壁８８及びタンク１６の該
回転軸１０８か貫通する部位は貫通孔８８ａ、１６ａに
沿って摺動するシールリング１１１．Ｉｌｌによってシ
ールされているため、これらの部位からの洗浄液の漏出
が防がれる。尚、側を８８の貫通孔８８ａ部分から洗炸
液か万一漏出しても、漏出した洗浄液はタンク１６内に
流れて該タンク１６の貫通孔１６ａ部分には達しないた
め、タンク１６から洗浄液か外部に漏出することはあり
得ない。

斯くて、ウェーハＷか上下の回転ブラシ８３゜８４間に
挟持されると、両回転ブラシ８３．８４か第１３図の矢
印方向に回転駆動される。即ち、駆動モータ９２か駆動
されると、この回転は第１６図に示すカップリング９７
を経て回転軸９６に伝達され、この回転軸９６の回転は
更にタイ文ングプーリ９８、タイミングベルト１００及
びタイミングプーリ９１を経て回転軸８７に伝達され、
該回転軸８７及びこれに支持された下方の回転ブラシ８
４か第１３図の矢印方向に回転駆動せしめられる。又、
これと同特に、前記回転軸９６の回転はギヤ９９，１０
７を介して第１７図に示す回転軸８Ｓに伝達され、この
回転軸８５の回転はタイミングプーリ１０６、タイミン
グベルト１１０及びタイミンクプーリ１０９を経て回転
軸１０８に伝達され、該回転軸１０８及びこれに支持さ
れた上方の回転ブラシ８３か第１３図の矢印方向に回転
駆動せしめられる。

上記と同時に両ウェーハ駆動軸１４９，１４９は第２５
図の矢印方向に回転駆動される。即ち。

第１４図に示す各駆動モータ１４２が駆動されると、こ
の回転はギヤヘッド１４３の出力軸１４３ａ、カップリ
ング１４８及び回転軸１４７を経てウェーハ駆動軸１４
９に伝達され、該ウェーハ駆動軸１４９が回転駆動せし
められる。

ところで、回転中の両回転ブラシ８３．８４間に挟持さ
れたウェーハＷはこれらの回転ブラシ８３．８４から第
２４図の矢印す方向の推力を受け、その外周かウェーハ
駆動軸１４９，１４９の溝１４９ａ、１４９ａに押圧さ
れるため、前述のようにウェーハ駆動軸１４９，１４９
が回転駆動されると、これにその外周が当接するウェー
ハＷは第２５図の矢印Ｃ方向に水平回転せしめられる。

又１本実施例では、同時に駆動モータ１３２も駆動され
、これの回転はギヤへラド１３３の出力軸１３３ａを経
て偏心カム１３１に伝達され。

該偏心カム１３１か回転駆動される。この偏心カム１３
１が回転すると、これに当接するカンフォロアｌ　３０
　？備える可動ベース１２６がＬＭガイド１２５，１２
５に沿って第１４図中、左右に往復動する。この結果、
該可動ベース１２６に支持されたウェーハ駆動軸１４９
，１４９も同様に往復動し、第２４図及び第２５図に示
すようにこれに当接するウェーハＷを回転ブラシ８３．
８４間で所定量だけ前後に往復動せしめる。

以上のように、ウェーハＷは水平面内て回転し、且つ前
後方向に往復動しながら回転ブラシ８３．８４によって
洗浄されるため、これの上下両面に付着した不純物等が
同時に、且つムラなく確実に除去される。

斯くて、ウェーハＷの上下両面の洗浄が終了すると、駆
動モータ１４２，１３２が停止されてウェーハ駆動軸１
４９，１４９の回転及び往復動か停止される。

又、両回転ブラシ８３．８４は一端約３０″の角度だけ
逆転して停止する。すると、これら両回転ブラシ８３．
８４間に挟持されたウェーハＷか回転フラジ８３，８４
から逆方向の推力を受けて上流側へ僅かに移動し、その
外周のウェーハ駆動軸１４９，１４９の溝１４９ａ、１
４９ａとの係合か解除される。すると、第１４図に示す
エアシリンダ１４５が駆動されてそのロット１４５ａか
下方へ延出し、ロッド１４５ａの下端かスト、ソバプレ
ート１５０に当接すると、可動ベース１３Ｂが反力を受
けて上動し、これに取り付けられた駆動モータ１４２、
ギヤヘット１４３、回転軸１４７、ウェーハ駆動軸１４
９等も上動し、ウェーハＷか各ウェーハ駆動軸１４９を
通過することが可能となる。

その後１両回転ブラシ８３．８４が正転せしめられると
、これらの間に挟持されたウェーハＷか送り出され、該
ウェーハＷは容器Ｓ４内に設置された搬送機構６２によ
ってシャッター装置１２側へ搬送される。

シャッター装２２１２は適当なタイミングで開いてウェ
ーハＷを容器Ｓ４から隔離セクション部Ｂ゛の容器Ｓ３
°へと通過せしめ、ウェーハＷの通過か終了すると、再
び閉して容器Ｓ４と容器５３°との連通を遮断する。隔
離セクション部Ｂ°の容器３３°内に搬入されたウェー
ハＷはここに設けられた搬送機構によって純水中を搬送
され、これに付着した洗す液が除去される。

上記ウェーハＷか容器Ｓ：Ｉ”内の所定位辺を通過した
ことが不図示のセンサによって検知されると、隔壁１１
上に設置されたシャッター装置１２が開き、ウェーハＷ
は隔壁１１の開口部〈図示せず〉を通過してウェーハ受
取部りの容器Ｓ５内に搬入せしめられる。すると、シャ
ッター装置１２は再び閉じて容器Ｓｓ’と容器Ｓ、との
連通を遮断する。尚、このときも容器Ｓ３°内の純水と
容器Ｓｓ内の純水に流れが生ずることは好ましくないが
、例えば、第２０図に示す堰板１５２の高さを調整して
容器Ｓｓ内の純水の液位を変えることによって隔壁１１
に形成された開口部（図示せず）における静圧を略等し
く保てば、該開口部を介しての純水の流動が起こらない
。

尚、洗浄すべきウェーハＷのサイズが変わった場合には
、例えば第１４図及び第１５図に示すクランプレバ−１
３７を緩めて可動ベース１３５をスライドベース１３４
に沿って摺動せしめ、該可動ベース１３５に支持された
ウェーハ駆動軸１４９の位置を変えれば、ウェーハＷの
サイズの変化に容易に対処することがてきる。

ウェーハ受取部りの容器Ｓｓ内に搬入された前記ウェー
ハＷは該容器Ｓｓ内に設置された搬送機ＪＩｌｊ８２に
おける噴流によって第２３図の矢印ｄ方向へ搬送される
か、このときバケット１５９はその下限に位置しており
、その回収部１６２は第２３図に実線にて示すように水
平状態に保たれていてその左端が開口している。この状
態でウェーハＷか純水中を第２３図の矢印ｄ方向に搬送
されると、該ウェーハＷは水平状態にある回収部１６２
の左端開口部から該回収部１６２内に搬入される。この
ウェーハＷの回収部１６２への搬入か検知されると、ロ
ットレスシリンダ１５５か駆動されてアーム１５７かバ
ケット１５つと共に上動する。バケット１５９か上動す
ると、これの回収部１６２の下端に軸支されたガイドロ
ーラ１６３．１６３はカムプレート１６４，１６４のカ
ム面１６４ａ、１６４ａに沿って転動しながら移動する
ため、回収部１６２は第２３図に鎖線にて示すような軌
跡を描いて持ち上げられ、該回収部１６２内に回収され
たウェーハＷは回収部１６２によってすくい上げられる
ようにして容器Ｓ５内の純水から引き上げられ、第２１
図に示すように回収部１６２に取り付けられた複数のＶ
字状のウェーハ受け部材１６２ａ・・・（第２３図参照
）によって保持される。

以上がウェーハＷに対する洗浄作業の一連の工程である
が、本発明装置１によれば、ウェーハＷの当該自動洗浄
装置ｌへの投入から洗浄工程を経て回収に至る一連の作
業を全自動的に行なうことができ、特にスクラバー部Ｃ
では上下一対の回転ブラシ８３．８４によってウェーハ
Ｗの上下両面か同時に洗浄されるため、ウェーハＷの洗
浄か効果的に能率良く行なわれ１作業能率及び洗浄処理
能力の向上、省力化等が図られる。

又１本発明装置１１によれば、ウェーハＷの投入から洗
浄工程を経てこれの回収に至る一連の作業は、ウェーハ
Ｗを液中に常時浸漬させた状態で行なわれるため、該ウ
ェーハＷの乾燥か防がれてこれの汚染や傷の発生か効果
的に防がれる。

尚、以上の実施例では、各単一のユニットを構成するウ
ェーハフィーダ一部Ａ、隔離セクション部Ｂ、スクラバ
ー部Ｃ及びウェーハ受取部りを組み合わせて自動洗浄装
置ｌを構成したが、必要に応じてこれらのユニットを複
数任意に組み合わせて装置を構成しても良いことは勿論
である。

（発明の効果）以上の説明で明らかな如く、本発明によれば。

ウェーハの当該自動洗浄装置への投入から洗浄工程を経
て回収に至る一連の作業を全自動的に行なうことかでき
るため、ウェーハの洗浄が効果的に能率良く行なわれ、
作業能率及び洗浄処理能力の向」二、省力化等を図るこ
とができるという効果が得られる。

又、本発明によれば、ウェーハの投入から洗浄工程を経
てこれの回収に至る一連の作業は、ウェーハを液中に常
時浸漬させた状態で行なわれるため、該ウェーハの乾燥
が防がれてこれの汚染や傷の発生か確実に防止されると
いう効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る自動洗浄装置の平面図、第２図は
同装置の側面図、第３図はウェーハフィダ一部の上半部
の側面図、第４図は同ウェーハフィーダ一部の要部の側
断面図、第５図は同平面図、第６図はカセットａ置台の
駆動機構を示す破断側面図、第７図は同破断正面図、第
８図はシャッター装置の破断正面図、第９図は同断面側
面図、第１０図は同シャッター装置の作用を示す第９図
と同様の図、第１１図は隔離セクション部の破断平面図
、第１２図は同破断側面図、第１３図はスクラバー部の
破断側面図、第１４図は同スクラバー部を第１３図の手
前側から見た要部の破断側面図、第１５図は同スクラバ
ー部の平面図、第１６図及び第１７図は同スクラバー部
の回転ブラシの駆動機構を示す破断平面図、第１８図は
第１７図ａ部（軸シール部）の拡大詳細図、第１９図は
第１８図のＸ−Ｘ線断面図、第２０図はウェーハ受取部
の平面図、第２１図は第２０図の矢視Ｙ方向の図、第２
２図は第２０図の矢視Ｚ方向の図、第２３図は同ウェー
ハ受取部（バケット部）の作用説明図、第２４図はウェ
ーハの洗浄状追を示す側面図、第２５図は同平面図であ
る。ｌ・・・自動洗浄装置、８〜１１・・・隔壁、１２・・
・シャッター装置、１３〜１７・・・タンク、２１・・
・プッシャー１２２・・・カセット載置台駆動機構、３
０・・・カセット、３２，８１，１５２・・・堰板、４
５゜４６・・・エアシリンダ（アクチュエータ）１４８
・・・バルブシート、５５・・・押圧部材、６２・・・
搬送機構、７１・・・流体噴出口、８３．８４・・・回
転ブラシ、１０２・・・アーム、１１１・・・シールリ
ング、１１７．１１８・・・ウェイト、１４９・・・ウ
ェーハ駆動軸、１５９・・・バケット、１６１・・・支
持部、１６２・・・凹収部、１６３・・・ガイドローラ
、１６４・・・カムプレート、Ａ・・・ウェーハフィダ
一部（ワークフィーダー部）、Ｂ、Ｂ’・・・隔離セク
ション部、Ｃ・・・スクラバー部、Ｄ・・・ウェーハ受
取部（ワーク受取部）、Ｗ・・・ウェーハ（ワーク）。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）洗浄すべきワークを液中で１枚ずつ供給するワー
クフィーダー部と、供給されたワークを液中で回転する
一対の回転ブラシ間に挟持してこれの両面を同時に洗浄
するスクラバー部と、該スクラバー部にて洗浄されたワ
ークを液中で受け取ってこれを回収するワーク受取部と
、前記スクラバー部と前記ワークフィーダー部及び／又
は前記ワーク受取部とを液体によって隔離する隔離セク
ション部と含んで構成されることを特徴とするワークの
自動洗浄装置。
（２）前記ワークフィーダー部、スクラバー部、隔離セ
クション部及びワーク受取部は各々ユニットを構成し、
これらユニットを連結するとともに、各ユニット間にこ
れらを連通、遮断するシャッター装置を介設して構成さ
れることを特徴とする請求項１記載のワークの自動洗浄
装置。
（３）前記シャッター装置は、前記各ユニットの隔壁に
形成された開口部の開口方向に対して直角方向に移動し
て該開口部を開閉するフィルム状のバルブシートと、該
バルブシートの閉時にこれを前記隔壁側に押圧すべき押
圧部材と、該押圧部材及び前記バルブシートを駆動すべ
きアクチュエータを含んで構成されることを特徴とする
請求項２記載のワークの自動洗浄装置。
（４）前記ワークは液中を搬送機構によって搬送され、
該搬送機構は液中にワークの搬送方向に向かって斜めに
開口する複数の液体噴出口を設けて構成されることを特
徴とする請求項１記載のワークの自動洗浄装置。
（５）前記ワークフィーダー部、スクラバー部、隔離セ
クション部及びワーク受取部の容器の側方には各容器内
からオーバーフローした液体を回収するタンクを有し、
各容器の側壁には液体のオーバーフロー量を調整すべく
その高さ位置が調整可能な堰板が設けられていることを
特徴とする請求項１記載のワークの自動洗浄装置。
（６）前記ワークフィーダー部は、複数のワークを層状
に積載収容して成るカセットを液中で所定量だけ上動又
は下動せしめる駆動機構と、前記カセット内に収容され
たワークを１枚ずつ押し出すプッシャーを含んで構成さ
れることを特徴とする請求項１記載のワークの自動洗浄
装置。
（７）前記スクラバー部は、液中で互いに逆方向に回転
駆動される一対の回転ブラシと、該回転ブラシの近傍に
上下動自在に設けられ、ワークの外周に当接して該ワー
クを水平面内で回転駆動するワーク駆動軸と、該ワーク
駆動軸をワークの搬送方向に所定量だけ往復動せしめる
機構を含んで構成されることを特徴とする請求項１記載
のワークの自動洗浄装置。
（８）前記一対の回転ブラシの少なくとも一方は、他方
の回転ブラシに対して揺動可能に支持され、該回転ブラ
シの他方の回転ブラシへの押圧力はこれを支持するアー
ムの両端部に載せられるウェイトによって調整されるこ
とを特徴とする請求項７記載のワークの自動洗浄装置。
（９）前記揺動可能に支持される回転ブラシの回転軸が
貫通する部位は、該回転軸の外周に嵌合され、これと共
に摺動可能なシールリングによってシールされることを
特徴とする請求項８記載のワークの自動洗浄装置。
（１０）前記ワーク受取部は、洗浄されたワークを液中
で回収するバケットを有し、該バケットは、上下動せし
められる支持部と、該支持部に回動自在に枢着され、そ
の下部にガイドローラを軸支して成る袋状の回収部とで
構成され、該回収部に軸支された前記ガイドローラがカ
ムプレートに沿って転動することによって当該回収部は
水平状態から垂直状態にその姿勢を変えることを特徴と
する請求項１記載のワークの自動洗浄装置。