JPS61127139U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61127139U JPS61127139U JP14365984U JP14365984U JPS61127139U JP S61127139 U JPS61127139 U JP S61127139U JP 14365984 U JP14365984 U JP 14365984U JP 14365984 U JP14365984 U JP 14365984U JP S61127139 U JPS61127139 U JP S61127139U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- groove
- nozzle
- transfer device
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
第1図は本考案を示す平面図、第2図は従来の
搬送装置を示す平面図、第3図は第2図の―
の断面図、第4図は第1図の―の断面図、第
5図は他の実施例を示す断面図。 1……ウエハー、2……OF、3,4……案内
、5……プツシヤー、6……研削軸、7,8……
とい、9,10……ノズル、11,12……とい
溝。
搬送装置を示す平面図、第3図は第2図の―
の断面図、第4図は第1図の―の断面図、第
5図は他の実施例を示す断面図。 1……ウエハー、2……OF、3,4……案内
、5……プツシヤー、6……研削軸、7,8……
とい、9,10……ノズル、11,12……とい
溝。
補正 昭61.2.24
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 ウエハー搬送装置
Claims (1)
- ウエハーの移動方向に沿つて、ウエハーの下面
に接するとい(7,8もしくは11,12)を設
けるとともに、液体をこのといの溝に滴下するノ
ズルを設けたウエハーの搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14365984U JPS61127139U (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14365984U JPS61127139U (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61127139U true JPS61127139U (ja) | 1986-08-09 |
Family
ID=30701949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14365984U Pending JPS61127139U (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61127139U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0370133A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワークの自動洗浄装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5632403U (ja) * | 1979-08-20 | 1981-03-30 |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP14365984U patent/JPS61127139U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5632403U (ja) * | 1979-08-20 | 1981-03-30 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0370133A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワークの自動洗浄装置 |