KR20230111333A - 링 세척 시스템 - Google Patents

Abstract

링 세척 시스템이 개시된다.
본 발명의 일례에 의한 링 세척 시스템은 링이 안착되는 링 안착부; 상기 링 안착부에 안착된 링을 회전시키는 링 회전부; 및 세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 세척 테이프가 상기 링의 상부면 또는 하부면에 접촉하는 링 클리너를 포함한다.

Description

링 세척 시스템{Ring cleaning system}

본 발명은 링 세척 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 사용이 완료된 웨이퍼 유닛에서 웨이퍼 필름과 분리된 링의 표면에 잔류하는 접착물질을 자동으로 신속하게 제거할 수 있는 링 세척 시스템에 관한 것이다.

웨이퍼로부터 반도체 칩을 얻기까지는 크게 세 번의 처리 공정을 거침이 일반적이다. 먼저 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 성장시켜 만든 잉곳(Ingot)을 슬라이스해서 웨이퍼로 만들고, 다음으로 전공정을 통해 웨이퍼 전면에 트랜지스터를 새기고, 마지막으로 후공정에 해당하는 패키징 공정에서 웨이퍼를 육면체 모양의 개별 칩으로 나누는 다이싱(Dicing) 작업을 진행하여 개별 반도체 칩으로 나누게 된다.

통상적으로 다이싱 작업은 링에 고정된 웨이퍼 필름 상에 웨이퍼를 안착시킨 상태에서 이루어지게 되며, 이는 다이싱 작업의 효율성 제고 및 다이싱 작업이 완료된 웨이퍼(구체적으로는 개별 칩으로 나누어진 반도체 칩의 집합체)의 이동 및 활용의 편의성을 위해서이다.

사용이 완료되고 남은 웨이퍼, 즉 기준을 충족하지 못한 웨이퍼는 웨이퍼 필름에 부착된 상태로 수거되어 관리되며, 링은 세척 후 재사용된다

링의 일면에 웨이퍼 필름이 접착물질에 의하여 접착되어 있는데, 종래에는 수작업으로 웨이퍼 필름과 링을 분리하였으며, 링의 세척 역시도 작업자의 수작업에 의함으로써 웨이퍼 필름과 링의 분리 및 링의 세척에 많은 비용과 시간이 소요되는 문제점이 있었다.

대한민국 공개특허 제10-2011-0091813호(공개일자 : 20211.08.12)

본 발명은 상술한 점을 감안하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 필름과 분리된 링의 표면을 자동으로 그리고 신속하게 세척하는 링 세척 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 목적은 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 링 세척 시스템은 링이 안착되는 링 안착부; 상기 링 안착부에 안착된 링을 회전시키는 링 회전부; 및 세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 세척 테이프가 상기 링의 상부면 또는 하부면에 접촉하는 링 클리너를 포함한다.

상기 링 안착부는 상기 링의 하부면을 받치는 복수개의 가이드 롤러를 포함한다.

상기 링 회전부는 상기 링 안착부에 안착된 링의 내주 안쪽에 배치된 복수개의 회전 롤러와, 상기 복수개의 회전 롤러를 상기 링의 내주에 가압하여 밀착시키는 롤러 가압유닛과, 상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링의 내주에 밀착된 상태에서 상기 복수개의 회전 롤러를 회전 구동시키는 롤러 구동 유닛을 포함한다.

상기 롤러 가압유닛은, 상기 링의 중심에 대하여 방사상으로 배치된 복수개의 레일과, 상기 복수개의 회전 롤러 각각의 축이 설치되며, 상기 복수개의 레일 각각을 따라 슬라이딩 이동하는 복수개의 슬라이더와, 복수개의 링크에 의해 상기 복수개의 슬라이더와 연결되며, 일방향으로 회전하여 상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링의 내주에 밀착하는 방향으로 상기 슬라이더를 전진시키거나, 반대방향으로 회전하여 상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링과 이격되는 방향으로 복수개의 슬라이더를 후퇴시키는 중심 회전 블록을 포함한다.

상기 롤러 구동 유닛은, 상기 복수개의 회전 롤러의 축 사이를 첫번째 회전 롤러의 축에서 마지막 회전 롤러의 축까지 차례로 연결하는 복수개의 연결 벨트와, 모터에 의해 회전하는 구동축과 상기 첫번째 회전 롤러의 축 사이에 설치된 구동 벨트를 포함한다.

상기 복수개의 회전 롤러의 위치 변화에 대응하여 상기 연결 벨트의 텐션을 유지시키는 복수개의 벨트 텐셔너를 더 포함한다.

상기 복수개의 벨트 텐셔너 각각은 텐셔너 가이드와, 상기 텐셔너 가이드를 따라 이동 가능하게 설치된 텐셔너 블록과, 상기 텐셔너 블록에 설치되며 상기 복수개의 연결 벨트 각각의 내측에 접하는 텐셔너 휠과, 상기 텐셔너 휠이 상기 연결 벨트를 밀도록 상기 텐서녀 블록을 편향시키는 스프링을 포함한다.

상기 링 클리너는, 상기 링 회전부 주변에 고정 설치된 장착 프레임과, 상기 장착 프레임에 분리가능하게 장착되며, 상기 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고, 상기 세척 테이프의 처짐부가 나와 상기 링의 상부면 또는 하부면과 접촉되는 것을 허용하는 카트리지와, 상기 처짐부를 상기 링의 상부면 또는 하부면을 향해 누르는 누름유닛을 더 포함한다.

상기 링 클리너는, 상기 처짐부가 상기 링과 마주하도록 상기 장착 프레임을 수평 이동시키는 프레임 수평 이송유닛과, 상기 처짐부가 상기 링에 밀착하도록 상기 장착 프레임을 수직 이동시키는 수직 이송유닛을 더 포함한다.

상기 링 클리너는 상기 한 쌍의 릴 중 하나의 릴의 축을 회전 구동하여 상기 세척 테이프를 일측의 릴의 축에 감거나 푸는 와인더를 더 포함한다.

상기 클리너는 상기 세척 테이프에 세척액을 공급하는 세척액 공급유닛을 더 포함한다.

상기 링 클리너는, 상기 릴 각각에 형성된 고정홀과, 상기 카트리지의 베이스판에 회동가능하게 설치된 아암과, 상기 아암에 형성되며 스프링에 의해 편향되어 상기 고정홀에 끼워지는 고정핀과, 상기 고정홀에서 상기 고정핀이 빠지는 방향으로 상기 아암을 회동시키는 핀 액추에이터를 더 포함한다.

상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임을 더 포함하고, 상기 누름유닛은 상기 이동 프레임에 설치된 누름 실린더, 상기 누름 실런더의 선단에서 상기 장착 프레임을 지나 상기 처짐부에 끼워지고 상기 누름 실린더의 신장에 의해 상기 처짐부를 상기 링의 상부면 또는 하부면을 향해 누르는 누름 샤프트를 포함하며, 상기 이동 프레임의 이동에 의해 상기 누름 샤프트가 상기 처짐부에 끼워지거나 상기 처짐부에서 벗어난다.

상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임과, 상기 이동 프레임에 설치된 서보모터 및 상기 서보모터에 의해 회전하며 상기 장착 프레임을 지나 상기 한 쌍의 릴 중 하나에 릴의 축에 접속되는 회전축을 포함하는 와인더를 더 포함하고, 상기 이동 프레임의 이동에 의해 상기 회전축이 상기 한 쌍의 릴 중 하나의 릴의 축에 접속되거나 분리된다.

상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임과, 상기 이동 프레임에 설치된 새척액 공급통, 상기 세척액 공급통에서 상기 장착 프레임을 지나 상기 처짐부 근처로 연장된 세척액 공급관을 포함하는 세척액 공급유닛을 더 포함한다.

상기 링 클리너는, 상부 세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 상부 세척 테이프가 상기 링의 상부면에 접촉하는 상부 링 클리너와, 하부 세척 테이프를 구비하고 상기 링이 회전하는 동안 상기 하부 세척 테이프가 상기 링의 하부면에 접촉하는 하부 링 클리너를 포함한다.

상기 상부 링 클리너는, 상부 장착 프레임과, 상기 상부 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고 상기 상부 세척 테이프의 처짐부가 아래로 나와 상기 링의 상부면과 접촉되는 것을 허용하는 상부 카트리지와, 상기 상부 세척 테이프의 처짐부를 상기 링의 상부면을 향해 누르는 상부 누름유닛을 포함하고, 상기 하부 링 클리너는, 하부 장착 프레임과, 상기 하부 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고 상기 하부 세척 테이프의 처짐부가 위로 나와 상기 링의 하부면에 접촉되는 것을 허용하는 하부 카트리지와, 상기 하부 세척 테이프의 처짐부를 상기 링의 하부면을 향해 누르는 하부 누름유닛을 포함한다.

상기 링 세척 시스템은 상기 상부 장착 프레임을 상하로 가이드하는 상부 수직 레일부와, 상기 하부 장착 프레임을 상하로 가이드하는 하부 수직 레일부와, 상기 상부 수직 레일부와 상기 하부 수직 레일부가 설치된 지지 프레임과, 상기 지지 프레임의 좌우 수평이동을 가이드하는 수평 레일부와, 상기 수평 레일부를 따라 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 이송유닛과, 상기 상부 장착 프레임을 상기 상부 수직 레일부를 따라 수직 이동시키는 상부 수직 이송유닛과, 상기 하부 장착 프레임을 상기 하부 수직 레일부를 따라 수직 이동시키는 하부 수직 이송유닛을 포함한다.

상기 링 세척 시스템은 투입될 링을 보유하는 투입 스테이션과, 세척이 끝난 링을 보유하는 배출 스테이션과, 상기 투입 스테이션이 보유한 링을 픽업하여 상기 링 안착부에 로딩하고, 세척이 끝난 링을 상기 링 안착부에서 픽업하여 상기 배출 스테이션에 언로딩하는 링 이송 장치를 더 포함한다.

상기 링 이송 장치는, 상기 링 안착부의 좌우에 상기 링 안착부의 상단보다 높게 전후로 설치된 한 쌍의 거더 레일과, 상기 한 쌍의 거더 레일을 가로질러 설치되어 상기 한 쌍의 거더 레일을 따라 전후로 이동하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 교차하도록 결합된 제2 빔과, 상기 제1 빔을 기준으로 상기 제2 빔의 일측에 설치된 제1 수직 레일과, 상기 제1 빔을 기준으로 상기 제2 빔의 반대측에 설치된 제2 수직 레일과, 상기 제1 수직 레일을 따라 상하로 이동하며, 상기 투입 스테이션이 보유한 링을 픽업하여 상기 링 안착부에 로딩하는 로딩척과, 상기 제2 수직 레일을 따라 상하 이동하며, 세척이 끝난 링을 상기 링 안착부에서 픽업하여 상기 배출 스테이션에 언로딩하는 언로딩척을 포함한다.

상술한 바와 같은 본 발명에 의할 경우, 웨이퍼 필름과 분리된 링의 표면에 잔류하는 접착물질 등의 이물질을 자동으로 신속하게 제거할 수 있게 된다.

본 발명의 효과는 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 링 세척 시스템을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 세척 시스템을 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 링 세척 시스템을 나타낸 측단면도이다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 링 세척 시스템의 링 세척 장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 링 세척 장치의 평면도이다.
도 6은 도 4 및 도 5에 도시된 링 세척 장치의 링 회전부가 링을 회전하기 직전 상태를 도시한 사시도이다.
도 7은 링 세척 장치의 링 회전부를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 4 및 도 5에 도시된 링 세척 장치의 링 클리너 세트를 안쪽을 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8에 도시된 링 클리너 세트의 바깥쪽을 도시한 사시도이다.
도 10은 도 8 및 도 9에 도시된 링 클리너 세트의 안쪽을 도시한 입면도이다.
도 11은 상부 카트리지와 하부 카트리지를 나타낸 도면이다.
도 12의 (a) 및 (b)는 상부 카트리지와 하부 카트리지의 배면 측을 보인 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다.

또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 부분의 설명은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.

도 1 내지 도 3에 잘 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 링 세척 시스템(1)은, 작업 베드(2)와, 작업 베드(2) 상의 일측에 배치되며 투입될 링(R)을 보유하는 투입 스테이션(3)과, 작업 베드(2) 상의 타측에 배치되며 세척이 끝난 링(R)을 보유하는 배출 스테이션(4)과, 투입 스테이션(3)과 배출 스테이션(4) 사이에 설치되는 링 세척 장치(5)를 포함한다. 또한, 링 세척 장치(5)는 세척을 위해 링(R)이 안착되는 링 안착부(10)와, 링 안착부(10)에 안착된 링(R)을 회전시키는 링 회전부(20)와, 링(R)이 회전하는 동안 링(R)의 상부면과 하부면을 세척하는 링 클리너(30)들, 즉 상부 링 클리너(30a)와 하부 링 클리너(30b)를 포함한다.

링(R)은 웨이퍼(미도시됨)가 안착된 웨이퍼 필름(미도시됨)의 고정을 위해 사용된 후 웨이퍼 필름으로부터 분리된 것일 수 있다. 링(R)의 상부면 또는 하부면에는 접착물질이 잔류하는데, 본 실시예에 따른 링 세척 시스템(1)이 링(R)의 상부면과 하부면을 모두 세척할 수 있으므로 세척될 면을 따로 구분할 수고가 필요치 않다. 또한, 링 세척 시스템(1)은 링(R)에 잔류하는 접착물질 뿐 아니라 다른 이물질도 함께 세척할 수 있다.

투입 스테이션(3)은, 대략 원형으로 배열된 복수개의 가이드 포스트(3a)에 의해 베드(2) 상의 일측에 형성되며, 세척될 링(R)들이 가이드 포스트(3a)들에 의해 정렬된 상태로 보유된다. 배출 스테이션(4)은, 대략 원형으로 배열된 복수개의 가이드 포스트(4a)에 의해, 베드(2)의 상의 타측에 형성되며, 세척이 완료된 링(R)들이 가이드 포스트(4a)들에 의해 정렬된 상태로 보유된다.

또한, 링 세척 시스템(1)은 투입 스테이션(3)이 보유한 링(R)을 픽업하여 링 안착부(10)에 안착시키고, 세척이 끝난 링(R)을 링 안착부(10)에서 픽업하여 상기 배출 스테이션(4)에 언로딩하는 링 이송 장치(6)를 더 포함한다. 본 실시예에서, 링 이송 장치(6)는 링 안착부(10)의 좌우에서 링 안착부(10)의 상단보다 높게 그리고 전후로 길게 설치된 한 쌍의 거더 레일(61, 61)과, 한 쌍의 거더 레일(61, 61)을 가로지르도록 설치되고 한 쌍의 거더 레일(61, 61)을 따라 전후로 이동하는 제1 빔과(62), 제1 빔(62)과 교차하도록 결합된 제2 빔(63)과, 제1 빔(62)을 기준으로 제2 빔(63)의 일측에 설치된 제1 수직 레일(64a)과, 제1 빔(62)을 기준으로 제2 빔(63)의 반대측에 설치된 제2 수직 레일(64b)과, 제1 수직 레일(64a)을 따라 상하로 이동하며 투입 스테이션(3)이 보유한 링(R)을 픽업하여 링 안착부(10)에 로딩하는 로딩척(65a)과, 제2 수직 레일(64b)을 따라 상하 이동하며 세척이 끝난 링(R)을 상기 링 안착부(10)에서 픽업하여 배출 스테이션(4)에 언로딩하는 언로딩척(65b)을 포함한다. 예컨대, 모터 및 모터에 의해 회전하는 수평 이송 스크류를 포함하는 수평 이송 구동유닛이 제1 빔(62)을 한 쌍의 거더 레일(61, 61)을 따라 전후로 이동시키는 것에 의해 로딩척(65a)과 언로딩척(65b)이 동시에 전진 또는 후퇴하며, 예컨대, 모터들 및 모터들에 의해 회전하는 수직 이송 스크류들을 포함하는 제1 및 제2 수직 이송 구동유닛에 의해 로딩척(65a) 및 언로딩척(65b)이 제1 수직 레일(64a) 및 제2 수직 레일(64b)을 따라 상승 또는 하강할 수 있다. 따라서, 로딩척(65a) 및 언로딩척(65b)은, 하나의 수평 이송 구동유닛에 의해 동시에 수평 이동될 수 있고, 수평 이동된 상태에서, 제1 및 제2 척 수직 이송 구동유닛에 의해 개별적으로 그리고 차례로 수직 이동될 수 있다.

도 4 내지 도 7에 잘 도시된 바와 같이, 링 안착부(10)에는 세척을 위해 링(R)이 안착된다. 링 안착부(10)는 수직 구동 실린더에 의해 상하로 승강되는 원형의 베이스(9) 상에 링(R)의 형태에 상응하는 원형 배열로 세워져 설치된 복수개의 지지 포스트(12)를 포함한다. 또한, 링 안착부(10)는 복수개의 지지 포스트(12)의 상단에 회전가능하게 설치되며 안착된 링(R)의 하부면을 받치는 복수개의 가이드 롤러(14)를 포함한다. 가이드 롤러(14)의 외주면이 링(R)의 하부면에 접하며, 이하 설명되는 바와 같이 링(R)이 회전하면, 복수개의 가이드 롤러(14)는 링(R)과 접촉하여 회전한다.

한편, 링 회전부(20)는 링 안착부(10)에 안착된 링(R)을 흐트러짐 없이 회전시키기 위한 것으로서, 링 안착부(10)의 안쪽에 있도록 베이스(9) 상에 설치된다. 또한, 상기 링 회전부(20)는 상기 링 안착부(10)에 안착된 링(R)의 내주 안쪽에 사각형으로 배열된 4개의 회전 롤러(21)와, 4개의 회전 롤러(21)를 링(R)의 내주에 가압하여 밀착시키는 롤러 가압유닛과, 4개의 회전 롤러(21)가 링(R)의 내주에 밀착된 상태에서 4개의 회전 롤러(21)를 회전 구동시키는 롤러 구동 유닛을 포함한다.

복수개의 회전 롤러(21) 각각은 링(R)의 내주가 끼워질 수 있도록 외주면에 홈을 구비한다. 그리고, 홈의 내부면이 링(R)의 내주와 밀착된다. 롤러 가압유닛에 의해 회전 롤러(21)가 링(R)의 내주에 밀착된 상태에서, 링(R)의 내주가 홈에 끼워져 있으므로, 링 회전부(20)에 의해 링(R)이 회전하는 동안, 링(R)의 미세한 상하 움직임도 억제될 수 있다.

위와 같이 4개의 회전 롤러(21)는 사각형, 보다 바람직하게는 정사각형으로 배열되는 것이 가장 유리하다. 그러나, 상기와 같은 회전 롤러(21)이 개수 또는 배열이 본 발명을 한정하는 것은 아니고, 다양한 개수의 회전 롤러가 다양한 배열로 배치될 수 있다.

롤러 가압유닛은, 링(R)의 중심에 대하여 방사상으로 배치되고 중심을 지나는 반지름 방향으로 연장된 복수개의 레일(221)과, 복수개의 회전 롤러(21) 각각의 축(211)이 상부면에 설치되며, 복수개의 레일(221) 각각을 따라 슬라이딩 이동하는 복수개의 슬라이더(222)와, 양단에 힌지를 갖는 복수개의 링크(223)에 의해 복수개의 슬라이더(222)와 연결되는 중심 회전 블록(224)을 포함한다. 중심 회전 블록(224)은 모터(미도시됨)에 의해 제1 회전 위치로부터 제2 회전 위치로 또는 제2 회전 위치로부터 제1 회전 위치로 회전될 수 있다. 제1 회전 위치에 있는 중심 회전 블록(224)이 제2 회전 위치로 일방향 회전하면, 이에 따라 링크(223) 각각에 의해 밀린 슬라이더(222)가 레일(221)을 따라 반지름 방향으로 전진하여, 회전 롤러(21)는 링(R)의 내주에 밀착된다. 제2 회전 위치에 있는 중심 회전 블록(224)이 제1 회전 위치로 반대 방향 회전하면, 이에 따라 링크(223)가 당겨져 경사지게 되면서 슬라이더(222)가 레일(221)을 반지름 방향으로 후퇴하여, 회전 롤러(21)는 링(R)의 내부로부터 이격된다. 이 상태에서는 세척이 완료된 링(R)이 분리될 수 있다.

본 실시예에서, 중심 회전 블록(224)은 중심을 기준으로 90도 간격으로 배열된 4개의 브랜치(2241)를 포함하고, 4개의 링크(223)는 양단의 힌지에 의해 브랜치(2241) 및 슬라이더(222)와 연결된다. 제1 회전 위치에서는 서로 대응하는 브랜치(2241)와 슬라이더(222)가 정해진 범위 내에서 최대한으로 어긋나 있고, 이에 따라 대응하는 링크(223) 또한 경사지게 어긋나 있다. 따라서 제1 회전 위치에서는 중심 회전 블록(224)의 중심과 회전 롤러(21) 사이의 거리가 최소가 된다. 반면, 제2 회전 위치에서는 서로 대응하는 브랜치(2241) 및 슬라이더(222)와 그 사이를 연결하는 링크(223)가 반지름 방향을 따라 동일 선상에 놓이게 되며, 따라서 중심 회전 블록(224)의 중심과 회전 롤러(21) 사이의 거리가 최대로 멀어지게 된다.

롤러 구동 유닛은, 4개의 회전 롤러(21a, 21b, 21c, 21d; 통칭하여 21)의 축(211) 사이를 첫번째 회전 롤러(21a)의 축에서 마지막 회전 롤러(21d)의 축까지 차례로 연결하는 3개의 연결 벨트(234)와, 모터(231)에 의해 회전하는 구동풀리(232)와, 첫번째 회전 롤러(21a)의 축(221) 사이에 설치된 구동 벨트(233)를 포함한다. 4개의 회전 롤러(21a, 21b, 21c, 21d: 통칭하여 21)가 링(R)의 내주에 밀착된 상태에서 모터(231)에 의하여 구동풀리(232)가 회전하면, 구동풀리(232)와 첫번째 회전 롤러(21a)의 축(211)에 걸쳐져 설치된 구동 벨트(233)가 구동되어 첫번째 회전 롤러(21a)가 회전하며, 이와 동시에 3개의 연결 벨트(234)에 의해 차례로 연결된 나머지 3개의 회전 롤러(21b, 21c 21c)들도 동시에 회전하게 된다. 따라서 링(R)의 내주에 밀착된 4개의 회전 롤러(21)가 동시에 회전하여 링(R)이 가이드 롤러(14)들을 포함하는 링 안착부(10) 상에서 일방향으로 회전하게 된다.

또한, 4개의 회전 롤러(21)의 위치 변화에 대응하여, 3개의 연결 벨트(234) 각각의 텐션을 유지시키는 3개의 벨트 텐셔너(24)가 더 제공된다. 벨트 텐셔너(24) 각각은 베이스(9) 상의 중심에서 반지름 방향으로 연장되고 일정 간격으로 배열된 텐셔너 가이드(241)와, 텐셔너 가이드(241)를 따라 이동 가능하게 설치된 텐셔너 블록(242)과, 텐셔너 블록(242)에 설치되며 연결 벨트(234) 각각의 내측에 접하는 텐셔너 휠(243)과, 텐셔너 휠(243)이 연결 벨트(234)를 밀도록 텐셔너 블록(242)을 편향시키는 스프링(244)을 포함한다. 본 실시예에서, 텐셔너 가이드(241)는 서로 평행한 두개의 가이드 봉으로 이루어지며, 텐셔너 블록(242)은 두개의 가이드 봉이 슬라이딩 가능하게 삽입되는 두개의 가이드홀을 구비한다. 두개의 스프링(244)은 두개의 가이드 봉에 끼워진 채 두개의 가이드 봉의 단부를 지지하는 지지단과 텐션너 블록(242) 사이에 압축된 상태로 개재된다.

도 4 및 도 5와 도 8 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 각각 상부 링 클리너(30a)와 하부 링 클리너(30b)를 포함하는 한 쌍의 링 클리너 세트가 전술한 링 안착부(10) 및 링 회전부(12)를 사이에 두고 좌우 양측에 배치된다. 상부 및 하부 링 클리너(30a, 30b: 통칭하여 30) 각각은 예컨대 천 소재로 이루어진 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)를 포함하고, 링(R)이 링 안착부(10) 상에서 링 회전부(20)에 의해 회전하는 동안 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)의 일부인 처짐부(81a, 81b)를 링(R)의 상부면 및 하부면에 접촉시켜 링(R)을 세척한다. 이때, 세척 테이프(8a, 8b)에는 세척액이 공급된다.

상부 링 클리너(30a)는, 상부 장착 프레임(31a)과, 상부 장착 프레임(31a)에 분리가능하게 장착되되 상부 세척 테이프(8a)를 유지하는 한 쌍의 릴(321a, 321a)을 포함하고 상부 세척 테이프(8a)의 처짐부(81a)가 아래로 나와 링(R)의 상부면과 접촉되는 것을 허용하는 상부 카트리지(32a)와, 상부 세척 테이프(8a)의 처짐부(81a)를 링(R)의 상부면을 향해 누르는 상부 누름유닛(33a)을 포함한다.

또한, 하부 링 클리너(30b)는 하부 장착 프레임(31b)과, 하부 장착 프레임(31b)에 분리 가능하게 장착되되 하부 세척 테이프(8b)를 유지하는 한 쌍의 릴(321b, 321b)을 포함하고 하부 세척 테이프(8b)의 처짐부(81b)가 위로 나와 링(R)의 하부면에 접촉되는 것을 허용하는 하부 카트리지(32b)와, 상기 하부 세척 테이프(8b)의 처짐부(81b)를 링(R)의 하부면을 향해 누르는 하부 누름유닛(33b)을 포함한다.

이때, 상부 장착 프레임(31a)에 분리가능하게 장착된 상부 카트리지(32a)와 하부 장착 프레임(31b)에 분리가능하게 장착된 하부 카트리지(32b) 사이에 링(R)이 위치하며, 따라서 링(R)을 사이에 두고 서로 대향하는 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)의 처짐부들(81a, 81b)이 링(R)의 상부면과 하부면에 접촉하여 동시에 세척을 수행할 수 있게 된다.

또한, 링 클리너 세트 각각은 상부 장착 프레임(31a)을 상하로 가이드하는 상부 수직 레일부(302a)와, 하부 장착 프레임(31b)을 상하로 가이드하는 하부 수직 레일부(302b)와, 상부 수직 레일부(302a)와 하부 수직 레일부(302b)가 상하 이격된 상태로 설치되는 지지 프레임(303)과, 지지 프레임(303)의 좌우 수평이동을 가이드하는 수평 레일부(304)와, 수평 레일부(304)를 따라 지지 프레임(303)을 수평 이동시키는 수평 이송유닛(305)와, 상부 장착 프레임(31a)을 상부 수직 레일부(302a)를 따라 수직 이동시키는 상부 수직 이송유닛(306a)과, 하부 장착 프레임(31b)을 하부 수직 레일부(302b)를 따라 수직 이동시키는 하부 수직 이송유닛(306b)을 포함한다.

수평 이송유닛(305), 상부 수직 이송유닛(306a) 및 하부 수직 이송유닛(306b)은 구동실린더이거나, 예컨대 이송나사(또는 볼스크류)와 모터를 포함하는 구동장치거나 또는 랙과 피니언을 포함하는 구동장치일 수 있다.

링 안착부(10)에 링(R)이 안착되면, 수평 이송유닛(305)이 구동하여 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b)이 연결되어 있는 지지 프레임(303)을 수평 이동시키며, 이에 의해 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b)에 장착된 상부 카트리지(32a)와 하부 카트리지(32b)는 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)의 처짐부(81a, 81b)가 링(R)의 상부면 및 하부면과 마주하는 위치까지 이동된다. 이 상태에서, 상부 수직 이송유닛(306a)이 상부 장착 프레임(31a)을 하강시키고 하부 수직 이송유닛(306b)이 하부 장착 프레임(31b)을 상승시켜, 상부 세척 테이프(8a)의 처짐부(81a)를 링(R)의 상부면에 접촉시키는 한편, 하부 세척 테이프(8b)의 처짐부(81b)를 링(R)의 하부면에 접촉시킨다.

이때, 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)가 플렉시블한 특성을 가지므로 상부 및 하부 세척 테이프(8a, 8b)의 처짐부(81a, 81b)가 링(R)의 상부면 및 하부면에 접촉하여 세척을 수행하는 동안 처짐부(81a, 81b)의 형태를 유지시키면서 그 처짐부(81a, 81b)를 링(R)의 상부면과 하부면에 강하게 밀착시키는 상부 누름유닛(33a) 및 하부 누름유닛(33b)이 필요하다.

또한, 링 클리너 세트는 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b) 배면과 각각 이격된 상태로 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b) 각각에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 상부 이동 프레임(34a) 및 하부 이동 프레임(34b)을 더 포함한다.

상부 누름유닛(33a) 및 하부 누름유닛(33b) 각각은 상부 이동 프레임(34a) 및 하부 이동 프레임(34b) 각각에 설치된 누름 실린더(331a, 331b), 누름 실런더(331a, 331b)의 선단 블록(332a, 332b)에서 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b)과 상부 카트리지(32a) 및 하부 카트리지(32b)의 베이스판을 지나도록 연장되어 상부 세척 테이프(8a)의 처짐부(81a) 및 하부 세척 테이프(8b)의 처짐부(81b)를 링(R)의 상부면 또는 하부면을 향해 누르는 누름 샤프트(343a, 343b)를 포함한다. 누름 실린더(331a, 331b)의 신장에 의해 처짐부(81a, 81b)가 아래로 또는 위로 강하게 당겨진다. 상부 이동 프레임(34a) 및 하부 이동 프레임(34b)이 상부 장착 프레임(31a) 및 하부 장착 프레임(31b)과 가까워지는 방향 또는 그 반대 방향으로의 이동되는 것에 의해, 누름 샤프트(343a, 343b)가 처짐부(81a, 81b)에 끼워지거나 또는 처짐부(81a, 81b)로부터 벗어날 수 있게 된다.

또한, 상부 및 하부 링 클리너(31a, 31b)는 상부 및 하부 이동 프레임(34a, 34b)에 설치된 서보모터(351a, 351b) 및 서보모터(351a, 351b)에 의해 회전하며 상부 및 하부 장착 프레임(31a, 31b)을 지나 한 쌍의 릴 중 하나의 릴(32a, 32b)의 축에 접속되는 회전축(352a, 352b)을 포함하는 와인더(35a, 35b)를 더 포함한다. 상부 및 하부 이동 프레임(34a, 34b)의 이동에 의해 회전축(352a, 352b)이 한 쌍의 릴 중 하나의 릴(32a, 32b)의 축에 접속되거나 축으로부터 분리될 수 있다. 회전축(352a, 352b)과 축의 접속부(7) 형상은 도 12에 표시된다.

또한, 링 클리너(31a, 31b)는 세척액 공급유닛(36)을 더 포함한다. 세척액 공급유닛(36)은 이동 프레임(34a, 34b)에 설치된 새척액 공급통(361), 세척액 공급통(361)에서 장착 프레임(31a, 31b)을 지나 세척 테이프(8a, 8b)의 처짐부(81a, 81b) 근처로 연장된 세척액 공급관(362)을 포함한다. 세척액 공급관(362)의 말단에는 점진적으로 유로가 좁아지는 세척액 노즐이 형성되며, 이 세척액 노즐은 처짐부(81a, 81b)를 향해 있다.

또한, 링 클리너(30a, 30b)는 릴(321a, 321a) 각각에 형성된 고정홀(h)과, 상부 및 하부 카트리지(32a, 32b)의 베이스판에 회동가능하게 설치된 아암(327)과, 그 아암(327)의 선단에 형성되며 아암(327)이 스프링(328)에 의해 편향되어 고정홀(h)에 끼워지는 고정핀(3271)을 포함한다. 고정홀(h)에서 고정핀(3271)이 빠지는 방향으로 상기 아암(327)을 회동시키는 핀 액추에이터(329)가 상부 및 하부 이동 프레임(34a, 34b)에 설치될 수 있다.

또한, 상부 및 하부 장착 프레임(31a, 31b) 각각에는 상부 및 하부 카트리지(32a, 32b)를 분리 가능하게 고정하는 카트리지 고정유닛이 구비된다. 본 실시예에서, 카트리지 고정유닛은 상부 및 하부 장착 프레임(31a, 31b)에 설치되며, 스프링(391)들에 상부 및 하부 카트리지(32a, 32b)의 케이스의 상부 또는 하부에 형성된 록킹홀에 삽입되는 방향으로 편향된 록킹 샤프트(392)들과, 상부 및 하부 장착판(31a, 31b)에 형성되며 상부 및 하부 카트리지(31a, 3b)의 케이스의 양 측부에 형성된 홀딩홀들에 끼워지는 홀딩 삽입편(393)들을 포함한다. 또한, 상부 및 하부 카트리지(31a, 31b)에는 한 쌍의 릴(321a, 321a 또는 321b, 321b) 각각의 주변에 설치되어 릴(321a, 321a 또는 321b, 321b)에 대하여 회전 마찰력을 제공하는 휠 가이드(395)들이 설치될 수 있다.

지금까지, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

8a, 8b: 세척 테이프 81a, 81b: 처짐부
10: 링 안착부 14: 가이드 롤러
20: 링 회전부 21: 회전 롤러
24: 벨트 텐셔너 30, 30a, 30b: 링 클리너
32a, 32b: 카트리지

Claims (20)

1. 링이 안착되는 링 안착부;
   상기 링 안착부에 안착된 링을 회전시키는 링 회전부; 및
   세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 세척 테이프가 상기 링의 상부면 또는 하부면에 접촉하는 링 클리너를 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 링 안착부는 상기 링의 하부면을 받치는 복수개의 가이드 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 링 회전부는
   상기 링 안착부에 안착된 링의 내주 안쪽에 배치된 복수개의 회전 롤러와,
   상기 복수개의 회전 롤러를 상기 링의 내주에 가압하여 밀착시키는 롤러 가압유닛과,
   상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링의 내주에 밀착된 상태에서 상기 복수개의 회전 롤러를 회전 구동시키는 롤러 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 롤러 가압유닛은,
   상기 링의 중심에 대하여 방사상으로 배치된 복수개의 레일과,
   상기 복수개의 회전 롤러 각각의 축이 설치되며, 상기 복수개의 레일 각각을 따라 슬라이딩 이동하는 복수개의 슬라이더와,
   복수개의 링크에 의해 상기 복수개의 슬라이더와 연결되며, 일방향으로 회전하여 상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링의 내주에 밀착하는 방향으로 상기 슬라이더를 전진시키거나, 반대방향으로 회전하여 상기 복수개의 회전 롤러가 상기 링과 이격되는 방향으로 복수개의 슬라이더를 후퇴시키는 중심 회전 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 롤러 구동 유닛은,
   상기 복수개의 회전 롤러의 축 사이를 첫번째 회전 롤러의 축에서 마지막 회전 롤러의 축까지 차례로 연결하는 복수개의 연결 벨트와,
   모터에 의해 회전하는 구동축과 상기 첫번째 회전 롤러의 축 사이에 설치된 구동 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 복수개의 회전 롤러의 위치 변화에 대응하여 상기 연결 벨트의 텐션을 유지시키는 복수개의 벨트 텐셔너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 복수개의 벨트 텐셔너 각각은
   텐셔너 가이드와,
   상기 텐셔너 가이드를 따라 이동 가능하게 설치된 텐셔너 블록과,
   상기 텐셔너 블록에 설치되며 상기 복수개의 연결 벨트 각각의 내측에 접하는 텐셔너 휠과,
   상기 텐셔너 휠이 상기 연결 벨트를 밀도록 상기 텐서녀 블록을 편향시키는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 링 클리너는,
   상기 링 회전부 주변에 고정 설치된 장착 프레임과,
   상기 장착 프레임에 분리가능하게 장착되며 상기 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고, 상기 세척 테이프의 처짐부가 나와 상기 링의 상부면 또는 하부면과 접촉되는 것을 허용하는 카트리지와,
   상기 처짐부를 상기 링의 상부면 또는 하부면을 향해 누르는 누름유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 링 클리너는,
   상기 처짐부가 상기 링과 마주하도록 상기 장착 프레임을 수평 이동시키는 프레임 수평 이송유닛과,
   상기 처짐부가 상기 링에 밀착하도록 상기 장착 프레임을 수직 이동시키는 수직 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
   
10. 제8항에 있어서,
    상기 링 클리너는 상기 한 쌍의 릴 중 하나의 릴의 축을 회전 구동하여 상기 세척 테이프를 일측의 릴의 축에 감거나 푸는 와인더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
11. 제1항에 있어서,
    상기 링 클리너는 상기 세척 테이프에 세척액을 공급하는 세척액 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
12. 제8항에 있어서,
    상기 링 클리너는,
    상기 릴 각각에 형성된 고정홀과,
    상기 카트리지의 베이스판에 회동가능하게 설치된 아암과,
    상기 아암에 형성되며 스프링에 의해 편향되어 상기 고정홀에 끼워지는 고정핀과,
    상기 고정홀에서 상기 고정핀이 빠지는 방향으로 상기 아암을 회동시키는 핀 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
13. 제8항에 있어서,
    상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임을 더 포함하고,
    상기 누름유닛은 상기 이동 프레임에 설치된 누름 실린더, 상기 누름 실런더의 선단에서 상기 장착 프레임을 지나 상기 처짐부에 끼워지고 상기 누름 실린더의 신장에 의해 상기 처짐부를 상기 링의 상부면 또는 하부면을 향해 누르는 누름 샤프트를 포함하며,
    상기 이동 프레임의 이동에 의해 상기 누름 샤프트가 상기 처짐부에 끼워지거나 상기 처짐부에서 벗어나는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
14. 제8항에 있어서,
    상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임과, 상기 이동 프레임에 설치된 서보모터 및 상기 서보모터에 의해 회전하며 상기 장착 프레임을 지나 상기 한 쌍의 릴 중 하나에 릴의 축에 접속되는 회전축을 포함하는 와인더를 더 포함하고,
    상기 이동 프레임의 이동에 의해 상기 회전축이 상기 한 쌍의 릴 중 하나의 릴의 축에 접속되거나 분리되는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
15. 제8항에 있어서,
    상기 링 클리너는 상기 장착 프레임의 배면과 이격된 상태로 상기 장착 프레임에 대하여 전후 이동 가능하게 설치된 이동 프레임과, 상기 이동 프레임에 설치된 새척액 공급통, 상기 세척액 공급통에서 상기 장착 프레임을 지나 상기 처짐부 근처로 연장된 세척액 공급관을 포함하는 세척액 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
16. 제1항에 있어서,
    상기 링 클리너는,
    상부 세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 상부 세척 테이프가 상기 링의 상부면에 접촉하는 상부 링 클리너와,
    하부 세척 테이프를 구비하고, 상기 링이 회전하는 동안 상기 하부 세척 테이프가 상기 링의 하부면에 접촉하는 하부 링 클리너를 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
17. 제16항에 있어서,
    상기 상부 링 클리너는, 상부 장착 프레임과, 상기 상부 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고 상기 상부 세척 테이프의 처짐부가 아래로 나와 상기 링의 상부면과 접촉되는 것을 허용하는 상부 카트리지와, 상기 상부 세척 테이프의 처짐부를 상기 링의 상부면을 향해 누르는 상부 누름유닛을 포함하고,
    상기 하부 링 클리너는, 하부 장착 프레임과, 상기 하부 세척 테이프를 유지하는 한 쌍의 릴을 포함하고 상기 하부 세척 테이프의 처짐부가 위로 나와 상기 링의 하부면에 접촉되는 것을 허용하는 하부 카트리지와, 상기 하부 세척 테이프의 처짐부를 상기 링의 하부면을 향해 누르는 하부 누름유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
18. 제17항에 있어서,
    상기 상부 장착 프레임을 상하로 가이드하는 상부 수직 레일부와,
    상기 하부 장착 프레임을 상하로 가이드하는 하부 수직 레일부와,
    상기 상부 수직 레일부와 상기 하부 수직 레일부가 설치된 지지 프레임과,
    상기 지지 프레임의 좌우 수평이동을 가이드하는 수평 레일부와,
    상기 수평 레일부를 따라 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 이송유닛과,
    상기 상부 장착 프레임을 상기 상부 수직 레일부를 따라 수직 이동시키는 상부 수직 이송유닛과,
    상기 하부 장착 프레임을 상기 하부 수직 레일부를 따라 수직 이동시키는 하부 수직 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
19. 제1항에 있어서,
    투입될 링을 보유하는 투입 스테이션과,
    세척이 끝난 링을 보유하는 배출 스테이션과,
    상기 투입 스테이션이 보유한 링을 픽업하여 상기 링 안착부에 로딩하고, 세척이 끝난 링을 상기 링 안착부에서 픽업하여 상기 배출 스테이션에 언로딩하는 링 이송 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.
    
20. 제19항에 있어서,
    상기 링 이송 장치는,
    상기 링 안착부의 좌우에 상기 링 안착부의 상단보다 높게 전후로 설치된 한 쌍의 거더 레일과,
    상기 한 쌍의 거더 레일을 가로질러 설치되어 상기 한 쌍의 거더 레일을 따라 전후로 이동하는 제1 빔과,
    상기 제1 빔과 교차하도록 결합된 제2 빔과,
    상기 제1 빔을 기준으로 상기 제2 빔의 일측에 설치된 제1 수직 레일과,
    상기 제1 빔을 기준으로 상기 제2 빔의 반대측에 설치된 제2 수직 레일과,
    상기 제1 수직 레일을 따라 상하로 이동하며, 상기 투입 스테이션이 보유한 링을 픽업하여 상기 링 안착부에 로딩하는 로딩척과,
    상기 제2 수직 레일을 따라 상하 이동하며, 세척이 끝난 링을 상기 링 안착부에서 픽업하여 상기 배출 스테이션에 언로딩하는 언로딩척을 포함하는 것을 특징으로 하는 링 세척 시스템.