KR101845938B1 - 웨이퍼 시편 가공장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는, 중심부가 개방된 장착브라켓의 상면과 상기 장착브라켓의 개방된 중심부에 위치한 웨이퍼의 상면에 테이프를 부착시켜, 상기 장착브라켓과 상기 웨이퍼를 일체로 연결하는 테이프 마운터; 테이프로 씌워진 장착브라켓 및 웨이퍼가 뒤집혀 안착되며, 상기 장착브라켓과 웨이퍼를 회전 및 세로방향 이동시키는 웨이퍼 로딩부; 상기 웨이퍼 로딩부의 상측에 가로방향으로 배열되는 가로방향 이송레일; 상기 가로방향 이송레일을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 웨이퍼를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠을 구비하는 절단유닛; 상기 가로방향 이송레일을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 장착브라켓과 시편을 이송시키는 이송유닛; 상기 장착브라켓과 시편이 접착된 테이프의 저면을 상향 가압하여 절단라인의 폭을 확장시키는 익스팬더; 상기 시편 픽업노즐에 의해 흡착된 시편을 폴리싱하는 폴리싱유닛; 폴리싱이 완료된 시편을 적재시키는 시편 언로딩부;를 포함한다.

Description

웨이퍼 시편 가공장치 {APPARATUS FOR PROCESSING A SAMPLE OF WAFER}
본 발명은 웨이퍼 시편을 가공하기 위한 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼를 절단하는 과정부터 폴리싱하는 과정까지의 모든 공정이 자동화되어 생산성이 향상된 웨이퍼 시편 가공장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 크기가 현격히 축소되어가는 추세에 따라 반도체 소자의 불량을 분석하는 장비로서 주사전자현미경(SEM)이 중요한 위치를 점하고 있다. 주사전자현미경을 이용하여 시편을 분석하기 위해서는 먼저 시편을 제작하여야 한다.
시편의 제작은 반도체 웨이퍼 중에서 분석하고자 하는 포인트를 극히 얇은 두께(예; 50nm)로 가공하는 정밀한 작업으로서 많은 시간과 노력을 요한다. 최근 급성장하는 반도체 동향만큼이나 시편제작처럼 정밀을 요하는 작업에도 스피드가 요구되고 있는 것이 현재의 추세이다.
이와 같은 시편을 얻기 위해서는, 웨이퍼를 테이프에 접착시키는 마운트공정과, 테이프에 접착된 웨이퍼를 정렬시키는 공정과, 사용자가 원하는 형태의 시편을 얻을 수 있도록 정렬된 웨이퍼를 절단하는 공정과, 웨이퍼 절단부위가 벌어지도록 웨이퍼를 익스팬딩시키는 공정과, 웨이퍼 중 시편이 되는 부위만을 픽업하여 폴리싱하는 공정 등이 필수적으로 요구되는데, 종래에는 이와 같은 공정들이 수작업에 의해 이루어졌으므로 시편의 품질과 생산성을 높이는데 한계가 있다는 단점이 있었다.
또한, 최근 들어서는 웨이퍼를 절단하는 공정과 웨이퍼를 익스팬딩시키는 공정과 시편을 폴리싱하는 공정을 자동화시킬 수 있는 각종 제조장비들이 개발되고 있으나, 현재까지는 상기 언급한 각 공정들이 한 번에 이루어질 수 있는 가공장치는 개발되어 있지 아니한 상태에 있다.
대한민국 특허출원번호 10-1996-0074262
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 웨이퍼에서 시편을 획득하기 위한 모든 공정이 자동화되어 시편 생산성을 높일 수 있고, 시편 제조를 위한 모든 공정의 정밀도를 향상시켜 보다 높은 품질의 시편을 얻을 수 있는 웨이퍼 시편 가공장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는, 중심부가 개방된 장착브라켓의 상면과 상기 장착브라켓의 개방된 중심부에 위치한 웨이퍼의 상면에 테이프를 부착시켜, 상기 장착브라켓과 상기 웨이퍼를 일체로 연결하는 테이프 마운터; 테이프로 씌워진 장착브라켓 및 웨이퍼가 뒤집혀 안착되며, 상기 장착브라켓과 웨이퍼를 회전 및 세로방향 이동시키는 웨이퍼 로딩부; 상기 웨이퍼 로딩부의 상측에 가로방향으로 배열되는 가로방향 이송레일; 상기 가로방향 이송레일을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 웨이퍼를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠을 구비하는 절단유닛; 상기 가로방향 이송레일을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 시편의 상면을 흡착하는 시편 픽업노즐을 구비하여 상기 장착브라켓과 시편을 이송시키는 이송유닛; 상기 장착브라켓과 시편이 접착된 테이프의 저면을 상향 가압하여 절단라인의 폭을 확장시키는 익스팬더; 상기 시편 픽업노즐에 의해 흡착된 시편을 폴리싱하는 폴리싱유닛; 폴리싱이 완료된 시편을 적재시키는 시편 언로딩부;를 포함한다.
상기 웨이퍼 로딩부는, 세로방향으로 배열되는 세로방향 이송레일과, 상기 세로방향 이송레일을 따라 이송 가능한 왕복블록과, 수직방향 회전축을 중심으로 자전 가능한 구조로 상기 왕복블록에 장착되는 회전블록과, 상기 회전블록의 상면에 결합되어 테이프로 씌워진 장착브라켓 및 웨이퍼가 뒤집혀 안착되는 안착블록과, 상기 이송레일과 상기 왕복블록과 상기 회전블록과 상기 안착블록을 둘러싸는 케이스 및 개폐도어를 구비하고,
상기 절단유닛은, 상기 가로방향 이송레일을 따라 이송 가능한 제1 절단블록과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 절단블록에 장착되는 제2 절단블록과, 구동축이 가로방향을 향하도록 상기 제2 절단블록에 결합되는 회전모터와, 상기 회전모터의 구동축에 결합되어 상기 웨이퍼를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠을 구비하며,
상기 이송유닛은, 상기 가로방향 이송레일을 따라 이송 가능한 제1 이송블록과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 이송블록에 장착되는 제2 이송블록과, 상기 장착브라켓을 덮을 수 있는 크기로 제작되되 상기 웨이퍼와 대응되는 부위에는 개구부가 형성된 브라켓 픽업블록과, 상기 브라켓 픽업블록에 결합되어 상기 장착브라켓의 상면을 흡착하는 복수 개의 브라켓 픽업노즐을 더 구비하고, 상기 시편의 상면을 흡착하는 시편 픽업노즐은 상기 제2 이송블록에 승강 가능한 구조로 결합되며,
상기 익스팬더는, 상기 장착브라켓과 웨이퍼가 안착되되 상기 웨이퍼와 대응되는 부위에는 개구부가 형성되고 상기 장착브라켓과 대응되는 부위에는 장착브라켓을 흡착시키기 위한 진공홀이 형성된 흡착프레임과, 승강 가능한 구조로 상기 흡착프레임의 하측에 장착되어 상기 테이프의 저면 중 상기 웨이퍼가 안착된 부위를 상향 가압하는 가압블록과 상기 가압블록의 상면으로 돌출되어 상기 테이프의 저면 중 시편부위를 상향 가압하는 가압돌부를 구비한다.
상기 절삭휠의 가장자리 부위를 향해 빛을 발광 및 수광하는 화이버센서를 구비하여, 상기 절삭휠의 마모율이 사전에 설정된 기준치 이상이 되는 경우 절삭휠 교체신호를 출력하는 절삭휠 감지부를 더 포함한다.
상기 폴리싱유닛은,
상면에 폴리싱필름이 씌워지며 수직방향 중심축을 회전축으로 자전하는 회전판과, 상기 회전판의 상부에 위치하는 폴리싱프레임과, 상기 시편이 길이방향 일측에 착탈 가능한 구조로 장착되며 상기 시편이 상기 폴리싱필름에 접촉되도록 회동 가능한 구조로 상기 폴리싱프레임에 결합되는 복수 개의 시편핑거와, 상기 시편핑거를 회동시키는 핑거조작부를 포함하며,
상기 복수 개의 시편핑거는, 상기 시편이 상기 폴리싱필름에 접촉되도록 회동되었을 때 상기 회전판의 회전축과 각 시편 간의 거리가 상이하도록 배치된다.
상기 시편핑거는, 회동축에 의해 상기 폴리싱프레임에 장착되는 제1 핑거와, 상기 회동축과 나란한 힌지축에 의해 상기 제1 핑거에 결합되는 제2 핑거와, 상기 제1 핑거와 제2 핑거의 길이방향 일단이 가까워지는 방향으로 탄성력을 인가하도록 상기 제1 핑거와 제2 핑거의 길이방향 타단에 장착되어 상기 제1 핑거와 제2 핑거의 길이방향 일단 사이로 제공된 시편을 탄성적으로 고정시키는 스프링을 포함한다.
상기 제2 핑거의 길이방향 일단에는 상기 제2 핑거의 길이방향을 따라 연장되되 상기 시편 픽업노즐이 삽입 가능한 폭의 개방슬릿이 형성되고, 상기 개방슬릿의 가장자리에는 하향으로 돌출되는 압착돌기가 형성된다.
상기 시편핑거는, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 길이방향 일단이 하측을 향하도록 수직으로 세워진 상태를 유지하며,
상기 핑거조작부는, 상기 시편핑거의 길이방향을 따라 왕복 이송하는 전후진블록과, 상기 시편핑거를 향해 연장되도록 상기 전후진블록에 결합되어 상기 전후진블록이 상기 시편핑거를 향해 이송될 때 상기 제1 핑거의 길이방향 일측을 밀어올리는 제1 가압바와, 승강 가능한 구조로 상기 전후진블록에 결합되며 상기 제1 핑거의 길이방향 일측이 상기 제1 가압바에 의해 밀어 올려졌을 때 상기 제2 핑거의 길이방향 타측을 하향으로 가압하는 제2 가압바를 구비한다.
본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치를 이용하면, 웨이퍼에서 시편을 획득하기 위한 모든 공정이 자동화되어 시편 생산성을 높일 수 있고, 시편 제조를 위한 모든 공정의 정밀도를 향상시켜 보다 높은 품질의 시편을 얻을 수 있다는 장점이 있다.
도 1 및 도 2는 테이프에 장착프레임과 웨이퍼가 안착되는 구조를 도시하는 사시도 및 분해사시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치의 사시도이다.
도 5는 웨이퍼 로딩부의 사시도이다.
도 6은 가로방향 이송레일에 절단유닛과 이송유닛이 장착되는 구조를 도시하는 사시도이다.
도 7은 절단유닛과 절삭휠 감지부의 사시도이다.
도 8 및 도 9는 이송유닛의 사시도 및 정면도이다.
도 10은 익스팬더의 사시도이다.
도 11은 익스팬더에 포함되는 흡착프레임의 사시도이다.
도 12 및 도 13은 폴리싱유닛의 사시도 및 부분사시도이다.
도 14는 폴리싱프레임에 시편핑거가 장착되는 구조를 도시하는 사시도이다.
도 15는 시편핑거의 사시도이다.
도 16 및 도 17은 폴리싱유닛의 사용상태도이다.
도 18은 시편 언로딩부의 사시도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 테이프에 장착프레임과 웨이퍼가 안착되는 구조를 도시하는 사시도 및 분해사시도이다.
웨이퍼(10)를 절단하여 특정 크기 및 형상의 시편을 얻고자 할 때에는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 점착면이 상측을 향하도록 위치된 테이프(20) 상에 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 안착시킨 후, 상기 장착브라켓(30)을 고정시킨 상태에서 웨이퍼(10)를 시편 형태에 맞춰 절단한 후 폴리싱하는 과정을 거치게 된다.
이때 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는 상기 언급한 절단과정부터 폴리싱 과정까지를 모두 자동화시킴으로써, 시편의 생산성을 높이면서 시편의 품질도 높일 수 있도록 한다는 점에 가장 큰 특징이 있다. 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치의 구조 및 동작원리에 대하여 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치의 사시도이다.
본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는, 중심부가 개방된 장착브라켓(30)의 상면과 상기 장착브라켓(30)의 개방된 중심부에 위치한 웨이퍼(10)의 상면에 테이프(20)를 부착시켜 상기 장착브라켓(30)과 상기 웨이퍼(10)를 일체로 연결하는 테이프 마운터(100)와, 테이프(20)로 씌워진 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)가 뒤집혀 안착되며 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 회전 및 세로방향 이동시키는 웨이퍼 로딩부(200)와, 상기 웨이퍼 로딩부(200)의 상측에 가로방향으로 배열되는 가로방향 이송레일(300)과, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이동 가능하도록 장착되며 상기 웨이퍼(10)를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠(450)을 구비하는 절단유닛(400)과, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이동 가능하도록 장착되며 상기 장착브라켓(30)과 시편을 이송시키는 이송유닛(600)과, 상기 장착브라켓(30)과 시편이 접착된 테이프(20)의 저면을 상향 가압하여 절단라인의 폭을 확장시키는 익스팬더(700)와, 상기 시편 픽업노즐(660)에 의해 흡착된 시편을 폴리싱하는 폴리싱유닛(800)과, 폴리싱이 완료된 시편을 적재시키는 시편 언로딩부(900)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 테이프 마운터(100)는, 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)가 안착 가능한 거치대(110)와, 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 씌우기 위한 테이프(20)가 권취되는 권취롤러(120)와, 상기 거치대(110)의 중심부를 향해 레이저를 하향 조사하는 레이저 발광부(130)와, 상기 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)에 씌워진 테이프(20)를 하향 가압하는 가압롤러(140)와, 상기 테이프(20)를 절단하는 커터를 포함하여 구성된다.
따라서 사용자가 거치대(110) 상에 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 안착시킨 후 권취롤러(120)에 감겨진 테이프(20)를 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)의 상면에 접착시키면, 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)는 테이프(20)에 의해 일체로 연결된 상태를 유지하게 된다. 이때, 작업자는 레이저 발광부(130)로부터 발광되는 레이저 경로 상에 웨이퍼(10)가 위치되도록 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)의 위치를 조절함으로써, 장착브라켓(30) 상면과 웨이퍼(10)의 상면이 모두 테이프(20)에 의해 감싸지도록 할 수 있다.
이와 같이 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)가 테이프(20)에 접착되면, 작업자는 상기 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)가 상측을 향하도록 뒤집어 웨이퍼 로딩부(200)에 투입한다. 웨이퍼 로딩부(200)에 투입된 웨이퍼(10)는 비젼부(670)(도 8 및 도 9 참조)에 의해 절단위치가 확인된 후 절단유닛(400)에 의해 절단되며, 익스팬더(700)에 의해 절단라인이 벌어진 상태에서 시편만이 픽업되어 폴리싱유닛(800)에 의해 폴리싱된다. 즉, 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치를 이용하면, 웨이퍼(10)를 시편으로 절단하는 과정부터 시편을 폴리싱한 후 언로딩하는 과정까지가 모두 자동화 가능하므로, 시편 생산성이 매우 높아진다는 장점이 있다. 또한, 시편을 가공하는 각 과정이 모두 자동화되면 수동으로 시편을 가공하는 경우에 비해 시편의 품질이 개선되는 효과도 얻을 수 있다는 이점이 있다.
이하 시편을 가공하는 각 구성요소들의 세부구조 및 동작과정에 대하여 상세히 설명한다.
도 5는 웨이퍼 로딩부(200)의 사시도이다.
상기 웨이퍼 로딩부(200)는 웨이퍼(10)의 절단 및 익스팬딩이 가능하도록 테이프(20)에 부착된 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)가 뒤집혀 안착되되, 웨이퍼(10)가 수직방향 중심축을 회전축으로 자전을 하면서 수평방향으로 이동이 가능하도록 구성된다. 즉, 상기 웨이퍼 로딩부(200)는, 세로방향으로 배열되는 세로방향 이송레일(210)과, 상기 세로방향 이송레일(210)을 따라 이송 가능한 왕복블록(220)과, 수직방향 회전축을 중심으로 자전 가능한 구조로 상기 왕복블록(220)에 장착되는 회전블록(230)과, 상기 회전블록(230)의 상면에 결합되어 테이프(20)로 씌워진 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)가 뒤집혀 안착되는 안착블록(240)과, 웨이퍼(10)를 향해 건조에어를 분사시키는 건조기(250)를 포함하여 구성된다. 상기 왕복블록(220)이 세로방향 이송레일(210)을 따라 수평으로 이동하는 동작과 회전블록(230)이 수직방향 회전축을 중심으로 자전하는 동작은 다양한 종류의 제조장치나 가공장치 등에서 상용화되어 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
또한 웨이퍼(10)를 절단하는 동안에는 초순수(DI-water)를 절단 부위로 분사시켜야 하는데, 이때 초순수가 외부로 튀지 아니하도록 상기 세로방향 이송레일(210)과 상기 왕복블록(220)과 상기 회전블록(230)과 상기 안착블록(240)은, 도 3에서와 같이, 별도의 케이스(202)에 의해 둘러싸이고, 상기 케이스(202)에는 작업자가 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 투입할 수 있도록 개폐도어(204)가 구비된다.
따라서 작업자는 테이프 마운터(100)에서 배출된 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 상기 개폐도어를 통해 안착블록(240) 상에 안착시키면, 상기 왕복블록(220)은 절단유닛(400)의 하측으로 웨이퍼(10)를 위치시키고, 상기 절단유닛(400)은 가로방향 이송레일(300)을 따라 움직이면서 웨이퍼(10)를 절단한다. 이때 웨이퍼(10)에서 시편을 얻기 위해서는 하나의 웨이퍼(10)를 다양한 방향으로 절단해야 하는바, 상기 웨이퍼 로딩부(200)는 회전블록(230)을 회전시켜가면서 웨이퍼(10)가 절단되도록 한다. 이와 같이 웨이퍼(10)를 절단하는 동안 회전블록(230)이 자전을 하게 되면, 상기 시편을 다양한 형태로 가공할 수 있게 된다.
도 6은 가로방향 이송레일(300)에 절단유닛(400)과 이송유닛(600)이 장착되는 구조를 도시하는 사시도이고, 도 7은 절단유닛(400)과 절삭휠 감지부(500)의 사시도이며, 도 8 및 도 9는 이송유닛(600)의 사시도 및 정면도이다.
상기 절단유닛(400)은 웨이퍼 로딩부(200)의 안착블록(240) 상에 안착된 웨이퍼(10)를 일정 형상으로 절단하여 시편을 얻기 위한 장비로서, 가로방향 이송레일(300)을 따라 이송하면서 웨이퍼(10)를 절단하도록 구성된다. 즉, 상기 절단유닛(400)은, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이송 가능한 제1 절단블록(410)과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 절단블록(410)에 장착되는 제2 절단블록(420)과, 구동축(440)이 가로방향을 향하도록 상기 제2 절단블록(420)에 결합되는 회전모터(430)와, 상기 회전모터(430)의 구동축(440)에 결합되어 상기 웨이퍼(10)를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠(450)과, 절삭휠(450)의 절삭부위로 초순수(DI-water)를 분사하는 분사노즐(460)을 포함하여 구성된다. 상기 제1 절단블록(410)과 제2 절단블록(420)은 리니어모터에 의해 왕복 이송되도록 구성되거나, 래크와 피니언 등의 동력전달 기어에 의해 직선 왕복 이송되도록 구성될 수 있는데, 이와 같은 직선 왕복이송은 이미 다양한 구조로 상용화되어 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 절단유닛(400)은 가로방향으로만 절단을 할 수 있지만, 상기 언급한 바와 같이 안착블록(240)이 회전블록(230)을 따라 자전이 가능하므로, 작업자는 안착블록(240)을 적절한 각도로 자전시킴으로써 웨이퍼(10)를 다양한 방향으로 절단시킬 수 있게 된다. 예를 들어, 회전블록(230)을 90도씩 회전시켜가면서 웨이퍼(10)를 절단하는 경우 사각형의 시편을 얻을 수 있고, 절삭휠(450)을 절삭하는 동안 회전블록(230)의 자전을 지속적으로 유지함으로써 원형의 시편도 얻을 수 있다.
한편 상기 이송유닛(600)은, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이송 가능한 제1 이송블록(610)과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 이송블록(610)에 장착되는 제2 이송블록(620)과, 상기 장착브라켓(30)을 덮을 수 있는 크기로 제작되되 상기 웨이퍼(10)와 대응되는 부위에는 개구부가 형성된 브라켓 픽업블록(630)과, 상기 브라켓 픽업블록(630)에 결합되어 상기 장착브라켓(30)의 상면을 흡착하는 복수 개의 브라켓 픽업노즐(640)과, 승강 가능한 구조로 상기 제2 이송블록(620)에 결합되어 상기 시편의 상면을 흡착하는 시편 픽업노즐(660)을 포함하여 구성된다. 상기 브라켓 픽업노즐(640)과 시편 픽업노즐(660)은 내부에 진공유로가 형성되어 진공압으로 장착브라켓(30)과 시편을 흡착하며, 상기 브라켓 픽업노즐(640)은 장착브라켓(30)의 모서리 각각을 흡착하도록 4개 구비되고, 상기 시편 픽업노즐(660)은 하나만 구비됨이 바람직하다.
즉, 브라켓 픽업노즐(640)의 하단과 시편 픽업노즐(660)의 하단이 각각 장착브라켓(30)의 상면과 시편의 상면에 안착된 상태에서 상기 브라켓 픽업노즐(640)과 시편 픽업노즐(660)에 진공압이 인가되면, 상기 장착브라켓(30)과 시편은 각각 브라켓 픽업노즐(640)과 시편 픽업노즐(660)에 흡착되어 브라켓 픽업블록(630)과 일체로 이송된다. 이후, 브라켓 픽업노즐(640)과 시편 픽업노즐(660)에 인가되었던 진공압이 해제되면, 상기 장착브라켓(30)과 시편은 자중에 의해 아래로 떨어지게 된다.
한편, 시편 픽업노즐(660)이 상승하였을 때에는 도 9에 도시된 바와 같이 시편 픽업노즐(660)의 하단이 브라켓 픽업블록(630)의 저면보다 아래로 돌출되어 있지 아니하므로, 이와 같은 상태에서는 장착브라켓(30)만을 픽업할 수 있다. 또한 상기 브라켓 픽업블록(630)은 가운데 부위가 개방된 사각틀 형상으로 형성되는바, 도 9에 도시된 상태에서 시편 픽업노즐(660)이 브라켓 픽업노즐(640)보다 아래에 위치하도록 하강되었을 때에는 시편만을 이송시킬 수 있다. 물론, 브라켓 픽업노즐(640)의 하단 높이와 시편 픽업노즐(660)의 하단 높이를 동일하게 맞추는 경우에는 장착브라켓(30)과 시편을 동시에 이송시킬 수 있다.
한편 상기 이송유닛(600)은, 웨이퍼(10)의 절단 위치를 광학으로 감지하는 비젼부(670)를 구비할 수 있다. 상기 비젼부(670)는 광원(671)과 렌즈(672)와 카메라(673)가 적층 구조로 설치되어, 절단유닛(400)이 웨이퍼(10)를 절단하기 이전에 절단위치를 확인하는 역할을 한다. 이와 같은 비젼부(670)는 종래의 가공장치 분야에 널리 알려져 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
또한 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는 절삭휠(450)의 마모도를 측정하는 절삭휠 감지부(500)를 구비할 수 있다. 상기 절삭휠 감지부(500)는, 상기 절삭휠(450)의 가장자리 부위를 향해 빛을 발광 및 수광하는 화이버센서(510)를 구비하여, 상기 절삭휠(450)의 마모율이 사전에 설정된 기준치 이상이 되는 경우 절삭휠(450) 교체신호를 출력한다. 따라서 작업자는 절삭휠(450)이 얼마나 마모되었는지를 육안으로 일일이 확인하지 아니하더라도 절삭휠(450) 교체시기를 알 수 있는바, 절삭휠(450)이 과도하게 마모되어 웨이퍼(10)가 정상적으로 절단되지 아니하는 경우를 방지할 수 있다.
도 10은 익스팬더(700)의 사시도이고, 도 11은 익스팬더(700)에 포함되는 흡착프레임(710)의 사시도이다.
상기 익스팬더(700)는, 사전에 설정된 형상의 시편이 얻어지도록 웨이퍼(10)를 절단한 이후 상기 시편만을 픽업할 때, 픽업하고자 하는 시편 이외의 웨이퍼(10) 일부가 함께 픽업되지 아니하도록, 절단라인의 폭을 벌리는 역할을 한다. 상기 익스팬더(700)는, 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)가 안착되되 상기 웨이퍼(10)와 대응되는 부위에는 개구부가 형성되고 상기 장착브라켓(30)과 대응되는 부위에는 장착브라켓(30)을 흡착시키기 위한 진공홀(730)이 형성된 흡착프레임(710)과, 승강 가능한 구조로 상기 흡착프레임(710)의 하측에 장착되어 상기 테이프(20)의 저면 중 상기 웨이퍼(10)가 안착된 부위를 상향 가압하는 가압블록(740)과, 상기 가압블록(740)의 상면으로 돌출되어 상기 테이프(20)의 저면 중 시편부위를 상향 가압하는 가압돌부(741)를 포함하여 구성된다.
이때, 흡착프레임(710)의 상면 일부에만 진공홀(730)이 형성되더라도 장착브라켓(30) 저면의 각 부위가 고르게 흡착될 수 있도록, 상기 흡착프레임(710)의 상면 중 장착브라켓(30)이 안착되는 부위에는 흡착홈(720)이 고르게 형성되고, 상기 진공홀(730)은 흡착홈(720)의 어느 일측 바닥면에 형성된다. 이와 같이 흡착프레임(710)에 흡착홈(720)이 형성되면, 진공홀(730)을 통해 전달되는 진공압이 흡착홈(720) 전체에 걸쳐 고르게 인가되는바, 흡착홈(720) 전체를 덮도록 안착되는 장착브라켓(30)은 각 부위가 고르게 흡착프레임(710)에 흡착 고정된다.
이와 같이 장착브라켓(30)의 흡착이 완료되면 상기 가압블록(740)은 테이프(20)의 저면을 상향으로 가압하는데, 상기 테이프(20)는 일정 수준의 연성을 갖지만 웨이퍼(10)는 연성을 가지지 아니하므로, 테이프(20)가 위로 볼록하게 변형될 때 웨이퍼(10)는 절단라인의 폭이 넓어지도록 벌어지게 된다. 이때, 시편이 형성되도록 절단된 부위가 더욱 효과적으로 벌어지도록, 상기 가압블록(740)이 웨이퍼(10)를 익스팬딩시킨 이후 상기 가압돌부(741)가 시편부위를 추가적으로 익스팬딩시킨다. 이와 같이 웨이퍼(10)가 2단계에 걸쳐 익스팬딩되면, 웨이퍼(10) 중 시편으로 절단된 부위만을 안정적으로 픽업할 수 있게 된다는 장점이 있다.
한편, 시편의 픽업이 완료된 이후 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)의 나머지 부분(웨이퍼(10) 중 시편으로 선택되지 아니한 나머지 부위)은 스크랩으로 분류되어 폐기되어야 하는데, 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치는 이와 같은 스크랩 폐기과정까지 자동화되도록 장착브라켓(30)을 흡착시키는 스크랩 흡착노즐(760)을 다수 개 구비하는 스크랩 이송블록(750)과, 상기 스크랩 이송블록(750)에 의해 이송된 스크랩이 적재되는 스크랩 적재함(770)을 구비할 수 있다. 스크랩 흡착노즐(760)이 장착브라켓(30)을 흡착하는 원리는 브라켓 픽업노즐(640)이 장착브라켓(30)을 흡착하는 원리와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 12 및 도 13은 폴리싱유닛(800)의 사시도 및 부분사시도이고, 도 14는 폴리싱프레임(840)에 시편핑거(850)가 장착되는 구조를 도시하는 사시도이며, 도 15는 시편핑거(850)의 사시도이다.
상기 폴리싱유닛(800)은 이송유닛(600)에 의해 픽업된 시편을 연마하기 위한 장치로서, 상면에 폴리싱필름(810)이 씌워지며 수직방향 중심축을 회전축으로 자전하는 회전판(820)과, 상기 회전판(820)의 상부에 위치하는 폴리싱프레임(840)과, 상기 시편이 길이방향 일측에 착탈 가능한 구조로 장착되며 상기 시편이 상기 폴리싱필름(810)에 접촉되도록 회동 가능한 구조로 상기 폴리싱프레임(840)에 결합되는 복수 개의 시편핑거(850)와, 상기 시편핑거(850)를 회동시키는 핑거조작부(860)와, 시편이 연마되는 부위로 초순수를 분사하는 초순수 분사부(870)를 포함하도록 구성된다. 상기 회전판(820)은 고정판(822) 내부에서 자전만이 가능하도록 장착되며, 동력전달벨트에 의해 구동모터(830)와 연결되어 있는바 구동모터(830)의 작동에 따라 자전을 하게 된다.
상기 시편핑거(850)는 각각 하나의 시편을 잡은 후 폴리싱필름(810)에 접촉시킴으로써, 상기 폴리싱필름(810)이 회전판(820)을 따라 자전할 때 각 시편들이 폴리싱필름(810)과의 마찰에 의해 연마되도록 한다. 이때 본 실시예에서는 하나의 폴리싱프레임(840)에 4개의 시편핑거(850)가 장착되는 경우만을 도시하고 있으나, 상기 시편핑거(850)의 개수는 설계자의 선택에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
한편 상기 시편핑거(850)는, 회동축(852)에 의해 상기 폴리싱프레임(840)에 장착되는 제1 핑거(851)와, 상기 회동축(852)과 나란한 힌지축(864)에 의해 상기 제1 핑거(851)에 결합되는 제2 핑거(853)와, 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단이 가까워지는 방향으로 탄성력을 인가하도록 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 타단에 장착되어 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이로 제공된 시편을 탄성적으로 고정시키는 스프링(855)을 포함한다. 따라서 스프링(855)이 압축되는 방향으로 외력이 인가되어 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단이 서로 멀어지도록 벌어졌을 때 시편은 제1 핑거(851) 일단과 제2 핑거(853) 일단 사이로 삽입되고, 시편의 삽입이 완료된 후 상기 스프링(855)을 압축시키는 방향으로 인가되었던 외력이 해제되면 상기 시편은 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이에서 고정된다.
이때, 시편을 픽업한 픽업노즐이 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이로 시편을 안정적으로 이송시킬 수 있도록, 제2 핑거(853)의 길이방향 일단에는 상기 제2 핑거(853)의 길이방향을 따라 연장되되 상기 시편 픽업노즐(660)이 삽입 가능한 폭의 개방슬릿(856)이 형성된다. 또한, 시편이 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이에서 확실하게 압착될 수 있도록, 상기 개방슬릿(856)의 가장자리에는 하향으로 돌출되는 압착돌기(857)가 형성됨이 바람직하다.
도 16 및 도 17은 폴리싱유닛(800)의 사용상태도이다.
상기 시편핑거(850)는 폴리싱프레임(840)에 결합되는 회동축(852)이 길이방향 타측으로 치우쳐 있는바, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 도 16에 도시된 바와 같이 길이방향 일단이 하측을 향하도록 수직으로 세워진다.
상기 핑거조작부(860)는 시편핑거(850)의 길이방향 일측에 시편이 장착될 수 있도록 상기 시편핑거(850)를 수평으로 회동시키기 위한 구성요소로서, 상기 시편핑거(850)의 길이방향을 따라 왕복 이송하는 전후진블록(861)과, 상기 시편핑거(850)를 향해 연장되도록 상기 전후진블록(861)에 결합되어 상기 전후진블록(861)이 상기 시편핑거(850)를 향해 이송될 때 상기 제1 핑거(851)의 길이방향 일측을 밀어올리는 제1 가압바(862)와, 승강 가능한 구조로 상기 전후진블록(861)에 결합되며 상기 제1 핑거(851)의 길이방향 일측이 상기 제1 가압바(862)에 의해 밀어 올려졌을 때 상기 제2 핑거(853)의 길이방향 타측을 하향으로 가압하는 제2 가압바(863)를 포함하여 구성된다. 제1 가압바(862)와 제2 가압바(863)의 끝단에는 시편핑거(850)와의 마찰을 줄일 수 있도록 탄성롤러(864)가 각각 장착될 수 있다.
도 16에 도시된 상태에서 전후진블록(861)이 시편핑거(850)를 향해 전진하면, 상기 제1 가압바(862)의 끝단이 제1 핑거(851)의 길이방향 일측 저면(도 16에서는 좌측면)을 밀어 시편핑거(850)를 전체적으로 반시계방향으로 90도 회전시켜 수평을 유지하도록 한다.
시편핑거(850)가 수평을 유지하도록 반시계방향으로 회전되면, 도 17에 도시된 바와 같이 제2 가압바(863)가 스프링(855)을 압축시키는 방향(도 17에서는 하향)으로 가압력을 인가하여, 제2 핑거(853)가 힌지축(864)을 중심으로 회전시킨다. 이와 같이 제2 핑거(853)의 길이방향 일단이 위로 올라가는 방향으로 회전되면 제1 핑거(851)의 길이방향 일단과 제2 핑거(853)의 길이방향 일단이 벌어지므로, 제1 핑거(851)의 길이방향 일단과 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이로 시편이 인입될 수 있게 된다.
제1 핑거(851)의 길이방향 일단과 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이로 시편이 인입되면, 상기 제2 가압바(863)는 스프링(855)이 압축되는 방향으로 인가하던 외력을 해제시킨다. 제2 가압바(863)의 외력이 해제되면, 제2 핑거(853)는 스프링(855)의 탄성력에 의해 길이방향 일단이 아래로 내려가도록 회전되어, 제1 핑거(851)의 길이방향 일단과 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이에 안착된 시편을 압착시켜 고정한다.
시편이 고정되면 전후진블록(861)이 시편핑거(850)와 멀어지도록 후진하여 제1 가압바(862)가 더 이상 제1 핑거(851)를 가압하지 아니하게 되면, 시편핑거(850)는 자중에 의해 길이방향 일단이 아래를 향하게 되고, 시편핑거(850)의 길이방향 일단에 고정된 시편은 폴리싱필름(810)의 상면과 마찰하여 연마된다.
이때, 각각의 시편핑거(850)에 장착된 시편이 회전판(820)의 회전축과 동일한 거리만큼 이격되면, 각각의 시편과 폴리싱필름(810)이 상호 접촉되는 부위가 겹치게 되므로 시편의 폴리싱효율이 떨어질 뿐만 아니라 폴리싱필름(810)을 전체적으로 고르게 사용하지 못하는 문제가 발생될 수 있다. 따라서 상기 복수 개의 시편핑거(850)는, 상기 시편이 상기 폴리싱필름(810)에 접촉되도록 회동되었을 때 상기 회전판(820)의 회전축과 각 시편 간의 거리가 상이하도록 배치됨이 바람직하다. 이와 같이 각 시편들과 회전판(820) 회전축 간의 이격거리가 상이하도록 배열되면, 각각의 시편들이 폴리싱필름(810)과 접촉되는 부위가 상이해지므로 시편의 폴리싱효율이 높아질 뿐만 아니라 폴리싱필름(810)의 각 부위를 고르게 사용할 수 있어 폴리싱필름(810)의 교체주기를 연장시킬 수 있다는 장점도 있다.
또한, 폴리싱필름(810)의 교체주기를 연장시키더라도 일정 기간동안 폴리싱필름(810)을 사용한 이후에는 상기 폴리싱필름(810)을 교체해 주어야 하는데, 상기 폴리싱프레임(840)이 장착되어 있는 상태에서는 폴리싱필름(810)의 교체가 어려우므로 상기 폴리싱프레임(840)은 고정판(822)에 착탈 가능한 구조로 결합됨이 바람직하다. 이와 같이 폴리싱프레임(840)이 고정판(822)에 착탈 가능한 구조로 결합되면, 폴리싱필름(810)을 교체하고자 하는 경우 상기 폴리싱프레임(840)을 먼저 분리함으로써 폴리싱필름(810)을 보다 용이하게 교체할 수 있게 된다는 장점이 있다.
도 18은 시편 언로딩부(900)의 사시도이다.
시편 언로딩부(900)는 폴리싱이 완료된 시편을 적재시키기 위한 구성요소로서, 도 18에 도시된 바와 같이 세로방향으로 연장되는 언로딩레일(910)과, 상기 언로딩레일(910)을 따라 이송되되 시편을 흡착하는 노즐이 하측 끝단에 마련되는 언로딩블록(920)과, 상기 언로딩블록(920)에 흡착된 시편에 공기를 분사시키기 위한 공기 분사노즐(460)이 구비된다.
이때, 상기 언로딩부는 폴리싱이 완료된 시편을 픽업하여 어느 하나의 적재박스에 적재시킬 수 있다면 어떠한 구성으로도 이루어질 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 웨이퍼 20 : 테이프
30 : 장착브라켓 100 : 테이프 마운터
110 : 거치대 120 : 권취롤러
130 : 레이저 발광부 140 : 가압롤러
200 : 웨이퍼 로딩부 210 : 세로방향 이송레일
220 : 왕복블록 230 : 회전블록
240 : 안착블록 250 : 건조기
300 : 가로방향 이송레일 400 : 절단유닛
410 : 제1 절단블록 420 : 제2 절단블록
430 : 회전모터 440 : 구동축
450 : 절삭휠 460 : 분사노즐
500 : 절삭휠 감지부 510 : 화이버센서
600 : 이송유닛 610 : 제1 이송블록
620 : 제2 이송블록 630 : 브라켓 픽업블록
640 : 브라켓 픽업노즐 650 : 시편 픽업블록
660 : 시편 픽업노즐 670 : 비젼부
700 : 익스팬더 710 : 흡착프레임
720 : 흡착홈 730 : 진공홀
740 : 가압블록 750 : 스크랩 이송블록
760 : 스크랩 흡착노즐 770 : 스크랩 적재함
800 : 폴리싱유닛 810 : 폴리싱필름
820 : 회전판 822 : 고정판
830 : 구동모터 840 : 폴리싱프레임
850 : 시편핑거 851 : 제1 핑거
852 : 회동축 853 : 제2 핑거
854 : 힌지축 855 : 스프링
856 : 개방슬릿 857 : 압착돌기
860 : 핑거조작부 861 : 전후진블록
862 : 제1 가압바 863 : 제2 가압바
864 : 탄성롤러 870 : 초순수 분사부
900 : 시편 언로딩부 910 : 언로딩레일
920 : 언로딩블록 930 : 공기 분사노즐

Claims (7)

  1. 중심부가 개방된 장착브라켓(30)의 상면과 상기 장착브라켓(30)의 개방된 중심부에 위치한 웨이퍼(10)의 상면에 테이프(20)를 부착시켜, 상기 장착브라켓(30)과 상기 웨이퍼(10)를 일체로 연결하는 테이프 마운터(100);
    테이프(20)로 씌워진 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)가 뒤집혀 안착되며, 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)를 회전 및 세로방향 이동시키는 웨이퍼 로딩부(200);
    상기 웨이퍼 로딩부(200)의 상측에 가로방향으로 배열되는 가로방향 이송레일(300);
    상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 웨이퍼(10)를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠(450)을 구비하는 절단유닛(400);
    상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이동 가능하도록 장착되며, 상기 시편의 상면을 흡착하는 시편 픽업노즐을 구비하여 상기 장착브라켓(30)과 시편을 이송시키는 이송유닛(600);
    상기 장착브라켓(30)과 시편이 접착된 테이프(20)의 저면을 상향 가압하여 절단라인의 폭을 확장시키는 익스팬더(700);
    상기 시편 픽업노즐(660)에 의해 흡착된 시편을 폴리싱하는 폴리싱유닛(800); 및
    폴리싱이 완료된 시편을 적재시키는 시편 언로딩부(900);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 웨이퍼 로딩부(200)는, 세로방향으로 배열되는 세로방향 이송레일(210)과, 상기 세로방향 이송레일(210)을 따라 이송 가능한 왕복블록(220)과, 수직방향 회전축을 중심으로 자전 가능한 구조로 상기 왕복블록(220)에 장착되는 회전블록(230)과, 상기 회전블록(230)의 상면에 결합되어 테이프(20)로 씌워진 장착브라켓(30) 및 웨이퍼(10)가 뒤집혀 안착되는 안착블록(240)과, 상기 세로방향 이송레일(210)과 상기 왕복블록(220)과 상기 회전블록(230)과 상기 안착블록(240)을 둘러싸는 케이스(202) 및 개폐도어(204)를 구비하고,
    상기 절단유닛(400)은, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이송 가능한 제1 절단블록(410)과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 절단블록(410)에 장착되는 제2 절단블록(420)과, 구동축(440)이 가로방향을 향하도록 상기 제2 절단블록(420)에 결합되는 회전모터(430)와, 상기 회전모터(430)의 구동축(440)에 결합되어 상기 웨이퍼(10)를 사전에 설정된 형상의 시편으로 절단하는 절삭휠(450)을 구비하며,
    상기 이송유닛(600)은, 상기 가로방향 이송레일(300)을 따라 이송 가능한 제1 이송블록(610)과, 승강 가능한 구조로 상기 제1 이송블록(610)에 장착되는 제2 이송블록(620)과, 상기 장착브라켓(30)을 덮을 수 있는 크기로 제작되되 상기 웨이퍼(10)와 대응되는 부위에는 개구부가 형성된 브라켓 픽업블록(630)과, 상기 브라켓 픽업블록(630)에 결합되어 상기 장착브라켓(30)의 상면을 흡착하는 복수 개의 브라켓 픽업노즐(640)을 더 구비하고, 상기 시편의 상면을 흡착하는 시편 픽업노즐(660)은 상기 제2 이송블록(620)에 승강 가능한 구조로 결합되며,
    상기 익스팬더(700)는, 상기 장착브라켓(30)과 웨이퍼(10)가 안착되되 상기 웨이퍼(10)와 대응되는 부위에는 개구부가 형성되고 상기 장착브라켓(30)과 대응되는 부위에는 장착브라켓(30)을 흡착시키기 위한 진공홀(730)이 형성된 흡착프레임(710)과, 승강 가능한 구조로 상기 흡착프레임(710)의 하측에 장착되어 상기 테이프(20)의 저면 중 상기 웨이퍼(10)가 안착된 부위를 상향 가압하는 가압블록(740)과, 상기 가압블록(740)의 상면으로 돌출되어 상기 테이프(20)의 저면 중 시편부위를 상향 가압하는 가압돌부(741)를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 절삭휠(450)의 가장자리 부위를 향해 빛을 발광 및 수광하는 화이버센서(510)를 구비하여, 상기 절삭휠(450)의 마모율이 사전에 설정된 기준치 이상이 되는 경우 절삭휠(450) 교체신호를 출력하는 절삭휠 감지부(500)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 폴리싱유닛(800)은,
    상면에 폴리싱필름(810)이 씌워지며 수직방향 중심축을 회전축으로 자전하는 회전판(820)과, 상기 회전판(820)의 상부에 위치하는 폴리싱프레임(840)과, 상기 시편이 길이방향 일측에 착탈 가능한 구조로 장착되며 상기 시편이 상기 폴리싱필름(810)에 접촉되도록 회동 가능한 구조로 상기 폴리싱프레임(840)에 결합되는 복수 개의 시편핑거(850)와, 상기 시편핑거(850)를 회동시키는 핑거조작부(860)를 포함하며,
    상기 복수 개의 시편핑거(850)는, 상기 시편이 상기 폴리싱필름(810)에 접촉되도록 회동되었을 때 상기 회전판(820)의 회전축과 각 시편 간의 거리가 상이하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 시편핑거(850)는, 회동축(852)에 의해 상기 폴리싱프레임(840)에 장착되는 제1 핑거(851)와, 상기 회동축(852)과 나란한 힌지축(864)에 의해 상기 제1 핑거(851)에 결합되는 제2 핑거(853)와, 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단이 가까워지는 방향으로 탄성력을 인가하도록 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 타단에 장착되어 상기 제1 핑거(851)와 제2 핑거(853)의 길이방향 일단 사이로 제공된 시편을 탄성적으로 고정시키는 스프링(855)을 포함하는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 핑거(853)의 길이방향 일단에는 상기 제2 핑거(853)의 길이방향을 따라 연장되되 상기 시편 픽업노즐(660)이 삽입 가능한 폭의 개방슬릿(856)이 형성되고, 상기 개방슬릿(856)의 가장자리에는 하향으로 돌출되는 압착돌기(857)가 형성되는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 시편핑거(850)는, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 길이방향 일단이 하측을 향하도록 수직으로 세워진 상태를 유지하며,
    상기 핑거조작부(860)는, 상기 시편핑거(850)의 길이방향을 따라 왕복 이송하는 전후진블록(861)과, 상기 시편핑거(850)를 향해 연장되도록 상기 전후진블록(861)에 결합되어 상기 전후진블록(861)이 상기 시편핑거(850)를 향해 이송될 때 상기 제1 핑거(851)의 길이방향 일측을 밀어올리는 제1 가압바(862)와, 승강 가능한 구조로 상기 전후진블록(861)에 결합되며 상기 제1 핑거(851)의 길이방향 일측이 상기 제1 가압바(862)에 의해 밀어 올려졌을 때 상기 제2 핑거(853)의 길이방향 타측을 하향으로 가압하는 제2 가압바(863)를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 가공장치.
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