JPH06112186A - 横軸回転式基板乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板搬送用ロボット８で基板Ｗを搬送する際
や、基板乾燥装置２０のチャンバー２１内に基板Ｗを下
降挿入する際に、ロボットハンド８ａの振動に起因して
摩耗塵（パーティクル）が発生するのを低減する。 【構成】 横軸回転式基板乾燥装置２０の横軸型ロータ
３０に、基板保持具４５を着脱自在に架設し、横軸型ロ
ータ３０の下側に基板保持具４５を昇降する保持具昇降
手段５０を昇降自在に配置する。この保持具昇降手段５
０により、基板保持具４５をチャンバー２１の基板出入
口２３を越える上昇位置Ｈまで上昇させて、基板保持具
４５と基板搬送用ロボット８との間で複数の基板Ｗを受
け渡し可能に構成する。これにより、ロボットハンド８
ａは小寸法のもので足り、基板Ｗを搬送する際に、その
振動は大幅に低減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体基板などの薄
板状被処理基板（以下単に基板と称する）に付着した液
滴を液切り乾燥する装置に関し、いわゆるカセットレス
方式の横軸回転式の基板乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年では、基板処理品質の一層の向上を
図るため、いわゆるカセットレス方式の浸漬型基板処理
が行われるようになり、これに伴ってカセットレス方式
の横軸回転式基板乾燥装置が採用されるようになった。
そしてこの種の回転式基板乾燥装置としては、従来よ
り、例えば本出願人の提案に係る特開平１−２５５２２
７号公報に開示されたものが知られている。

【０００３】それは図６の符号１２０で示すように、チ
ャンバー１２１の周壁１２２の上部に基板出入口１２３
を、周壁下部に強制排気口１２６を開口形成し、このチ
ャンバー１２１の基板出入口１２３をチャンバー開閉蓋
１４０で開閉自在に閉止し、上記チャンバー１２１内に
横軸型ロータ１３０を回転可能に設け、この横軸型ロー
タ１３０を回転する回転駆動手段（図示せず）を上記チ
ャンバー１２１の外部に設け、複数の基板Ｗを基板搬送
用ロボットのチャック１０８ａとの間で起立整列状態で
受け渡し可能に保持する基板保持具１４５を上記横軸型
ロータ１３０に固設し、この基板保持具１４５で保持し
た複数の基板Ｗを上記横軸型ロータ１３０に固定する基
板クランプ装置１８０を設けて成り、当該ロータ１３０
を回転駆動手段で回転させて、基板Ｗに付着した液滴を
液切り乾燥するように構成されている。

【０００４】上記基板搬送用ロボットは、そのチャック
１０８ａで図示しない基板収容カセットから取り出した
複数の基板Ｗを起立整列状態で一括保持して所定位置ま
で搬送し、その基板Ｗを図示しない基板処理槽内に浸漬
したり、処理済みの基板Ｗを上記基板乾燥装置に装填す
る必要があるため、そのチャック１０８ａは上下方向に
比較的長い寸法で形成され、かつ、昇降自在に構成され
ている。そしてチャック１０８ａは、上記チャンバー１
２１内に下降挿入して横軸型ロータ１３０に固設した上
記基板保持具１４５との間で複数の基板Ｗを受け渡しす
るように構成されている。また、上記チャンバー開閉蓋
１４０は、その一辺を蝶蟠１４１で上開き可能に蝶着し
てある。なお、図６中の符号１２７は除塵フィルター付
き吸気口である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例では、以下
のような不都合がある。上記チャック１０８ａは、上下
方向に比較的長い寸法で形成され、かつ、昇降自在に構
成されているため、その剛性を強くするにも限度があ
り、基板Ｗを搬送する際や、基板乾燥装置１２０のチャ
ンバー１２１内に基板Ｗを下降挿入する際に振動する。
この振動により多数の基板Ｗがチャック１０８ａの保持
溝の中で振動し、この振動摩耗に起因して摩耗塵（以下
パーティクルという）が発生する。本発明はこのような
事情を考慮してなされたもので、基板搬送用ロボットで
基板を搬送する際や基板乾燥装置のチャンバー内に基板
を下降挿入する際に、チャックの振動に起因してパーテ
ィクルが発生するのを低減することを技術課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明においては、その周壁を略円形に形
成し、その周壁上部に基板出入口を、周壁下部に強制排
気口を開口形成したチャンバーと、このチャンバーの上
記基板出入口を開閉自在に閉止するチャンバー開閉蓋
と、上記チャンバー内に回転可能に設けられた横軸型ロ
ータと、上記チャンバー外に設けられ、この横軸型ロー
タを回転する回転駆動手段と、上記横軸型ロータに架設
され、複数の基板を基板搬送用ロボットとの間で起立整
列状態で受け渡し可能に保持する基板保持具と、この基
板保持具で保持した複数の基板を上記横軸型ロータに固
定する基板クランプ装置と、を具備して成る横軸回転式
基板乾燥装置において、上記基板保持具を横軸型ロータ
に対して着脱自在に架設するとともに、この基板保持具
を横軸型ロータに固定する保持具クランプ装置を当該横
軸型ロータに設け、上記横軸型ロータの下側に上記基板
保持具を昇降する保持具昇降手段を昇降自在に配置し、
この保持具昇降手段で上記基板保持具をチャンバーの基
板出入口を越える上昇位置まで上昇させて、上記基板保
持具と基板搬送用ロボットとの間で複数の基板を受け渡
し可能に構成したことを要旨とするものである。

【０００７】また、請求項２の発明においては、チャン
バー開閉蓋がスライド開閉装置を備えて成り、チャンバ
ーの基板出入口の横一側にスライド退避して基板出入口
を開くように構成した。

【０００８】

【作 用】請求項１の発明では、横軸型ロータに対して
着脱自在に架設された基板保持具を、横軸型ロータの下
側に昇降自在に配置した保持具昇降手段で持ち上げ、チ
ャンバーの基板出入口を越える上昇位置まで上昇させ
て、基板保持具と基板搬送用ロボットとの間で複数の基
板を受け渡す。また、基板の乾燥時においては、複数の
基板を保持する基板保持具は、保持具クランプ装置によ
り、横軸型ロータに固定される。

【０００９】請求項２の発明では、上記作用に加え、チ
ャンバー開閉蓋が横一側にスライドするため、その開閉
動作時に、チャンバー開閉蓋と基板搬送ロボットとが干
渉することはない。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいてさら
に詳しく説明する。図５は本発明に係る横軸回転式基板
乾燥装置を備えた基板処理装置の概要図である。先ず基
板処理装置の概要について簡単に説明する。

【００１１】この基板処理装置は、基板Ｗを収容するカ
セットＣの搬入搬出部１と、この搬入搬出部１と後述す
る基板移載部３との間でカセットＣを移載するカセット
移載ロボット２と、そのカセットＣから基板Ｗを取り出
し又はカセットＣ内に基板Ｗを装填する上記基板移載部
３と、本発明に係る横軸回転式基板乾燥装置２０を備
え、後述する浸漬処理及び洗浄を終えた基板Ｗを液切り
乾燥する乾燥部４と、複数の処理槽５ａ・５ｂ・５ｃを
備え、多数の基板Ｗを一括して浸漬処理及び洗浄する基
板処理部５と、上記基板移載部３でカセットＣから取り
出した複数の基板Ｗを一括保持して上記基板処理部５や
乾燥部４に搬送する基板搬送ロボット８とを具備して成
る。

【００１２】上記カセットＣの搬入搬出部１では、カセ
ット搬送ロボット（図示せず）や人手でカセットＣを搬
入・搬出するため、図５の紙面上垂直方向に長く、複数
のカセットＣを載置するカセットテーブル１０を備え、
このカセットテーブル１０の下側にオリエンテーション
フラット整合装置１１を備え、カセットＣの搬入・搬出
時に、カセットテーブル１１上に位置決め載置したカセ
ットＣ内の基板Ｗのオリエンテーションフラットを揃え
るように構成されている。

【００１３】上記基板移載部３は、水平回動可能なカセ
ット載置台１３と、カセット載置台１３を回動させるモ
ータ１４と、カセット載置台１３の下側に昇降自在に設
けられた基板受渡具１６と、基板受渡具１６の昇降駆動
装置１８とを備えて成り、前記カセット移載ロボット２
でカセット載置台１３上に搬入されたカセットＣを必要
に応じて９０゜方向転換し、次いで基板受渡具１６をカ
セット載置台１３及びカセットＣとを貫通させて突き上
げ、複数の基板Ｗをこの基板受渡具１６で一括保持して
取り出し、前記基板搬送ロボット８に引き渡し又はその
基板搬送ロボット８から受け取った処理済みの基板Ｗを
カセットＣ内に装填するように構成されている。

【００１４】上記基板処理部５は、複数の処理槽５ａ〜
５ｃと、各処理槽の下側の配管室６ａ〜６ｃと、配管室
の下側に配置された複数種の薬液貯溜容器７ａ〜７ｅを
備えて成り、上記各処理槽５ａ〜５ｃは、昇降自在に設
けられた基板載置具９を備え、基板搬送ロボット８から
受け取った複数の基板Ｗを一括保持して各処理槽５ａ〜
５ｃ内に浸漬し、所要の基板処理及び洗浄処理をするよ
うに構成されている。

【００１５】また、基板搬送ロボット８は、図５に示す
ように、ガイドレール９に沿って、基板移載部３、横軸
型回転式基板乾燥装置２０及び基板処理部５の上方を、
水平方向に移動可能となっている。また、この基板搬送
ロボット８は、図１で示すように、左右一対のアーム回
転軸８ｃに、複数の基板Ｗを起立整列状態で一括保持す
るチャック８ａを備え、この一対のチャック８ａは、そ
の対向面同士と、その裏面同士とに、それぞれ基板Ｗを
一括保持する保持溝８ｂを有し、左右一対のアーム回転
軸８ｃの回転により、チャック８ａをその対向面同士又
はその裏面同士が、それぞれ逆ハの字状をなす基板保持
姿勢に切り換え得るように構成されている。

【００１６】つまり、チャック８ａは昇降自在ではな
く、かつ、未処理基板を保持する場合と、処理済みの基
板を保持する場合とで、チャック８ａの対向面同士とそ
の裏面同士とを使い分けるようにしている。これによ
り、チャック８ａを上下方向に長い寸法で形成する必要
はなく、その剛性を強くして搬送時の振動を軽減し、チ
ャック８ａの振動に起因するパーティクルの発生を低減
することができる。また、チャックを未処理基板と処理
済み基板とで使い分けることにより、基板の処理品質を
一層向上させることができる。

【００１７】以下、図１〜図５を参照しつつ、本発明の
実施例に係る横軸回転式基板乾燥装置２０ついて詳述す
る。この横軸回転式基板乾燥装置２０は、図１・図２・
図５で示すように、その周壁２２を略円形に形成したチ
ャンバー２１と、上記チャンバー２１内に回転可能に設
けられた横軸型のロータ３０と、上記チャンバー２１外
に設けられ、このロータ３０を回転する回転駆動手段
（モータ）３５と、チャンバー２１の基板出入口２３を
開閉自在に閉止するチャンバー開閉蓋４０と、上記ロー
タ３０に着脱自在に架設された基板保持具４５と、上記
基板保持具４５を昇降するためにロータ３０の下側に昇
降自在に設けられた保持具昇降手段５０と、上記基板保
持具４５で保持した複数の基板Ｗと基板保持具４５とを
それぞれ上記ロータ３０に固定する基板クランプ装置８
０及び保持具クランプ装置８５とを備えて成る。

【００１８】上記チャンバー２１は、図１及び図２で示
すように、その周壁２２が略円形に形され、その周壁上
部には基板出入口２３が、また、周壁下部には強制排気
口２６が開口形成され、この基板出入口２３はチャンバ
ー開閉蓋４０で開閉自在に閉止され、強制排気口２６に
は排液ドレン２７(第５図参照)を介して図示しない強制
排気ブロア等が連通されている。また、上記チャンバー
開閉蓋４０には、チャンバー周壁２２の上部周壁部分２
２ａが固定され、基板出入口２３はこの上部周壁部分２
２ａによりシール部材２４を介して閉止されるように構
成されている。なお、このチャンバー開閉蓋４０は、上
記チャンバー２１の基板出入口２３の横一側にスライド
退避して、基板出入口２３を開くように構成されている
が、そのスライド開閉構造については後述する。また、
上記チャンバー２１の側方には、フィルターを介して外
気を取り入れるための吸気口(図示せず)が設けられてい
る。

【００１９】上記横軸型のロータ３０は、図１及び図２
で示すように、所定の間隔で離間配置した前後一対の回
転フランジ３１・３１と、前後一対の回転フランジ３１・
３１を一体回転可能に連結する複数の連結杆３２と、各
回転フランジ３１・３１に外向きに水平に突設された支
軸３３とから成り、各支軸３３は防振支持された架台６
０に立設された前後一対の機枠３４・３４に回転自在に
枢支されている。そしてこのロータ３０は、チャンバー
２１の外で、基枠６３に設けられた回転駆動手段（モー
タ）３５の駆動プーリ３６と前方の支軸３３に固定した
プーリ３８との間に無端ベルト３７を巻掛けて回転させ
るように構成されている。なお、前後一対の回転フラン
ジ３１・３１の各対向面には、前記基板保持具４５を着
脱自在に支持する左右一対の支持具４２・４２が付設さ
れている。

【００２０】上記基板保持具４５は、図１及び図２で示
すように、略水平に設けられた底板４６と、底板４６の
両端部に固設された前後一対の側板４７と、前後一対の
側板４７間に水平に架設された３つの基板保持杆４８と
から成る。上記底板４６の前後両端部には、前後一対の
回転フランジ３１・３１に付設された前記支持具４２の
各係合ピン４３が係入するピン係入孔４３ａと、前記保
持具昇降手段５０の係合ピン５１が係入するピン係入孔
５１ａとがあけられており、この底板４６が係合ピン４
３で位置決めされて、支持具４２により着脱自在に支え
られている。また、各基板保持杆４８には基板保持溝４
８ａが等ピッチで形成されており、複数の基板Ｗを前後
に起立整列状態で保持するように構成されている。

【００２１】上記保持具昇降手段５０は、図１及び図２
で示すように、上記基板保持具４５の前後両端部を支持
する前後一対の支持具５２と、前記架台６０に設けられ
た各スライド軸受６１及び摩耗塵排除具６２を介して各
支持具５２を昇降可能に支える押上ロッド５３と、各押
上ロッド５３の下端部を支える従動ナット５４と、各従
動ナット５４に螺合し、上下の各架台６０・６４間に立
設された駆動ネジ５５と、下方の架台６４に設けられ、
各駆動ネジ５５を無端ベルト５６を介して回転させる駆
動モータ５８とを備えて成り、前後一対の支持具５２
が、図１の実線で示す待機位置Ｌと仮想線で示す上昇位
置Ｈとの間を昇降するように構成されている。

【００２２】即ち、基板搬送ロボット８との間で基板Ｗ
を受け渡す際には、この保持具昇降手段５０の前後一対
の支持具５２で上記基板保持具４５をチャンバー２１の
基板出入口２３を越える上昇位置Ｈまで上昇させて、上
記基板保持具４５と基板搬送用ロボット８との間で複数
の基板Ｗを受け渡し、その後下降して基板保持具４５を
前後一対の回転フランジ３１・３１の各支持具４２・４
２に架着し、次いで、ロータ３０を回転させて液切り乾
燥する際には、前後一対の支持具５２が上記ロータ３０
の下側の強制排気口２６の横の待機位置Ｌで待機するよ
うに構成されている。

【００２３】なお、各回転フランジ３１及び保持具昇降
手段５０には、それぞれ図示しない検出器が付設されて
おり、上昇時及び下降時には前記各回転フランジ３１の
各支持具４２及び保持具昇降手段５０の支持具５２のそ
れぞれの係合ピン４３・５１が、前記基板保持具４５の
底板４６のピン係入孔４３ａ・５１ａにそれぞれ係入し
たことを確認するように構成されている。

【００２４】次に、チャンバー開閉蓋４０のスライド開
閉装置について説明する。ここで図２に示す符号７０は
スライド開閉装置全体を示す。このスライド開閉装置７
０は、図２及び図３で示すように、チャンバー開閉蓋４
０の前後両端部を支える前後一対の側板７１と、各側板
７１の下部に固定されたスライダー７２と、各スライダ
ー７２を図３における左右（矢印Ａ）方向へ案内する前
後一対のガイド板７３と、各ガイド板７３の左右両端部
を一体に固定するガイド機枠７４と、上記スライダー７
２を左右（矢印Ａ）方向へ移動させるため上記ガイド機
枠７４の前側に付設されたロッドレスシリンダー７５
と、連結軸７８を介してガイド機枠７４の左端部を矢印
Ｂ方向へ回動させるエアシリンダ６８とを備えて成る。

【００２５】上記ガイド機枠７４は、その左側部が連結
軸７８・回動アーム６７・回動アーム６７の支軸６６を
介して支持枠６５に支持され、ガイド機枠７４の右側部
は支軸７９により回動自在に枢支されており、このスラ
イド開閉装置７０は、以下のように作動する。先ず、エ
アシリンダ６８を作動させて、上記ガイド機枠７４の左
側部を少し持ち上げると、チャンバー開閉蓋４０は、図
３中の一点鎖線で誇張して示すように、浮上して前記シ
ール部材２４との圧接を解く。

【００２６】次いで、上記ロッドレスシリンダー７５を
作動させるとロッドレスシリンダー７５の出力スライド
部７６が右方向へ移動する。するとこの出力スライド部
７６に連結ブロック７７を介して連結されたスライダー
７２が右方向へ移動し、チャンバー開閉蓋４０は、図３
中の二点鎖線で示すように、上記チャンバー２１の基板
出入口２３の横一側にスライド退避して当該基板出入口
２３を開く。このようにチャンバー開閉蓋４０を基板出
入口２３の横一側にスライド退避させることにより、チ
ャンバー開閉蓋４０の開閉動作中においても基板搬送ロ
ボット８のチャック８ａとチャンバー２１とを接近させ
ることが可能となり、基板の受け渡しにおけるスループ
ットを向上させることができる。

【００２７】次に、基板Ｗと基板保持具４５とを前記ロ
ータ３０に固定するための基板クランプ装置８０及び保
持具クランプ装置８５について説明する。なお、基板ク
ランプ装置８０と保持具クランプ装置８５とは、後述す
る増速リンク機構（図４の符号９０）により、図１中の
実線で示すクランプ位置と、二点鎖線で示すアンクラン
プ位置との間で回動するように構成されている。

【００２８】上記基板クランプ装置８０は、図１に示す
ように、前記ロータ３０を構成する前後一対の回転フラ
ンジ３１・３１を貫通し、回動自在に枢支された左右一
対の回動軸８１と、回転フランジ３１・３１間において
各回動軸８１の前後両端部に固定されて一組をなし、二
組で左右一対をなす回動アーム８２と、前後一組の各回
動アーム８２間に架設されて、複数の基板Ｗを当接固定
する当接固定具８３とを具備して成る。また、上記保持
具クランプ装置８５は、図１に示すように、上記同様の
回動軸８６と、回転フランジ３１・３１間において各回
動軸８６の前後両端部に固定されて一組をなし、二組で
左右一対をなす回動アーム式の当接固定具８７とを具備
して成る。

【００２９】即ち、実線で示すクランプ位置では、基板
Ｗを当接固定具８３で当接固定するとともに、基板保持
具４５の前後両端の側板４７を当接固定具８７で当接固
定し、アンクランプ位置ではそれぞれ当接固定具８３・
８７を上方に開いて退避させ、基板保持具４５の昇降を
許容し得るように構成されている。なお、基板保持具４
５を昇降させる際には、あらかじめチャンバー開閉蓋４
０を開けておく。

【００３０】前記増速リンク機構９０は、各回転フラン
ジ３１のそれぞれ外側面に付設されており、前後で一組
をなし、左右二組で一対をなすように構成されている。
なお、増速リンク機構９０は左右対称に設けられてお
り、図４では前側の回転フランジ３１に付設された左側
の一組についてのみ図示している。この増速リンク機構
９０は、上記基板クランプ装置８０の回動軸８１の前端
部に固定された扇形の従動アーム９１と、上記保持具ク
ランプ装置８５の回動軸８６の前端部に固定された駆動
アーム９７と、従動アーム９１と駆動アーム９７とを連
結するリンク９４とを具備して成る。

【００３１】つまり、図２に示すロッド駆動手段１０５
で回動操作ロッド１０６を突出・回動させて、保持具ク
ランプ装置８５の回動軸８６先端を回動操作することに
より、当該保持具クランプ装置８５をクランプ・アンク
ランプ操作するとともに、上記駆動アーム９７及びリン
ク９４を介して従動アーム９１を回動させ、基板クラン
プ装置８０をクランプ・アンクランプ操作するように構
成されている。

【００３２】上記増速リンク機構９０は、図４で示すよ
うに、従動アーム９１にリンク９４の基端部を基端ピン
９３で連結するとともに、リンク９４の先端部を先端ピ
ン９６で駆動アーム９７に連結し、駆動アーム９７の基
端部を回動軸８６に固定して成り、実線で示すクランプ
位置において、基端ピン９３から回動軸８６に向けた延
長線上に駆動アーム９７の回動上死点Ｐを設定するとと
もに、回動上死点Ｐと基端ピン９３間の距離をリンク９
４の両端ピン９３・９６間の自由長よりも大きく設定し
て構成されている。

【００３３】そしてリンク９４は、弾性変形可能な弾性
部材で湾曲に形成され、図４に示すように凹湾部がロー
タ３０の回転中心Ｇに対して外向きになるように配置さ
れ、実線で示すクランプ位置では、リンク９４の先端部
が回動上死点Ｐを超えた近傍にストッパ１０４で位置決
めされ、リンク９４の弾性復元力により上記駆動アーム
９７及び従動アーム９１をクランプ位置に拘束するよう
に構成されている。

【００３４】即ち、図４に示すように、駆動アーム９７
は二点鎖線で示すアンクランプ位置から実線で示すクラ
ンプ位置まで約１８０°回動して、回動上死点Ｐを超え
た近傍に位置決めされる。その間にリンク９４及び従動
アーム９１はそれぞれ実線で示す位置まで回動するが、
リンク９４は回動上死点Ｐを超えるときに弾性変形して
伸長し、回動上死点Ｐを超えた位置では、その弾性復元
力によりクランプ状態を維持する。

【００３５】なお、図４中の符号１０１・１０２はそれ
ぞれ従動アーム９１のストッパ、１０３はリンク９４の
途中部に固定された係止部９５を係止する係止ピンであ
り、ロータ３０の回転により、遠心力が従動アーム９１
やリンク９４に作用しても、係止ピン１０３で係止部９
５及びリンク９４を実線で示す位置に係止し、従動アー
ム９１がアンクランプ状態になるのを確実に防止するよ
うに構成されている。

【００３６】また、図４中の符号９８は、回転フランジ
３１に貫通形成された円弧状の長孔であり、上記従動ア
ーム９１と前記基板クランプ装置８０の回動軸８１の前
後両端部に固定された回動アーム８２とを、この円弧状
の長孔９８内を挿通する連結ボルト９２で強固に連結し
てある。これは、前記基板クランプ装置８０の回動アー
ム８２及び回動アーム８２間に架設された当接固定具８
３にロータ３０の回転による遠心力が強力に作用するこ
とから、この遠心力に抗して回転軸８１と従動アーム９
１とが一体性を失い、回動してしまう事を阻止するため
である。

【００３７】なお、本発明は上記実施例に限るものでは
なく、チャンバー・ロータ・基板保持具・保持具昇降手
段・チャンバー開閉蓋のスライド開閉装置等の形態につ
いても、適宜変更を加えて実施し得ることは多言を要し
ない。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明では、横軸型ロータに対
して着脱自在に架設された基板保持具を、横軸型ロータ
の下側に昇降自在に配置した保持具昇降手段で持ち上
げ、チャンバーの基板出入口を越える上昇位置まで上昇
させて、基板保持具と基板搬送用ロボットとの間で複数
の基板を受け渡すように構成したので、基板搬送用ロボ
ットのチャックは、上下方向に長い寸法で形成したり、
昇降自在に構成する必要もないため、その剛性を強くし
て搬送時の振動を軽減することができる。これにより、
基板搬送用ロボットで基板を搬送する際や基板乾燥装置
のチャンバー内に基板を下降挿入する際に、チャックの
振動に起因するパーティクルの発生を低減することがで
きる。

【００３９】請求項２の発明では、上記に加え、チャン
バー開閉蓋が横一側にスライドするよう構成したので、
その開閉動作中においても基板搬送ロボットとチャンバ
ー開閉蓋が干渉することを防止でき、搬送ロボットとチ
ャンバーとを予め接近させておくことにより、基板の受
け渡しにおけるスループットを向上させることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転式基板乾燥装置の縦断正面図
である。

【図２】本発明に係る回転式基板乾燥装置の縦断側面図
である。

【図３】チャンバー開閉蓋の開閉装置の正面図である。

【図４】基板と基板保持具の各クランプ装置の動作説明
図である。

【図５】本発明に係る回転式基板乾燥装置を備えた基板
処理装置の概略縦断面図である。

【図６】従来例に係る回転式基板乾燥装置の図１相当図
である。

【符号の説明】

８…基板搬送用ロボット、 ２０…横軸回転式基板乾
燥装置、２１…チャンバー、 ２２…チャン
バー周壁、２３…周壁上部の基板出入口、 ２６…強制
排気口、３０…横軸型ロータ、 ３５…横軸型
ロータの回転駆動手段、４０…チャンバー開閉蓋、
４５…基板保持具、５０…保持具昇降手段、
７０…スライド開閉装置、８０…基板クランプ装置、
８５…保持具クランプ装置、９０…増速リンク機
構、 Ｈ…上昇位置、Ｗ…基板。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 その周壁を略円形に形成し、その周壁上
   部に基板出入口を、周壁下部に強制排気口を開口形成し
   たチャンバーと、このチャンバーの上記基板出入口を開
   閉自在に閉止するチャンバー開閉蓋と、 上記チャンバー内に回転可能に設けられた横軸型ロータ
   と、上記チャンバー外に設けられ、この横軸型ロータを
   回転する回転駆動手段と、 上記横軸型ロータに架設され、複数の基板を基板搬送用
   ロボットとの間で起立整列状態で受け渡し可能に保持す
   る基板保持具と、 この基板保持具で保持した複数の基板を上記横軸型ロー
   タに固定する基板クランプ装置と、 を具備して成る横軸回転式基板乾燥装置において、 上記基板保持具を横軸型ロータに対して着脱自在に架設
   するとともに、この基板保持具を横軸型ロータに固定す
   る保持具クランプ装置を当該横軸型ロータに設け、 上記横軸型ロータの下側に上記基板保持具を昇降する保
   持具昇降手段を昇降自在に配置し、 この保持具昇降手段により、上記基板保持具をチャンバ
   ーの基板出入口を越える上昇位置まで上昇させて、上記
   基板保持具と基板搬送用ロボットとの間で複数の基板を
   受け渡し可能に構成したことを特徴とする横軸回転式基
   板乾燥装置。
2. 【請求項２】 チャンバー開閉蓋は、スライド開閉装置
   を備えて成り、チャンバーの基板出入口の横一側にスラ
   イド退避して、基板出入口を開くように構成した請求項
   １に記載の横軸回転式基板乾燥装置。