JPH0348705U - - Google Patents

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JPH0348705U
JPH0348705U JP1990095031U JP9503190U JPH0348705U JP H0348705 U JPH0348705 U JP H0348705U JP 1990095031 U JP1990095031 U JP 1990095031U JP 9503190 U JP9503190 U JP 9503190U JP H0348705 U JPH0348705 U JP H0348705U
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JP
Japan
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plastic film
transmitted light
wavelength band
infrared rays
partial reflection
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JP1990095031U
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor

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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例による測定装置の
部分略図；第２図は、選択される波長帯域と、プ
ラスチツク材料の透過曲線の形状との関係を示す
グラフ；第３図は、第１図に示される測定装置に
おいて使用すべき検出器を示すブロツク図；およ
び第４図は、別の検出器の構成を示すブロツク図
である。 １……赤外線、２……プラツチツクフイルム、
７，８……波長帯域、１０，１４……透過光部分
、１２，１６……検出器、１３，１７……感光検
出素子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 赤外線１を被測定プラスチツクフイルム２
    に透過させる際に、その一部分がフイルムに吸収
    される赤外線の透過光を利用して、プラスチツク
    フイルムの特性、特にその膜厚を測定する装置に
    おいて、第１の波長帯域７と、前記第１の波長帯
    域７の波長に近い波長λを有し、かつ前記プラス
    チツクフイルム２のプラスチツク材料の吸収ピー
    クに位置する第２の波長帯域８とを、前記透過光
    から分離する手段と、前記第１の波長帯域７に対
    応する透過光部分１０を検出する第１の検出器１
    ２，１３と、前記第２の波長帯域８に対応する透
    過光部分１４を検出する第２の検出器１６，１７
    と、前記第１の検出器１２，１３の出力信号と前
    記第２の検出器１６，１７の出力信号との比を計
    算し、前記比に基づいて、前記プラスチツクフイ
    ルム２の測定点における所望の特性、例えば膜厚
    を決定する手段と、前記プラスチツクフイルム２
    を透過していない自由照射光の前記第１及び第２
    の波長帯域７，８における強度の比を決定するた
    めの基準測定を行なう手段と、前記透過光の前記
    第１及び第２波長帯域７，８における強度の比と
    前記基準測定における照射強度の比とを比較して
    、動作点の移動を補償する手段とを有することを
    特徴とする赤外線を使用してプラスチツクフイル
    ム特性を測定する装置。 (2) 前記赤外線１は断続する赤外線であり、前
    記第１の検出器１２および前記第２の検出器１６
    は入力信号を増幅し、且つ前記入力信号から断続
    周波数成分をフイルタ処理により除去することを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載
    の赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性
    を測定する装置。 (3) 前記フイルタ処理において、断続器または
    検出すべき信号から得られる同期信号１９が利用
    されることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
    第２項に記載の赤外線を使用してプラスチツクフ
    イルムの特性を測定する装置。 (4) 前記第１の検出器１２と前記第２の検出器
    １６とは全く同じ構成であることを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第１項に記載の赤外線を使
    用してプラスチツクフイルムの特性を測定する装
    置。 (5) 前記第１の波長帯域７に対応する前記透過
    光部分１０のみを透過し、且つ他の透過光部分を
    すべて反射する第１の部分反射フイルタ３と、前
    記第１の部分反射フイルタ３により反射された前
    記他の透過光が入射され、前記第２の波長帯域８
    に対応する透過光部分１４のみを透過し、且つそ
    の他の透過光部分をすべて反射する第２の部分反
    射フイルタ１とにより、前記第１及び第２の波長
    帯域７，８は前記プラスチツクフイルム２を透過
    した前記透過光部分から分離されることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項に記載の赤外
    線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測定
    する装置。 (6) 前記第１の部分反射フイルタ３は入射光に
    対して４５度の角度で取り付けられることを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第５項に記載の赤
    外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測
    定する装置。 (7) 前記第２の部分反射フイルタ４は入射光に
    対して９０度とは僅かに異なる角度または前記第
    １の部分反射フイルタ３に対して４５度とは僅か
    に異なる角度で取り付けられることを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第５項に記載の赤外線を
    使用してプラスチツクフイルムの特性を測定する
    装置。 (8) 前記第１の部分反射フイルタ３および前記
    第２の部分反射フイルタ４として、干渉帯域フイ
    ルタが使用されることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第５項に記載の赤外線を使用してプラ
    スチツクフイルムの特性を測定する装置。 (9) 前記第１の波長帯域７および前記第２の波
    長帯域８は、半透過ミラーおよび２つの帯域フイ
    ルタにより、前記透過光から分離されることを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
    赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を
    測定する装置。
JP1990095031U 1981-08-18 1990-09-10 Pending JPH0348705U (ja)

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FI812546A FI69370C (fi) 1981-08-18 1981-08-18 Foerfarande foer maetning av egenskaperna hos ett plastskikt med hjaelp av infraroed straolning

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JP57143176A Pending JPS5839931A (ja) 1981-08-18 1982-08-18 赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測定する方法
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