JPH0348705U - - Google Patents
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- JPH0348705U JPH0348705U JP1990095031U JP9503190U JPH0348705U JP H0348705 U JPH0348705 U JP H0348705U JP 1990095031 U JP1990095031 U JP 1990095031U JP 9503190 U JP9503190 U JP 9503190U JP H0348705 U JPH0348705 U JP H0348705U
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- JP
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- plastic film
- transmitted light
- wavelength band
- infrared rays
- partial reflection
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- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 14
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
第1図は、本考案の一実施例による測定装置の
部分略図;第2図は、選択される波長帯域と、プ
ラスチツク材料の透過曲線の形状との関係を示す
グラフ;第3図は、第1図に示される測定装置に
おいて使用すべき検出器を示すブロツク図;およ
び第4図は、別の検出器の構成を示すブロツク図
である。 1……赤外線、2……プラツチツクフイルム、
7,8……波長帯域、10,14……透過光部分
、12,16……検出器、13,17……感光検
出素子。
部分略図;第2図は、選択される波長帯域と、プ
ラスチツク材料の透過曲線の形状との関係を示す
グラフ;第3図は、第1図に示される測定装置に
おいて使用すべき検出器を示すブロツク図;およ
び第4図は、別の検出器の構成を示すブロツク図
である。 1……赤外線、2……プラツチツクフイルム、
7,8……波長帯域、10,14……透過光部分
、12,16……検出器、13,17……感光検
出素子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 赤外線1を被測定プラスチツクフイルム2
に透過させる際に、その一部分がフイルムに吸収
される赤外線の透過光を利用して、プラスチツク
フイルムの特性、特にその膜厚を測定する装置に
おいて、第1の波長帯域7と、前記第1の波長帯
域7の波長に近い波長λを有し、かつ前記プラス
チツクフイルム2のプラスチツク材料の吸収ピー
クに位置する第2の波長帯域8とを、前記透過光
から分離する手段と、前記第1の波長帯域7に対
応する透過光部分10を検出する第1の検出器1
2,13と、前記第2の波長帯域8に対応する透
過光部分14を検出する第2の検出器16,17
と、前記第1の検出器12,13の出力信号と前
記第2の検出器16,17の出力信号との比を計
算し、前記比に基づいて、前記プラスチツクフイ
ルム2の測定点における所望の特性、例えば膜厚
を決定する手段と、前記プラスチツクフイルム2
を透過していない自由照射光の前記第1及び第2
の波長帯域7,8における強度の比を決定するた
めの基準測定を行なう手段と、前記透過光の前記
第1及び第2波長帯域7,8における強度の比と
前記基準測定における照射強度の比とを比較して
、動作点の移動を補償する手段とを有することを
特徴とする赤外線を使用してプラスチツクフイル
ム特性を測定する装置。 (2) 前記赤外線1は断続する赤外線であり、前
記第1の検出器12および前記第2の検出器16
は入力信号を増幅し、且つ前記入力信号から断続
周波数成分をフイルタ処理により除去することを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項に記載
の赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性
を測定する装置。 (3) 前記フイルタ処理において、断続器または
検出すべき信号から得られる同期信号19が利用
されることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第2項に記載の赤外線を使用してプラスチツクフ
イルムの特性を測定する装置。 (4) 前記第1の検出器12と前記第2の検出器
16とは全く同じ構成であることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第1項に記載の赤外線を使
用してプラスチツクフイルムの特性を測定する装
置。 (5) 前記第1の波長帯域7に対応する前記透過
光部分10のみを透過し、且つ他の透過光部分を
すべて反射する第1の部分反射フイルタ3と、前
記第1の部分反射フイルタ3により反射された前
記他の透過光が入射され、前記第2の波長帯域8
に対応する透過光部分14のみを透過し、且つそ
の他の透過光部分をすべて反射する第2の部分反
射フイルタ1とにより、前記第1及び第2の波長
帯域7,8は前記プラスチツクフイルム2を透過
した前記透過光部分から分離されることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第1項に記載の赤外
線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測定
する装置。 (6) 前記第1の部分反射フイルタ3は入射光に
対して45度の角度で取り付けられることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第5項に記載の赤
外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測
定する装置。 (7) 前記第2の部分反射フイルタ4は入射光に
対して90度とは僅かに異なる角度または前記第
1の部分反射フイルタ3に対して45度とは僅か
に異なる角度で取り付けられることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第5項に記載の赤外線を
使用してプラスチツクフイルムの特性を測定する
装置。 (8) 前記第1の部分反射フイルタ3および前記
第2の部分反射フイルタ4として、干渉帯域フイ
ルタが使用されることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第5項に記載の赤外線を使用してプラ
スチツクフイルムの特性を測定する装置。 (9) 前記第1の波長帯域7および前記第2の波
長帯域8は、半透過ミラーおよび2つの帯域フイ
ルタにより、前記透過光から分離されることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項に記載の
赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を
測定する装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI812546A FI69370C (fi) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | Foerfarande foer maetning av egenskaperna hos ett plastskikt med hjaelp av infraroed straolning |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0348705U true JPH0348705U (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=8514637
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57143176A Pending JPS5839931A (ja) | 1981-08-18 | 1982-08-18 | 赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測定する方法 |
JP1990095031U Pending JPH0348705U (ja) | 1981-08-18 | 1990-09-10 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57143176A Pending JPS5839931A (ja) | 1981-08-18 | 1982-08-18 | 赤外線を使用してプラスチツクフイルムの特性を測定する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4490612A (ja) |
JP (2) | JPS5839931A (ja) |
DE (1) | DE3230442A1 (ja) |
FI (1) | FI69370C (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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1981
- 1981-08-18 FI FI812546A patent/FI69370C/fi not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-08-12 US US06/407,386 patent/US4490612A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-08-16 DE DE19823230442 patent/DE3230442A1/de not_active Withdrawn
- 1982-08-18 JP JP57143176A patent/JPS5839931A/ja active Pending
-
1990
- 1990-09-10 JP JP1990095031U patent/JPH0348705U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS49134351A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 |
Also Published As
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---|---|
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US4490612A (en) | 1984-12-25 |
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