JPS59147229A - 分光光度計 - Google Patents

分光光度計

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JPS59147229A
JPS59147229A JP58021949A JP2194983A JPS59147229A JP S59147229 A JPS59147229 A JP S59147229A JP 58021949 A JP58021949 A JP 58021949A JP 2194983 A JP2194983 A JP 2194983A JP S59147229 A JPS59147229 A JP S59147229A
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dark
light
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JP58021949A
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Yoshiro Fukazawa
深沢 与四郎
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Jasco Corp
Original Assignee
Japan Spectroscopic Co Ltd
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Publication date
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    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
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    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J2001/4242Modulated light, e.g. for synchronizing source and detector circuit
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    • G01N2201/12Circuits of general importance; Signal processing
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はダブルビーム方式の分光光度計に関し、特に不
要放射光の除去を目的とした周波数成分検出方式の赤外
分光光度計に関するものである。
従来技術 周知のようにダブルビーム方式の分光光度計は、測定対
象となる試料と標準試料(又は空のセル)に交互に光音
入射させ、測定対象の試料を透過した試料光と標準試料
を透過した標準光(又は参照光)の強度を測定し、試料
光強度を標準光強度と対比することによって試料の透過
率(又は吸光度)を求めるものである。ところでこうし
たダブルビーム方式の分光光度計で赤外領域の測定上行
う場合、試料又は標準試料はそれぞれの固有温度及び光
照射に伴う加熱温度に応じた熱放射光を発つしているた
め、これが偽信号として試料光と標準光にそれぞれ重畳
する結果、両光の強度をそのまま対比したのでは偽信号
の入ったままで、試料の透過率について正しい結果が得
られない。高温の試料音測定する場合には、熱放射光が
それだけ強くなるため、偽信号のレベルが高まシ測定結
果は全く信頼できないものになってしまう。
こうした不都合を避けるため、不要放射光の除去を目的
としたいわゆるエミッションレス分光光度針がこれまで
幾つか提案されている。その1つは特公昭42−235
55号公報に開示されておシ、これではいわゆるダブル
チ、、ビングー複光束光学的零位方式によって不要放射
光の除去が図られている。っまシ、試料セルと標準セル
の後方に置いた第1のチョッパーの他に、その前方に補
助チw2パーが置かれ、第1のチョッパーを周波数f1
+補助チョッパーを周波数f2で回転し、fl〉f2の
関係とする。従って検知器からは、周波数f2の偽信号
波形に周波数f1の偽信号十三信号の波形が重畳した信
号が得られる。そして、補助チョッパーと第1チ、ツバ
−に同期する2つの同期整流器を備え、補助同期整流器
からの出方で熱放射光に対応した偽信号分が光学零位法
的に除去される。
これによれば、試料と標準試料からの熱放射光に影響さ
れることなく試料の透過率について正しい結果が得られ
るが、光学的零位方式を採用しているため次のような欠
点?有する。減光器に通常使われているくさび形絞フの
加工精度。
それを移、動させるための駆動用サーボモータの回転む
ら、さらにくさび形絞シを検出するポテンショメータの
rtljl性の誤差等に起因して、絞υの移動量と減光
量が必ずしも比例せず、測定精度の低下が避けられない
。又、光学系全サーボループ内に含めているため、信号
が複雑化し、装置の構成も複雑且つ高価となシ、シかも
応答性が低下する。
光学的零位法を用いずに上記のような欠点を避ける方式
は、特公昭47−3798号公報に開示されている。こ
れはいわゆるダブルチョッピング−位相制御方式に基く
もので、光路分割用と光路再結合用の2つのチョッパー
が使われている。光路分割用のチョッパーは4分円のう
ち1つが透明、1つが反射、残υ2つが遮断するように
構成され、光路再結合用のチョッパーは半円の一方が透
明、他方が反射するように構成され、結合用チョッパー
は分割用チョッパーの2倍の速度で回転する。この結果
、試料光をS。
試料からの熱放射光k S o−標準光音R9標準試料
からの熱放射光k Ro とすると、検知器からはS 
+S 6 e R+ Ro + S o r Roの各
信号がこの順序で906の位相差をもって得られる。こ
れらの信号は一例としてスリップリングとブラシの組合
せから成る同期整流器によ、990’の位相差で分離・
整流され、so 、R,を除いたS。
R両信号の比をとることで試料の透過率(又は吸光度)
が求められる。
ところで位相制御方式では、出力波形の崩れが位相に大
きな影響を与え、その結果最終的に測定誤差が大きくな
るという欠点がある。つまシセルの配置やスリ、トの機
械的配置にズレがあった場合、あるいはスリットへの埃
の付着や光路近傍にある障害物の影響によシ光束の一部
がカットされた場合には、検出器へ入射する光の強度波
形の立ち上がシ、立ち下がりが本来の設定した位相から
ずれ、その結果測定誤差を生じる。又空気中のCUZや
水による吸収は、検出器に入射される光の強反波形自体
に影響を与え、検出器の出力信号が崩れて前記同様に位
相ズレを生じ、これによっても測定誤差がもたらされる
。さらに、上記した2つのチョッパーを位相のズレが生
じないように正しく同期させなければならず、又光束に
はエネルギー分布があシ、試料光と標準光の位相がびっ
たシタ0°ズレル位tt紮捜すのも錐し”く、調整が大
変である。
発明の目的 本発明の目的は、上記したような光学的零位方式と位相
制御方式による従来のエミッションレス分光光度計に不
可避な欠点を考慮し、周波数成分検出方式に基いてそれ
らの欠点を持たないエミッションレス分光光度計を提供
することにある。
隨里匁遺蔦 上記の目的を達成するため本発明による分光光度計は、
光源;光源からの光を標準光束と試料光束に分けるだめ
の第1セクター;両光束中にそれぞれ配置された試料セ
ルと標準セル;両光束を同一光束へ導く第2セクター;
モノクロメータ;検知器;周波数fと2fの各成分をそ
れぞれ増11〕するための2つの増巾器;該増巾器の両
川力をそれぞれ同期整流するための2つの同期整流器;
該同期整流器からの両川力の比を求める割算器;及び記
録計とから成υ、該検出器から1周期内に各45°の位
相差で、レフアレンスターク、ボンプルダーク、レファ
レンスとレファレンスダークの和、サンプルとサンプル
ダークの和、レファレンスダーク、サンプルとサンプル
ダークの和、レファレンスとレファレンスダークの和、
及びサンプルダークの8個の信号をこの順序に従って取
り出し、割算器でf成分対2f成分の比を求めるように
構成される。
又、上記検出器から1周期内に各45°の位相差で、サ
ンプルダーク、レファレンスダーク。
サンプルとサンプルダークの和、レファレンスとレファ
レンスダーりの和、サンプルダーク。
レファレンスとレファレンスダークの和、サンプルとサ
ンプルダークの和、及びレファレンスダークの8個の信
号をこの順序に従って取り出し、割算器で2f成分対f
成分の比を求めるように構成される。
本発明の好ましい実施例では、上記第1セクターが中心
角45°の透過部分と90°の反射部分と135aの透
過部分と90°の反射部分をこの順序で備え、上記第2
セクターが中心角1800の透過部分と180°の反射
部分を持ち、第1セクターと第2セクター″f:1対4
の回転比で同期回転させるように構成され、第1と第2
両セクターの構成を入れ換えても同様の目的が達成され
る。
さらに本発明の別の好ましい実施例では、上記第1セク
ターが中心角45°の透過部分と90’の反射部分と1
35°の透過部分と90°の反射部分をこの順序で備え
、上記第2セクターが中心角90°の透過部分と90°
の反射部分を交互に持ち、第1セクターと第2セクター
を1対2の回転比で同期回転させるように構成され、第
1と第2両セクターの構成を入れ換えても同様の目的が
達成される。
夫農且 以下本発明の好適実施例を図面に沿ってさらに詳しく説
明する。第1.2図は、本発明による分光光度計の光学
系と電気処理系をそれぞれ示すブロック図で、まず第1
図を参照しながら本分光光度計の光学系の構成を説明す
る。
第1図において、1はグローバーやネルンスト発熱体等
から成る赤外領域用の光源で、光源1からの光は凹面鏡
2で反射された後、第1の回転セクター3で2つの光束
に分れる。後述するように第1セクター3は特定パター
ンの反射部分と透過部分金持ち、第1セクター3で反射
された光は平面鏡4.5を経て標準光−束14となる一
方、第1セクター3を透過した光は平面鏡5′を経て試
料光束15となる。両光束14゜15はサンプルボック
ス6内に置かれた標準セル16と試料セル17をそれぞ
れ通過した後、平面鏡7.8を経て第2の回転セクター
9に至シ、そこで同一光束へと導かれる。っまシ、第2
セクター9は後述するように同じく特定パターンの透過
部分と反射部分を持ち、第2セクター9を透過した標準
光束14と第2セクター9で反射された試料光束15が
交互に同一光束に入る。第2セクター9からの光は凹面
鏡10゜平面鏡11を経て、モノクロメータ12の入射
スリットに収束される。モノクロメータ12で所定の波
長域が分光され、出射スリットから取シ出された単色光
が熱電対等の検知器13へ入射し、そこで電気信号に変
換される。
上記の第1セクター3は、−例として第3図に示すよう
に中心角45’の扇形が透過部分18゜中心角90°の
斜8i+1を施した扇形が反射(ミラー)部分19.中
心角135°の扇形が透過部分20゜次の中心角90’
の斜線を施した扇形が反射(ミ2−)部分21となるよ
うに構成され、各部分がこの順序で並んでいる。父上記
の第2セクター9は、−例として第4図に示すように中
心角180°の斜線を施した半円が反射(ミラー)部分
22.中心角180’の残りの半円が透過部分23とな
るように構成されている。
このような光学系にょシ分析測定を行う場合、標準セル
16中には標準試料、試料セル17中には測定対象の試
料をそれぞれ入れ、第1セクター3と第2セクター9を
1対4の回転比で同期回転させる。すなわち、第1セク
ター3が1回転する間に第2セクター9が4回転し、第
1セクター3と第2セクター9における透過と反射の関
係を等制約に示すと第5図、第6図のごとくなシ、検知
器13がらは第7図に示すような各信号成分が得られる
。第5.6図中、斜線を施してない部分は透過、斜縁部
分は反射を表わしている。
次に、この各信号成分について説明する。第5〜7図か
ら明らかなように、第1セクター3の1回転の間にそれ
ぞれ45°の位相差で8個の信号成分が順次発生する。
まず最初の45°の◇す領域では、光源1がらの光束が
第1セクター3を通過し試料光束15となるが、このと
き第2セクター9も透過となっているため、試料光束1
5はモノクロメータ12に入らず、標準側のダーク光が
モノクロメータ12へ入フ、いわゆるレファレンスダー
ク(RD)の信号が得られる。
このRDの中に標準試料からの不要放射光が含まれてい
る。次の45°の(1,)領域では、光源1からの光束
が第1セクター3で反射され標準光束14と成るが、こ
のとき札2セクター9も反射となっているため、標準光
束14はモノクロメータに入らず、試料側のダーク光が
モノクロメータへ入り、いわゆるザンプルダーク(S4
J )の信号が得られる。このSDO中に測定試料から
の不要放射光が含まれている。第3の45゛の(e)領
域では、光源1からの光が第1セクター3で反射され標
準光束14と成り、このとき第2セクター9は透過とな
っているから、ダーク光と共に標準光束14がモノクロ
メータに入シ、レファレンスダーク(RD)にレファレ
ンス(R)が重畳した形の信号が得られる。さらに泥4
の45°の(d)領域では、光源1からの光が第1セク
ター3″f:透過して試別光束15・と成シ、このとき
第2七2ター9は反射となっているから、ダーク光と共
に試別光束15がモノクロメータに入り、ザンプルダー
ク(SL) )にサンプル(S)が重畳した形の信号が
得られる。そして以下C8) 、。
(f)、■、■の各領域について第7図に示すように、
■もり、S+SD、R+iもり、SDの各信号が得られ
、合計8個の信号成分となる。
ここで第1セクター3を周波数f、第2セクター9全周
波数4fで回転したとすると、検知器13からは上記8
個の信号成分が単位時間当vf回繰υ返して得られる。
従って検知器13からの出力中には、第7図中波形で示
したように、レファレンス(R)に対応した周波数2f
の信号とサンプル(S)に対応した周波数fの信号が含
まれている。ここで周波数2fのイイ号は(R+RD)
 −(RJ)) = (R)の振巾を持ち、一方周波数
fの信号は(S + 5D)−(SD) =(S)の振
巾金持ち、それぞれ標準試料と測定試料からの不要放射
光に対応したダーク成分が取シ除かれているのが明らか
である。又、第3.4図のセクター3.9の配置位置を
入れ換えても同様の信号が得られるのは勿論である。
次に、このような検知器13からの出力に基き、所望の
咄比を求めるための電気処理系を第2図に沿って説明す
る。検知器13からの出力信号は、前置増rlJ器24
で増巾された後、信号中の周波数fの成分金増1コする
ための増巾器25と周波数2fの成分を増巾するための
増巾器26に入シ、上記した周波数fと2fの両成分が
それぞれ別個に増rf[Jされる。増巾器25゜26の
出力はそれぞれ周波数fと2fの同期整流器27.28
で整流された後、割算器29で両出力の比が求められ、
所望の偽信号分を含まないSA比が記録計30上に表わ
される。尚、周波数fと2fの同期整流器27.28に
は、第1セクターと第2セクターにそれぞれ併設した同
期検出器31.32からの同期信号が同期信号器33f
、経て与えられている。同期検出器は特に図示しなかっ
たが、フォトカップラー等任意のものを使用できる。
次に、本発明の別の実施例について説明する。
上記の実施例では、図面上上側を標準光束14、下側を
試料光束15としたが、これを入れ換えても同様の結果
が得られる。但しこの場合には、検出器13からの出力
信号はレファレンスとサンプルが逆にな)、1周期内に
各45°の位相差でSD、Iもり、 S+SD、 R+
RD、 SD、 R+RD、 S+SD及びRDの8個
の信号が順次得られる。そして第8図に示すようにf成
分がレファレンス、2f成分がサンプルに対応する。従
ってこの実施例では、割p−器29で2f成分対f成分
の比を求めることによシ所望のSA値が求められる。
父上記の界施例では、第2セクター9を半円が透過部分
、残シの半円が反射(ミラー)部分となるようにしたが
、セクターの構成はこれに限られない。例えば第9図に
示すように、中心角90°の透過部分34.90°の反
射部分35を交互に持つようKしてもよい。この場合に
は、半円でなく4分円づつの区分となるので、第1セク
ターと第2セクターの回転比は1対4でなく、1対2と
することによシ、第7図に示した出力信号が検出器から
得られる。勿論、第1゜2両セクターの構成を入れ換え
ても同様の結果が得られ、レファレンス側とサンプル側
を入れ換えれは前述の如く検出器からの出力信号は第8
図のようになる。
発明の効果 以上述べたように本発明によれは、所定の透過部分と反
射部分を持つ第1セクターと第2セクター全それぞれ光
束分割用及び光束結合用として用い、第1セクターと第
2セクター全1対4の回転比で同期回転させ、周波数f
と2fの両信号成分音別々に取多出す周波数成分検出方
式に基き電気的に直接S/R比を求めているため、従来
法による光学的零位方式及び位相側1i111方式に固
有な欠点を含まないエミッションレス分光光度計を得る
ことができる。
すなわち、光学的零位方式と比べれは、減光器の加工1
trv既、減光器駆動時の回転むら、さらに秋光器の位
置検出用ポテンショメータの直)詠性における誤差等に
起因した測定14度の低下が生じない。又、直接比測定
方式なのでサーホループ系とする必要がなく、信号処理
や装置の構成も簡単化される。
他方位相制御方式と比べれば、構成部材の位置精度のズ
レや異物による光のけりによってエネルギー変化が生じ
ると光の強度波形の崩れから位相にズレが生じ、ノイズ
の発生、リニアリティの低下が避けられなかったのに対
し、本発明ではこうした欠点は生じない。つまυ光のけ
υによってエネルギー分布が変わる為に生じる位相変化
はりニアリティに影響を及はさないため、エネルギー変
化による位相ズレのノイズ発生が非常に少なくなる。又
、光束にはある程度のエネルギー分布が含まれるため、
位相制御方式では試料光束と標準光束の両位相が光学的
にびったυ90°ズレる位置を捜すのが難しかったが、
本発明ではこうした繁雑さが生じない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による分光光度計の光学系を示すブロッ
ク図、第2図は同じく電気処理系を示すブロック図、第
3図は一実施例における第1セクターの構成を示す図、
第4図は一実施例における第2セクターの構成金示す図
、第5.6図は検知器からの出力信号全説明するため第
1セクターと第2セクターの透過部分9反射部分を等測
的に表わした図、第7図tよ検知器からの出力信号を示
した図、第8図は別の実施例における検知器からの出力
信号耐示した図、第9図は別の実ノ、14例における第
2セクターの構成を示す図である。 1・・光源、2.10・・・凹面鏡、3・・・第1セク
ター、4、5.5’、 7.8.11・・平面鏡、6・
・・サンプルボックス、9・・第2セクター、12・・
・モノクロメータ、13・・・検知器、14・・・漂準
光束、15・・試料光束、I6・・・標準セル、17 
・試料セル、18.20.23゜34・・・透過部分、
19,21.22.35・・・反射部分、24・・・前
直増lj器、25・・周波数fの増巾器、26・・・周
波数2fの増巾器、27・・・周波ifの同期整流器、
28・・・周波数2fの同期整流器、29・・・割算器
、30・・・記録δt、31.32・・・同期検出器、
33・・・同期信号器。 出 願 人  日本分光工業株式会社 代理人 丸 山 幸 雄 146

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)光源;光源からの光を標準光束と試料光束に分り
    るための第1セクター;両光束中にそれぞれ配置された
    試料セルと標準セル;両光束を同一光束へ導く第2セク
    ター;モノクロメータ;検知器;周波数fと2fの各成
    分をそれぞれ増巾するための2つの増巾器;該増巾器の
    両出力をそれぞれ同期整流するための2つの同期整流器
    ;該同期整流器からの両出力の比を求める割算器;及び
    記録計とから成シ、該検出器から1周期内に各45°の
    位相差で、レファレンスダーク、サンプルター り、レ
    ファレンスとレファレンスダークの和、サンプルとサン
    プルダークの和、レファレンスダーク。 サンプルとサンプルダークの和、レファレンスとレファ
    レンスダークの和、及びサンプルダークの8個の信号を
    この順序に従って取シ出し、該割算器でf成分対2f成
    分の比を求めることを特徴とする分光光度計。 (2)光源;光源からの光を標準光束と試料光束に分け
    るための第1セクター;両光束中にそれぞれ配置された
    試料セルと標準セル;両光束を同一光束へ導く第2セク
    ター;モノクロメータ;検知器;周波数fと2fの各成
    分をそれぞれ増巾するための2つの増巾器;該増巾器の
    両出力をそれぞれ同期整流するための2つの同期整流器
    :該同期整流器からの両出力の比を求める割算器;及び
    記録計とから成υ、該検出器から1周期内に各45°の
    位相差で、サンプルダーク、レファレンスダーク、サン
    プルとサンプルダークの和、レファレンスとレファレン
    スダークの和、サンプルダーク。 レファレンスとレファレンスダークの和、サンプルとサ
    ンプルダークの和、及びレファレンスダークの8個の信
    号をこの順序に従って取フ出し、該割算器で2f成分対
    f成分の比を求めること全特徴とする分光光度計。 (3)特許請求の範囲第1又は2項に記載の分光光度計
    において、上記第1セクターが中心角45″の透過部分
    と90’の反射部分と135°の透過部分と90°の反
    射部分をこの順序で備え、上記第2セクターが中心角1
    80°の透過部分と、180°の反射部分を持ち、第1
    セクターと第2セクターを1対4の回転比で同期回転さ
    せることを特徴とする分光光度計。 (4)特許請求の範囲第1又は2項に記載の分光光度計
    において、上記第1セクターが中心角180°の透過部
    分と180uの反射部分を持ち、上記第2セクターが中
    心角45’の透過部分と90゛の反射部分と1:35°
    の透過部分と90’の反射部分をこの順序で備え、第1
    セクターと第2セクターを4対1の回転比で同期回転さ
    せることを特徴とする分光光度計。 (:))特許請求の範囲第1又は2項に記載の分光光ム
    〔計において、上記第1セクターが中心角45°のMf
    t4部分と90゛′の反射部分と135°の透過部分と
    90°の反射部分音この順序で備え、上記第2セクター
    が中心角90°の透過部分と90°の反射部分を交互に
    持ち、第1セクターと第2セクターを1対2の回転比で
    同期回転させることを特徴とする分光光度計、 (6)特許請求の範囲第1又は2項に記載の分光光度計
    において、上記第1セクターが中心角90°の透過部分
    と90°の反射部分を交互に持ち、上記第2セクターが
    中心角45°の透過部分と90°の反射部分と135°
    の透過部分と90″の反射部分をこの順序で備え、第1
    セクターと第2セクターを2対1の回転比で同期回転さ
    せることを特徴とする分光光度計。
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