JPS59162424A - 位相補償型レシオ式分光光度計 - Google Patents

位相補償型レシオ式分光光度計

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JPS59162424A
JPS59162424A JP58036296A JP3629683A JPS59162424A JP S59162424 A JPS59162424 A JP S59162424A JP 58036296 A JP58036296 A JP 58036296A JP 3629683 A JP3629683 A JP 3629683A JP S59162424 A JPS59162424 A JP S59162424A
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JP58036296A
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Hirobumi Maeda
博文 前田
Yoshiro Fukazawa
深沢 与四郎
Makoto Kobayashi
誠 小林
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Jasco Corp
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Japan Spectroscopic Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G01J1/16Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
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    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
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    • G01J2001/4242Modulated light, e.g. for synchronizing source and detector circuit

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 羞jLL没jUL矩街 本発明はダブルビームによるレシオ(眠気的直躾比)方
式の亦外分元元度訂に関し、符に周?M畝戚分検出方式
において急拡な吸収等に原因した位相のずれに伴うノイ
ズ?最小限に抑えた位相補償型のレシオ万式分元″lI
S度計に関するものである。
メ」りえ盃 周矧のようにダブルビーム方式の分元元度計は測足対家
となる試料と係早試料(もしくは望のセルノに又互に元
會人躬式せ、測定対戒臥料を透過した試料光と襟早試料
?透過した参照元(憬卑元ともdう)の強涙會測定し、
臥科元頻度2珍照元頚匿と対比することによって試料の
透過率上水めるものでるる。このようなダブルビーム方
式の分元元度畦に2ける1百号処理方式、すなわち試料
透過4を自動げシv(出力させるための式次的な方式と
しては、沖外饋戦の労九九匿肛で便米から広く便用され
ている元芋的苓位万式と、厳近囲発されて米た電気けり
直接比(レシオ)方式、および目鯛利待調歪方式がめる
光学的零位方式においては、試料光と機械的減光器で減
光された参照元と全交互に切換え、参照光強度(工0)
と試料y0強度(I)との差(Io −I )に比例し
た振幅を持つ交流信号を取出し、この信号を閉ループ系
の誤差信号として扱って、この(IO−I)の値が常に
零となるように参照元中の機械的$、光器を自動調益す
るものであり、このように減光器全調節することによシ
その減光量(つまシ城元器の移動量)が透過率に比例す
ることになるから、減光器の移動を記録することによっ
て試料の透過率変化が記録されることになる。
上述のような光学的零位方式は、信号の利用率・安定性
の点で最も優れているが、その反面、次のような各dI
の欠点がある。すなわち先ず第1には、透過率の精度が
Bζ光器自体の1銹株的鞘度やその駆動系の精度によっ
て大きく左右されるため、高イ”肖度の分光光度iit
全41慌笑かつ安定し′″C傳るのが困病である。また
これに開運し、減光器に通常使用されているくさび形級
シを侵動させるための駆動用サーボモータの回転むらや
くさび形絞フの位置を検出するポテンショメータの直線
性の誤差等に起因して、その絞9の移励短と減光量が必
ずしも比例せず、透過率測定精度が低くなることも多い
。さらに、光学系をサーボループ内に含めているため、
信号が複雑化し、装置の構成も複雑かつ高価となり、し
がも応答性も低い等の欠点がある。また試料による吸収
が大きい場合には、試料光強度が零近くなシ、丑たそれ
に伴って参照光強度も苓近くなる結呆、ループ利得が小
さくなシ、そのため信頼性が低下し、また減光器目体も
その減光量が著しく大きい場合(すなわち試料の吸収が
者しく大きい場合)鴫はその精度〃・低下するから、こ
れらが相俟つて、吸収が大きい場合の副定梢度が著しく
低下する問題がある。
一方自動オU得調整方式は、減光器を用いず、試料光と
参照元およびその両者かカットされた暗光(ダーク)t
セクターミラー等の光路切替手段により時分割し、参照
光強度が常に一足値となる′ように信号処理系の利得例
えば検出器の利得や増幅器の利得を自動調整する方式で
あシ、この方式では試料光に対応する増幅器の出力が直
接試料光強度と参照光強度の比、すなわち透過率に対応
することになるから、試料光に対応する増幅器の出力を
サンプルホールドして出力することによシ、直接的に試
料光の透過率が得られる。この方式では、特に検出器と
して利得制御可能なもの、例えば光電子増倍管を用い、
その検出器にフィードバックさせて検出器の利得全制御
する場合には、全電気信号系がこのループ内に入るため
、検出器や増!1督器などの直線性、安定性が指示に影
響を与えず、高棺匿の測定が行えるほか、減光器や機械
的ザーボ系を用いていないことおよび絶対零がとれるこ
と等から、光学的零位方式のほとんど全ての欠点が除去
される。しかしながら、赤外領域での分析を行う赤外分
光光度計においては、熱電対の如き熱形検出器を用いざ
るを得す、この熱形検出器は感度調整が国利であるため
自動利得制御方式には適当ではなく、また仮に熱形検出
器を用いて増幅器の利得上側−する゛ように構成した場
合でも、可視紫外蔵分光元度計で用いられている光電子
増倍管の検出器と比佼して応答速度が著しく遅く、時定
数が著しく大きいため、検出器の出力波形と光路切替手
段を通過した光の変化の波形とが対応せず、そのため自
動利得調整方式として実用化することは困殖であった。
丑だ眠気的直接比(レシオ)方式は、自動利得調整方式
と同様に減光器を用いず、光検出器から得られた、試料
光強度に対応する成分と参照光強度に対応する成分とを
含む信号を混合状態のまま同一増幅器で増幅し、その後
両成分を電気的に信号分離して、両成分の比率を電気的
に演算する方法である。この方式は、増幅器の出力から
試料光強度成分と参照元強度成分とを分離取出しする方
法によって、周波数成分検出方式と、位相検出方式との
2棟部に大別されるが、いずれも熱電対のような熱形検
出器を用いた場合でも信号成分分離が可能であり、従っ
て赤外領域の分光光度計に用いることができる。
電気的直接比(レシオ)方式における周波数成分方式の
ものとしては、特開昭52−10790号公報に記載さ
れた分光光度計がある。これによれば、検出器の出力信
号中における周波数fの成分が参照光強度Iと試料光強
度Io との差(Io−I )に対応し、周波数、2f
の成分が参照元強度1oと試料光強度■との和(io+
1)に対応することから、fおよび2fの周波数成分の
和をとることによりIoK比例する出力が得られ、同じ
くfおよび2fの周波数成分の差をとることによ、91
に比例する出力が得られ、したがってこれらの比を演算
することによって1/ I oの値が求められる。その
他本出願人は、試料光束中に断続周波数fのチョッパー
、参照光束中に断続周波a 2fのチョッパーをそれぞ
れ配置し、両光束全ハーフミラ−で同−光束へ導くこと
によって、検出器の出力信号中周波数fの成分が試料光
強度に比例し、周波数2fの成分か参照元強度に比例す
るようにした分ブ0光度hrを先に提案した。
ところで、一般に分光分析において波長走iを行った場
合、試料の吸収が大きい領域では1ザイクル中の検出器
の出力波形の対称性が崩れることがあり、又空気中のH
2OやC02による吸収が参照元、試料光の両者に影9
全与えて検出器の1サイクル中の出力波形に影響ヶ及ぼ
すことがある。このような場合、出力波形の崩れが位相
に影響して、位相のずれが生じる。一方、上記の周波数
成分検出方式では、検出器の出力18号から周波数fと
2fの両成分を別々に取り出すのにフィルタが使われて
いるが、このフィルタの位相特性が敏感なため、出力波
形の崩れによる位相のずれがノイズを引@起し、測定誤
差ケもたらすという欠点があった。
発明の9禮 本究明の目的は、上記したような光学的零位方式と従来
の周波数成分検出方式における欠点を除去した分光元厩
計を提供することにある。
特に周波数成分検出方式の分光光度計において、吸収が
急激な領域で生じる位相のずれ全補償“し、そのずれに
伴う誤差の発生を最少限とした位J補償型のレシオ式分
光光度計を提供するものである。又、上記の位相のずれ
が検出器へ入る光エネルギーの変化に比例している点に
着目し、電気的処理によって位相のずれを補1.i:t
することを目的とするものである。
逃J目η1区 上記の目的全達成するため本発明による分光光度iff
は、それぞれ別々の周波数を持つ試料光強度成分と参照
光強度成分全検出器から取多出し、この検出器出方全周
波数弁別した後同期整流することによって試料光強度に
対応した直流成分と参照光強度に対応した直流成分奮含
む(N号を得、両者から演算してS/R値を求めるレシ
オ成分光ブ0度計において、 試料光強度成分と参照元強度取分を含む信号音別々の周
波数行性金持つフィルタによって取シ出し、このフィル
タの出力から試料九強屁に対ル6する直流信号と参照元
強反に対応する直流信号を得、この試料光信号を微分回
路へ導き、この微分回路の出力を試料光信号から差し引
き、咳差信号と参照信号を割算器へ導くことにょってS
/R値を求めるように構成される。
実施例 以下本発明の一実施例を図面に沿ってさらに詳しく説明
する。第1.2図はそれぞれ本発明ttCよる分光光度
計の光学系と電気処理系を示すブロック図で、まず第1
図を参照しなからう゛0学系の構成金説明する。
第1図において、ll′iグローバー等から成る   
 。
赤外領域用の光源で、光源1がらの光は平面2億2とf
Li1面焼4及び平面説3と凹面鏡5の1対のブし学系
によって試料光束13と参照光束14の2つの光束に分
れる。凹面鏡4と5で反射された光は、サンプルボック
ス内にセットされた試料セル15と参照セル160位置
に収束されるが、両セル前方の試料光束A及びg準ブを
束B中にそれぞれ第1チヨツパー6と第2チヨツパーが
blかれている。それぞれのセルを出た両ブC束は平面
鏡6と7で反射されli後/% −7ミラー8に至シ、
ここで同−光路へと導かれる。/・−7ミラー8は反射
率と透過率が各50%の材料から成る。・・−7ミラー
8からの同一ラ゛0束は凹面鏡9で反射され、平面鏡1
0を経てモノクロメータ11の入口スリットに収束され
る。モノクロメータ11としては、プリズムやグレーテ
ィングを用いた任意の構成のものを用いることができる
。モノクロメータ11で分光され、出口スリットから順
次取9出された41波長光が検出器12へ入射し、そこ
で電気信号へ変換される。
このような光学系において分析測定を行う場合、試料セ
ル15中には測定対象の試料、診照セルJ6中には標準
試料上それぞれ入れ、減料光束13中のチョッノく一1
7ffi周彼数fで回べ云し、参照元束14中のチョッ
、<−18をその工数倍の周波数(好ましくは2f)で
回転する。このため、試料光束13は第3(a)図中点
線で示したように周期T(=1/f)で交互に析耽され
、一方参照光束14は第3 (b)図中点綴で示し1t
ようにその172の周期T’(−V2f)で交互にト析
続される。従って、検出器12へ入射する試料光と参照
元の波形は第3図(a) 、 (b)にそれぞれ示すよ
うな正弦波となシ、検出器12力\らはこれら力;重畳
した形の出力信号が得られる。
この検出器12の出力信号を周波数弁別し、同期整流し
た後、両成分の比を求めることで通常所望のSA値が得
られるか、前述したように急減な吸収等があるところで
は□、試料つeや参照元が影響を受は検出器の出力波形
力;崩れて位4目のずれt引き起す。そして、周波数弁
男1」に用いるフィルタが敏感な位相特性を持っている
ため、フィルタ出力にノイズが発生し、こ1tn= i
+j定誤差?もたらす。検出器からの試料光成分(S)
は第4図に示すような減衰する正弦波形となり、ノイズ
をも苑らす位相のずれはこのエネルギー変化に比例して
いる。エネルギーの変イしく/i、第4図中減衰波形の
ピークをmlんフ=iitの勾自己θ、言い換えれば信
号成分に対応した同期源流出力の変化で表わせられるか
ら、同期整流出力の微分値を信号成分から差し引けば、
位相のずれを補償した正しい値が得られる、ここで、周
波数fの試料光成分と周波数2fの参照元成分の両方と
も波形の崩れによる影きθを受けるが、試料光成分(f
成分)の方に強い影響が生ずるため、f成分を補償する
ことで笑用的には充分満足できる結果が得られる。次に
、この点を含めた亀気処理系を、第2図に沿って説明す
る。
検出器12からの出力信号は、前σでi増幅器19で増
幅された後フィルタ2(J、21に入って周波数弁別さ
れる。フィルタ20は例えば周波数2jの交流信号だけ
全増幅する特性を持った増;1イΔ器から成る一方、フ
ィルタ21は例えは周波数fの交流信号だけ全増幅する
特性を待った増11−命から成る。つまシ、フィルタ2
0は検出器出力のうち参照元に対応した周波数2fの成
分だけを取り出して同期整流器22へ送る。又フィルタ
21は、検出器出力のうち試料光に対応した周波数fの
成分だけを取勺出して同期歪流器23へ送る。同期整流
器22.23に入った診照(2f)成分と試料(f)成
分は、各チョッパー17.j8に付設した同期波形器2
4からの同期波信号で整流され、参照光強度に対応した
直流信号Rと試料光強度に対応した直流1d号(S′)
と成る。この直流信号(S′)には、上記した位相のズ
レに伴うノイズが含まれている。
同M整流器23からの出力は差動増幅器26の一方の入
力端子に入ると共に、微分回路25に導かれ、微分回路
25の出力が差動増幅器26の他方の入力端子に入る。
差動増幅器26で、・同期整流器23の出力信号からそ
の微分成分が差し引かれることによって、ノイズを相殺
した正しい試料光信号(S)が得られ、これが割算器2
7の一方の入力端子に導かれ兎。割算器27の他方の入
力端子には同期整流器22からの診照元信号(R)が入
p1両信号の比が求められ、所望のSlR値が記録計2
8上に表示記録される。
嚢里旦皿困 以上述べたように本発明の分光光度計によれば、周波・
数取分検出方式においてエネルギーの変化を微分回路を
用いて検知し、周波数弁別し同期整流した後の試料光信
号からその微分成分全差し引き、位相のずれを補償して
ノイズを相殺消去しているため、次のような利点が得ら
れる。
第1に、周波数成分分離方式を採用しているため、光学
的零位方式に固有な欠点を避けることができる。つまシ
、減光器の加工犯を度、減光器駆動時の回転むら、さら
に減光器の位jffit検出用ポテンショメータの直線
性における誤差等6’C起因した測定8”n Kの低下
が生じない。又、レシオ(直接比)方式なのでサーボル
ーズ系とする必要がなく、信号処理や装置の構成が(d
j単化される。
第2に、急激な吸収等に原因した位相のずれ全補償して
いるため、従来の周波?A74分検出万式で欠点となっ
ていた位相ずれによるノイズの発生全最小限に抑えるこ
とができる。つまり、これまでエネルギー変化に原因し
た位相のずれによるノイズの発生は出力で約10%7湿
区あつたのに対し、本発明では約1%位にまで減少した
。このため、今壕でH2O等の吸収に埋もれていたスペ
クト#が描けるようになった。
第3に、′厄気的な方法で上記の位相ずれ全補償してい
るため、急激な吸収のある領域で記録計の送υ速歴全遅
くする必要はなく、従って波数全域の走査時間が長くな
ったり、補償用の系が複雑になることはない。この結果
、4000〜400cm  の波数範囲を2分で走査し
ても、はとんどノイズの出ない周波数成分検出方式の分
光yc度計上得ることができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による位相補償型レシオ式分元光度針の
光学系を示すブロック図、第2図は同じく一気処理系を
示すブロック図、第3図は検出器の入出力信号全説明す
るための図、第4図は本発明による位相補償を説明する
ための波形図である。 1・・・光源、2.3.6.7.10・・・平面鏡、4
.5.9・・・凹面鋭、8・・・ハーフミラ−111・
・・モノクロメータ、12・・・検出器、13・・・試
料光束、14・・・参照元束、15・・・試料セル、1
6・・・参照セル、17.18・・・チョッパー、19
・・・前置増幅器、20.21・・・フィルタ、22.
23・・同M整流器、24・−同期波形器、25・・・
微分回路、26・・・差動増幅器、27・・・割算器、
28・・・記録計。 出 願 人  日本分元工業株式会社 代  理 人   丸   山   幸   堆13

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. それぞれ別々′の周波数を持つ試料光強度成分と参照光
    強度成分を検出器から取シ出し、該検出器出力を周波数
    弁別した後同期整流することによって試料光強度に対応
    した直流成分と参照光強度に対応した直流成分を含む信
    号を得、両者から演算してS/R値を求めるレシオ式分
    元光度計において、試料光強度成分と参照光強度成分を
    含む信号音別々の周波数特性を持つフィルタによって取
    シ出し、該フィルタの出力から試料強度と参照元強度に
    対応する直流信号をそれぞれ得、該試料信号を微分回路
    へ導き、この微分回路の出力を試料信号から差し引き、
    この差信号と参照光信号を割算器へ導くことによってS
    /R値を求めること全特徴とした位相補償型レシオ式分
    光光度計。
JP58036296A 1983-03-05 1983-03-05 位相補償型レシオ式分光光度計 Pending JPS59162424A (ja)

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JP58036296A JPS59162424A (ja) 1983-03-05 1983-03-05 位相補償型レシオ式分光光度計
US06/585,588 US4583853A (en) 1983-03-05 1984-03-02 Ratio type double-beam spectrophotometer

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