JPH0331149A - ウェハ搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子製造工程において各製造装置間でウ
ェハの搬送を行うウェハ搬送機構に関する。

〔従来の技術〕

従来、各製造装置のウェハ搬送機構は、回転プーリとベ
ルトを利用したベルト搬送方式が主流であったが、最近
、半導体素子の高精度化が進むにつれ、プーリ、ベルト
、ウェハの相互間で起こる摩擦により発生する塵埃を嫌
い、薄プレート上にウェハを搭載し搬送する通称メカニ
カル搬送方式へと移行しつつある。現在、主流となりつ
つあるメカニカル搬送方式によるウェハ収納治具（以下
、ウェハカセットと呼ぶ）に対する搬送機構の一例を、
第３図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の概略図により説明する
。

第３図（ａ）、（ｂ）は、搬送機構の一例の概略を示す
平面図及び側面図であり、ウェハカセット搭載部１の上
に搭載されたウェハカセット２に収納されたウェハ３を
、水平直線駆動機能と水平回転駆動機能と垂直直線駆動
機能とを有する駆動機構４に取り付けられたウェハ真空
吸着機能を有する薄プレート５により、上記各駆動機能
を連動し搬送するものである。この薄プレート５は、つ
エバカセット２に収納されたウェハ３の収納ピッチ間に
挿入可能な厚さに形成されている。第３図（Ｃ）は薄プ
レート５の側断面の概略図であり、ウェハ真空吸着の為
の穴及び溝加工が施されたものである。以上説明したメ
カニカル搬送方式による搬送機構を採用することにより
、ウェハと薄プレートとの接触はあるものの、ウェハと
の摩擦動作を皆無とし、塵埃発生を極力押えたものを実
現している。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述した従来のメカニカル搬送方式によるウェハ搬送機
構は、ウェハカセット２がらウェハ３を搬出する際、搬
出ウェハの有無を確認するための検出機能が設けられて
いる。

このウェハの検出機能としては、ウェハを真空吸着する
際に、その真空配管内圧の変化を検知する真空吸着検知
方式、あるいは薄プレート取付は部の根元に反射式光学
検知器を設けた方式、又は、駆動機構外部に光学検知器
を設けた方式等が採用されている。

しかしながら、真空吸着検知方式では、ウェハ裏面及び
薄プレートの真空吸着面の平面度等に依存する検出の不
確実性及び検出タイミングが吸着動作後である為の検出
所要時間遅れ等の問題が有り、又、光学検知方式では、
いずれもウェハエッヂ端面を検出するため、端面形状及
び端面の表面状態に検出感度は大きく依存し、安定した
検出動作を再現することは困難であった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、薄プレート上にウェハを搭載し、ウェハ収納
治具に対しウェハを搬出、収納する際ウェハの有無を検
出する手段を有するウェハ搬送機構において、前記薄プ
レート内にこの薄プレート面に沿う光学式検知器の光路
手段を設けると共に、この薄プレート先端部に前記光路
を搭載ウェハ面に向けて方向変換せしめる反射面を設け
たことを特徴とするウェハ搬送機構である。

〔実施例〕

次に本発明について図面により説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の側断面概略図である。

駆動機構４に反射型ファイバー式検知器６ａを設け、こ
の駆動機＋１１４に取り付けられウェハ３を搭載し搬送
する薄プレート５内に、真空吸着用溝加工と並行して、
反射型ファイバー式検知器６ａのファイバ一部７を組み
込み、そのファイバ一部７の横軸延長上に、その光路を
吸着ウェハ３の裏面方向へ９０度変換する反射面８を備
えたものである。

第２図は本発明の第２の実施例の側断面概略図である。

本実施例は、駆動機構４に反射型光学検知器６ｂを設け
、この駆動機構４に取り付けられウェハ３を搭載し搬送
する薄プレート５自体の材質が、反射型光学検知器６ｂ
の使用波長の等価率が高い石英等の透明材質で製造され
ている例である。

本実施例の場合、薄プレート５自体が反射型光学検知器
６ｂの光路を導くものとなり、その先端面を傾斜面に加
工することにより、薄プレートと材質と周囲雰囲気の屈
折率との違いによる反射面８となり光路を９０度方向変
換して第１の実施例＝５ と同様に吸着ウェハ３の裏面を検出する機能を備えたも
のである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、比較的、形状及び表面状
態の安定したウェハ裏面を検出することにより検出感度
が向上し、メカニカル搬送方式によるウェハ搬送機能を
向上させる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の側断面概略図、第２図
は本発明の第２の実施例の側断面概略図、第３図（ａ）
’、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ従来の搬送機構の概略図
で、図（ａ）２図（ｂ）は平面図及び側面図、図（Ｃ）
は薄プレートの側断面概略図である。 １・・・ウェハカセット搭載部、２・・・ウェハカセッ
ト、３・・・ウェハ、４・・・駆動機構、５・・・薄プ
レート、６ａ・・・反射型ファイバー式検知器、６ｂ・
・・反射型光学検知器、７・・・ファイバ一部、８・・
・反射面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 薄プレート上にウェハを搭載し、ウェハ収納治具に対し
   ウェハを搬出、収納する際ウェハの有無を検出する手段
   を有するウェハ搬送機構において、前記薄プレート内に
   この薄プレート面に沿う光学式検知器の光路手段を設け
   ると共に、この薄プレート先端部に前記光路を搭載ウェ
   ハ面に向けて方向変換せしめる反射面を設けたことを特
   徴とするウェハ搬送機構。