JPH0331077Y2

JPH0331077Y2 -

Info

Publication number: JPH0331077Y2
Application number: JP1984185270U
Authority: JP
Priority date: 1984-12-05
Filing date: 1984-12-05
Publication date: 1991-07-01
Also published as: JPS61100138U

Description

【考案の詳細な説明】〔技術分野〕この考案は、ウエハの電気的特性を確認するた
めのプローバに関する。

〔背景技術〕

トランジスタやICは、その材料たるウエハの
段階で導通を確認するための検査がなされる。従
来、その検査の際、第１図にみるように、ウエハ
１を載置する真ちゆう製のウエハステージ３と、
このステージ３上のウエハ１の表面を探触するた
めのプローブ４とを備え、ステージ３とプローブ
４との間に電圧をかけた状態でウエハ１の導通状
態を確認するプローバ２を使用していた。このプ
ローバ２は、第２図にみるように、ステージ３が
円柱状のもので、上面に同心円を形成する複数の
溝３ａ……が形成されており、各溝３ａの一部に
真空引き用の孔４が開いていた。ウエハ１は、前
記孔４……を通じる真空吸引によつて吸着され、
ステージ３上にチヤツクされるようになつてい
た。ステージ３上にチヤツクされたウエハ１は、
第１図にみるように、その表面の熱酸化膜
（SiO₂膜）１ａに形成されている孔１ｂに前記プ
ローブ４を挿入させるようにして導通の確認がな
されていた。図中、５，６はそれぞれプローバ２
を構成するリード線およびカーブトレーサであ
る。

ところで、ウエハ１は、空気中にさらされてい
たため、表面に絶縁性の薄い酸化膜（厚み約100
Å）が自然形成されている。そのため、プローブ
２を用いて導通検査を行つても、カーブトレーサ
６に表示されるグラフが、第３図にみるように、
整流接続状態になつてしまつていた。これは、ウ
エハ表面の酸化膜が絶縁膜であるために、ウエハ
被吸着面とステージ上面との間にオーミツクコン
タクトが得られないことが原因であつた。このよ
うに、従来のプローバには、ウエハ内の導通の確
認が得られにくいという問題があつた。

〔考案の目的〕

そこで、この考案は、ウエハの電気的特性検査
の結果を正確に知ることのできるプローバを提供
することを目的とする。

〔考案の開示〕

考案者らは、上記の目的を達成するために鋭意
検討を重ね、この考案を完成した。

この考案は、ウエハを載置する金属製のウエハ
ステージと、このステージ上のウエハの表面を探
触するためのプローブとを備え、ステージとプロ
ーブとの間に電圧をかけた状態でプローブにより
ウエハ表面を探触してウエハの導通状態を確認す
るプローバであつて、ステージが、上端が同一平
面となるよう立て並べられた多数の突起と、これ
らの突起を支持する台とを備え、前記突起群の先
端でウエハを受けるようになつていることを特徴
とするプローバをその要旨とする。以下、これ
を、その実施例をあらわす図面に基づき、詳しく
説明する。

この考案にかかるプローバは、従来と同様、第
４図にみるように、ウエハ１を載置する真ちゆう
等金属製のウエハステージ８と、このステージ８
上のウエハ１の表面を探触するためのプローブ９
と、カーブトレーサ１１と、このカーブトレーサ
１１と前記プローブ９およびステージ８との各間
を接続するリード線１２とを備えている。ウエハ
１の導通状態を確認するに際しては、第５図にみ
るように、ウエハ１が載置されたステージ８とプ
ローブ９との間に電圧をかけた状態で、プローブ
９によりウエハ１表面を探触する。ウエハ１の探
触される部分は、熱酸化膜１ａに形成されている
孔１ｂ内の部分である。この実施例にかかる上記
プローバ７は、ステージ８が、上端が同一平面と
なるよう平面８ａ上に立て並べられた多数の突起
１０……と、これらの突起１０……を支持する台
１０ａとを備え、前記突起群１０……の先端でウ
エハ１を受けるようになつている。そのため、破
線矢印で示すように、真空吸着により、前記突起
群１０……の上にウエハ１を押し付けるようにす
れば、あるいは、突起群１０……にウエハ１を突
き差すようにすれば、各突起１０の鋭利な先端で
ウエハ１裏面の薄い酸化膜が破られウエハ１の酸
化されていない内部とステージ８とが確実に接触
する。したがつて、ウエハ１とステージ８との間
に良好なオーミツクコンタクトが得られ、カーブ
トレーサ１１に、第６図にみるように、正比例直
線状のグラフが表示される。すなわち、ウエハ１
の導通が確認されるのである。なお、この実施例
にかかるプローバは、第４図および第５図にみる
ように、ステージ８の台１０ａの表面に凹部１０
ｂが形成されていて、この凹部１０ｂの底面が突
起群１０……を立て並べる平面８ａになつてい
る。凹部１０ｂの周壁からはウエハ１の周縁部を
載置する載置台１３が延出しており、この載置台
１３と凹部底面８ａとの間には輪状のゴム１４が
介在している。このゴム１４は、凹部底面８ａか
らのウエハ１の真空吸着によりウエハ１が強く押
し付けられて屈曲する載置台１３の屈曲度を柔ら
げる働きをしている。このゴムの形状に特別の制
限はない。ゴムは他の弾性体で代替されてもよ
い。しかしながら、ゴム等の弾性体を設けず、載
置台が、その強度を強くして、ウエハの真空吸着
によつても屈曲しないような構造になつていても
良い。また、載置台が、過度の屈曲をおこさない
よう、適度の屈曲性をもたせたものになつていて
も良い。さらに、また、載置台を設けず、ゴム等
の弾性体で直接ウエハを受けるような構造になつ
ていても構わない。あるいは、載置台も弾性体も
設けられていなくとも構わない。第４図および第
５図中、１５は真空引き用の孔である。

上記実施例では、ウエハをステージの突起群に
押し当てるに際し、ステージからの真空吸着を利
用していた。しかしながら、真空吸着以外の方法
でウエハを突起群に押し当てるようにしても構わ
ない。

この考案にかかるプローバは、ウエハの様々な
電気的特性を検査したり測定したりする場合に使
用されることは言うまでもない。

〔考案の効果〕以上のように、この考案にかかるプローバは、
ウエハを載置する金属製のウエハステージと、こ
のステージ上のウエハの表面を探触するためのプ
ローブとを備え、ステージとプローブとの間に電
圧をかけた状態でプローブによりウエハ表面を探
触してウエハの導通状態を確認するプローバであ
つて、ステージが、上端が同一平面となるよう立
て並べられた多数の突起と、これらの突起を支持
する台とを備え、前記突起群の先端でウエハを受
けるようになつていることを特徴としており、突
起群がウエハ表面に自然形成されている酸化膜を
破り、ウエハの酸化していない部分と接触するた
め、ウエハの電気的特性検査の結果を正確に知る
ことができるという効果がもたらされるのであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はプローバの従来例をモデ
ル的にあらわす側面図および部分的斜視図、第３
図は従来のプローバによつてウエハの導通検査を
行つた際の結果を示すグラフ、第４図および第５
図はこの考案にかかるプローバの一実施例をモデ
ル的にあらわす部分的断面図、第６図は第４図の
プローバによつてウエハの導通検査を行つた際の
結果を示すグラフである。１……ウエハ、７……プローバ、８……ステー
ジ、８ａ……凹部底面、９……プローブ、１０…
…突起、１０ａ……台、１０ｂ……凹部、１３…
…載置台、１４……ゴム。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハを載置する金属製のウエハステージ
と、このステージ上のウエハの表面を探触する
ためのプローブとを備え、ステージとプローブ
との間に電圧をかけた状態でプローブによりウ
エハ表面を探触してウエハの導通状態を確認す
るプローバであつて、ステージが、上端が同一
平面となるよう立て並べられた多数の突起と、
これらの突起を支持する台とを備え、前記突起
群の先端でウエハを受けるようになつているこ
とを特徴とするプローバ。 (2) ウエハが真空吸着により突起群の先端に押し
付けられるようになつている実用新案登録請求
の範囲第１項記載のプローバ。 (3) ステージの台の表面に凹部が形成されてい
て、その凹部内に突起群が形成され、凹部の周
壁からはウエハ周縁部を載置する載置台が延出
しており、この載置台と凹部底面との間に弾性
体が介在している実用新案登録請求の範囲第１
項または第２項記載のプローバ。