JPH04145640A - プローブ針 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプローブ針、特にＬＳＩチップ、配線基板の配
線パターンの検査時に被検査パッドに接触させるプロー
ブ針に関する。

〔従来の技術〕

従来のプローブ針について、図面を参照して詳細説明す
る。

第３図は従来の一例を示す斜視図である。

第３図に示すプローブ針１０は、ＬＳＩチップ、配線基
板の被検査パッドに接触させるために先端がとがってい
る針状の金属で、材質はタングステン、ベリリウム銅な
どが使われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のプローブ針は、ＬＳＩチップ、配線基板
の電気特性を測定する際、被検査パッドに接触させるが
、接触の信頼性を得るためにプローブの先端が鋭利で、
かつ先端が曲がらないような硬い材質を使用しているの
で、プローブの接触圧が高いと被検査パッドの表面を傷
つけたり、へこみをつけてしまうことがあった。

被検査パッドが傷ついたり、へこんだりすると他の配線
パターン、配線部品とコンタクトビンなどを介して接続
する場合にコンタクトビンが傷やへこみによって被検査
パッドとうまく接触できないためコンタクト不良になる
という欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のプローブ針は、金属の針と、前記針を覆う導体
性でかつ弾力性のある導電性被膜とを含んで構成される
。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。

第１図に示すプローブ針はタングステン、ベリリウム銅
などの先端のとがった針１１が用いられ、そのまわりを
導電ゴムのように導電性でかつ弾力性のある導電性被膜
２で囲んでいる。

次に測定方法について説明する。

第２図は本発明の一使用例を示す側面図である。

導電性被膜２により覆われたプローブ針１は金属性のス
リーブ９に挿入され、被検査パッド４の所望の位１にプ
ローブ駆動部８により位置ぎめし機械的に接触させ、他
の一端の電極７を前記被検査パッド４の一定の位置に電
気的に接触させておき、抵抗計６により被検査パターン
５の導体抵抗を測定しパターンの良否を判定する。

プローブ針１が被検査パッド４に機械的に接触する際、
プローブ針１は被検査パッド４と導電性被膜２を介して
電気的に導通し、又導電性被膜２の弾力性により被検査
パッド、４を傷つけることなく接触できる。

〔発明の効果〕

本発明のプローブ針は、針の表面が導電ゴムのような導
電性でかつ弾力性のある導電性被膜に覆われているため
、ＬＳＩチップ、配線基板の被検査パッドに接触させた
場合も、被検査パッドの表面を傷つけたり、へこませた
りすることがないので被検査パッドと他の配線パターン
、配線部品とをコンタクトビンなどで機械的にコンタク
トする場合に傷、へこみによるコンタクト不良を防止で
きるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図に示すプローブ針の一使用例を示す側面図、第３図は
従来の一例を示す斜視図である。 １・・・プローブ針、２・・・導電性被膜、３・・・被
検査基板、４・・・被検査パッド、５・・・被検査パタ
ーン、６・・・抵抗計、７・・・電極、８・・・プロー
ブ駆動部、９・・・スリーブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属の針と、前記針を覆う導電性でかつ弾力性のある導
   電性被膜とを含むことを特徴とするプローブ針。