JPH04217338A - 電気接触端子のコンタクト方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気接触端子のコンタ
クト方法およびコンタクト装置に関し、特に選別または
プローブテストなどの信号および電源供給用の電気接触
端子において、信頼性の高い電気的な接触が可能とされ
る電気接触端子のコンタクト方法および装置に適用して
有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の選別またはプローブテストの電気
接触端子のコンタクト方法としては、たとえば被測定物
の大規模ＬＳＩ化に伴い接触端子数の多ピン化を実現す
るために、接触端子を細い金属胴体の中に埋め込み、こ
の金属胴体中にスプリングなどの弾性体を備え、弾性機
能を持たせた接触端子を基板などにはんだ付けまたは溶
接などの方法で必要な本数取り付け、これを被測定物と
機械的に接触させて信号および電源の供給を行っている
。

【０００３】また、プローブテスト用の接触端子は、細
い金属針をある角度に折り曲げて、先端の尖った形状に
したものを基板にはんだまたは溶接で固定し、被測定物
に備えたコンタクトパターン面に接触させて電気信号お
よび電源を供給する方法を採用している。

【０００４】なお、これに類似する技術としては、株式
会社工業調査会、昭和５８年１１月１５日発行「電子材
料別冊、１９８３年版超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブ
ック」Ｐ１９５〜Ｐ１９８の文献に記載されるウエハプ
ローバなどがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、被測定物の接触面に細かい非導
電性異物、たとえば約数μｍ以上の異物が存在すると、
接触端子の先端が被測定物の接触面にコンタクトできず
、接触不良を発生するという問題点がある。

【０００６】従って、従来のコンタクト方法においては
、被測定物が本来良品と判定されるべきものが、接触不
良によって不良品と判定されてしまうという問題がある
。

【０００７】そこで、本発明の目的は、接触面への細か
い非導電性異物の存在に影響されることなく、導電性液
を介在させて接触端子と被接触物との接触面積を拡大し
、電気的に確実な接触が可能とされる電気接触端子のコ
ンタクト方法および装置を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１０】すなわち、本発明の電気接触端子のコンタ
クト方法および装置は、被接触物の接触部に電気接触端
子を接触させる電気接触端子のコンタクト方法および装
置であって、電気接触端子の先端に導電性液を付着させ
、この導電性液を介して被接触物と電気接触端子とを電
気的に接触させるものである。

【００１１】この場合に、電気接触端子の先端に、導電
性液の容易な付着を可能とする溝、凹部または隙間を形
成するようにしたものである。

【００１２】

【作用】前記した電気接触端子のコンタクト方法および
装置によれば、電気接触端子を被接触物に接触させる場
合に、予め電気接触端子の先端に導電性液を付着させる
ことにより、接触端子の先端と被接触物の接触部との隙
間に導電性液を介在させることができる。これにより、
接触面積を等価的に拡大することができるので、電気接
触端子と被接触物との電気的な接触を確実に行うことが
できる。

【００１３】この場合に、電気接触端子の先端に溝、凹
部または隙間を形成することにより、導電性液が電気接
触端子の先端に付着し易くなるので、導電性液の付着を
確実に行うことができる。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の電気接触端子のコンタクト方
法および装置の一実施例であるプローブテスト装置を示
す部分構成図、図２は本実施例のプローブテスト装置に
おける電気接触端子を示す部分拡大側面図、図３は本実
施例における電気接触端子を示す拡大正面図、図４は本
実施例における電気接触端子に導電性液が付着した状態
を示す正面図、図５は本実施例における電気接触端子が
被接触物に接触した状態を示す正面図、図６〜図１１は
電気接触端子の変形例を示す部分拡大側面図および拡大
正面図である。

【００１５】まず、図１により本実施例のプローブテス
ト装置の部分構成を説明する。

【００１６】本実施例のプローブテスト装置は、たとえ
ば被接触物である被測定物１に信号および電源を供給す
るプローブカード２と、このプローブカード２の電気接
触端子に導電性液を付着させる導電性液付着機構３とか
ら構成されている。

【００１７】被測定物１は、たとえばその表面に図示し
ない回路パターンに電気的に接続される接触部４が形成
されている。

【００１８】プローブカード２は、たとえば図２および
図３のように先端にＶ字状の溝５が形成された複数の接
触端子６と、これらの接触端子６を固定する基板７とか
ら構成され、複数の接触端子６が所定の間隔で基板７に
垂設されている。そして、各接触端子６には電気信号お
よび電源供給用の配線８が接続され、被測定物１に対し
てテスト信号が供給できるようになっている。

【００１９】導電性液付着機構３は、導電性液９が貯え
られる導電性液漕１０と、この導電性液漕１０を垂設状
態に支持する支持棒１１と、この支持棒１１を介して導
電性液漕１０を動作させる制御部１２とから構成されて
いる。そして、導電性液漕１０は制御部１２の制御によ
って上下動および支持棒１１を中心に回転できる構造と
なっている。

【００２０】次に、本実施例の作用について説明する。

【００２１】まず、図１の状態、すなわちプローブカー
ド２の接触端子６と導電性液漕１０の導電性液９とが離
れている状態から導電性液漕１０を制御部１２の制御に
よって上昇させ、接触端子６の先端を導電性液漕１０の
導電性液９に浸積させる。そして、導電性液漕１０を図
１の状態まで下降させ、これにより接触端子６の先端に
図４に示すように導電性液９が表面張力によって付着さ
れる。

【００２２】さらに、導電性液漕１０を、支持棒１１を
中心に接触端子６と被測定物１との接触動作の範囲外ま
で回転させた後、プローブカード２を図示しない駆動機
構によって下降させ、プローブカード２の接触端子６の
先端を被測定物１の接触部４に接触させる。

【００２３】これにより、導電性液９が接触端子６の先
端と被測定物１の接触部４との隙間に介在され、この結
果接触端子６と被測定物１との接触面積が広くなり、導
体である接触端子６の先端と導電性液９との並列経路で
確実に導通させることができる。

【００２４】この場合に、たとえば図５に示すように被
測定物１と接触端子６との間に非導電性異物１３が存在
した時は、接触端子６と被測定物１とが直接的に接触さ
れなくても、接触端子６の先端と被測定物１の接触部４
との間に介在される導電性液９が媒体となって電気的な
接触を可能とすることができる。

【００２５】以上のようにして、接触端子６と被測定物
１とを電気的に接触させ、テストのための電気信号およ
び電源を配線８から接触端子６、導電性液９を通じて被
測定物１に供給して、被測定物１のプローブテストを行
うことができる。

【００２６】従って、本実施例のプローブテスト装置に
よれば、接触端子６に導電性液９を付着させる導電性液
付着機構３を備え、接触端子６の先端に導電性液９を付
着させ、この導電性液９を通じて被測定物１との電気的
な接触を確実に行うことができるので、接触不良の発生
が低減され、信頼性の高い安定したテストが可能となる
。

【００２７】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００２８】たとえば、本実施例のプローブカード２に
固定される接触端子６については、先端にＶ字状の溝５
が形成される場合について説明したが、本発明は前記実
施例に限定されるものではなく、たとえば図６〜図１１
のように接触端子６の先端への十字状の溝５ａ、円錐状
の凹部に十字状の溝５ｂ、または四方外周面へのＶ字状
の溝５ｃなど、種々の変形形状についても広く適用され
、特に導電性液９が表面張力によって付着し易い形状で
あればよい。

【００２９】また、本実施例におけるプローブテスト装
置、プローブカード２および導電性液付着機構３の構成
、さらにプローブカード２の形状などについても、本実
施例で説明したものに限られるものでない。

【００３０】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野であるプローブテスト装
置に用いられる接触端子６に適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえば選別
装置などの他の接触端子を備えたコンタクト方法および
装置についても広く適用可能である。

【００３１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００３２】すなわち、電気接触端子の先端に導電性液
を付着させ、この導電性液を介して被接触物と電気接触
端子とを接触させることにより、電気接触端子の先端と
被接触物の接触部との隙間に導電性液を介在させること
ができるので、接触面積の等価的な拡大が可能とされ、
電気接触端子と被接触物との電気的な接触を確実に行う
ことができる。

【００３３】この場合に、電気接触端子の先端に溝、凹
部または隙間を形成することにより、導電性液が電気接
触端子の先端に付着し易くなるので、導電性液の付着を
確実に行うことができる。

【００３４】この結果、被接触物と電気接触端子との間
に微細な非導電性異物が存在した場合においても、被接
触物の接触部と電気接触端子の先端の隙間に介在される
導電性液が媒体となるので、電気接触端子と被接触物と
の接触不良の発生が低減され、電気的に信頼性の高い接
触を可能とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電気接触端子のコンタクト方法および
装置の一実施例であるプローブテスト装置を示す部分構
成図である。

【図２】本実施例のプローブテスト装置における電気接
触端子を示す部分拡大側面図である。

【図３】本実施例における電気接触端子を示す拡大正面
図である。

【図４】本実施例の電気接触端子に導電性液が付着した
状態を示す正面図である。

【図５】本実施例の電気接触端子が被接触物に接触した
状態を示す正面図である。

【図６】本発明の電気接触端子の変形を示す部分拡大側
面図である。

【図７】本発明の電気接触端子の変形を示す拡大正面図
である。

【図８】本発明の電気接触端子の他の変形例を示す部分
拡大側面図である。

【図９】本発明の電気接触端子の他の変形例を示す拡大
正面図である。

【図１０】本発明の電気接触端子のさらに他の変形例を
示す部分拡大側面図である。

【図１１】本発明の電気接触端子のさらに他の変形例を
示す拡大正面図である。

【符号の説明】

１　　被測定物（被接触物） ２　　プローブカード ３　　導電性液付着機構 ４　　接触部 ５　　溝 ５ａ　　溝 ５ｂ　　溝 ５ｃ　　溝 ６　　接触端子 ７　　基板 ８　　配線 ９　　導電性液 １０　　導電性液漕 １１　　支持棒 １２　　制御部 １３　　非導電性異物

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　被接触物の接触部に電気接触端子を接
   触させる電気接触端子のコンタクト方法であって、前記
   電気接触端子の先端に導電性液を付着させ、該導電性液
   を介して前記被接触物と前記電気接触端子とを電気的に
   接触させることを特徴とする電気接触端子のコンタクト
   方法。
2. 【請求項２】　　前記電気接触端子の先端に、前記導電
   性液の容易な付着を可能とする溝、凹部または隙間を形
   成することを特徴とする請求項１記載の電気接触端子の
   コンタクト方法。
3. 【請求項３】　　被接触物および電気接触端子を備え、
   前記被接触物の接触部に前記電気接触端子を接触させる
   電気接触端子のコンタクト装置であって、前記電気接触
   端子の先端に導電性液を付着させる導電性液付着機構を
   備えることを特徴とする電気接触端子のコンタクト装置
   。