JPH0328370B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0328370B2 JPH0328370B2 JP27074484A JP27074484A JPH0328370B2 JP H0328370 B2 JPH0328370 B2 JP H0328370B2 JP 27074484 A JP27074484 A JP 27074484A JP 27074484 A JP27074484 A JP 27074484A JP H0328370 B2 JPH0328370 B2 JP H0328370B2
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- JP
- Japan
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- reaction
- fluorosilane
- chlorosilane
- fluorinating agent
- yield
- Prior art date
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- Expired
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- Silicon Compounds (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27074484A JPS61151016A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | フルオロシランの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27074484A JPS61151016A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | フルオロシランの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151016A JPS61151016A (ja) | 1986-07-09 |
| JPH0328370B2 true JPH0328370B2 (enExample) | 1991-04-18 |
Family
ID=17490368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27074484A Granted JPS61151016A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | フルオロシランの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151016A (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61232215A (ja) * | 1985-04-09 | 1986-10-16 | Central Glass Co Ltd | 部分フツ素化シランの製造法 |
| JPS62187106A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-15 | Central Glass Co Ltd | パ−フルオロシランの製造方法 |
| DE69301452T2 (de) * | 1992-11-27 | 1996-08-01 | Mitsui Toatsu Chemicals | Verfahren zur Herstellung eines teilsubstituierten Fluorosilans |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27074484A patent/JPS61151016A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61151016A (ja) | 1986-07-09 |
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