JPH03257082A - 多孔質SiCウイスカーペレットの製造方法 - Google Patents
多孔質SiCウイスカーペレットの製造方法Info
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- JPH03257082A JPH03257082A JP5597090A JP5597090A JPH03257082A JP H03257082 A JPH03257082 A JP H03257082A JP 5597090 A JP5597090 A JP 5597090A JP 5597090 A JP5597090 A JP 5597090A JP H03257082 A JPH03257082 A JP H03257082A
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、触媒担体、濾過材等として有用な多孔質Si
Cウィスカーペレットの製造方法に関する。
Cウィスカーペレットの製造方法に関する。
SiC系の多孔質体については、炭素またはこれとSi
Cの成形体にStを反応させる方法(特開昭61−52
107号公報はか)、β−3iC趙微粉末に多結晶Si
Cを混合して焼結する方法(特開昭61−53163号
公報)、有機高分子発泡体を利用してSiCのセル状骨
格構造を形成する方法(特開昭61−25’7217号
公報)など多数の提案がなされているが、いずれも気孔
率が50%を越えるものは得られていない。この点、微
細繊維状のSiCつイスカーを構成成分としたものは組
織的に気孔率の増大が期待される。
Cの成形体にStを反応させる方法(特開昭61−52
107号公報はか)、β−3iC趙微粉末に多結晶Si
Cを混合して焼結する方法(特開昭61−53163号
公報)、有機高分子発泡体を利用してSiCのセル状骨
格構造を形成する方法(特開昭61−25’7217号
公報)など多数の提案がなされているが、いずれも気孔
率が50%を越えるものは得られていない。この点、微
細繊維状のSiCつイスカーを構成成分としたものは組
織的に気孔率の増大が期待される。
従来、SiCウィスカーからなる多孔質体の製造方法と
しては、SiCウィスカーが互いに絡み合った組織の多
孔質成形体を得るための手段として、気密性容器内にS
i3N、粉末とカーボン粉末をSiC組成比になるよう
に充填し大気中で1400〜1900°Cに加熱する方
法(特開昭61−191574号公報)が知られている
。しかしながら、上記の方法で得られるSiCの多孔質
成形体は骨格強度が弱く容易に破損する欠点がある。
しては、SiCウィスカーが互いに絡み合った組織の多
孔質成形体を得るための手段として、気密性容器内にS
i3N、粉末とカーボン粉末をSiC組成比になるよう
に充填し大気中で1400〜1900°Cに加熱する方
法(特開昭61−191574号公報)が知られている
。しかしながら、上記の方法で得られるSiCの多孔質
成形体は骨格強度が弱く容易に破損する欠点がある。
この欠点を解消するために、絡み合ったSiCウィスカ
ーで構成された内層部を粒子状SiCで構成された強固
な表層部で一体的に形成したSiC多孔質体およびこれ
を製造する手段として、Sicウィスカーの成形体に熱
硬化性樹脂を含浸し、非酸化性雰囲気中800〜120
0°Cに加熱して熱硬化性樹脂を焼成炭化し、次いで酸
化雰囲気中800°C以下に加熱して表層部の炭素を燃
焼除去した後、非酸化性雰囲気中1800〜2200°
Cで熱処理し、次いで酸化雰囲気中800°C以下に加
熱して多孔質体の遊離炭素を燃焼除去する方法(特開昭
64−3083号公報)が開発されている。
ーで構成された内層部を粒子状SiCで構成された強固
な表層部で一体的に形成したSiC多孔質体およびこれ
を製造する手段として、Sicウィスカーの成形体に熱
硬化性樹脂を含浸し、非酸化性雰囲気中800〜120
0°Cに加熱して熱硬化性樹脂を焼成炭化し、次いで酸
化雰囲気中800°C以下に加熱して表層部の炭素を燃
焼除去した後、非酸化性雰囲気中1800〜2200°
Cで熱処理し、次いで酸化雰囲気中800°C以下に加
熱して多孔質体の遊離炭素を燃焼除去する方法(特開昭
64−3083号公報)が開発されている。
〔発明が解決しようとする課題]
上記したSiC多孔質体の製造方法によれば80%を土
建る高気孔率と優れた強度特性を付与することが可能で
あるが、製造工程が複雑であるうえに触媒担体用などと
して必要なペレット状に形成することができない難点が
ある。
建る高気孔率と優れた強度特性を付与することが可能で
あるが、製造工程が複雑であるうえに触媒担体用などと
して必要なペレット状に形成することができない難点が
ある。
特に触媒担体として使用に供する場合には、ノ\ンドリ
ングに耐える粒強度が要求され、通常、潰し荷重として
少なくとも1kg以上の特性が必要とされている。
ングに耐える粒強度が要求され、通常、潰し荷重として
少なくとも1kg以上の特性が必要とされている。
本発明の目的は、60%以上の高水準下で所望の気孔率
にli整することができ、かつ潰し荷重が1kg以上の
粒強度を備える多孔質SiCウィスカーペレットの製造
方法を提供しようとするところにある。
にli整することができ、かつ潰し荷重が1kg以上の
粒強度を備える多孔質SiCウィスカーペレットの製造
方法を提供しようとするところにある。
上記の目的を達成するための本発明による多孔質SiC
ウィスカーペレットの製造方法は、けい素源原料と炭材
の配合比率をSiO□:Cのモル比として1:3〜6の
範囲に設定した組成の原料成分を無機質および/または
有機質のバインダーとともに混練してペレット状に成形
する成形工程、成形ペレットを非酸化性雰囲気下で13
00〜1800°Cの温度に加熱してペレット組織内に
SiCウィスカーを生成させる反応工程、SiCウィス
カー生成後のベレットを酸素含有雰囲気中で600°C
以上の温度に加熱して組織中に残留する炭材成分を焼失
させる焼却工程からなることを構成上の特徴とするもの
である。
ウィスカーペレットの製造方法は、けい素源原料と炭材
の配合比率をSiO□:Cのモル比として1:3〜6の
範囲に設定した組成の原料成分を無機質および/または
有機質のバインダーとともに混練してペレット状に成形
する成形工程、成形ペレットを非酸化性雰囲気下で13
00〜1800°Cの温度に加熱してペレット組織内に
SiCウィスカーを生成させる反応工程、SiCウィス
カー生成後のベレットを酸素含有雰囲気中で600°C
以上の温度に加熱して組織中に残留する炭材成分を焼失
させる焼却工程からなることを構成上の特徴とするもの
である。
以下、本発明を工程に沿って順次説明する。
(1)成形工程
けい素源原料としては、けい砂、けい石、シルカゲル、
籾殻灰、SiC粉末などのSt含有物質が用いられ、炭
材にはカーボンブラックが好適に用いられる。けい素源
原料と炭材との配合比率は、SiO,:Cのモル比とし
て1:3〜6の範囲内に設定した組成とする。Cの配合
量が3モル未満の組成では高度な気孔率が得られず、ま
た6モルを越えるとベレットの形状保持率が低下し、同
時に潰し荷重が1kgを満たさなくなる傾向が多くなる
。
籾殻灰、SiC粉末などのSt含有物質が用いられ、炭
材にはカーボンブラックが好適に用いられる。けい素源
原料と炭材との配合比率は、SiO,:Cのモル比とし
て1:3〜6の範囲内に設定した組成とする。Cの配合
量が3モル未満の組成では高度な気孔率が得られず、ま
た6モルを越えるとベレットの形状保持率が低下し、同
時に潰し荷重が1kgを満たさなくなる傾向が多くなる
。
これら原料成分には、必要によりSiCウィスカーの生
成を促進させるための生成触媒として、Fe、Co、N
i、Ca、に、Mg、Na等の塩類から選ばれた物質を
0.1〜20重量%の範囲で添加することができる。
成を促進させるための生成触媒として、Fe、Co、N
i、Ca、に、Mg、Na等の塩類から選ばれた物質を
0.1〜20重量%の範囲で添加することができる。
原料成分は、次いで無機質バインダー、有機質バインダ
ーまたはこれらの2種以上を組み合わせたバインダー成
分と配合される。好適なバインダー成分の種類は、無機
質バインダーとしてコロイダルシリカまたは水ガラスを
、また有機質バインダーとしてメチルセルロース、カル
ボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、リグ
ニン系物質、ピッチ系物質、フェノール樹脂、フラン樹
脂などを挙げることができる。これらバインダー成分は
溶液状態で使用に供されるが、その配合量は原料成分の
組成を勘案して5〜70重量%の範囲内で設定される。
ーまたはこれらの2種以上を組み合わせたバインダー成
分と配合される。好適なバインダー成分の種類は、無機
質バインダーとしてコロイダルシリカまたは水ガラスを
、また有機質バインダーとしてメチルセルロース、カル
ボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、リグ
ニン系物質、ピッチ系物質、フェノール樹脂、フラン樹
脂などを挙げることができる。これらバインダー成分は
溶液状態で使用に供されるが、その配合量は原料成分の
組成を勘案して5〜70重量%の範囲内で設定される。
原料成分とバインダーの配合物は適宜な混練装置を用い
て十分な混線処理を施したのち、押出し成形機で線状体
に成形して短長に切断する方法あるいはブリケットマシ
ンにより直接成形する方法などによって所望のベレット
形状に形成する。
て十分な混線処理を施したのち、押出し成形機で線状体
に成形して短長に切断する方法あるいはブリケットマシ
ンにより直接成形する方法などによって所望のベレット
形状に形成する。
(2)反応工程
成形ペレットは、黒鉛のような耐熱材料で構成された密
封反応容器に充填し、非酸化性雰囲気に保たれた電気炉
中で1300〜1800°C1望ましくは1500〜1
700℃の温度に加熱反応させて組織内部にSiCウィ
スカーを生成させる。
封反応容器に充填し、非酸化性雰囲気に保たれた電気炉
中で1300〜1800°C1望ましくは1500〜1
700℃の温度に加熱反応させて組織内部にSiCウィ
スカーを生成させる。
(3)焼却工程
SiCウィスカー生成後のペレットは、空気その他の酸
素含有雰囲気中で600℃以上の温度域で加熱し、ペレ
ッ)!織中の炭材および有機質バインダーから転化した
カーボン分などの不要成分を完全に焼失させ、さらに必
要に応じ酸洗や水洗をおこなって金属不純物などの表面
付着物を除去する。
素含有雰囲気中で600℃以上の温度域で加熱し、ペレ
ッ)!織中の炭材および有機質バインダーから転化した
カーボン分などの不要成分を完全に焼失させ、さらに必
要に応じ酸洗や水洗をおこなって金属不純物などの表面
付着物を除去する。
上記の工程を経て80%を越える気孔率の多孔質SiC
ウィスカーペレットが製造されるが、気孔率レベルを減
少させるための調整には、原料成分に予めSiCのウィ
スカーもしくは粉体を添加混入しておく方法が有効な手
段となる。これらSiC成分の混入量は目的とする気孔
率の度合に応じて設定されるが、この成分の添加はペレ
ットの潰し荷重および形状保持率を向上させるためにも
有効に機能する。
ウィスカーペレットが製造されるが、気孔率レベルを減
少させるための調整には、原料成分に予めSiCのウィ
スカーもしくは粉体を添加混入しておく方法が有効な手
段となる。これらSiC成分の混入量は目的とする気孔
率の度合に応じて設定されるが、この成分の添加はペレ
ットの潰し荷重および形状保持率を向上させるためにも
有効に機能する。
さらに潰し荷重を増大させるには、上記の工程で得られ
た多孔質SiCウィスカーペレットをコロイダルシリカ
、水ガラス等の無機質バインダー溶液を用いて表面処理
し、800″C以上の温度で加熱する方法を採ることが
できる0表面処理の手段としては、多孔質SiCウィス
カーのペレットを無機質バインダー溶液中に浸漬するか
、ペレーットの表面に無機質バインダー溶液を塗布ある
いはスプレーする等の方法が適用される。
た多孔質SiCウィスカーペレットをコロイダルシリカ
、水ガラス等の無機質バインダー溶液を用いて表面処理
し、800″C以上の温度で加熱する方法を採ることが
できる0表面処理の手段としては、多孔質SiCウィス
カーのペレットを無機質バインダー溶液中に浸漬するか
、ペレーットの表面に無機質バインダー溶液を塗布ある
いはスプレーする等の方法が適用される。
けい素源原料と炭材とによるSiCウィスカーの生成反
応は、下記の反応式によって進行する。
応は、下記の反応式によって進行する。
Sto!+3C−+5iCt+ +2COしたがって、
化学量論的にはSiO□ 1モルに対し03モルが必要
量となり、本発明における炭材のモル比は過剰量の範囲
となる。この過剰量の炭材が反応後のペレット組織中に
均質に残留分布し、焼却工程における焼失作用によって
高気孔率を形成する。このため、炭材の配合モル比を制
御することで90〜95%程度の範囲で気孔率の調整を
おこなうことができる。有機質のバインダーを用いた場
合には、このバインダー成分も最終的に焼失除去されて
気孔の形成に関与するが、寄与効果は大きくない。
化学量論的にはSiO□ 1モルに対し03モルが必要
量となり、本発明における炭材のモル比は過剰量の範囲
となる。この過剰量の炭材が反応後のペレット組織中に
均質に残留分布し、焼却工程における焼失作用によって
高気孔率を形成する。このため、炭材の配合モル比を制
御することで90〜95%程度の範囲で気孔率の調整を
おこなうことができる。有機質のバインダーを用いた場
合には、このバインダー成分も最終的に焼失除去されて
気孔の形成に関与するが、寄与効果は大きくない。
前記の高気孔率レベルは、原料成分に所定量のSiCウ
ィスカーもしくは粉体を添加することにより50〜90
%範囲の値に低減調整することが可能となり、このSi
C成分の配合はペレットの潰し荷重の改善にも機能する
。
ィスカーもしくは粉体を添加することにより50〜90
%範囲の値に低減調整することが可能となり、このSi
C成分の配合はペレットの潰し荷重の改善にも機能する
。
さらに、得られた多孔質SiCウィスカーペレットを無
機質バインダー溶液で表面処理するとペレットの潰し荷
重ならびに形状保持率が効果的に向上する作用がもたら
される。
機質バインダー溶液で表面処理するとペレットの潰し荷
重ならびに形状保持率が効果的に向上する作用がもたら
される。
これら多様の調整機能を介して60%以上の所望の気孔
率と1kgを越える所望の潰し荷重を備える多孔質Si
Cウィスカーペレットの製造が可能となる。
率と1kgを越える所望の潰し荷重を備える多孔質Si
Cウィスカーペレットの製造が可能となる。
〔実施例]
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
実施例1
(1)成形工程
シルカゲル粉末300gに炭材としてカーボンブラック
〔東海カーボン■製、“ジースト5H”〕1180〜3
60g(Stow/Cモル比として1:3〜6)および
CoCl1t ・6H! Ol1g (Singに対
しCoC1zとして2wtχ)を混合し、この原料成分
にリグニンスルホン酸カルシウム2%、メチルセルロー
ス1%からなる有機質バインダー水溶液の95重量%相
当量を加え十分に混練した。ついで、混wIA物を押出
成形装置のコンテナに入れ、直径5msのノズルから1
00kg/am”の成形圧力で円柱状に押し出し、これ
を長さ約5mmに切断してペレットを成形した。
〔東海カーボン■製、“ジースト5H”〕1180〜3
60g(Stow/Cモル比として1:3〜6)および
CoCl1t ・6H! Ol1g (Singに対
しCoC1zとして2wtχ)を混合し、この原料成分
にリグニンスルホン酸カルシウム2%、メチルセルロー
ス1%からなる有機質バインダー水溶液の95重量%相
当量を加え十分に混練した。ついで、混wIA物を押出
成形装置のコンテナに入れ、直径5msのノズルから1
00kg/am”の成形圧力で円柱状に押し出し、これ
を長さ約5mmに切断してペレットを成形した。
(2)反応工程
成形したペレットを乾燥したのち黒鉛製の反応容器に詰
め、窒素雰囲気中で1600″Cに加熱してペレット組
織内にSiCウィスカーを生成させた。
め、窒素雰囲気中で1600″Cに加熱してペレット組
織内にSiCウィスカーを生成させた。
(3)焼却工程
反応容器からペレットを取り出して水洗したのち、大気
中で600’Cの温度に3時間処理してペレット組織中
から残留炭材成分を完全に焼失除去した。
中で600’Cの温度に3時間処理してペレット組織中
から残留炭材成分を完全に焼失除去した。
(4)特性評価
上記の工程で得られた多孔質SiCウィスカーペレット
の気孔率、潰し荷重、形状保持率などを測定し、原料組
成と対比させて表1に示した。
の気孔率、潰し荷重、形状保持率などを測定し、原料組
成と対比させて表1に示した。
なお、潰し荷重は両端面を平行に削った円柱状ペレット
(直径51RIm、長さ5mm)を平滑な面をもつ金属
板で押し潰したときの荷重、形状保持率は焼却工程後に
おける正常ペレットの収率として示した。
(直径51RIm、長さ5mm)を平滑な面をもつ金属
板で押し潰したときの荷重、形状保持率は焼却工程後に
おける正常ペレットの収率として示した。
SiO,:Cのモル比が1:3〜6の原料成分の場合は
概ね90%レベルの高気孔率と約1kgを下限とする潰
し荷重値を示したが、モル比が1:2の場合にはSiC
ウィスカーの生成率が悪化して気孔率および潰し強度を
低下させ、また1:9の例では潰し荷重および形状保持
率が大幅に減退した。
概ね90%レベルの高気孔率と約1kgを下限とする潰
し荷重値を示したが、モル比が1:2の場合にはSiC
ウィスカーの生成率が悪化して気孔率および潰し強度を
低下させ、また1:9の例では潰し荷重および形状保持
率が大幅に減退した。
表 1
実施例2
実施例1におけるSiO,:Cモル比が1:3の原料成
分に同一の有機質バインダーと更に気孔率調整材として
SiCウィスカーを100〜400gの範囲で添加混合
した。この原料系を用いて実施例1と同一の成形、反応
、焼却工程により多孔質SiCウイスカーペレフトを製
造した。
分に同一の有機質バインダーと更に気孔率調整材として
SiCウィスカーを100〜400gの範囲で添加混合
した。この原料系を用いて実施例1と同一の成形、反応
、焼却工程により多孔質SiCウイスカーペレフトを製
造した。
得られたペレットの特性を気孔率調整材(SiCウィス
カー)の配合量と対比させて表2に示した。
カー)の配合量と対比させて表2に示した。
表2
実施例2のSiCウィスカーに代えて平均粒子径3μm
のSiC粉末を気孔率調整材とし、その他は実施例2と
同一工程により多孔質SiCウィスカーペレットを製造
した。
のSiC粉末を気孔率調整材とし、その他は実施例2と
同一工程により多孔質SiCウィスカーペレットを製造
した。
得られたペレットの特性を使用した気孔率調整材量と対
比して表3に示した。
比して表3に示した。
この場合にも、実施例2と同様の結果が得られた。
表3
表2の結果から、原料成分にSiCウィスカーを配合す
ると気孔率を60%以上の水準で調整することが可能と
なり、併せて潰し荷重を向上させることもできる。
ると気孔率を60%以上の水準で調整することが可能と
なり、併せて潰し荷重を向上させることもできる。
実施例3
実施例4
実施例1のうち5i(h:C−r−ル比を1:3.0で
製造した多孔質SiCウィスカーペレットにつき、次の
ようにして無機質バインダー溶液により表面処理を施し
た。
製造した多孔質SiCウィスカーペレットにつき、次の
ようにして無機質バインダー溶液により表面処理を施し
た。
(1)スプレー処理
ペレット表面に、ペレット重量と同一量のコロイダルシ
リカ10%水溶液を均等にスプレーして乾燥し、これを
1000°Cの温度で1時間熱処理した。
リカ10%水溶液を均等にスプレーして乾燥し、これを
1000°Cの温度で1時間熱処理した。
さらに、この操作を2回繰り返した。
(2)浸漬処理
ペレットを20%および40%濃度のコロイダルシリカ
水溶液に浸漬し、真空中で含浸させ30分後に常圧に戻
した。これを150°Cで乾燥したのち、1000°C
の温度で1時間熱処理した。
水溶液に浸漬し、真空中で含浸させ30分後に常圧に戻
した。これを150°Cで乾燥したのち、1000°C
の温度で1時間熱処理した。
上記の表面処理をおこなった多孔質SiCウィスカーペ
レットの特性を処理法と対比させて表4に示した。
レットの特性を処理法と対比させて表4に示した。
表4の結果から、表面処理を施すことによって気孔率の
大きく減退させることなしに潰し荷重を大幅に増大し得
ることが認められる。
大きく減退させることなしに潰し荷重を大幅に増大し得
ることが認められる。
表4
(発明の効果)
以上のとおり、本発明に従えば60〜95%の高気孔率
において所望のレベルに調整でき、かつ実用範囲の潰し
荷重を備える多孔質SiCウィスカーペレットを収率よ
く製造することが可能となる。そのうえ、多孔組織が高
熱および化学的に安定なSiCウィスカーで構成されて
いるから、触媒担体、濾過材をはじめ耐熱・耐食性と高
気孔率が要求される用途分野に好適に使用することがで
きる。
において所望のレベルに調整でき、かつ実用範囲の潰し
荷重を備える多孔質SiCウィスカーペレットを収率よ
く製造することが可能となる。そのうえ、多孔組織が高
熱および化学的に安定なSiCウィスカーで構成されて
いるから、触媒担体、濾過材をはじめ耐熱・耐食性と高
気孔率が要求される用途分野に好適に使用することがで
きる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、けい素源原料と炭材の配合比率をSiO_2:Cの
モル比として1:3〜6の範囲に設定した組成の原料成
分を無機質および/または有機質のバインダーとともに
混練してペレット状に成形する成形工程、、成形ペレッ
トを非酸化性雰囲気下で1300〜1800℃の温度に
加熱してペレット組織内にSiCウィスカーを生成させ
る反応工程、SiCウィスカー生成後のペレットを酸素
含有雰囲気中で600℃以上の温度に加熱して組織中に
残存する炭材成分を焼失させる焼却工程からなることを
特徴とする多孔質ウィスカーペレットの製造方法。 2、原料成分に、気孔率調整材としてSiCのウィスカ
ーもしくは粉体を添加する請求項1記載の多孔質ウィス
カーペレットの製造方法。 3、請求項1または2で製造された多孔質ウィスカーペ
レットを無機質バインダー溶液で表面処理したのち80
0℃以上の温度で加熱する多孔質ウィスカーペレットの
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5597090A JPH07115968B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 多孔質SiCウイスカーペレットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5597090A JPH07115968B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 多孔質SiCウイスカーペレットの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03257082A true JPH03257082A (ja) | 1991-11-15 |
JPH07115968B2 JPH07115968B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=13013934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5597090A Expired - Lifetime JPH07115968B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 多孔質SiCウイスカーペレットの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07115968B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008543721A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-12-04 | アイユーシーエフ−エイチワイユー(インダストリー−ユニバーシティ コーオペレーション ファウンデーション ハンヤン ユニバーシティ) | 単結晶炭化ケイ素ナノワイヤー、その製造方法及びそれを含むフィルター |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP5597090A patent/JPH07115968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008543721A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-12-04 | アイユーシーエフ−エイチワイユー(インダストリー−ユニバーシティ コーオペレーション ファウンデーション ハンヤン ユニバーシティ) | 単結晶炭化ケイ素ナノワイヤー、その製造方法及びそれを含むフィルター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07115968B2 (ja) | 1995-12-13 |
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