JPH11335172A - 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents

多孔質炭化珪素焼結体の製造方法

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JPH11335172A
JPH11335172A JP10143688A JP14368898A JPH11335172A JP H11335172 A JPH11335172 A JP H11335172A JP 10143688 A JP10143688 A JP 10143688A JP 14368898 A JP14368898 A JP 14368898A JP H11335172 A JPH11335172 A JP H11335172A
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JP
Japan
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silicon carbide
carbon
powder
carbide sintered
porous silicon
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Withdrawn
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JP10143688A
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English (en)
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Koji Miura
幸治 三浦
Kenichi Kanai
健一 金井
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Tokai Carbon Co Ltd
Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokai Carbon Co Ltd
Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C04B38/0022Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof obtained by a chemical conversion or reaction other than those relating to the setting or hardening of cement-like material or to the formation of a sol or a gel, e.g. by carbonising or pyrolysing preformed cellular materials based on polymers, organo-metallic or organo-silicon precursors

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い気孔率を有するとともに材質強度に優れ
た多孔質炭化珪素焼結体の製造方法を提供する。 【解決手段】 炭化珪素粉末と炭素粉末とを分散剤を用
いて水中に均一に分散させ、分散液のpHを6〜11に
調整したスラリーを成形型に鋳込み成形し、得られた成
形体を珪素酸化物と炭素との混合粉末と接触させた状態
で非酸化性雰囲気中1500〜2100℃の温度で熱処
理し、生成する珪素酸化物の分解ガスと成形体中の炭素
とを珪化反応によりSiCに転化することを特徴とする
多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高気孔率を有する
とともに強度特性に優れた多孔質炭化珪素焼結体の製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】炭化珪素焼結体は耐熱性や耐食性に優
れ、また高温における強度も高いことから、高温用の各
種構造部材として広く利用されている。また、焼結体の
組織構造を多孔質とした多孔質炭化珪素焼結体は溶融金
属用フィルター、通気性断熱材、触媒担体、排気ガス用
フィルター等の多様な用途分野で有用されている。
【0003】多孔質炭化珪素焼結体を製造する方法とし
ては、ポリウレタンフォームのような三次元網目構造の
有機質多孔体にSiCのスラリーを含浸させて乾燥した
のち、熱処理して有機質体を焼却除去する方法が知られ
ている(例えば、特開昭58−122016号公報)。この方法
により製造される多孔質炭化珪素焼結体は、有機質体を
焼却除去して形成された炭化珪素の骨格体を焼結するも
のであるから80%以上の高い気孔率を付与することが
できる反面、材質強度が極めて低いという欠点がある。
【0004】また、多孔質炭化珪素焼結体の製造方法と
しては炭化珪素の粉末に有機質の樹脂バインダーを加え
て混合し、この混合物を所定形状に成形したのち焼成し
て炭化珪素の粉末粒子を粒成長させる方法も知られてお
り、例えば特開平3−215374号公報には平均粒径
が100〜150μm で、平均粒径の±20%以内に9
0重量%以上が存在するような粒度分布を有する炭化珪
素顆粒に成形用バインダーと可塑剤を添加して混合した
後、該顆粒の表層部分が潰れて相互に連結し、かつその
内部が未潰れの状態で成形体中に残存するような成形圧
力で成形し、次いで焼結する方法が開示されている。
【0005】更に、特開平3−215375号公報には
炭化珪素粉末に炭素質物質を配合してなる原料組成物か
ら成形体を成形し、これを非酸化性雰囲気下にて焼成し
て炭化珪素粉末を焼結させることにより、炭素質物質が
分散含有された炭化珪素焼結体を形成し、その後、その
焼結体を酸化性雰囲気下にて加熱することにより焼結体
中の炭素質物質を燃焼して消失させ、焼結体中に気孔を
形成する方法が、また特開平4−187578号公報に
はβ型炭化珪素粉末にα型炭化珪素粉末を配合した原料
炭化珪素粉末から成形体を成形し、その成形体を焼成す
ることによりβ型炭化珪素の異常粒成長を抑制して気孔
径を制御する方法が提案されている。
【0006】これらの方法により気孔率が50%程度の
多孔質炭化珪素焼結体を製造することができるが、多孔
質体を構成する炭化珪素粒子の結合は炭化珪素微粒子の
粒成長のみによるものであるから機械的強度が小さく、
気孔特性と強度特性の両立を図ることは困難である。
【0007】また、炭化珪素粉末と焼結助材を適宜な分
散剤を用いて水中に分散させて均一なスラリーを調製
し、このスラリーを石膏型などの吸水性の材料で作製し
た成形型に注入して脱水し、得られた成形体を焼結する
ことにより炭化珪素焼結体を製造する方法が開発されて
いる。
【0008】例えば、特開平6−293575号公報に
は、メソフェ−ズ含有ピッチで被覆されてなる炭化珪素
粉末及び溶媒とからなるスラリー中に均一に分散安定化
された微細泡を生成し、該微細泡含有スラリーを用いて
鋳込み成形により成形体を形成し、該成形体を非酸化性
雰囲気下に乾燥及び焼成した後、珪素を含浸させ、次い
で、未反応珪素を除去することを特徴とする高強度多孔
質炭化珪素材の製造方法が開示されている。しかしなが
ら、この方法ではスラリー中に微細な泡を均一に生成さ
せることが難しく、さらに微細泡の分散状態を安定に維
持することが困難であるという問題がある。
【0009】また、本出願人の一人は、炭化珪素原料を
鋳込み成形する方法において、炭素源としての黒鉛粉末
と焼結助材とを含む炭化珪素質粉末を、分散剤にアクリ
ル系共重合体を用い水溶液中に分散させ、そのスリップ
の水素指数(pH)を7から11に調製することを特徴
とする炭化珪素質焼結体の製造方法(特開平9−286667
号公報)を開発した。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記の特開平9−28
6667号公報の技術によれば高密度の炭化珪素焼結体
を製造することが可能となる。そこで、本発明者らはこ
の技術を基にして多孔質の炭化珪素焼結体を製造するた
めの技術開発を鋭意進めた結果、炭化珪素粉末と炭素粉
末とから形成された成形体中の炭素の一部を珪化してS
iCに転化するとともに成形体中の一部の炭素をCOガ
スとして放出させると、多孔性で高強度の炭化珪素焼結
体が得られることを見出した。
【0011】本発明はこの知見に基づいて開発されたも
のであり、その目的は高い気孔率を有するとともに大き
な材質強度を備えた多孔質炭化珪素焼結体の製造方法を
提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明による多孔質炭化珪素焼結体の製造方法は、炭
化珪素粉末と炭素粉末とを分散剤を用いて水中に均一に
分散させ、分散液のpHを6〜11に調整したスラリー
を成形型に鋳込み成形し、得られた成形体を珪素酸化物
と炭素との混合粉末と接触させた状態で非酸化性雰囲気
中1500〜2100℃の温度で熱処理し、生成する珪
素酸化物の分解ガスと成形体中の炭素とを珪化反応によ
りSiCに転化することを構成上の特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】原料となる炭化珪素粉末にはα
型、β型いずれの結晶形のものも使用することができ、
粒子径はサブミクロン級の微細粒子のみでなく50μm
程度の大きな粒子径のものも用いることができる。ま
た、炭素粉末にはカーボンブラック、人造黒鉛、天然黒
鉛などの炭素質粉末が用いられ、粒子径は200μm 以
下の粉末が好ましい。粒子径が200μm を超えると珪
化反応によりSiCに転化する際に未反応の炭素が残留
し易くなり、また強度低下も生じ易くなるためである。
なおこれらの粉末原料は可及的に高純度であることが望
ましい。
【0014】この炭化珪素粉末及び炭素粉末は適宜な混
合比、例えば重量比で炭化珪素粉末80〜20、炭素粉
末20〜80の割合で分散剤とともに水中に攪拌混合さ
れて均一な分散液が作成される。分散液中の濃度は炭化
珪素粉末と炭素粉末とを合わせた原料粉末100重量部
に対し水25〜35重量部の割合に設定することが好ま
しい。分散剤としては、常用されるアクリル系共重合
体、ポリカルボン酸系、スチレンマレイン酸系、あるい
はナフタリンスルホン酸ホルマリン縮合物などの高分子
分散剤や界面活性剤などが1種または2種以上を混合し
て用いられる。分散剤の添加量は炭化珪素粉末と炭素粉
末とを合わせた原料粉末100重量部に対して0.5〜
2.0重量部の比率で添加される。
【0015】なお、分散液を作成する場合、常用される
バインダ及び焼結助剤を添加することもできる。バイン
ダとしてはポリアクリルアミド、ポリアクリルニトリ
ル、エチルセルロースなどが、また焼結助剤には硼素−
カーボン系(B/C系)、アルミニウム−カーボン系
(Al/C系)などが用いられる。
【0016】次いで、分散液のpHを6〜11に、好ま
しくは7〜10の範囲に調整することによりスラリーが
調製される。スラリーのpHが6未満の酸性領域におい
ては原料粉末の分散が不均一化して安定な分散状態を維
持することが難しくなり、鋳込み成形した成形体の組成
が不均質化するためである。またpHが11を超えるア
ルカリ領域では鋳込み成形時に成形型である石膏型に損
傷を生じ易く、離型性も低下するためである。なおpH
調整剤としては、酸、アルカリ金属水酸化物、例えば塩
酸、硝酸、硫酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、
アンモニア水などの他、脂肪族の一級、二級、三級アミ
ンなどの有機系調整剤が用いられる。
【0017】このようにして調製されたスラリーは所望
形状の吸水性の成形型、例えば石膏型に注入して石膏型
の吸水により保形する鋳込み成形法により成形し、乾燥
することにより成形体が得られる。なお、成形体は気孔
率が20%以上であることが望ましい。気孔率が20%
未満では焼結体中に未反応の炭素が残留し易く、強度低
下を招くこととなるためである。
【0018】成形体は加熱炉に入れ、珪素酸化物と炭素
との混合粉末と接触させた状態でアルゴン、窒素、ある
いは真空などの非酸化性雰囲気中1500〜2100℃
の温度に加熱して熱処理する。珪素酸化物としては、例
えばSiO2 を主成分とするシリカ粉末が好適に用いら
れ、炭素には黒鉛やカーボンブラックなどの粉末が用い
られる。珪素酸化物と炭素との混合粉末は非酸化性雰囲
気中で熱処理することにより珪素酸化物は分解されて一
酸化珪素ガス(SiOガス)を発生する。SiOガスは
成形体中の炭素と反応して炭素の一部を珪化するととも
に一部の炭素をCOガスとして放出する。すなわち、S
iO(g) +C→SiC+CO(g) の珪化反応により成形
体中の炭素の一部はSiCに転化され、原料として用い
た炭化珪素粉末と一体化して緻密で強固な炭化珪素の骨
格を形成する。また、COガスとして放出された炭素部
分は空隙化して気孔が形成される。したがって、炭化珪
素粉末と炭素粉末との混合比を調節することにより気孔
率の制御が可能となる。なお、熱処理温度は珪素酸化物
により適宜に設定し、例えばシリカの場合は1700〜
2100℃の温度範囲に設定することが好ましい。
【0019】このようにして炭化珪素粉末と炭素粉末と
が均一かつ安定に分散したスラリーを鋳込み成形法によ
り成形し、成形体を珪素酸化物の分解ガスと反応させる
ことにより成形体中の炭素を珪化してSiCに転化し、
生成したSiCは原料炭化珪素と一体化して強固な骨格
を形成し、一方成形体中の炭素の一部は珪化反応時にC
Oガスとして系外に放出されて気孔が形成される。した
がって、高い気孔率を有するとともに大きな材質強度を
備えた多孔質炭化珪素焼結体を製造することが可能とな
る。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例と対比して具
体的に説明する。
【0021】実施例1〜3、比較例1〜2 平均粒子径2μm のα型炭化珪素粉末〔太平洋ランダム
(株)製〕80重量部と平均粒子径12μm の黒鉛粉末
〔オリエンタル産業(株)製〕20重量部とを分散剤と
してアクリル系共重合体1.0重量部を含有した蒸留水
30重量部に加え、pH調整剤として水酸化ナトリウム
を量比を変えて添加し、ポットミルで24時間混合して
pHの異なるスラリーを調製した。得られたスラリーを
石膏型に注入して鋳込み成形し、離型、乾燥して80×
80×5mmの成形体を作製した。次いで、成形体を加熱
炉に入れてシリカ粉末と炭素粉末との混合粉末を加熱
し、発生したSiOガスと接触させた状態で窒素雰囲気
中1900℃の温度で1時間熱処理して多孔質炭化珪素
焼結体を製造した。得られた多孔質炭化珪素焼結体の密
度、気孔率及び曲げ強度を測定して、その結果を表1に
示した。なお、密度はアルキメデス法、気孔率は水銀圧
入法、曲げ強度はJIS R1601による測定値であ
る。
【0022】実施例4〜5 炭化珪素粉末と黒鉛粉末との混合割合を変えた他は、実
施例1と同一の方法により多孔質炭化珪素焼結体を製造
し、密度、気孔率及び曲げ強度を測定して、その結果を
表1に併載した。
【0023】
【表1】
【0024】表1の結果から、実施例1〜3の多孔質炭
化珪素焼結体は比較例1の多孔質炭化珪素焼結体に比べ
て同等の気孔率(約30%)において曲げ強度が著しく
高位にあることが判る。更に、実施例4、5では比較例
1に比べて気孔率が高いにも係わらず曲げ強度が優れて
いることが認められる。なお、比較例2においては、多
孔質炭化珪素焼結体の気孔率や曲げ強度は優れている
が、石膏型の劣化が著しく製造プロセス上問題があっ
た。
【0025】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば炭化珪素
粉末と炭素粉末が均一に安定分散したスラリーを用いて
鋳込み成形法により成形し、成形体を珪素酸化物と炭素
との混合粉末と接触させた状態で非酸化性雰囲気中で熱
処理して、珪素酸化物の分解ガスにより成形体中の炭素
を珪化してSiCに転化させることにより高い気孔率を
有するとともに大きな材質強度を備えた多孔質炭化珪素
焼結体の製造が可能となる。したがって、排気ガス用フ
ィルターや溶融金属用フィルターなどの各種フィルタ
ー、通気性断熱材、触媒担体などに用いる多孔質炭化珪
素焼結体の製造方法として極めて有用である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭化珪素粉末と炭素粉末とを分散剤を用
    いて水中に均一に分散させ、分散液のpHを6〜11に
    調整したスラリーを成形型に鋳込み成形し、得られた成
    形体を珪素酸化物と炭素との混合粉末と接触させた状態
    で非酸化性雰囲気中1500〜2100℃の温度で熱処
    理し、生成する珪素酸化物の分解ガスと成形体中の炭素
    とを珪化反応によりSiCに転化することを特徴とする
    多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。
JP10143688A 1998-05-26 1998-05-26 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法 Withdrawn JPH11335172A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007145665A (ja) * 2005-11-29 2007-06-14 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 多孔質SiC焼結体の製造方法
JP2011037675A (ja) * 2009-08-13 2011-02-24 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 炭化珪素の製造方法
JP2013035741A (ja) * 2011-07-11 2013-02-21 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 原料ガス供給用炭化けい素発熱体
CN116655387A (zh) * 2023-06-01 2023-08-29 潍坊华美智能科技有限公司 一种高导热碳化硅陶瓷及其制备方法

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Effective date: 20050802