JPH03173499A

JPH03173499A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH03173499A
Application number: JP1313881A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Shimoyama; 雄一下山; Kazuo Miyata; 宮田　一夫; Toshio Suzuki; 俊夫鈴木
Original assignee: Hitachi Naka Seiki Ltd
Current assignee: Hitachi Naka Seiki Ltd
Priority date: 1989-12-01
Filing date: 1989-12-01
Publication date: 1991-07-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、基板等の搬送装置に係り、特にプリント基板
のマスキングテープ貼付装置への基板搬送装置に関する
。

［従来の技術］従来、プリント基板等の平板の搬送は、基板面を吸着す
ることによって保持することができる吸着保持手段を有
する搬送装置によって行なわれていた。

しかし、プリント基板のコンタクト部等にマスキングテ
ープを貼付けた基板を、次の作業工程へ搬送、例えば、
自動マスキングテープ貼付装置への搬送は、人手によっ
て行なわれていた。

これは、積み重ねられた基板が、第３図に示すように基
板の一方の端部にのみ貼付けられたマスキングテープに
よって、基板面が順次傾斜するために、自Ｓ搬送装置の
複数の吸着パッドが基板面に均一に接触できなかったた
めである。

［発明が解決しようとする課！］前記のように基板面が順次傾斜した状態で積み重ねられ
たものを、１枚づつ吸着保持して搬送するだめには、前
ｒ＋３搬送装置の吸着保持手段の位置を、搬送する基板
面の傾斜角度に合うよう任意に制御できることが必要で
なる。

本発明の目的は、積み重ねることによって基板の傾斜角
度が一枚毎に異なる基板の位置と傾斜角度に合わせて、
搬送装置の吸着保持手段を制御することができる基板搬
送装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］前記［目的を達成するための本発明の要旨は下記のとお
りである。

（１）　ＩＩｒＩ送すべき基板の位置を検出するセンサ
と、訪記基板の吸着保持手段と、該吸着保持手段に設け
られた基板を吸着保持する複数の吸着パッドを有し、前記吸着保持手段は、それを昇降させる昇降手段と、前
記センサにより該吸着保持手段の傾斜角度を制御する制
御手段を備え、前記昇降手段と前記制御手段によって前記吸着バットを
基板面に密着させることにより前記基板を吸着保持して
搬送する搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装
置。

（２）前記制御手段がパルスモータにより駆動されるこ
とを特徴とする前項（１）記載の基板搬送装置。

前記基板表面に貼付られたマスキングテープ等によって
、積み重ね時に傾斜した基板の表面の傾斜角度は、セン
サによって検出される。

検出された傾斜角度は、信号としてコンピュータに入力
される。コンピュータによって演算処理された制御信号
出力によって前記制御手段が作動し、吸着保持手段に設
けられた吸着パッドが基板面の傾斜角度に合わせて均一
に接触され、吸着保持される。

例えば、前記制御手段としてパルスモータを用いた場合
、センサによって対象の基板面の位置と傾斜角度を計測
し、その信号をパーソナルコンピュータに入力して演算
処理し、該コンピュータからの制御信号をシーケンサに
より前記パルスモータのパルスを出力し該パルスモータ
を駆動する。

該パルスモータにより前記制御手段を基板の傾斜角度に
見合う分だけ駆動させ、吸着保持手段を前記基板の所定
部分に降下させる。もちろん吸着保持手段の傾斜角度の
制御の他に、前記吸着保持手段の昇降も同様にして制御
することができる。また、ステージ上に積み重ねた基板
を任意の高さに昇降させるリフタの駆動も、前記パーソ
ナルコンピュータを用いることによって制御することが
できる。

なお、基板面に接触して基板を保持する吸着パッドは、
基板面とよく接触するようにパッドの頭部がｌ）Ｊ＜よ
うにしたものが好ましい。

［作用］基板の一方の端部にマスキングテープ等が貼付けられた
基板が、積重ねられたことによって一枚毎の基板の傾斜
角度が異なっていても、該基板面の傾斜角度に合わせて
基板搬送装置の吸着保持手段の傾斜角度を制御すること
ができるので、複数の吸着パッドが基板面に均一に接触
されて吸着保持されるので、自動搬送が可能となった。

〔実施例］本発明の一実施例を図面により説明する。

第１図に示すように、本実施例の搬送装置は、モータ１
０によって昇降されるリフタ７上に複数枚積重ねられた
基板の、最上位に置かれた基板１の位置をセンサ６が検
出し、その信号に基づきモータ１０が停止してリフタ７
が所定の位置を保持するように設定されている。

次に、前記センサ６の信号に基づきパルスモータ２を駆
動し、プーリ３とベルト５によって吸着保持部９の傾斜
角度が、プーリ３のａを支点として任意に変えることが
できる。その際、第３図に示すように基板の一方の端面
にマスキングテープ１１が貼付けられていることによっ
て基板面が傾斜していても、その傾斜角度をセンサ６に
よって計測し、傾斜角度に応じて吸着保持部の傾斜角度
が設定され位置決めされる。

位置決め後、吸着保持部９はエアシリンダ８により下降
し、吸着保持部に設けた複数の吸着パッド４が基板１の
所定吸着個所に均一に接触して、基板１を吸着保持する
。次いで、エアシリンダ８とパルスモータ２の暉動によ
って吸着保持部９は所定位置まで上昇され、移動アーム
１２により、次の作業工程に搬出される。

前記操作を繰り返すことによって、基板は順次自動的に
搬出される。

なお、第２図に示すように、パーソナルコンピュータに
、予め基板寸法、厚さ９枚数等を入力しておき、該人力
データと、センサからの検出信号とのプログラムに基づ
き、シーケンサによって出力パルスを決定し、ドラバヘ
パルス信号を送り、該ドライバからの出力パルスにより
パルスモータを駆動する。

また、前記リフタ７、エアシリンダ８の昇降についても
、上記パーソナルコンピュータにプログラムしておくこ
とにより、自動化を図ることができる。

［発明の効果］本発明によれば、プリント回路板等の基板を複数枚積重
ねた場合、１枚毎の基板面の傾斜角度が異なる基板でも
、その傾斜角度に合わせて吸着保持手段を制御すること
ができるので、基板搬送作業の自動化を図ることができ
、作業効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第３図は、本発明の基板搬送装’＋？１の
一実施例を示す概略図、第２図は自動制御のシステムを
示すブロック図である。１・・・基板、２・・・パルスモータ、３・・・プーリ
、４・・・吸着パッド、５・・・ベルト、６・・・セン
サ、７・・・リフタ、８・・・エアシリンダ、９・・・
吸着保持部、１０・・・モータ、１１・・・マスキング
テープ、１２・・・移動アーム。（ほか１名）ｓ、；−ン第１図第２図第３図１・・・基板、２・・パルスモータ、３・・・プーリ、
ド、５・・・ベルト、６・・・セ／す、７・・リフタ、
／ダ、９・・・吸着保持部、１ｏ・・・モータ。４・・吸着バソ８　・エア／す

Claims

【特許請求の範囲】

１．搬送すべき基板の位置を検出するセンサと、前記基
板の吸着保持手段と、該吸着保持手段に設けられた基板
を吸着保持する複数の吸着パッドを有し、前記吸着保持手段は、それを昇降させる昇降手段と、前
記センサにより該吸着保持手段の傾斜角度を制御する制
御手段を備え、前記昇降手段と前記制御手段によって前記吸着パッドを
基板面に密着させることにより前記基板を吸着保持して
搬送する搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装
置。
２．前記制御手段がパルスモータにより駆動されること
を特徴とする請求項第１項記載の基板搬送装置。