JPH05162915A - ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法 - Google Patents
ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法Info
- Publication number
- JPH05162915A JPH05162915A JP3353865A JP35386591A JPH05162915A JP H05162915 A JPH05162915 A JP H05162915A JP 3353865 A JP3353865 A JP 3353865A JP 35386591 A JP35386591 A JP 35386591A JP H05162915 A JPH05162915 A JP H05162915A
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- Japan
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- wafer
- plate
- sticking plate
- stripping
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨工程を経たウェーハをウェーハ貼付プレ
ートから剥し、洗浄用キャリヤに装填する一連の作業を
自動化する。 【構成】 プレート回転台２１上でウェーハ貼付プレー
ト１を回転させ、光センサ２２がウェーハ貼付プレート
１の基準点１ａを検出すると回転が停止し、ウェーハ剥
し機構２０のアーム２４と１枚のウェーハ３の中心とが
一致する。シリンダ２７が作動すると、ハンド２５の爪
２６がウェーハ３とウェーハ貼付プレート１との隙間に
食い込んでウェーハ３を剥す。次に軸２３が回転して、
ウェーハ３をウェーハ搬送ベルト３１上に下ろし、ウェ
ーハ３はキャリヤ２内に送られる。このような作業サイ
クルを１ロット分のウェーハ貼付プレートがすべて処理
されるまで繰り返す。
ートから剥し、洗浄用キャリヤに装填する一連の作業を
自動化する。 【構成】 プレート回転台２１上でウェーハ貼付プレー
ト１を回転させ、光センサ２２がウェーハ貼付プレート
１の基準点１ａを検出すると回転が停止し、ウェーハ剥
し機構２０のアーム２４と１枚のウェーハ３の中心とが
一致する。シリンダ２７が作動すると、ハンド２５の爪
２６がウェーハ３とウェーハ貼付プレート１との隙間に
食い込んでウェーハ３を剥す。次に軸２３が回転して、
ウェーハ３をウェーハ搬送ベルト３１上に下ろし、ウェ
ーハ３はキャリヤ２内に送られる。このような作業サイ
クルを１ロット分のウェーハ貼付プレートがすべて処理
されるまで繰り返す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハの製造
工程のうち、研磨完了後のウェーハをウェーハ貼付プレ
ートから剥し、洗浄用キャリヤに装填するウェーハ剥し
装置およびウェーハ剥し方法に関する。
工程のうち、研磨完了後のウェーハをウェーハ貼付プレ
ートから剥し、洗浄用キャリヤに装填するウェーハ剥し
装置およびウェーハ剥し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウェーハ等の半導体ウェーハ
は、ワックス等の接着剤を用いてウェーハ貼付プレート
に貼着し、その表面を研磨加工により鏡面仕上げする。
そして研磨が完了すると、ウェーハ貼付プレートから剥
したウェーハは洗浄工程へ送られる。前記ウェーハ貼付
プレートからウェーハを剥す作業は、一般的には専用工
具を用いて人手によって行われるが、損傷しやすいウェ
ーハの取り扱いに細心の注意を払う必要があるため、作
業性が悪い。また、自動的に剥す装置あるいは方法とし
ては、特開昭６３−２４２８４２あるいは加熱して接着
剤を溶かす特開昭６４−８６４１が公知である。
は、ワックス等の接着剤を用いてウェーハ貼付プレート
に貼着し、その表面を研磨加工により鏡面仕上げする。
そして研磨が完了すると、ウェーハ貼付プレートから剥
したウェーハは洗浄工程へ送られる。前記ウェーハ貼付
プレートからウェーハを剥す作業は、一般的には専用工
具を用いて人手によって行われるが、損傷しやすいウェ
ーハの取り扱いに細心の注意を払う必要があるため、作
業性が悪い。また、自動的に剥す装置あるいは方法とし
ては、特開昭６３−２４２８４２あるいは加熱して接着
剤を溶かす特開昭６４−８６４１が公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように人手によ
ってウェーハ貼付プレートからウェーハを剥した場合、
ウェーハを真空チャックに吸着して引き上げているが、
その際鏡面を傷つけることがある。また、自動化された
剥離装置あるいは剥離方法には、洗浄用キャリヤにウェ
ーハを装填する機構がないので、この作業に人手を要す
るという問題点があり、剥し作業のみを自動化してもそ
のメリットが小さい。そこで、本発明は上記従来の問題
点に着目し、ウェーハ貼付プレートからウェーハを剥
し、キャリヤに装填するまでの一連の作業を自動的に行
うウェーハ剥し装置およびウェーハ剥し方法を提供する
ことを目的とする。
ってウェーハ貼付プレートからウェーハを剥した場合、
ウェーハを真空チャックに吸着して引き上げているが、
その際鏡面を傷つけることがある。また、自動化された
剥離装置あるいは剥離方法には、洗浄用キャリヤにウェ
ーハを装填する機構がないので、この作業に人手を要す
るという問題点があり、剥し作業のみを自動化してもそ
のメリットが小さい。そこで、本発明は上記従来の問題
点に着目し、ウェーハ貼付プレートからウェーハを剥
し、キャリヤに装填するまでの一連の作業を自動的に行
うウェーハ剥し装置およびウェーハ剥し方法を提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るウェーハ剥し装置は、ウェーハ貼付プレ
ートをウェーハ剥し機構に送るウェーハ貼付プレート搬
送機構と、ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプ
レート回転台と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点
を検出するセンサと、上下動および回動するアーム先端
に設けた開閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥し機構
と、ウェーハ搬送ベルトとキャリヤ昇降手段とを備えた
ウェーハ装填機構と、前記ウェーハ貼付プレート搬送機
構、ウェーハ剥し機構、ウェーハ装填機構に対する制御
装置とからなる構成とし、このような構成におけるウェ
ーハ剥し方法としては、ウェーハ貼付プレートを載置し
たプレート回転台が回転し、前記ウェーハ貼付プレート
に設けた基準点をセンサが検出するとプレート回転台が
停止し、１個のウェーハ上に位置するハンドの下端がシ
リンダの作動によってウェーハとウェーハ貼付プレート
との間に食い込んでウェーハを剥した上、ウェーハ装填
機構のウェーハ搬送ベルト上にウェーハを載置し、ウェ
ーハ搬送ベルトがウェーハをキャリヤ内に搬送する一連
の作業サイクルを繰り返すこととした。
に本発明に係るウェーハ剥し装置は、ウェーハ貼付プレ
ートをウェーハ剥し機構に送るウェーハ貼付プレート搬
送機構と、ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプ
レート回転台と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点
を検出するセンサと、上下動および回動するアーム先端
に設けた開閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥し機構
と、ウェーハ搬送ベルトとキャリヤ昇降手段とを備えた
ウェーハ装填機構と、前記ウェーハ貼付プレート搬送機
構、ウェーハ剥し機構、ウェーハ装填機構に対する制御
装置とからなる構成とし、このような構成におけるウェ
ーハ剥し方法としては、ウェーハ貼付プレートを載置し
たプレート回転台が回転し、前記ウェーハ貼付プレート
に設けた基準点をセンサが検出するとプレート回転台が
停止し、１個のウェーハ上に位置するハンドの下端がシ
リンダの作動によってウェーハとウェーハ貼付プレート
との間に食い込んでウェーハを剥した上、ウェーハ装填
機構のウェーハ搬送ベルト上にウェーハを載置し、ウェ
ーハ搬送ベルトがウェーハをキャリヤ内に搬送する一連
の作業サイクルを繰り返すこととした。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、研磨完了後のウェーハを貼
着したウェーハ貼付プレートをプレート回転台上で回転
させ、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点をセンサが
検出するとプレート回転台の回転を停止させることによ
って、ウェーハ剥し機構に対するウェーハの位置決めを
することができる。そしてウェーハ剥し機構によってウ
ェーハ貼付プレートから剥されたウェーハは、ウェーハ
搬送ベルト上に載置され、そのままキャリヤ内に送られ
る構成としたので、ウェーハの剥しからキャリヤへの装
填に至る一連の作業を無人化することができる。
着したウェーハ貼付プレートをプレート回転台上で回転
させ、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点をセンサが
検出するとプレート回転台の回転を停止させることによ
って、ウェーハ剥し機構に対するウェーハの位置決めを
することができる。そしてウェーハ剥し機構によってウ
ェーハ貼付プレートから剥されたウェーハは、ウェーハ
搬送ベルト上に載置され、そのままキャリヤ内に送られ
る構成としたので、ウェーハの剥しからキャリヤへの装
填に至る一連の作業を無人化することができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明に係るウェーハ剥し装置および
ウェーハ剥し方法の実施例について、図面を参照して説
明する。図１はウェーハ剥し装置の斜視図である。この
ウェーハ剥し装置は、ウェーハ貼付プレート搬送機構１
０、ウェーハ剥し機構２０、ウェーハ装填機構３０およ
び図示しない制御装置とによって構成される。
ウェーハ剥し方法の実施例について、図面を参照して説
明する。図１はウェーハ剥し装置の斜視図である。この
ウェーハ剥し装置は、ウェーハ貼付プレート搬送機構１
０、ウェーハ剥し機構２０、ウェーハ装填機構３０およ
び図示しない制御装置とによって構成される。
【０００７】ウェーハ剥し機構２０は、前記搬送機構１
０の平行な２本のウェーハ貼付プレート搬送ローラ１１
（ベルトでも良い）の端末に設けられ、ウェーハ貼付プ
レート１を載置するプレート回転台２１の近傍に光セン
サ２２と、上下動および回動することができる垂直な軸
２３とが配設されている。軸２３の上端にはアーム２４
が固着され、アーム２４の先端には互いに交差する２本
のハンド２５が軸着されている。前記ハンド２５はその
先端にそれぞれ薄い刃を備えた幅広の爪２６を備え、前
記アーム２４上に取着されたシリンダ２７の伸縮によっ
てハンド２５を開閉することができるようになってい
る。またウェーハ装填機構３０は、平行に設置された２
本のウェーハ搬送ベルト３１と、この搬送ベルト３１の
端末部に設けられ、キャリヤ２を上下動する図示しない
昇降台およびキャリヤ搬送ベルトとによって構成されて
いる。
０の平行な２本のウェーハ貼付プレート搬送ローラ１１
（ベルトでも良い）の端末に設けられ、ウェーハ貼付プ
レート１を載置するプレート回転台２１の近傍に光セン
サ２２と、上下動および回動することができる垂直な軸
２３とが配設されている。軸２３の上端にはアーム２４
が固着され、アーム２４の先端には互いに交差する２本
のハンド２５が軸着されている。前記ハンド２５はその
先端にそれぞれ薄い刃を備えた幅広の爪２６を備え、前
記アーム２４上に取着されたシリンダ２７の伸縮によっ
てハンド２５を開閉することができるようになってい
る。またウェーハ装填機構３０は、平行に設置された２
本のウェーハ搬送ベルト３１と、この搬送ベルト３１の
端末部に設けられ、キャリヤ２を上下動する図示しない
昇降台およびキャリヤ搬送ベルトとによって構成されて
いる。
【０００８】ウェーハ貼付プレート１の外周面には基準
点１ａが設けられている。ウェーハ貼付プレート１に貼
着されるウェーハ３は、それぞれ方向性を揃え、かつ前
記基準点１ａを通るウェーハ貼付プレート１の直径上お
よび基準点１ａから３６０゜／ｎ（ｎはウェーハ貼付プ
レートに貼着されたウェーハの枚数）ずつ間隔をおいた
直径上に、それぞれウェーハの中心が来るように配列さ
れている。
点１ａが設けられている。ウェーハ貼付プレート１に貼
着されるウェーハ３は、それぞれ方向性を揃え、かつ前
記基準点１ａを通るウェーハ貼付プレート１の直径上お
よび基準点１ａから３６０゜／ｎ（ｎはウェーハ貼付プ
レートに貼着されたウェーハの枚数）ずつ間隔をおいた
直径上に、それぞれウェーハの中心が来るように配列さ
れている。
【０００９】ウェーハの研磨が完了すると、ウェーハ貼
付プレート１を反転し、ウェーハを上向きにした状態で
ウェーハ貼付プレート搬送ローラ１１に載せ、図示しな
い制御装置に設けられたウェーハ直径選択スイッチを操
作して該当するウェーハ直径を指定する。これにより軸
２３が回転し、アーム２４の中心線が対象ウェーハの中
心と一致する位置で停止する。次にウェーハ剥し装置の
スイッチを入れるとウェーハ剥し装置が起動するが、以
下ウェーハ剥し装置の動作をステップごとに説明する。 （１）ウェーハ貼付プレート１がプレート回転台２１上
に搬送される。 （２）プレート回転台２１が所定の高さまで上昇し、ウ
ェーハ貼付プレート１を載せて回転を始める。 （３）光センサ２２が、ウェーハ貼付プレート１の外周
面に設けた基準点１ａを検出し、制御装置に検出信号を
送る。 （４）制御装置は前記信号の入力により、プレート回転
台２１を３６０゜／ｎだけ回転させた後停止させる。こ
のときアーム２４の中心線は、一つのウェーハ３の中心
上にある。（５）軸２３が下降し、設定された高さで停
止すると、シリンダ２７が作動してハンド２５が狭まる
ので、ハンド２５先端の爪２６がそれぞれウェーハ３と
ウェーハ貼付プレート１との隙間に食い込む。前記爪２
６はウェーハ３を剥しながらウェーハ中心に向かって進
み、両側の爪２６がウェーハ中心まで進むとウェーハ３
は完全に剥され、シリンダ２７の作動が停止し、ハンド
２５の動きが止まる。 （６）そのままの状態で軸２３が上昇し、ハンド２５が
ウェーハ３を乗せたままあるいは把持したまま軸２３が
回転する。ハンド２５の支点がウェーハ装填機構３０の
ウェーハ搬送ベルト３１上に来ると、軸２３の回転が停
止する。 （７）シリンダ２７が作動してハンド２５が開き、ウェ
ーハ３をウェーハ搬送ベルト３１に載せる。 （８）軸２３が逆方向に回転し、もとの位置に戻る。 （９）ウェーハ搬送ベルト３１が駆動され、ウェーハ３
がキャリヤ２の最上段に装填される。次に、図示しない
キャリヤ昇降台が作動して、キャリヤ２を１段階上昇さ
せる。（１０）プレート回転台２１が３６０゜／ｎだけ
回転して停止する。 （１１）上記（５）〜（１０）をウェーハ貼付プレート
１に貼着されたウェーハがなくなるまで繰り返す。 （１２）プレート回転台２１が所定の高さまで下降し、
ウェーハ貼付プレート１はウェーハ貼付プレート搬送ロ
ーラ１１によって搬送される。 （１３）上記（１）〜（１２）を１ロット分のウェーハ
貼付プレートがすべて処理されるまで繰り返す。
付プレート１を反転し、ウェーハを上向きにした状態で
ウェーハ貼付プレート搬送ローラ１１に載せ、図示しな
い制御装置に設けられたウェーハ直径選択スイッチを操
作して該当するウェーハ直径を指定する。これにより軸
２３が回転し、アーム２４の中心線が対象ウェーハの中
心と一致する位置で停止する。次にウェーハ剥し装置の
スイッチを入れるとウェーハ剥し装置が起動するが、以
下ウェーハ剥し装置の動作をステップごとに説明する。 （１）ウェーハ貼付プレート１がプレート回転台２１上
に搬送される。 （２）プレート回転台２１が所定の高さまで上昇し、ウ
ェーハ貼付プレート１を載せて回転を始める。 （３）光センサ２２が、ウェーハ貼付プレート１の外周
面に設けた基準点１ａを検出し、制御装置に検出信号を
送る。 （４）制御装置は前記信号の入力により、プレート回転
台２１を３６０゜／ｎだけ回転させた後停止させる。こ
のときアーム２４の中心線は、一つのウェーハ３の中心
上にある。（５）軸２３が下降し、設定された高さで停
止すると、シリンダ２７が作動してハンド２５が狭まる
ので、ハンド２５先端の爪２６がそれぞれウェーハ３と
ウェーハ貼付プレート１との隙間に食い込む。前記爪２
６はウェーハ３を剥しながらウェーハ中心に向かって進
み、両側の爪２６がウェーハ中心まで進むとウェーハ３
は完全に剥され、シリンダ２７の作動が停止し、ハンド
２５の動きが止まる。 （６）そのままの状態で軸２３が上昇し、ハンド２５が
ウェーハ３を乗せたままあるいは把持したまま軸２３が
回転する。ハンド２５の支点がウェーハ装填機構３０の
ウェーハ搬送ベルト３１上に来ると、軸２３の回転が停
止する。 （７）シリンダ２７が作動してハンド２５が開き、ウェ
ーハ３をウェーハ搬送ベルト３１に載せる。 （８）軸２３が逆方向に回転し、もとの位置に戻る。 （９）ウェーハ搬送ベルト３１が駆動され、ウェーハ３
がキャリヤ２の最上段に装填される。次に、図示しない
キャリヤ昇降台が作動して、キャリヤ２を１段階上昇さ
せる。（１０）プレート回転台２１が３６０゜／ｎだけ
回転して停止する。 （１１）上記（５）〜（１０）をウェーハ貼付プレート
１に貼着されたウェーハがなくなるまで繰り返す。 （１２）プレート回転台２１が所定の高さまで下降し、
ウェーハ貼付プレート１はウェーハ貼付プレート搬送ロ
ーラ１１によって搬送される。 （１３）上記（１）〜（１２）を１ロット分のウェーハ
貼付プレートがすべて処理されるまで繰り返す。
【００１０】本実施例では、ウェーハ貼付プレート外周
面に設けた基準点を光センサが検出すると、ウェーハ貼
付プレートを載せたプレート回転台を３６０゜／ｎだけ
回転させた後停止することにしたが、これに限るもので
はなく、たとえば３６０゜／２ｎ、３６０゜／３ｎだけ
回転後停止してもよく、あるいは光センサが基準点を検
出した時点で直ちに停止してもよい。また、ウェーハ貼
付プレートの外周面に設ける基準点に代えて、ウェーハ
貼付プレートの上面中央部にプレート番号を表すバーコ
ードを設け、このバーコードをプレート回転台の上方に
設けたバーコードリーダで読み取ってプレート回転台の
回転角を制御してもよい。
面に設けた基準点を光センサが検出すると、ウェーハ貼
付プレートを載せたプレート回転台を３６０゜／ｎだけ
回転させた後停止することにしたが、これに限るもので
はなく、たとえば３６０゜／２ｎ、３６０゜／３ｎだけ
回転後停止してもよく、あるいは光センサが基準点を検
出した時点で直ちに停止してもよい。また、ウェーハ貼
付プレートの外周面に設ける基準点に代えて、ウェーハ
貼付プレートの上面中央部にプレート番号を表すバーコ
ードを設け、このバーコードをプレート回転台の上方に
設けたバーコードリーダで読み取ってプレート回転台の
回転角を制御してもよい。
【００１１】図２は第２実施例によるアームの平面図
で、アーム２４に固着され、斜め左右方向に張り出した
一対のブラケット２８の下面には、それぞれ複数個の光
センサ２９が取り付けられている。左右の光センサ２９
の間隔は、研磨するウェーハの直径たとえば４インチ、
５インチ、６インチに合わせて配設され、プレート回転
台に載せられたウェーハ貼付プレート１が回転中に、前
記左右の光センサ２９が同時にウェーハ外縁を検出した
とき、そのウェーハの中心とアーム２４の中心線とが一
致する。制御装置はこの時点でプレート回転台を停止さ
せるか、またはこの時点からプレート回転台を３６０゜
／ｎだけ回転させた後停止させ、ウェーハを剥す。
で、アーム２４に固着され、斜め左右方向に張り出した
一対のブラケット２８の下面には、それぞれ複数個の光
センサ２９が取り付けられている。左右の光センサ２９
の間隔は、研磨するウェーハの直径たとえば４インチ、
５インチ、６インチに合わせて配設され、プレート回転
台に載せられたウェーハ貼付プレート１が回転中に、前
記左右の光センサ２９が同時にウェーハ外縁を検出した
とき、そのウェーハの中心とアーム２４の中心線とが一
致する。制御装置はこの時点でプレート回転台を停止さ
せるか、またはこの時点からプレート回転台を３６０゜
／ｎだけ回転させた後停止させ、ウェーハを剥す。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、研
磨完了後のウェーハを貼着したウェーハ貼付プレートを
プレート回転台上で回転させ、ウェーハ貼付プレートに
設けた基準点をセンサが検出するとプレート回転台の回
転を停止させることによって、ウェーハ剥し機構に対す
るウェーハの位置決めをし、ウェーハ剥し機構によって
ウェーハ貼付プレートから剥されたウェーハは、ウェー
ハ搬送ベルト上に載置され、そのままキャリヤ内に送ら
れる構成としたので、多数のウェーハを連続して確実に
ウェーハ貼付プレートから剥すことができる。また、ウ
ェーハの剥しからキャリヤへの装填に至る一連の作業を
完全に無人化することができるとともに、作業能率を飛
躍的に向上させることができる。
磨完了後のウェーハを貼着したウェーハ貼付プレートを
プレート回転台上で回転させ、ウェーハ貼付プレートに
設けた基準点をセンサが検出するとプレート回転台の回
転を停止させることによって、ウェーハ剥し機構に対す
るウェーハの位置決めをし、ウェーハ剥し機構によって
ウェーハ貼付プレートから剥されたウェーハは、ウェー
ハ搬送ベルト上に載置され、そのままキャリヤ内に送ら
れる構成としたので、多数のウェーハを連続して確実に
ウェーハ貼付プレートから剥すことができる。また、ウ
ェーハの剥しからキャリヤへの装填に至る一連の作業を
完全に無人化することができるとともに、作業能率を飛
躍的に向上させることができる。
【００１３】本発明は、ウェーハやウェーハ貼付プレー
トを加熱あるいは冷却する必要がなく、ウェーハの研磨
面に触れる必要もないので、ウェーハは研磨された状態
がそのまま維持され、鏡面を損傷することがない。更
に、従来作業者が占有していたウェーハ剥しおよびキャ
リヤ装填作業のスペースの大部分が不要となるので、こ
れらのスペースの有効活用を図ることができる。
トを加熱あるいは冷却する必要がなく、ウェーハの研磨
面に触れる必要もないので、ウェーハは研磨された状態
がそのまま維持され、鏡面を損傷することがない。更
に、従来作業者が占有していたウェーハ剥しおよびキャ
リヤ装填作業のスペースの大部分が不要となるので、こ
れらのスペースの有効活用を図ることができる。
【図１】ウェーハ剥し装置の斜視図である。
【図２】第２実施例におけるウェーハ剥し機構のアーム
の平面図である。
の平面図である。
【符号の説明】 １ ウェーハ貼付プレート １ａ 基準点 ２ キャリヤ ３ ウェーハ １０ ウェーハ貼付プレート搬送機構 ２０ ウェーハ剥し機構 ２１ プレート回転台 ２２，２９ 光センサ ２４ アーム ２５ ハンド ２７ シリンダ ３０ ウェーハ装填機構 ３１ ウェーハ搬送ベルト
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハ貼付プレートをウェーハ剥し機
構に送るウェーハ貼付プレート搬送機構と、 ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプレート回転
台と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点を検出する
センサと、上下動および回動するアーム先端に設けた開
閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥し機構と、 ウェーハ搬送ベルトとキャリヤ昇降手段とを備えたウェ
ーハ装填機構と、 前記ウェーハ貼付プレート搬送機構、ウェーハ剥し機
構、ウェーハ装填機構に対する制御装置とからなること
を特徴とするウェーハ剥し装置。 - 【請求項２】 ウェーハ貼付プレートを載置したプレー
ト回転台が回転し、前記ウェーハ貼付プレートに設けた
基準点をセンサが検出するとプレート回転台が停止し、
１個のウェーハ上に位置するハンドの下端がシリンダの
作動によってウェーハとウェーハ貼付プレートとの間に
食い込んでウェーハを剥した上、ウェーハ装填機構のウ
ェーハ搬送ベルト上にウェーハを載置し、ウェーハ搬送
ベルトがウェーハをキャリヤ内に搬送する一連の作業サ
イクルを繰り返すことを特徴とする、請求項１記載のウ
ェーハ剥し装置を用いるウェーハ剥し方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353865A JPH05162915A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353865A JPH05162915A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05162915A true JPH05162915A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18433749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3353865A Pending JPH05162915A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05162915A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5947467A (en) * | 1997-09-22 | 1999-09-07 | Billings; Bradford | Selectively adjustable decurler |
| JP2011159798A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 環状凸部除去装置 |
| CN112318362A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-02-05 | 强信机械科技(莱州)有限公司 | 一种随动式旋转研磨装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63241946A (ja) * | 1987-03-28 | 1988-10-07 | Mitsubishi Metal Corp | 剥離ウエ−ハ分類収納装置 |
| JPH01319938A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | 薄片の剥離方法及び剥離装置 |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP3353865A patent/JPH05162915A/ja active Pending
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