JPH03148868A - 固体撮像素子およびその製造方法 - Google Patents
固体撮像素子およびその製造方法Info
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- JPH03148868A JPH03148868A JP1288417A JP28841789A JPH03148868A JP H03148868 A JPH03148868 A JP H03148868A JP 1288417 A JP1288417 A JP 1288417A JP 28841789 A JP28841789 A JP 28841789A JP H03148868 A JPH03148868 A JP H03148868A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 239000005018 casein Substances 0.000 abstract description 6
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 abstract description 6
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 abstract description 2
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 abstract description 2
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 abstract description 2
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 abstract description 2
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 abstract 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は固体撮像素子に関し、特に、偽信号電荷の発生
を低減せしめた固体撮像素子に関する。
を低減せしめた固体撮像素子に関する。
［従来の技術］
第２図は、従来の２次元ＣＯＤ固体撮像素子の断面図で
ある。第２図に示すように、ｎ型半導体基板２０仕には
ｐウェル２０２が形成され、ｐウェル２０２の表面領域
内には、ｎ型の光電変換領域２０３、ｎ型の電荷転送領
域２０４及びｐ＋型のチャネルストッパ２０５が形成さ
れている。
ある。第２図に示すように、ｎ型半導体基板２０仕には
ｐウェル２０２が形成され、ｐウェル２０２の表面領域
内には、ｎ型の光電変換領域２０３、ｎ型の電荷転送領
域２０４及びｐ＋型のチャネルストッパ２０５が形成さ
れている。
半導体基板上にはシリコン酸化膜２０６を介して電荷転
送電極２０７が、さらにその上には眉間絶縁膜２０８を
介して、光電変換領域２０３上に開口を有するアルミニ
ウム遮光膜２０９が形成されている。この固体撮像素子
はキャップ２１１を有するパッケージ内に収納されて使
用される。
送電極２０７が、さらにその上には眉間絶縁膜２０８を
介して、光電変換領域２０３上に開口を有するアルミニ
ウム遮光膜２０９が形成されている。この固体撮像素子
はキャップ２１１を有するパッケージ内に収納されて使
用される。
［発明が解決しようとする課題］
従来の固体撮像素子では、第２図に示すように受光部に
対して斜め入射光Ａが入射した場合、アルミニウム遮光
膜の端面で反射し、光電変換領域２０３ではなく電荷転
送領域２０４内あるいはその近傍に入射し、そこで信号
電荷を発生させる。
対して斜め入射光Ａが入射した場合、アルミニウム遮光
膜の端面で反射し、光電変換領域２０３ではなく電荷転
送領域２０４内あるいはその近傍に入射し、そこで信号
電荷を発生させる。
この電荷は、電荷転送領域内に集められスミア成分とな
る。また、Ｂのように入射した光は、アルミニウム遮光
膜２０９の表面で反射し、反射光の一部はさらにパッケ
ージキャップ下面で反射し。
る。また、Ｂのように入射した光は、アルミニウム遮光
膜２０９の表面で反射し、反射光の一部はさらにパッケ
ージキャップ下面で反射し。
受光部に入射する。この入射光は光電変換領域内におい
て光電変換され偽信号電荷となる。
て光電変換され偽信号電荷となる。
［課題を解決するための手段１
本発明による固体撮像素子は、半導体基板の表面領域内
に形成された光電変換領域と、該光電変換領域で生成さ
れた信号電荷を読み出すための信号電荷読み出し手段と
、半導体基板上に絶縁膜を介して形成された、前記光電
変換領域上に開口を有するアルミニウム遮光膜とを具備
するものであって、アルミニウム遮光膜の表面および端
面は黒色染色層で覆われている。
に形成された光電変換領域と、該光電変換領域で生成さ
れた信号電荷を読み出すための信号電荷読み出し手段と
、半導体基板上に絶縁膜を介して形成された、前記光電
変換領域上に開口を有するアルミニウム遮光膜とを具備
するものであって、アルミニウム遮光膜の表面および端
面は黒色染色層で覆われている。
［実施例］
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は、本発明の一実施例を示す断面図である。同図
において、第２図の従来例の部分と同等の部分について
は下２桁が共通する参照番号が付されているので、重複
する説明は省略する。本実施例においては、膜厚１．０
μｍのアルミニウム遮光膜１０９の表面上には、これを
包むように、膜厚０．３μｍ程度の黒色染色層１１０が
形成されている。この黒色染色層は、現在カラ一固体撮
像素子において使用されているオンチップフィルタを作
製する際に用いられるのと同様の手法を用いて形成され
る。すなわち、アルミニウム遮光膜１０９をパターニン
グした後、被染色層であるカゼインを塗布し、これをア
ルミニウム遮光膜を完全に覆い、かつ、受光部に所望の
大きさの開口を有するようにパターニングする。その後
、黒色の染料でカゼインを５０〜６０℃で染色する。
において、第２図の従来例の部分と同等の部分について
は下２桁が共通する参照番号が付されているので、重複
する説明は省略する。本実施例においては、膜厚１．０
μｍのアルミニウム遮光膜１０９の表面上には、これを
包むように、膜厚０．３μｍ程度の黒色染色層１１０が
形成されている。この黒色染色層は、現在カラ一固体撮
像素子において使用されているオンチップフィルタを作
製する際に用いられるのと同様の手法を用いて形成され
る。すなわち、アルミニウム遮光膜１０９をパターニン
グした後、被染色層であるカゼインを塗布し、これをア
ルミニウム遮光膜を完全に覆い、かつ、受光部に所望の
大きさの開口を有するようにパターニングする。その後
、黒色の染料でカゼインを５０〜６０℃で染色する。
上記実施例では黒色染色層をカゼインを用いて形成して
いたが、これに替えてゼラチンを用いてもよい。
いたが、これに替えてゼラチンを用いてもよい。
また、上記実施例では信号電荷読み出し手段としてＣＣ
Ｄを用いたものであったが二本発明は、他の信号電荷読
み出し手段を有する固体撮像素子についても適用しうる
ちのである。
Ｄを用いたものであったが二本発明は、他の信号電荷読
み出し手段を有する固体撮像素子についても適用しうる
ちのである。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は、アルミニウム遮光膜の
表面および端面に黒色染色層を形成したものであるので
、本発明によれば、遮光膜での光の反射を防止すること
ができ、反射光の電荷転送領域や光電変換領域への入射
をなくすことができる。したがって、本発明によれば、
スミア等の偽信号の発生を防止することができる。
表面および端面に黒色染色層を形成したものであるので
、本発明によれば、遮光膜での光の反射を防止すること
ができ、反射光の電荷転送領域や光電変換領域への入射
をなくすことができる。したがって、本発明によれば、
スミア等の偽信号の発生を防止することができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す断面図、第２図は、
従来例を示す断面図である。 １０１．２０１−ｎ型半導体基板、 １０２．２０２−
・・ｐウェル、 １０３．２０３・・・光電変換領域、
１０４．２０４・・・電荷転送領域、 １゜５．２０
５・−・チャネルストッパ、 １０６．２゜６・・・
シリコン酸化膜、 １０７．２０７・・−電荷転送電極
、 １０８．２０８・・・層間絶縁膜、 １０９．２０
９・・・アルミニウム遮光膜、 １１０・・・黒色染色
層、 ２１１・・・キャップ。
従来例を示す断面図である。 １０１．２０１−ｎ型半導体基板、 １０２．２０２−
・・ｐウェル、 １０３．２０３・・・光電変換領域、
１０４．２０４・・・電荷転送領域、 １゜５．２０
５・−・チャネルストッパ、 １０６．２゜６・・・
シリコン酸化膜、 １０７．２０７・・−電荷転送電極
、 １０８．２０８・・・層間絶縁膜、 １０９．２０
９・・・アルミニウム遮光膜、 １１０・・・黒色染色
層、 ２１１・・・キャップ。
Claims (1)
- 半導体基板の表面領域内に形成された光電変換領域と
、該光電変換領域内に形成された信号電荷を読み出すた
めの信号電荷読み出し手段と、半導体基板上に絶縁膜を
介して形成され前記光電変換領域上に開口を有するアル
ミニウム遮光膜とを具備する固体撮像素子において、前
記アルミニウム遮光膜の表面および端面には黒色染色層
が設けられていることを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288417A JP2956092B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288417A JP2956092B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148868A true JPH03148868A (ja) | 1991-06-25 |
| JP2956092B2 JP2956092B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=17729946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1288417A Expired - Lifetime JP2956092B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2956092B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019009024A1 (ja) * | 2017-07-05 | 2019-01-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像装置 |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP1288417A patent/JP2956092B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019009024A1 (ja) * | 2017-07-05 | 2019-01-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像装置 |
| CN110809821A (zh) * | 2017-07-05 | 2020-02-18 | 索尼半导体解决方案公司 | 摄像器件和摄像装置 |
| US10910440B2 (en) | 2017-07-05 | 2021-02-02 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and imaging apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2956092B2 (ja) | 1999-10-04 |
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