JPH0312775B2 - - Google Patents

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JPH0312775B2
JPH0312775B2 JP59126176A JP12617684A JPH0312775B2 JP H0312775 B2 JPH0312775 B2 JP H0312775B2 JP 59126176 A JP59126176 A JP 59126176A JP 12617684 A JP12617684 A JP 12617684A JP H0312775 B2 JPH0312775 B2 JP H0312775B2
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JP
Japan
Prior art keywords
substrate
insulating film
substrates
single crystal
silicon
Prior art date
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Expired
Application number
JP59126176A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPS615544A (ja
Inventor
Masaru Shinho
Kyoshi Fukuda
Yoshio Yamamoto
Yoshiaki Oowada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP59126176A priority Critical patent/JPS615544A/ja
Publication of JPS615544A publication Critical patent/JPS615544A/ja
Publication of JPH0312775B2 publication Critical patent/JPH0312775B2/ja
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JPS615544A JPS615544A (ja) 1986-01-11
JPH0312775B2 true JPH0312775B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) 1991-02-21

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JPS615544A (ja) 1986-01-11

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