JPH03104180A - アクチュエータ用圧電セラミック組成物 - Google Patents
アクチュエータ用圧電セラミック組成物Info
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- JPH03104180A JPH03104180A JP1241150A JP24115089A JPH03104180A JP H03104180 A JPH03104180 A JP H03104180A JP 1241150 A JP1241150 A JP 1241150A JP 24115089 A JP24115089 A JP 24115089A JP H03104180 A JPH03104180 A JP H03104180A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims abstract description 8
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 19
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 3
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 238000009774 resonance method Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はアクチュエー夕用圧電セラミック組成物に関す
るものである。ここでアクチュエー夕とは、圧電逆効果
、すなわち電気的エネルギーから機械的エネルギーへの
変換作用を用いたものであり、電圧の印加によってミク
ロンあるいはミクロンアンダーの微小変位を発生させる
ものであって、ブザーやボンブ、バルブ等の音響、ある
いは流量の精密コントロール、半導体製造装置、ステッ
パーなどの精密位置決め、さらには数ｋ〜数十ｋＨｚの
高周波振動変位を利用した、例えばドットタイププリン
ターへッドアクチュエータ、次世代の小型モータとして
注目を浴びている超音波モータなどの応用開発が近年急
速に進められている。
るものである。ここでアクチュエー夕とは、圧電逆効果
、すなわち電気的エネルギーから機械的エネルギーへの
変換作用を用いたものであり、電圧の印加によってミク
ロンあるいはミクロンアンダーの微小変位を発生させる
ものであって、ブザーやボンブ、バルブ等の音響、ある
いは流量の精密コントロール、半導体製造装置、ステッ
パーなどの精密位置決め、さらには数ｋ〜数十ｋＨｚの
高周波振動変位を利用した、例えばドットタイププリン
ターへッドアクチュエータ、次世代の小型モータとして
注目を浴びている超音波モータなどの応用開発が近年急
速に進められている。
本発明は、上述したような圧電アクチュエー夕の幅広い
応用の中で、特に数ｋ〜百ｋＨｚの高周波駆動に適した
圧電アクチュエー夕用材料を提供するものである。
応用の中で、特に数ｋ〜百ｋＨｚの高周波駆動に適した
圧電アクチュエー夕用材料を提供するものである。
［従来技術及びその課題］
従来よりアクチュエー夕用圧電材料としては、ジルコン
酸チタン酸鉛セラミック組或物（ＰＺＴ）が優れた圧電
特性を有していることが知られており、使用される用途
に応じて種々の改良がなされている。
酸チタン酸鉛セラミック組或物（ＰＺＴ）が優れた圧電
特性を有していることが知られており、使用される用途
に応じて種々の改良がなされている。
例えばジルコン酸チタン酸鉛の一部をＢａ” ，Ｓｒ”
， Ｃａ２千などで置換する方法、”ｂ（Ｎｉ１／３
Ｎｂ２／３ ）０３＋ Ｐｂ （ ＣＯＩ／３ Ｔａ
２／３ ） ０３などの複合ヘロブスカイト化合物と、
固溶体を形戒する方法、ＷＯ３ ， Ｆｅ２０３ ，Ｃ
ｒ２０３などの酸化物を添加する方法などにより、アク
チュエータ用圧電材料の特性の改善がなされている。
， Ｃａ２千などで置換する方法、”ｂ（Ｎｉ１／３
Ｎｂ２／３ ）０３＋ Ｐｂ （ ＣＯＩ／３ Ｔａ
２／３ ） ０３などの複合ヘロブスカイト化合物と、
固溶体を形戒する方法、ＷＯ３ ， Ｆｅ２０３ ，Ｃ
ｒ２０３などの酸化物を添加する方法などにより、アク
チュエータ用圧電材料の特性の改善がなされている。
近年、開発が行われた超音波モータなどのように、圧電
アクチュエータ素子を数ｋ〜１００ ｋＨｚ程度の共振
周波数で駆動する場合には、共振状態での振幅を大きく
し、発熱を抑制する為に高い機械的品質係数（Ｑｍ≧１
０００ ）を持つことが要求される。
アクチュエータ素子を数ｋ〜１００ ｋＨｚ程度の共振
周波数で駆動する場合には、共振状態での振幅を大きく
し、発熱を抑制する為に高い機械的品質係数（Ｑｍ≧１
０００ ）を持つことが要求される。
従来のアクチュエータ用高ｄ定数材料（いわゆるＳｏｆ
ｔ系材料）を用いた場合、機械的品質係数（Ｑｍ）が低
く（数十〜百）、共振点において損失が大きい為、入力
エネルギーが有効に機械的エネルギーに変換されず、変
位が小さくなってしまったり、発熱が激しくなる。Ｓｏ
ｆｔ系高ｄ定数材料は、一般にキューり温度（Ｔｃ）が
１００’Ｃ 〜１５０’Ｃと低いので、発熱がキューり
点近傍までに達し、ついには脱分極？、変位を生じなく
なる。
ｔ系材料）を用いた場合、機械的品質係数（Ｑｍ）が低
く（数十〜百）、共振点において損失が大きい為、入力
エネルギーが有効に機械的エネルギーに変換されず、変
位が小さくなってしまったり、発熱が激しくなる。Ｓｏ
ｆｔ系高ｄ定数材料は、一般にキューり温度（Ｔｃ）が
１００’Ｃ 〜１５０’Ｃと低いので、発熱がキューり
点近傍までに達し、ついには脱分極？、変位を生じなく
なる。
また、圧電アクチュエータ素子を非共振状態で数ｋ〜数
十ｋＨｚの高い周波数で駆動する場合にも、上述のＳｏ
ｆｔ系材料は、誘電率（ε３’ｌ／ε。）、誘電損失（
ｔａｎδ）がともに大きい（ε品ｌε。〜５０００，
ｔａｍδ＃２〜４％）ので発熱が激しく、上述の理由
により脱分極、所望の変位が得られない欠点がある。
十ｋＨｚの高い周波数で駆動する場合にも、上述のＳｏ
ｆｔ系材料は、誘電率（ε３’ｌ／ε。）、誘電損失（
ｔａｎδ）がともに大きい（ε品ｌε。〜５０００，
ｔａｍδ＃２〜４％）ので発熱が激しく、上述の理由
により脱分極、所望の変位が得られない欠点がある。
一方、キューり温度が高い（Ｔｃ ＞ ３００’Ｃ ）
いわゆるｈａｒｄ系材料を用いた場合、誘電率（ε’ｌ
ｒＩ／ε。）、誘電損失（ ｔａｎδ）は小さくなるが
（ε３ｒｌｌε。＃５００〜１０００， ｔａｎδ陶０
．１〜１％）、圧電歪定数が大きく低下し、例えば横方
向の圧電歪定数（ａ３■）が５０ Ｘ １０ −１２ｍ
／Ｖ程度に低下してしまい、所望の変位を得るには、高
い駆動電圧を必要とし、高価な高電圧、高周波駆動用ア
ンプが必要となるといった欠点がある。
いわゆるｈａｒｄ系材料を用いた場合、誘電率（ε’ｌ
ｒＩ／ε。）、誘電損失（ ｔａｎδ）は小さくなるが
（ε３ｒｌｌε。＃５００〜１０００， ｔａｎδ陶０
．１〜１％）、圧電歪定数が大きく低下し、例えば横方
向の圧電歪定数（ａ３■）が５０ Ｘ １０ −１２ｍ
／Ｖ程度に低下してしまい、所望の変位を得るには、高
い駆動電圧を必要とし、高価な高電圧、高周波駆動用ア
ンプが必要となるといった欠点がある。
以上のように、圧電アクチュエー夕を数ｋ〜百数ｋＨｚ
の高い周波数で駆動する場合、圧電歪定数が大きく、例
えば横モードの圧電歪定数（ｄ３■）が１００ Ｘ１０
・”ｍ／Ｖ以上、誘電率（ε．ｌＩｌ／ε。）及び誘電
損失（ｔａｎδ）が小さい、例えばε１ｌε， ４１
１０００ 〜２０００ ，ｔａｎδ＃０．１〜１％程度
であり、高い機械的品質係数（Ｑｍ）、例えばＱｍが１
０００以上、の特性を有した材料の開発が望まれている
。
の高い周波数で駆動する場合、圧電歪定数が大きく、例
えば横モードの圧電歪定数（ｄ３■）が１００ Ｘ１０
・”ｍ／Ｖ以上、誘電率（ε．ｌＩｌ／ε。）及び誘電
損失（ｔａｎδ）が小さい、例えばε１ｌε， ４１
１０００ 〜２０００ ，ｔａｎδ＃０．１〜１％程度
であり、高い機械的品質係数（Ｑｍ）、例えばＱｍが１
０００以上、の特性を有した材料の開発が望まれている
。
［課題を解決する為の手段】
本発明者らは上記目的を達戒する為に詳細に検討した結
果、特定の組戒を有する組成物が、高い圧電歪定数、低
誘電率、低誘電損失、高い機械的品質係数を併せ持つこ
とを見い出し、本発明を完威した。
果、特定の組戒を有する組成物が、高い圧電歪定数、低
誘電率、低誘電損失、高い機械的品質係数を併せ持つこ
とを見い出し、本発明を完威した。
即ち、本発明の要旨は、鉛、ランタン、ジルコニウム、
チタン、マグネシウム、亜鉛、ニオブ、マンガン及び酸
素原子よりなるセラミック組威物であって、一般式（１
） Ｐｂ（ｔ−ｘ） Ｌａｘ［（ｔ−ｚ） （ＺｒｙＴｉ（
１−ｙ） ）十ｚ ｛（ＭｇａＺｎ（ｔ−ａ））１／３
Ｎｂ２／３｝］ （１−Ｘ／４） ０３ ゜−（
１）（但し、０＜ｘ＜０．０８、０．４５＜ｙ＜０．６
５、０＜ａ＜１、０＜ｚ＜０．４０）で示される主戒分
組或に、副戒分としてマンガンを二酸化マンガンに（
ＭｎＯ ， ）換算して主或分に対して１．５重量％未
満含有してなることを特徴とするアクチュエー夕用圧電
セラミック組或物に存する。
チタン、マグネシウム、亜鉛、ニオブ、マンガン及び酸
素原子よりなるセラミック組威物であって、一般式（１
） Ｐｂ（ｔ−ｘ） Ｌａｘ［（ｔ−ｚ） （ＺｒｙＴｉ（
１−ｙ） ）十ｚ ｛（ＭｇａＺｎ（ｔ−ａ））１／３
Ｎｂ２／３｝］ （１−Ｘ／４） ０３ ゜−（
１）（但し、０＜ｘ＜０．０８、０．４５＜ｙ＜０．６
５、０＜ａ＜１、０＜ｚ＜０．４０）で示される主戒分
組或に、副戒分としてマンガンを二酸化マンガンに（
ＭｎＯ ， ）換算して主或分に対して１．５重量％未
満含有してなることを特徴とするアクチュエー夕用圧電
セラミック組或物に存する。
以下本発明を詳細に説明する。
本発明の圧電セラミック組或物は高いキューり温度（Ｔ
ｃ）、高い圧電歪定数及び高い機械的品質係数を持ち、
特に上記一般式（Ｉ）においてｘ ＝ ０．０２、ｙ＝
：０．５０、ｚ ＝ ０．１０、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ
０２量０．５重量％（実施例１）、ｘ ＝ ０．０３、
ｙ＝ ０．５０、ｚ＝０．１０、ｃｔ＝０．５、Ｍｎ０
２量０．５重量％（実施例３）、ｘ ＝ ０．０３、ｙ
＝０．５１、ｚ ＝ ０．１６、ａ ＝ ０．５、Ｍｎ
０２量０．４重量％（実施例５）、ｘ ＝ ０．０４、
ｙ：０．５２、ｚ ＝ ０．１０，ａ＝０．７、ＭｎＯ
２量０．５重量％（実施例６）の組或のものは、キュ
ーり温度（Ｔｃ）が２５０’Ｃ以上であり、横モードの
圧電歪定数（ｄ３１）が１００ Ｘ １０−１２ｍ／Ｖ
を超え、且つ機械的品質係数Ｑｍが１０００以上と大き
く、超音波モータなどの共振を利用した高周波駆動用材
料として非常に好適である。
ｃ）、高い圧電歪定数及び高い機械的品質係数を持ち、
特に上記一般式（Ｉ）においてｘ ＝ ０．０２、ｙ＝
：０．５０、ｚ ＝ ０．１０、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ
０２量０．５重量％（実施例１）、ｘ ＝ ０．０３、
ｙ＝ ０．５０、ｚ＝０．１０、ｃｔ＝０．５、Ｍｎ０
２量０．５重量％（実施例３）、ｘ ＝ ０．０３、ｙ
＝０．５１、ｚ ＝ ０．１６、ａ ＝ ０．５、Ｍｎ
０２量０．４重量％（実施例５）、ｘ ＝ ０．０４、
ｙ：０．５２、ｚ ＝ ０．１０，ａ＝０．７、ＭｎＯ
２量０．５重量％（実施例６）の組或のものは、キュ
ーり温度（Ｔｃ）が２５０’Ｃ以上であり、横モードの
圧電歪定数（ｄ３１）が１００ Ｘ １０−１２ｍ／Ｖ
を超え、且つ機械的品質係数Ｑｍが１０００以上と大き
く、超音波モータなどの共振を利用した高周波駆動用材
料として非常に好適である。
また一般式（Ｉ）においてｘ ＝ ０．０４、ｙ＝ ０
．４８、ｚ ＝ ０．２８、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ０２
量０．１５重量％（実施例２） 、ｘ＝０．０３ 、ｙ
＝０．５０ ， ｚ＝０．１６ 、ａ＝０．５、？ｎ０
２量０．１５重量％（実施例４）、ｘ ＝ ０．０４、
ｙ＝０．５２、ｚ ＝ ０．１６、ａ ＝ ０．５、Ｍ
ｎ０２量０．１５重量％（実施例７）の組或のものは、
キューり温度（Ｔｃ）が２００°Ｃ以上であり、且つ横
モードの圧電歪定数（ｄ３■）が２００ Ｘ １０４２
ｍ／ Ｖを超える。さらに、横モードの圧電歪定数（ｄ
３１）が２００ Ｘ １０” ｍ／ Ｖを超えるような
組或物の場合は通常誘電損失（ ｔａｎδ）は２〜３％
と大きいが（比較例１〜３）、本発明実施例２，４及び
７のものは誘電損失（ ｔａｎδ）は０．３〜０．５％
と１／４〜１／１０に低減されており、高周波駆動アク
チュエー夕材料として好適である。
．４８、ｚ ＝ ０．２８、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ０２
量０．１５重量％（実施例２） 、ｘ＝０．０３ 、ｙ
＝０．５０ ， ｚ＝０．１６ 、ａ＝０．５、？ｎ０
２量０．１５重量％（実施例４）、ｘ ＝ ０．０４、
ｙ＝０．５２、ｚ ＝ ０．１６、ａ ＝ ０．５、Ｍ
ｎ０２量０．１５重量％（実施例７）の組或のものは、
キューり温度（Ｔｃ）が２００°Ｃ以上であり、且つ横
モードの圧電歪定数（ｄ３■）が２００ Ｘ １０４２
ｍ／ Ｖを超える。さらに、横モードの圧電歪定数（ｄ
３１）が２００ Ｘ １０” ｍ／ Ｖを超えるような
組或物の場合は通常誘電損失（ ｔａｎδ）は２〜３％
と大きいが（比較例１〜３）、本発明実施例２，４及び
７のものは誘電損失（ ｔａｎδ）は０．３〜０．５％
と１／４〜１／１０に低減されており、高周波駆動アク
チュエー夕材料として好適である。
特に、一般式（Ｉ）においてｘ ＝ ０．０６、ｙ＝
０．５７、ｚ＝０．１０、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ０２量
０．１０重量％（実施例８）の組或のものは、横モード
の圧電歪定数（ｄ，，）が３００ Ｘ １０” ｍ／
Ｖ以上、誘電率が約４０００程度であり、比較例と同程
度であるにもかかわらず、誘電損失（ ｔａｎδ）は０
．６％と比較例２と比べて１７４に低減されており、高
周波駆動アクチュエー夕材料として極めて好適である。
０．５７、ｚ＝０．１０、ａ ＝ ０．７、Ｍｎ０２量
０．１０重量％（実施例８）の組或のものは、横モード
の圧電歪定数（ｄ，，）が３００ Ｘ １０” ｍ／
Ｖ以上、誘電率が約４０００程度であり、比較例と同程
度であるにもかかわらず、誘電損失（ ｔａｎδ）は０
．６％と比較例２と比べて１７４に低減されており、高
周波駆動アクチュエー夕材料として極めて好適である。
なお、一般式（Ｉ）においてＸが０．０８以上のもの？
、キューり温度（Ｔｃ）が１５０８Ｃ以下になってしま
い、素子の使用温度の上限が７０６Ｃ程度となり、実用
材料として適さず、横モードの圧電歪定数（ｄ３■）も
共振一反共振法では検出できない程度に小さく、アクチ
ュエー夕用材料としては適さない（比較例６）。
、キューり温度（Ｔｃ）が１５０８Ｃ以下になってしま
い、素子の使用温度の上限が７０６Ｃ程度となり、実用
材料として適さず、横モードの圧電歪定数（ｄ３■）も
共振一反共振法では検出できない程度に小さく、アクチ
ュエー夕用材料としては適さない（比較例６）。
また、一般式（Ｉ）においてｙが０．４５以下のもの及
び０．６５以上のものは、ペロブスカイト結晶の相境界
より太き＜ Ｚｒ／Ｔｉ組戒比がずれる為、横モードの
圧電歪定数（ｄ３１）が低下してしまう。
び０．６５以上のものは、ペロブスカイト結晶の相境界
より太き＜ Ｚｒ／Ｔｉ組戒比がずれる為、横モードの
圧電歪定数（ｄ３１）が低下してしまう。
一般式（Ｉ）において２が０．４０以上のもの（比較例
４）は、ペロブス力イト相の他にパイロクロア相が焼結
体中に混在するようになり、横モードの圧電歪定数（ｄ
，ｔ）が低下してしまい好ましくない。
４）は、ペロブス力イト相の他にパイロクロア相が焼結
体中に混在するようになり、横モードの圧電歪定数（ｄ
，ｔ）が低下してしまい好ましくない。
また、Ｍｎ量がＭｎＯ２に換算して１．５重景％以上の
（比較例５）場合には、焼結時に異常粒戒長が発生し、
焼結密度が低下し、分極時絶縁破壊が生じる為好ましく
ない。
（比較例５）場合には、焼結時に異常粒戒長が発生し、
焼結密度が低下し、分極時絶縁破壊が生じる為好ましく
ない。
本発明の圧電セラミック組成物は、例えば、粉末の酸化
物原料を所定の配合組戒になるように秤量し、ボールミ
ル等で湿式混合、仮焼した後、粉砕、１１０００Ｃ〜１
３００’Ｃで焼結することによって得られる。
物原料を所定の配合組戒になるように秤量し、ボールミ
ル等で湿式混合、仮焼した後、粉砕、１１０００Ｃ〜１
３００’Ｃで焼結することによって得られる。
［実施例］
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り、実施例により限定され
るのもではない。
発明はその要旨を越えない限り、実施例により限定され
るのもではない。
実施例１〜１３及び比較例１〜６
純度９９．９％以上の高純度酸化物原料であるｐｂｏ
，Ｌａ２０３ ， Ｚｒ０２ ， Ｔｉ０２ ， Ｍｇ
Ｏ ， ＺｎＯ ， Ｎｂ２０５を第１表に示した所定
の量比に秤量し、さらに該主戒分に対してＭｎＯ２を第
ｌ表に示した量秤量した。
，Ｌａ２０３ ， Ｚｒ０２ ， Ｔｉ０２ ， Ｍｇ
Ｏ ， ＺｎＯ ， Ｎｂ２０５を第１表に示した所定
の量比に秤量し、さらに該主戒分に対してＭｎＯ２を第
ｌ表に示した量秤量した。
ここで一般式（Ｉ）における、ｘ，ｙ，ｚ，αの値を第
１表に示す。これらの原料をボールミルを用いて２４時
間湿式混合を行った。乾燥、戒型処理後、９００°Ｃで
２時間仮焼し、その後乳鉢粉砕した後、ボールミルで再
度２４時間湿式粉砕した。得られた粉体をラバープレス
法により静水圧戒型した後、鉛雰囲気中で１２００°Ｃ
で焼威した。その後得られた焼結体をスライシングマシ
ン用いて、円板状及び？状に加工した後、銀ペーストを
スクリーン印刷し、５５０°Ｃで電極焼付けを行った。
１表に示す。これらの原料をボールミルを用いて２４時
間湿式混合を行った。乾燥、戒型処理後、９００°Ｃで
２時間仮焼し、その後乳鉢粉砕した後、ボールミルで再
度２４時間湿式粉砕した。得られた粉体をラバープレス
法により静水圧戒型した後、鉛雰囲気中で１２００°Ｃ
で焼威した。その後得られた焼結体をスライシングマシ
ン用いて、円板状及び？状に加工した後、銀ペーストを
スクリーン印刷し、５５０°Ｃで電極焼付けを行った。
分極処理は、温度８０〜１１０°Ｃのシリコンオイル中
で、電界強度２．０〜４．０ ｋＶ ／ ｍｍ、時間５
〜２０分で行い、１日経過後、ベクトルインピーダンス
アナライザーを用いて、共振一反共振法により、１ ｋ
Ｈｚでの誘電率（ε３■ｌε０）、１ ｋＨｚでの誘電
損失（ ｔａｎδ）、機械的品質係数（Ｑｍ）、横モー
ドの電気機械結合係数（Ｋ３■）、弾性コンブライアン
ス（計）及び横モードの圧電歪定数（ｄ３■）の圧電諸
物性を測定した。また、キューノ温度（Ｔｃ）は比誘電
率の温度特性を測定し、比誘電率の極大より求めた。測
定結果を第１表に示す。
で、電界強度２．０〜４．０ ｋＶ ／ ｍｍ、時間５
〜２０分で行い、１日経過後、ベクトルインピーダンス
アナライザーを用いて、共振一反共振法により、１ ｋ
Ｈｚでの誘電率（ε３■ｌε０）、１ ｋＨｚでの誘電
損失（ ｔａｎδ）、機械的品質係数（Ｑｍ）、横モー
ドの電気機械結合係数（Ｋ３■）、弾性コンブライアン
ス（計）及び横モードの圧電歪定数（ｄ３■）の圧電諸
物性を測定した。また、キューノ温度（Ｔｃ）は比誘電
率の温度特性を測定し、比誘電率の極大より求めた。測
定結果を第１表に示す。
［発明の効果１
本発明で得られる圧電セラミック組成物は、高い電気機
械結合係数、高い圧電歪定数、低誘電率、低誘電損失、
高い機械的品質係数及び高いキューり温度を併せ持って
おり、数ｋ〜１００ｋＨｚの高周波用圧電アクチュエー
夕用材料として特に優れており、本発明の産業利用上へ
の寄与は極めて太きい。
械結合係数、高い圧電歪定数、低誘電率、低誘電損失、
高い機械的品質係数及び高いキューり温度を併せ持って
おり、数ｋ〜１００ｋＨｚの高周波用圧電アクチュエー
夕用材料として特に優れており、本発明の産業利用上へ
の寄与は極めて太きい。
Claims (1)
- （１） 鉛、ランタン、ジルコニウム、チタン、マグネ
シウム、亜鉛、ニオブ、マンガン及び酸素原子よりなる
セラミック組成物であって、一般式 Ｐｂ＿（＿１＿−
＿ｘ＿）Ｌａ＿ｘ［＿（＿１＿−＿ｚ＿）（Ｚｒ＿ｙＴ
ｉ＿（＿１＿−＿ｙ＿））＋ｚ｛（Ｍｇ＿ａＺｎ＿（＿
１＿−＿ａ＿）＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３｝］＿（
＿１＿−＿ｘ＿／＿４）Ｏ＿３但し、０＜ｘ＜０．０８
、０．４５＜ｙ＜０．６５、０＜ａ＜１、０＜ｚ＜０．
４０）で示される主成分組成に、副成分としてマンガン
を二酸化マンガンに換算して主成分に対して１．５重量
％未満含有してなることを特徴とするアクチュエータ用
圧電セラミック組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241150A JP2811801B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241150A JP2811801B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104180A true JPH03104180A (ja) | 1991-05-01 |
| JP2811801B2 JP2811801B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=17070010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1241150A Expired - Fee Related JP2811801B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2811801B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06298272A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-25 | Pohl Gmbh & Co Kg | 環状のシール |
| US5378382A (en) * | 1993-12-09 | 1995-01-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuator |
-
1989
- 1989-09-18 JP JP1241150A patent/JP2811801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06298272A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-25 | Pohl Gmbh & Co Kg | 環状のシール |
| US5378382A (en) * | 1993-12-09 | 1995-01-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2811801B2 (ja) | 1998-10-15 |
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Legal Events
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