JP2839253B2 - アクチュエータ用圧電セラミック組成物 - Google Patents
アクチュエータ用圧電セラミック組成物Info
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- JP2839253B2 JP2839253B2 JP62306754A JP30675487A JP2839253B2 JP 2839253 B2 JP2839253 B2 JP 2839253B2 JP 62306754 A JP62306754 A JP 62306754A JP 30675487 A JP30675487 A JP 30675487A JP 2839253 B2 JP2839253 B2 JP 2839253B2
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、アクチュエータ用圧電セラミック組成物に
関するものである。 ここでアクチュエータとは、圧電逆効果、すなわち電
気的エネルギーから機械的エネルギーへの変換作用を用
いたものであり、電圧の印加によりミクロンあるいはミ
クロンアンダーの微少変位を正確に発生させるものであ
って、ブザーやポンプ、バルブ等の音響あるいは流量の
精密コントロール、VThヘッドのオートトラッキングや
オートフォーカス、さらにはミクロンアンダーの機械切
削バイトの正確な位置決めや、半導体製造用の微少位置
決め装置等への応用開発が近年急速に進められている。 （従来の技術およびその問題点） 従来よりアクチュエータ用圧電材料としては、ジルコ
ン酸チタン酸鉛セラミック組成物（PZT）が優れた圧電
特性を有していることが知られており、使用される用途
に応じて種々の改良がなされている。例えばジルコン酸
チタン酸鉛の一部をBa 2+、Sr 2+、Ca 2+などの２価イオン
や、Bi 3+やLa 3+などの三価イオンで置換する方法、Pb(N
i1/2W1/2)O3、Pb(Co1/3Nb2/3)O3、Pb(Ni1/3、Nb2/3)O3な
どの複合ペロブスカイト化合物との固溶体を合成する方
法などによりアクチュエータ用圧電材料の特性の改善が
なされている。微少変位をミクロンあるいはミクロンア
ンダーの精度でコントロールする圧電アクチュエータ素
子にはユニモルフ型、バイモルフ型、積層型のタイプが
あり、特性として高い圧電歪定数（例えば、横モードの
圧電歪定数d31＞300×10-12C/N）及び高いキューリ温度
（Tc＞150℃）を持つことが要求される。一般に高い圧
電歪定数を持つ材料は、キューリ温度が低下する。例え
ば、従来、横モードの圧電歪定数（d31）が300×10-12C
/Nを超えるような高い圧電歪定数を持つ材料は、キュー
リー温度（Tc）が100℃近傍に低下してしまい、素子の
使用温度の上限が50〜60℃と限定され、実用素子として
の応用に制約があった。又キューリ温度の高い材料は圧
電歪定数が低くなってしまい、素子の駆動に高い電圧を
必要とする問題点があった。この様な理由から横モード
の圧電歪定数（d31）が300×10-12C/Nを超える様な高い
圧電歪定数及び高いキューリ温度（例えばTc＞150℃）
を合わせもつ材料の開発が望まれている。 （問題点を解決するための手段） 本発明者らは、前記問題点を解決する為、詳細に組成
を検討した結果、一般式Pb(1-x)Lax〔(Zn1/3Nb2/3)Z+{Z
ryTi(1-y)}(1-Z)〕(1-x/4)O3であらわされる圧電セラミ
ック組成物が高い電気機械結合定数、高い圧電歪定数及
び高いキューリ温度を合せもった組成物であることを見
い出し本発明に到達した。 すなわち、本発明の要旨は、実質的に一般式Pb(1-x)L
ax〔(Zn1/3Nb2/3)Z+{ZryTi(1-y)}(1-Z)〕(1-x/4)O3（但
し、0.03≦ｘ≦0.07、0.45≦ｙ≦0.65、０＜Ｚ＜0.20）
で示される複合ペロブスカイト化合物を主体とするアク
チュエータ用圧電セラミック組成物に存する。 本発明を更に詳細に説明すると本発明のセラミック組
成物は非常に高い圧電歪定数を持ち、上記一般式におい
て0.045≦ｘ≦0.07、0.02≦ｚ≦0.12の範囲のペロブス
カイト結晶の相境界（MPB＝モロフオトロピック、フェ
イズ、バウンダリー）付近のものは、横モードの圧電歪
定数（d31）が300×10-12C/Nを超え、且つキューリ温度
（Tc）が150℃以上あり、前述した問題点を克服するも
のであって、圧電アクチュエータ用材料として非常に好
適なものである。 中でも組成がｘ＝0.045、ｙ＝0.55、ｚ＝0.12;x＝0.0
6、ｙ＝0.57、ｚ＝0.02;又はｘ＝0.06、ｙ＝0.58、ｚ＝
0.02（実施例６、７、８）のものは、横モードの圧電歪
定数（d31）が300×10-12C/Nを超え、かつキューリ温度
が200℃以上あり、圧電アクチュエータ用材料として、
広範囲な温度環境下で使用できる利点を有している。
又、組成がｘ＝0.06、ｙ＝0.575、ｚ＝0.10;x＝0.06、
ｙ＝0.58、ｚ＝0.10;x＝0.07、ｙ＝0.61、ｚ＝0.06（実
施例12、13、20）のものは横モードの圧電歪定数
（d31）が350×10-12C/Nを超え、かつキューリ温度が15
0℃を超えるものであって圧電アクチュエータ用材料と
して非常に優れたものである。 尚、ここでLa量Ｘが0.07を超えるものは、Tcが150℃
以下になってしまい、またd31も250×10-12C/N以下と小
さく圧電アクチュエータ用材料としては適さない。Zr量
ｙが0.45未満のものおよび0.65を超えるものは、ペロブ
スカイト結晶の相境界より大きくZr/Ti組成比がずれる
為d31が低下してしまう。又Zn1/3Nb2/3量Ｚが0.20以上
のものは、Tcが150℃以下になってしまったり、パイロ
クロア相が焼結体中に混在するようになってしまい、圧
電歪定数が低下し好ましくない。 圧電アクチュエータのように電界によって誘起される
機械的変位を利用する素子には、機械的強度が大きいこ
とが要求されるが、セラミック材料の機械的強度は、セ
ラミックスの焼結性、結晶粒子の大きさに大きく依存す
るため、一般に緻密で微細な結晶粒子を持つセラミック
焼結体ほど機械的強度に優れている。 本発明で得られた焼結体の密度をＸ線の回折角度から
計算した理論密度と比較検討したところ、すべて理論密
度の97％以上である。 また、得られた焼結体の微細組織を走査型電子顕微鏡
を用いて観察したところ、粒径２〜５μ程度の粒径のそ
ろった結晶粒子よりなりたっており、且つ粒界部には、
偏析等が全く存在せず、均一な微細組織を有している。 このように、本発明のセラミック組成物は、緻密で微
細な構造のセラミック組成物であり、この点からも圧電
アクチュエータのような機械的変位を利用する素子に適
している。 なお、本発明の組成物において、各成分の量的関係、
特にZnとNb及びLaとZn、Nb、Zr、Tiの合計量の関係は、
前記一般式通りであることが勿論望ましいが、結果とし
て得られた複合化合物がペロブスカイト構造を主体と
し、全体として該ペロブスカイト構造の性質が全組成物
を実質的に支配する限り、多少前記一般式からずれる場
合も本発明の範囲に包含されるものと理解されるべきで
ある。 本発明のセラミック組成物は、例えば、粉末原料を所
定の配合組成になるように秤量し、ボールミルなどで12
〜24時間湿式混合した後、850℃〜950℃で１〜２時間仮
焼、得られた仮焼物を再度12〜24時間ボールミル粉砕し
た後、1100℃〜1200℃で１〜16時間焼成することによっ
て得られる。得られた焼成体は、電極を焼きつけた後、
常法により分極処理を行うが、本発明の組成物の場合
は、例えば温度20〜80℃、電界強度1.0〜3.0Kv/mm、時
間３〜20分程度のソフトな分極処理により圧電磁器とす
ることが望ましい。 〔実施例〕 以下に実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する
が、本発明はその要旨を越えない限り、実施例により何
等制約を受けるものではない。 実施例１〜22、比較例１〜８ PbO、TiO2、ZrO2、La2O3、ZnO、Nb2O5（3N試薬、フル
ウチ化学株式会社製）を第１表に示した組成比となる様
に秤量した後、酸化ジルコニウム製ボールを用いてエタ
ノールとともに24時間ボールミルにて湿式混合した。混
合終了後、乾燥し、成型圧1ton/cm2で１軸プレスした
後、900℃で２時間仮焼した。その後得られた仮焼体を
手粉砕した後、再度24時間ボールミル粉砕し焼成用の粉
末とした。得られた焼成用粉末は直径20mmの金型により
１次成型した後、成型圧1ton/cm2でラバープレス法によ
り本成型した。 得られた成型体を高アルミナ質るつぼに入れ、周囲を
鉛雰囲気用の粉末でおおって1200℃で８時間焼成した。 第１図は焼成して得られた実施例13における焼結体の
破断面の組織を走査型電子顕微鏡（×5000）で観察した
粒子構造である。緻密で粒径２〜５μ程度の均一なセラ
ミック焼結体である。 得られた円板状焼結体を厚み1mmに研摩し、両面に銀
ペーストをスクリーン印制して600℃で焼き付け、キュ
ーリー温度評価用のサンプルとした。 円板状焼結体を同様に厚さ1mmに研摩した後、超音波
カッターを用いて長さ12mm、厚さ1mm、幅3mmの形状に打
つ抜いた。その後同様に銀電極を焼きつけ横モートの圧
電歪定数（d31）測定用のサンプルとした。 キューリ温度は、測定周波数100KHzにて誘電率を測定
し求めた。 圧電歪定数d31は打ち抜いた横モード用サンプルをシ
リコンオイルバス中に入れ、70℃にて1.5〜3.0Kv/mmの
電界で分極させ、24時間放置した後、測定温度20℃にて
ベクトルインピーダンスアナライザーを用いて測定し
た。圧電特性及びキューリ温度の測定結果を第１表に示
した。尚、第１表中ε33T／ε0は誘電率、K31は電気機
械結合係数、d31は横モードの圧電歪定数（単位×10-12
C/N）、S11は弾性コンプライアンス（単位×10-11m2/
N）、Tcはキューリー温度を示している。 第２図は、分極処理をほどこしたサンプルに分極方向
と順方向に1.0Kv/mmの電界を印加し、その時の縦方向
（電界方向）に誘起される歪をうず電流式高感度変位セ
ンサー（分解能25Å）を用いて測定したものである。印
加電圧波形は三角波であり、4/100Hz周期でスイープさ
せた。測定サンプルは上記円板状サンプルを上記の条件
で分極処理し、24時間放置後、歪率の測定を行った。 一般に、現在用いられている圧電アクチュエータ材料
の縦方向の歪率は1.0Kv/mmの電界下でおよそ0.1％（10
×10-4）程度であることが知られている。比較例２とし
て示したPLZTは、その一例である。これに対して実施例
７、13の組成の歪率は10×10-4を大きく上まわり、圧電
アクチュエータ用材料として極めて好ましい。 〔発明の効果〕 本発明で得られる圧電セラミック組成物は、高い電気
機械結合係数、高い圧電歪定数（歪率）、高いキューリ
温度を合わせ持ち、かつ焼結性に優れたセラミックス組
成物であるので種々の圧電材料として使用が可能であ
る。 特に圧電歪定数が大きく、大きな電界誘起歪みを示
し、かつキューリ温度が高いので、素子の使用温度範囲
が広く、圧電アクチュエータ用材料として極めて有用で
あり本発明の産業利用上への寄与は極めて大きい。
関するものである。 ここでアクチュエータとは、圧電逆効果、すなわち電
気的エネルギーから機械的エネルギーへの変換作用を用
いたものであり、電圧の印加によりミクロンあるいはミ
クロンアンダーの微少変位を正確に発生させるものであ
って、ブザーやポンプ、バルブ等の音響あるいは流量の
精密コントロール、VThヘッドのオートトラッキングや
オートフォーカス、さらにはミクロンアンダーの機械切
削バイトの正確な位置決めや、半導体製造用の微少位置
決め装置等への応用開発が近年急速に進められている。 （従来の技術およびその問題点） 従来よりアクチュエータ用圧電材料としては、ジルコ
ン酸チタン酸鉛セラミック組成物（PZT）が優れた圧電
特性を有していることが知られており、使用される用途
に応じて種々の改良がなされている。例えばジルコン酸
チタン酸鉛の一部をBa 2+、Sr 2+、Ca 2+などの２価イオン
や、Bi 3+やLa 3+などの三価イオンで置換する方法、Pb(N
i1/2W1/2)O3、Pb(Co1/3Nb2/3)O3、Pb(Ni1/3、Nb2/3)O3な
どの複合ペロブスカイト化合物との固溶体を合成する方
法などによりアクチュエータ用圧電材料の特性の改善が
なされている。微少変位をミクロンあるいはミクロンア
ンダーの精度でコントロールする圧電アクチュエータ素
子にはユニモルフ型、バイモルフ型、積層型のタイプが
あり、特性として高い圧電歪定数（例えば、横モードの
圧電歪定数d31＞300×10-12C/N）及び高いキューリ温度
（Tc＞150℃）を持つことが要求される。一般に高い圧
電歪定数を持つ材料は、キューリ温度が低下する。例え
ば、従来、横モードの圧電歪定数（d31）が300×10-12C
/Nを超えるような高い圧電歪定数を持つ材料は、キュー
リー温度（Tc）が100℃近傍に低下してしまい、素子の
使用温度の上限が50〜60℃と限定され、実用素子として
の応用に制約があった。又キューリ温度の高い材料は圧
電歪定数が低くなってしまい、素子の駆動に高い電圧を
必要とする問題点があった。この様な理由から横モード
の圧電歪定数（d31）が300×10-12C/Nを超える様な高い
圧電歪定数及び高いキューリ温度（例えばTc＞150℃）
を合わせもつ材料の開発が望まれている。 （問題点を解決するための手段） 本発明者らは、前記問題点を解決する為、詳細に組成
を検討した結果、一般式Pb(1-x)Lax〔(Zn1/3Nb2/3)Z+{Z
ryTi(1-y)}(1-Z)〕(1-x/4)O3であらわされる圧電セラミ
ック組成物が高い電気機械結合定数、高い圧電歪定数及
び高いキューリ温度を合せもった組成物であることを見
い出し本発明に到達した。 すなわち、本発明の要旨は、実質的に一般式Pb(1-x)L
ax〔(Zn1/3Nb2/3)Z+{ZryTi(1-y)}(1-Z)〕(1-x/4)O3（但
し、0.03≦ｘ≦0.07、0.45≦ｙ≦0.65、０＜Ｚ＜0.20）
で示される複合ペロブスカイト化合物を主体とするアク
チュエータ用圧電セラミック組成物に存する。 本発明を更に詳細に説明すると本発明のセラミック組
成物は非常に高い圧電歪定数を持ち、上記一般式におい
て0.045≦ｘ≦0.07、0.02≦ｚ≦0.12の範囲のペロブス
カイト結晶の相境界（MPB＝モロフオトロピック、フェ
イズ、バウンダリー）付近のものは、横モードの圧電歪
定数（d31）が300×10-12C/Nを超え、且つキューリ温度
（Tc）が150℃以上あり、前述した問題点を克服するも
のであって、圧電アクチュエータ用材料として非常に好
適なものである。 中でも組成がｘ＝0.045、ｙ＝0.55、ｚ＝0.12;x＝0.0
6、ｙ＝0.57、ｚ＝0.02;又はｘ＝0.06、ｙ＝0.58、ｚ＝
0.02（実施例６、７、８）のものは、横モードの圧電歪
定数（d31）が300×10-12C/Nを超え、かつキューリ温度
が200℃以上あり、圧電アクチュエータ用材料として、
広範囲な温度環境下で使用できる利点を有している。
又、組成がｘ＝0.06、ｙ＝0.575、ｚ＝0.10;x＝0.06、
ｙ＝0.58、ｚ＝0.10;x＝0.07、ｙ＝0.61、ｚ＝0.06（実
施例12、13、20）のものは横モードの圧電歪定数
（d31）が350×10-12C/Nを超え、かつキューリ温度が15
0℃を超えるものであって圧電アクチュエータ用材料と
して非常に優れたものである。 尚、ここでLa量Ｘが0.07を超えるものは、Tcが150℃
以下になってしまい、またd31も250×10-12C/N以下と小
さく圧電アクチュエータ用材料としては適さない。Zr量
ｙが0.45未満のものおよび0.65を超えるものは、ペロブ
スカイト結晶の相境界より大きくZr/Ti組成比がずれる
為d31が低下してしまう。又Zn1/3Nb2/3量Ｚが0.20以上
のものは、Tcが150℃以下になってしまったり、パイロ
クロア相が焼結体中に混在するようになってしまい、圧
電歪定数が低下し好ましくない。 圧電アクチュエータのように電界によって誘起される
機械的変位を利用する素子には、機械的強度が大きいこ
とが要求されるが、セラミック材料の機械的強度は、セ
ラミックスの焼結性、結晶粒子の大きさに大きく依存す
るため、一般に緻密で微細な結晶粒子を持つセラミック
焼結体ほど機械的強度に優れている。 本発明で得られた焼結体の密度をＸ線の回折角度から
計算した理論密度と比較検討したところ、すべて理論密
度の97％以上である。 また、得られた焼結体の微細組織を走査型電子顕微鏡
を用いて観察したところ、粒径２〜５μ程度の粒径のそ
ろった結晶粒子よりなりたっており、且つ粒界部には、
偏析等が全く存在せず、均一な微細組織を有している。 このように、本発明のセラミック組成物は、緻密で微
細な構造のセラミック組成物であり、この点からも圧電
アクチュエータのような機械的変位を利用する素子に適
している。 なお、本発明の組成物において、各成分の量的関係、
特にZnとNb及びLaとZn、Nb、Zr、Tiの合計量の関係は、
前記一般式通りであることが勿論望ましいが、結果とし
て得られた複合化合物がペロブスカイト構造を主体と
し、全体として該ペロブスカイト構造の性質が全組成物
を実質的に支配する限り、多少前記一般式からずれる場
合も本発明の範囲に包含されるものと理解されるべきで
ある。 本発明のセラミック組成物は、例えば、粉末原料を所
定の配合組成になるように秤量し、ボールミルなどで12
〜24時間湿式混合した後、850℃〜950℃で１〜２時間仮
焼、得られた仮焼物を再度12〜24時間ボールミル粉砕し
た後、1100℃〜1200℃で１〜16時間焼成することによっ
て得られる。得られた焼成体は、電極を焼きつけた後、
常法により分極処理を行うが、本発明の組成物の場合
は、例えば温度20〜80℃、電界強度1.0〜3.0Kv/mm、時
間３〜20分程度のソフトな分極処理により圧電磁器とす
ることが望ましい。 〔実施例〕 以下に実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する
が、本発明はその要旨を越えない限り、実施例により何
等制約を受けるものではない。 実施例１〜22、比較例１〜８ PbO、TiO2、ZrO2、La2O3、ZnO、Nb2O5（3N試薬、フル
ウチ化学株式会社製）を第１表に示した組成比となる様
に秤量した後、酸化ジルコニウム製ボールを用いてエタ
ノールとともに24時間ボールミルにて湿式混合した。混
合終了後、乾燥し、成型圧1ton/cm2で１軸プレスした
後、900℃で２時間仮焼した。その後得られた仮焼体を
手粉砕した後、再度24時間ボールミル粉砕し焼成用の粉
末とした。得られた焼成用粉末は直径20mmの金型により
１次成型した後、成型圧1ton/cm2でラバープレス法によ
り本成型した。 得られた成型体を高アルミナ質るつぼに入れ、周囲を
鉛雰囲気用の粉末でおおって1200℃で８時間焼成した。 第１図は焼成して得られた実施例13における焼結体の
破断面の組織を走査型電子顕微鏡（×5000）で観察した
粒子構造である。緻密で粒径２〜５μ程度の均一なセラ
ミック焼結体である。 得られた円板状焼結体を厚み1mmに研摩し、両面に銀
ペーストをスクリーン印制して600℃で焼き付け、キュ
ーリー温度評価用のサンプルとした。 円板状焼結体を同様に厚さ1mmに研摩した後、超音波
カッターを用いて長さ12mm、厚さ1mm、幅3mmの形状に打
つ抜いた。その後同様に銀電極を焼きつけ横モートの圧
電歪定数（d31）測定用のサンプルとした。 キューリ温度は、測定周波数100KHzにて誘電率を測定
し求めた。 圧電歪定数d31は打ち抜いた横モード用サンプルをシ
リコンオイルバス中に入れ、70℃にて1.5〜3.0Kv/mmの
電界で分極させ、24時間放置した後、測定温度20℃にて
ベクトルインピーダンスアナライザーを用いて測定し
た。圧電特性及びキューリ温度の測定結果を第１表に示
した。尚、第１表中ε33T／ε0は誘電率、K31は電気機
械結合係数、d31は横モードの圧電歪定数（単位×10-12
C/N）、S11は弾性コンプライアンス（単位×10-11m2/
N）、Tcはキューリー温度を示している。 第２図は、分極処理をほどこしたサンプルに分極方向
と順方向に1.0Kv/mmの電界を印加し、その時の縦方向
（電界方向）に誘起される歪をうず電流式高感度変位セ
ンサー（分解能25Å）を用いて測定したものである。印
加電圧波形は三角波であり、4/100Hz周期でスイープさ
せた。測定サンプルは上記円板状サンプルを上記の条件
で分極処理し、24時間放置後、歪率の測定を行った。 一般に、現在用いられている圧電アクチュエータ材料
の縦方向の歪率は1.0Kv/mmの電界下でおよそ0.1％（10
×10-4）程度であることが知られている。比較例２とし
て示したPLZTは、その一例である。これに対して実施例
７、13の組成の歪率は10×10-4を大きく上まわり、圧電
アクチュエータ用材料として極めて好ましい。 〔発明の効果〕 本発明で得られる圧電セラミック組成物は、高い電気
機械結合係数、高い圧電歪定数（歪率）、高いキューリ
温度を合わせ持ち、かつ焼結性に優れたセラミックス組
成物であるので種々の圧電材料として使用が可能であ
る。 特に圧電歪定数が大きく、大きな電界誘起歪みを示
し、かつキューリ温度が高いので、素子の使用温度範囲
が広く、圧電アクチュエータ用材料として極めて有用で
あり本発明の産業利用上への寄与は極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のアクチュエータ用圧電セラミック組成
物の破断面の組織を走査型電子顕微鏡（×5000）で示し
た粒子構造である。 第２図は、分極処理をほどこしたアクチュエータ用圧電
セラミック組成物に分極処理方向と順方向に1.0Kv/mmの
電界を印加させた時、縦方向（電界方向）に誘起させる
歪率を示したグラフである。
物の破断面の組織を走査型電子顕微鏡（×5000）で示し
た粒子構造である。 第２図は、分極処理をほどこしたアクチュエータ用圧電
セラミック組成物に分極処理方向と順方向に1.0Kv/mmの
電界を印加させた時、縦方向（電界方向）に誘起させる
歪率を示したグラフである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 千田 幸雄
神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地
三菱化成工業株式会社総合研究所内
(72)発明者 小栗 康生
神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地
三菱化成工業株式会社総合研究所内
(72)発明者 井上 祥子
神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地
三菱化成工業株式会社総合研究所内
(56)参考文献 特公 昭47−33720（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．実質的に、一般式 Pb(1-x)Lax〔(Zn1/3Nb2/3)z+{ZryTi(1-y)}(1-Z)〕
(1-x/4)O3 （但し、0.03≦ｘ≦0.07、0.45≦ｙ≦0.65、０＜ｚ＜0.
20）で示される複合ペロブスカイト化合物を主体とする
アクチュエータ用圧電セラミック組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306754A JP2839253B2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306754A JP2839253B2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148750A JPH01148750A (ja) | 1989-06-12 |
| JP2839253B2 true JP2839253B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=17960909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62306754A Expired - Fee Related JP2839253B2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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