JPH0274065A - リードフレーム - Google Patents
リードフレームInfo
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- JPH0274065A JPH0274065A JP63226740A JP22674088A JPH0274065A JP H0274065 A JPH0274065 A JP H0274065A JP 63226740 A JP63226740 A JP 63226740A JP 22674088 A JP22674088 A JP 22674088A JP H0274065 A JPH0274065 A JP H0274065A
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- Japan
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- die pad
- resin
- point
- stress
- moisture
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8338—Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
- H01L2224/83385—Shape, e.g. interlocking features
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、プラスチックパッケージ形半導体集積回路に
用いるリードフレームに関する発明である。
用いるリードフレームに関する発明である。
従来の技術
プラスチックパッケージ形半導体集積回路用のリードフ
レームでは、グイバットに穴を開ける等によりダイパッ
ドと封止樹脂との密着性を高め、グイバット下に水分を
貯まりに<<シて、パッケージのクラックを減少させる
配慮が払われてきた。
レームでは、グイバットに穴を開ける等によりダイパッ
ドと封止樹脂との密着性を高め、グイバット下に水分を
貯まりに<<シて、パッケージのクラックを減少させる
配慮が払われてきた。
発明が解決しようとする課題
しかし、ダイパッドと封止樹脂との密着性の向上には限
界があり、パッケージクラックが依然として発生してい
た。
界があり、パッケージクラックが依然として発生してい
た。
課題を解決するための手段
本発明は、上記のパッケージクラックの発生を抑えるこ
とを目的としてなされたもので、リードフレームのダイ
パッドの平面形状をX字形としだものである。
とを目的としてなされたもので、リードフレームのダイ
パッドの平面形状をX字形としだものである。
作 用
このリードフレーム形状によると、グイバットと樹脂と
の間に水分が貯まったときに発生する応力が減少する。
の間に水分が貯まったときに発生する応力が減少する。
実施例
第1図は本発明の実施例を示す図であり、外部導出リー
ド1で包囲されたグイバット2の平面形状が、グイバッ
トの対角線長さの四分の−の幅を持つX字形となってい
る。なお、ダイパッドのX字状部分の幅を小さくすれば
、グイバット下の最大発生応力は小さくなる。しかしな
がら半導体チップの中央部直下に最大応力発生点が変わ
るため、グイバットのX字状部分の幅を小さくしてもパ
ッケージクラックに対する効果が期待できなくなる。
ド1で包囲されたグイバット2の平面形状が、グイバッ
トの対角線長さの四分の−の幅を持つX字形となってい
る。なお、ダイパッドのX字状部分の幅を小さくすれば
、グイバット下の最大発生応力は小さくなる。しかしな
がら半導体チップの中央部直下に最大応力発生点が変わ
るため、グイバットのX字状部分の幅を小さくしてもパ
ッケージクラックに対する効果が期待できなくなる。
しかも、ダイパッドのX字状部分の幅を小さくすると、
ダイパッドと半導体チップとの接着面積が小さくなり、
組立時の半導体チップ割れ、あるいは半導体チップはが
れが発生するばかりでなく、実使用時の熱抵抗増加が生
じる。以上のことを考慮して、ダイパッドのX字状部分
の幅を検討したところ、ダイパッド対角線長さの四分の
一程度に設定したとき耐パッケージクラック性を向上さ
せ、かつ組立時のチップ割れ、チップはがれの増加と実
使用時の熱抵抗の増加を極力おさえることができる。
ダイパッドと半導体チップとの接着面積が小さくなり、
組立時の半導体チップ割れ、あるいは半導体チップはが
れが発生するばかりでなく、実使用時の熱抵抗増加が生
じる。以上のことを考慮して、ダイパッドのX字状部分
の幅を検討したところ、ダイパッド対角線長さの四分の
一程度に設定したとき耐パッケージクラック性を向上さ
せ、かつ組立時のチップ割れ、チップはがれの増加と実
使用時の熱抵抗の増加を極力おさえることができる。
ところで、第2図で示すように、ダイバット2に半導体
子ノブ3が固着され、さらに必要なワイ\゛ボンド(図
示せず)がなされた組立構体を成形樹脂4で封止して形
成した樹脂封止形半導体装置のダイパット下に、半田実
装によって水分5が貯まっだ場合、この水分が気化膨張
することによって発生する応力σは第1式で示されるこ
とが知られている。
子ノブ3が固着され、さらに必要なワイ\゛ボンド(図
示せず)がなされた組立構体を成形樹脂4で封止して形
成した樹脂封止形半導体装置のダイパット下に、半田実
装によって水分5が貯まっだ場合、この水分が気化膨張
することによって発生する応力σは第1式で示されるこ
とが知られている。
σmax = k(a/h ) 2・p ・・・・・・
・・・・・・(1)ここで、kは第3図で示すグイバッ
トの形状により定まる定数、aはダイパッドの短辺寸法
、hはダイパッド下の樹脂厚、pは半田実装時のグイバ
ット下水分の蒸気圧である。
・・・・・・(1)ここで、kは第3図で示すグイバッ
トの形状により定まる定数、aはダイパッドの短辺寸法
、hはダイパッド下の樹脂厚、pは半田実装時のグイバ
ット下水分の蒸気圧である。
この関係式を利用して半田実装時の水分気化膨張により
発生する応力を第1図を参照して説明する。
発生する応力を第1図を参照して説明する。
第1図のリードフレームにおいて、bが1.77U、リ
ードフレームの厚みが0.15ff、ダイパッド下の樹
脂厚を0.92 ffとし、半導体チップのサイズを6
ff角とすると、半導体チップ下に位置するところとな
るチップ下最大応力発生点(A点)の応力σmazAは
、 σfnaxA = 0.3jX(”Q)2p=6.55
p0.92+0.15 となる。
ードフレームの厚みが0.15ff、ダイパッド下の樹
脂厚を0.92 ffとし、半導体チップのサイズを6
ff角とすると、半導体チップ下に位置するところとな
るチップ下最大応力発生点(A点)の応力σmazAは
、 σfnaxA = 0.3jX(”Q)2p=6.55
p0.92+0.15 となる。
また、ダイパッド下最大応力発生点(B点)の応力σm
axBは、 maxB =0.5x(””)2p=1.58p0.9
2 となる。
axBは、 maxB =0.5x(””)2p=1.58p0.9
2 となる。
すなわち、A点の応力はB点の応力よりも大きくなる。
本発明のリードフレームを用いて形成した樹脂封止形半
導体装置では、最大応力発生点となるA点部分にはグイ
バットが存在せず、この部分の樹脂厚が大となることに
より、樹脂クラックの発生が防止される。
導体装置では、最大応力発生点となるA点部分にはグイ
バットが存在せず、この部分の樹脂厚が大となることに
より、樹脂クラックの発生が防止される。
発明の効果
以上述べたように、本発明のリードフレームは半田実装
時にダイパッド下に貯まった水分が気化膨張する事によ
り発生する応力に起因するパッケージクラッチの発生を
防止できるものであり、樹脂封止形半導体装置の耐パッ
ケージクラック性を向上させ、しかも、組立時のチップ
割れ、チップはがれの増加と実使用時の熱抵抗増加をお
さえることができる。
時にダイパッド下に貯まった水分が気化膨張する事によ
り発生する応力に起因するパッケージクラッチの発生を
防止できるものであり、樹脂封止形半導体装置の耐パッ
ケージクラック性を向上させ、しかも、組立時のチップ
割れ、チップはがれの増加と実使用時の熱抵抗増加をお
さえることができる。
第1図は本発明のリードフレームの要部を示す平面図、
第2図はダイパッド下水分気化膨張モデル図、第3図は
ダイパット縦横化と定数にの関係図である。 1・・・・・・外部導出リード、2・・・・・・ダイパ
ッド、3・・・・・・半導体チップ、4・・・・・・成
形樹脂、6・・・・・・水分。
第2図はダイパッド下水分気化膨張モデル図、第3図は
ダイパット縦横化と定数にの関係図である。 1・・・・・・外部導出リード、2・・・・・・ダイパ
ッド、3・・・・・・半導体チップ、4・・・・・・成
形樹脂、6・・・・・・水分。
Claims (1)
- 半導体基板取付用のダイパットがX字形平面形状とされ
ていることを特徴とするリードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63226740A JPH0274065A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63226740A JPH0274065A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0274065A true JPH0274065A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16849861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63226740A Pending JPH0274065A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リードフレーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0274065A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5182630A (en) * | 1991-02-13 | 1993-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device having a particular shaped die pad and coated lower surface |
US5327008A (en) * | 1993-03-22 | 1994-07-05 | Motorola Inc. | Semiconductor device having universal low-stress die support and method for making the same |
US5378656A (en) * | 1992-03-27 | 1995-01-03 | Hitachi, Ltd. | Leadframe, semiconductor integrated circuit device using the same, and method of and process for fabricating the same |
JPH077124A (ja) * | 1993-03-22 | 1995-01-10 | Motorola Inc | X形状ダイ支持部材を有する半導体装置 |
JPH07254680A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Nippon Motorola Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
JPH08204107A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
US5633528A (en) * | 1994-05-25 | 1997-05-27 | Texas Instruments Incorporated | Lead frame structure for IC devices with strengthened encapsulation adhesion |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61184854A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 樹脂封止形半導体装置 |
JPS6381966A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | Hitachi Ltd | 電子装置 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63226740A patent/JPH0274065A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61184854A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 樹脂封止形半導体装置 |
JPS6381966A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | Hitachi Ltd | 電子装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5182630A (en) * | 1991-02-13 | 1993-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device having a particular shaped die pad and coated lower surface |
US5637913A (en) * | 1992-03-27 | 1997-06-10 | Hitachi, Ltd. | Leadframe semiconductor integrated circuit device using the same and method of and process for fabricating the two |
USRE43443E1 (en) | 1992-03-27 | 2012-06-05 | Renesas Electronics Corporation | Leadframe semiconductor integrated circuit device using the same, and method of and process for fabricating the two |
US5378656A (en) * | 1992-03-27 | 1995-01-03 | Hitachi, Ltd. | Leadframe, semiconductor integrated circuit device using the same, and method of and process for fabricating the same |
JPH077124A (ja) * | 1993-03-22 | 1995-01-10 | Motorola Inc | X形状ダイ支持部材を有する半導体装置 |
US5424576A (en) * | 1993-03-22 | 1995-06-13 | Motorola, Inc. | Semiconductor device having x-shaped die support member and method for making the same |
EP0617464A3 (en) * | 1993-03-22 | 1995-05-31 | Motorola Inc | Semiconductor device having a cross-shaped support and manufacturing method. |
SG97850A1 (en) * | 1993-03-22 | 2003-08-20 | Motorola Inc | Semiconductor device having x-shaped die support member and method for making the same |
CN1118873C (zh) * | 1993-03-22 | 2003-08-20 | 摩托罗拉公司 | 带有x形管芯支托的半导体器件 |
US5327008A (en) * | 1993-03-22 | 1994-07-05 | Motorola Inc. | Semiconductor device having universal low-stress die support and method for making the same |
JPH07254680A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Nippon Motorola Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
US5633528A (en) * | 1994-05-25 | 1997-05-27 | Texas Instruments Incorporated | Lead frame structure for IC devices with strengthened encapsulation adhesion |
JPH08204107A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
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