JPH0274021A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は導電性高分子を電解質として用いる、コンデン
サ特性とりわけ周波数特性の優れた固体電解コンデンサ
の製造方法に関するものである。

従来の技術 近年、電気機器のディジタル化に伴って、コンデンサも
小型大容量で高周波数領域でのインピーダンスの低いも
のが要求されている。従来、高周波域で使用されるコン
デンサにはプラスチックコンデンサ、マイカコンデンサ
、積層セラミックコンデンサがあるが、これらのコンデ
ンサでは形状が大きくなり大容量化が難しい。一方、大
容量コンデンサとしてはアルミニウム乾式電解コンデン
サ、あるいはアルミニウムまたはタンタル固体電解コン
デンサなどの電解コンデンサがある。これらのコンデン
サでは用いている電解質（液体電解質あるいは固体の二
酸化マンガン）の抵抗が高いために、高周波領域で十分
低いインピーダンスを得る事は出来ない。

これに対し、最近、固体電解質として二酸化マンガンの
代わりに、導電性が高く、陽極酸化性の優れた有機半導
体、７，７，８，８．−テトラシアノキノジメタンコン
ブレノクス塩（以下［ＴｃＮ（４Ｊと略す）、を用いる
ことが提案されている。同一出願人らになる発明（特公
昭５６−１０７７７号公報）および丹羽信−氏による発
明（特開昭５８−１７６０９号公報）に公表されている
ように、このようなＴＣＮＱ塩を用いたアルミニウム固
体電解コンデンサでは、周波数特性および温度特性が著
しく改良され、低い漏れ電流特性が達成されている。ま
た、ＴＣＮＱ塩は有機物の導電材料としては、熱的な安
定性に優れているため、得られたコンデンサの高温寿命
も従来の乾式電解コンデンサのそれを遥かに凌ぐとされ
ている。

さらに近年、ピロール、チオフェンなどの複素環式のモ
ノマーを電解重合することにより高導電性の高分子を陽
極体上に形成し、これを電解質として用いる固体電解コ
ンデンサも提案されている（特開昭６０−３７１１４号
公報、特開昭６０−２４４０１７号公報）。

発明が解決しようとする課題 しかしながら陽極酸化または陽極化成により表面に誘電
体皮膜を形成した弁金属からなる陽極上に、またはその
上にさらに二酸化マンガンを付着させてなる陽極上に、
導電性高分子からなる電解質皮膜を形成して構成された
コンデンサでは、陽極は無機物で、一方電解質は有機物
であるため、相互の密着性が弱いという問題があった。

したがって高温下または低温下で長時間にわたって暴露
された場合あるいは急激な温度変化に暴露されたような
場合、電極と電解質界面で剥離が生じやすいため、安定
なコンデンサ特性を保持させることは困難であった。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、電極と電解
質間の密着強度を向上させてコンデンサ特性の安定化を
図ることを目的とするものである。

課題を解決するだめの手段 本発明は上記課題を解決するもので、その技術的手段は
、陽極酸化または陽極化成により表面に誘電体皮膜を形
成した弁金属からなる陽極上に、またはその上にさらに
二酸化マンガンを付着させてなる陽極上にシランカップ
リング剤、チタンカップリング剤、アルミニウムカップ
リング剤から選ばれる一種類のカップリング剤で処理し
、しかる後導電性高分子からなる電解質皮膜を形成する
ことにより、電極と電解質間の密着強度を向上させてコ
ンデンサ特性の安定化を達成するようにしたものである
。ここで二酸化マンガンを付着させるのは、コンデンサ
の化成性向上に加えて電解重合時の被覆性向上を図るた
めである。

上記機能を有するカップリング剤としては、例えば下記
のような物質がある。これらはいずれも市販されており
、容易に入手出来るものである。

シランカップリング剤：ビニルトリクロルシラン、ビニ
ル（βメトキシシラン）、ビニルトリエトキシシラン、
ｒ−メタクリロキシシラン、β−（３，４エポキシシク
ロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、ｒ−グリシド
キシグロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチ
ル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−
β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フ
ェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、ｒ−
メルカプトブロビルリメトキシシラン、γ−クロロプロ
ピルトリメトキシシラン。

チタンカップリング剤：イソプロビルトリイソステアロ
イルチタネート、イソフロビルトリドデシルベンゼンス
ルフオニルチタネート、イソプロピルトリス（ジオクチ
ルパイロフォスフェート）チタネート、テトライソグロ
ピルビス（ジオクチルフォスファイト）チタネート、テ
トラオクチルビス（ジトリデシルフォスファイト）チタ
ネート。

テトラ（２，２−ジアリルオキシメチル−１−メチル）
ビス（ジ−トリデシル）フォスファイトチタネート、ヒ
ス（ジオクチルパイロフォスフェート）オキシアセテー
トチタネート、ビス（ジオクチルパイロフォスフェート
）エチレンチタネート、イソブロビルトリオクタイノル
チタ不一ト、イソグロビルジメタクリルイソステアロイ
ルチタネート、イノブロビルイソステアロイルジアクロ
ルチタネート、イソプロピルトリ（ジオクチルフォスフ
ェート）チタネート、イソフロビルトリクミルフェニル
チタネート、イソプロピル（トリ（Ｎ−アミノエチル舎
アミノエチル）チタネート、ジクミルフェニルオキシア
セテートチタネート、ジイソステアロイリエチレンチタ
ネート。

アルミニウムカップリング剤：アセトアルコキシアルミ
ニウムジイソプロピレート。

作　　　　用 本発明は陽極酸化または陽極化成により表面に誘電体皮
膜を形成した弁金属からなる、またはその上にさらに二
酸化マンガンを付着させてなる無機物の陽極上と有機物
の導電性高分子からなる固体電解質との間にシランカッ
プリング剤、チタンカップリング剤、アルミニウムカッ
プリング剤から選ばれる一種類のカップリング剤を介在
させている。

陽極酸化または陽極化成された弁金属表面せたけその上
にさらに二酸化マンガンを付着させてなる無機物の陽極
上には水素結合による水酸基が存在しており、カップリ
ング剤は次に示すシランカップリング剤の場合の例のよ
うに、これと化学的に反応して強固な有機質の層を形成
する。

−Ｏ−Ｍ−０−Ｈ−ｔ（Ｒ１０）　３−　Ｓ　１−Ｒｚ
　＋Ｈ２０−−０−Ｍ−０−Ｓ　ｉ　−Ｌ！＋　ＲｔＯ
ＨＭ：　金属原子 Ｒ，＋、Ｒｚ、：有機原子団 本発明はこの性質を用いて弁金属表面の酸化皮膜上に有
機質のきわめて薄い皮膜を形成させ、ポリピロールまた
はポリチオフェンのような有機物である導電性高分子か
らなる固体電解質と電極との接着性の改善を図り、特性
の安定した固体電解コデンサを得ようとするものである
。ここで用いられるカップリング剤は弁金属酸化皮膜上
またはその上に付着させた二酸化マンガン上で単分子膜
を形成する程度の量でよく、このような厚さではコンデ
ンサ特性の低下はほとんど起こらない。

実施例 以下本発明の実施例について述べる。

〈実施例１〉 ８Ｘ２０ｍｍのアルミニウムエンチド箔を３チアジビン
酸アンモニウム水溶液を用い、約７０℃で３５Ｖ印加し
て酸化皮膜を形成してコンデンサの陽極を作製した。こ
の陽極箔に３種類の信越化学工業■製シランカンブリン
グ剤「ＫＢＭ４０３」（γ−グリシドキシプロビルトリ
メチルシラン）、「ＫＢＭ５０３Ｊ　（ｒ−メタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン）、［ＫＢＭ６０３Ｊ
　　（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン）の１チ水溶液を用いてランカップリン
グ処理を行った。すなわち陽極箔を含浸後１１０℃で乾
燥させた。これらの陽極箔をピロール（０，３Ｍ）、テ
トラエチルアンモニウムパラトルエンスル７オネート（
０，１Ｍ）、アセトニトリルからなる電解液に浸し、箔
を負電位として３Ｖを印加してポリピロールの電解重合
膜を形成させ、さらに電解重合膜上にカーボンペースト
と銀ペーストを塗布して陰極リードを取り出しそれぞれ
５個のコンデンサを完成させた。１２０Ｈ２における初
期の容量、損失の平均値はｆ−ＫＢＭ４０３Ｊ、「ＫＢ
Ｍ５０３Ｊ、［ＫＢＭ６０３Ｊの場合それぞれ２２．５
μＦ　２．３係５２３．２μＦ２．４チ、２２．３μＦ
２．１９！＋であり、　まだ１２５°Ｃ５００時間無負
荷放置後はそれぞれ２２．２μＦ２．４チ、２３．０μ
Ｆ２．６チ、２２．０μＦ２．３チであった。比較のた
めシランカップリング剤処理を行わなかった以外同様に
してコンデンサを作製した。

この場合１２０）（ｚにおける初期の容量、損失の平均
１直はそれぞれ２２，７μＦ２．３チであり、また１２
５℃５００時間無負荷放置後は１８．４μＦ　２．７チ
であった０７ランカツプリング剤処理をおこなった場合
は初期特性を低下させることなく高温無負荷放置時の特
性、とりわけ容量の劣化を防止する効果があることが明
らかであり、本発明による電解コンデンサは極めて優れ
た寿命特性を有することが実証された。

を用いてタンタル平滑箔（１４ｍｍＸ２０ｍｍＸＯ，Ｉ
ｍｍ）を濃度１００　ｍｌ　／　ｔのリン酸水溶液を用
い、約９０℃で８０Ｖ印加し酸化皮膜を形成して陽極を
５枚作製し、これらを信越化学工業■製シランカップリ
ング剤１ＫＢＭ４０３」　（γ−グリシドキシプロピル
トリメチルシラン） 〈実施例２〉 陽極化成により酸化皮膜形成後、硝酸マンガン３０チ水
溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し、熱分解二
酸化マンガンを表面に付着させ、ポリピロールの電解重
合模形成を箔表面に接触させた外部電極を用いて行った
以外実施例１と同様にしてコンデンサを作製し、やはり
同様に特性の測定を行った。１２０　Ｈ２における初期
の容量、損失の平均値は「ＫＢＭ４０３Ｊ、［ＫＢＭ５
０３Ｊ、ｒＫＢＭ６０３Ｊの場合それぞれ２４．１μＦ
　１．９チ、　２３．８μＦ　２．１チ、２３．６μＦ
２．２チであり、また１２５°０５００時間無負荷放置
後はそれぞれ２３．６μＦ２．０チ、２３．４μＦ２．
４チ、２３．２μＦ２．５％であった。

実施例１の場合と同様、ここでもシランカップリング剤
処理をおこなった場合は初期特性を低下させることなく
高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化を防止す
る効果があることが明らかであり、本発明による電解コ
ンデンサは極めて優れた寿命特性を有することが実証さ
れた。

〈実施例３〉 シランカップリング剤に代えて、味の素■製チタンカッ
プリング剤「ＴＴｓ　Ｊ　（インプロビルトリインステ
アロイルチタネート）、「プレンアクト４６Ｂｊ（テト
ラオクチルビス（ジトリデシルフォスフェート）、「プ
レンアクト１３８　Ｓ　Ｊ　（ビス（オクチルパイロフ
ォスフェート）オキシアセテートチタネート）の１チ水
溶液を用いた以外、実施例１と同様にしてコンデンサを
作製し、やはり同様に特性の測定を行った。１２０Ｈｚ
における初期の容量、損失の平均値は「グレンアクトＴ
ＴＳ」、「プレンアクト４６Ｂ」、「グレンアクト１３
８ＳＪの場合それぞれ２３６μＦ２．３チ、　　２３．
５μＦ　２．５チ、２３．１μＦ２．１チであり、また
１２５℃５００時間無負荷放置後はそれぞれ２３．４μ
Ｆ２．４％。

２３１μＦ　２．６チ、２３．１μＦ　２．２チであっ
た。実施例１の場合と同様、チタンカップリング剤処理
をおこなった場合は初期特性を低下させることなく高温
無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化を防止する効
果があることが明らかであり１本発明による電解コンデ
ンサは極めて優れた寿命特性を有することが実証された
。

〈実施例４〉 陽極化成により酸化皮膜を形成した陽極箔を硝酸マンガ
ン３０％水溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し
熱分解二酸化マンガンを表面に付着させた以外は実施列
３と同様にしてコンデンサを作製し、やはり同様に特性
の測定を行った。１２０Ｈｚにおける初期の容量、損失
の平均［直は「プレンアクトＴＴＳ　Ｊ、［プレンアク
ト４６Ｂ」、［プレンアクト１３８ＳＪの場合それぞれ
２４．３μＦ２．１チ、２３．１μＦ　１．９％、２３
．９μＦ２，３チであり、また１２５°０５００時間無
負荷放置後はそれぞれ２３゜０μＦ２．２チ、２２．７
μＦ２．３％、２３．５μＦ２．５チであった。実施例
３の場合と同様、チタンカップリング剤処理をおこなっ
た場合は初期特性を低下させることなく高温無負荷放置
時の特性、とりわけ容量の劣化を防止する効果があるこ
とが明らかであり、本発明による電解コンデンサは極め
て優れた寿命特性を有することが実証された〇〈実施例
５〉 シランカップリング剤に代えて、味の素■製アルミニウ
ムカップリング剤「ＡＬ−Ｍｌ（アセトルコキシアルミ
ニウムジイソプロピレート）の００５チｎ−ヘキサン溶
液を用いた以外、実施列１と同様にしてコンデンサを作
製し、やばね同様に特性の測定を行った。１２０Ｈｚに
おける初期の容量、損失の平均値は２３．８μＦ２．４
％であり、壕だ１２５℃　５００時間無負荷放置後は２
３．６μＦ２．５チ実施例１の場合と同様、チタンカッ
プリング剤処理をおこなった場合は初期特性を低下させ
ることなく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣
化を防止する効果があることが明らかであり、本発明て
より電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有するこ
とが実証された。

〈実施例６〉 陽極化成により酸化皮膜を形成した陽極箔を硝酸マンガ
ン３０チ水溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し
熱分解二酸化マンガンを表面【付着させた以外は実施例
３と同様にしてコンデンサを作製し、やはり同様に特性
の測定を行った。１２０Ｈｚにおける初期の容量、損失
の平均（ｉ！は２４．１μＦ１．９チであり、また１２
５℃５００時間無負荷放置後は２３．７μＦ２６２チで
あった。実施例５の場合と同様、アルミニウムカップリ
ング剤処理をおこなった場合は初期特性を低下させるこ
となく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化を
防止する効果があることが明らかであり、本発明による
電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有することが
実証された。

〈実施例７〉 陽極化成により酸化皮膜を形成した電極箔に、ポリメチ
ルメタクリレート（ＰＭＭＡ）と重合用酸化剤過塩素酸
第二鉄（Ｆｅ（ＣｌＯ２）３９Ｈｚｏ）を重量比で１：
１含む混合物を酢酸ｎ−ブチルに溶解して塗布後風乾し
、これを５℃に保ち、密閉容器中でピロール蒸気と１２
時間接触させた酸化重合ポリピロールが複合化された電
解質皮膜を形成した以外実施例１と同様にしてコンデン
サを作製し、やはり同様に特性の測定を行ったｏ　　１
２０Ｈｚにおける初期の容量、損失の平均値ば［ＫＢＭ
４０３Ｊ、［ＫＢＭ５０３Ｊ、［ＫＢＭ６０３Ｊの場合
はそれぞれ２０２μＦ　３，１壬、１９．６μＦ　３．
４チ、１９．５μＦ３．５チであり、また１２３℃５０
０時間無負荷放置後はそれぞれ１９９μＦ　３．３チ、
１９．４μＦ３．５チ、１９．２μＦ３６チであった。

比較のためシランカップリング剤処理を行わなかった以
外同様にしてコンデンサを作製した。この場合１２０Ｈ
ｚにおける初期の容量、損失の平均値はそれぞれ１９．
４μＦ３．４％であり、また１２５℃５００時間無負荷
放置後は１３．６μＦ３８チであった。シランカップリ
ング剤処理をおこなった場合は初期特性を低下させるこ
となく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化を
防止する効果があることが明らかであり、本発明による
電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有することが
実証された。

〈実施例８ン 陽極化成により酸化皮膜形成後、硝酸マンガン３０チ水
溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し熱分解二酸
化マンガンを表面に付着させた以外実施例７と同様忙し
てコンデンサを作製し、やはり同様に特性の測定を行っ
た。１２０　Ｈｚにおける初期の容量、損失の平均値は
ｌ−ＫＢＭ４０３Ｊ、［ＫＢＭ５０３Ｊ、「ＫＢＭ６０
３Ｊの場合それぞれ２０．１μＦ２．９チ、２０．３μ
Ｆ　３．１チ、１９８μＦ　３．３チであり、また１２
５℃５００時間無負荷放置後はそれぞれ１９７μＦ３．
１チ、１９．９μＦ３．２チ、１９．４μＦ３．５係で
あった。実施例７の場合と同様、ここでもシランカップ
リング剤処理をおこなった場合は初期特性を低下させる
ことなく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化
を防止する効果があることが明らかであり、本発明によ
る電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有すること
が実証された。

〈実施例９〉 エツチドアルミニウム電極箔に代えて、２５ｍｍＸ４０
ｍｍのタンタル平滑箔と濃度１００ｍ１　／　ｔのリン
酸水溶液を用い、約９０℃で８０Ｖ印加し酸化皮膜を形
成した実施例１と同様にしてコンデンサを作製し、やは
り同様に特性の測定を行った。１２０Ｈｚにおける初期
の容量、損失の平均値は「ＫＢＭ４０３」、「ＫＢＭ５
０３Ｊ、「Ｋ２ＭｏＯ４」の場合それぞれ０．６１μＦ
　１．５チ、０．５８μＦ　１．５チ、　０．６２μＦ
１．６％であり、また１２５℃５００時間無負荷放置後
はそれぞれ０．５９μＦ　１．７チ、０．５７μＦ　１
．６チ、０．５９μＦ　１．７％であった０比較のため
シランカツプリング剤処理を行わなかった以外同様にし
てコンデンサを作製した。この場合１２０Ｈｚにおける
初期の容量、損失の平均値はそれぞれ０６３μＦ、１．
５　％であり、また１２５℃５００時間無負荷放置後は
０．４８μＦ、１．９壬であった。シランカップリング
剤処理をおこなった場合は初期特性を低下させることな
く高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量の劣化を防止
する効果があることが明らかであり、本発明による電解
コンデンサは極めて優れた寿命特性を有することが実証
された。

〈実施例ｉｏ＞ 陽極化成により酸化皮膜形成後、硝酸マンガン３０チ水
溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し熱分解二酸
化マンガンを表面に付着させ以外実施例９と同様にして
コンデンサを作製し、やはり同様に特性の測定を行った
。１２０Ｈ２における初期の容量、損失の平均１直は［
ＫＢＭ４０３Ｊ、「ＫＢＭ５０３」、ｌ’−ＫＢＭ６０
３Ｊの場合それぞれ０．６３μＦ１．５チ、０．６４μ
Ｆ　　１．５チ、０６２μＦ　　１．４チであり、また
１２５℃５００時間無負荷放置後はそれぞれ０６２μＦ
１．７チ、０．５９μＦ１．６％、０．５９μＦ　１．
５％であった。実施例９の場合と同様、ここでもシラン
カッブリ７グ剤処理をおこなった場合は初期特性を低下
させることなく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量
の劣化を防止する効果があることが明らかであり、本発
明による電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有す
ることが実証された。

〈実施例１１〉 ピロールに代えて、チオフェンを用いた以外実施列１と
同様にしてコンデンサを作製し、やはり同様に特性の測
定を行った。１２０Ｈｚにおける初期の容量、損失の平
均［直は「Ｋｆ３！ｖｉ４０３Ｊ、「ＫＢＮｉ６０３Ｊ
の場合それぞれ２１，１μＦ２，５チ、２０６μＦ２．
７％、２１．４μＦ　２．８％であり、また１２５℃５
００時間無負荷放置後はそれぞれ２０．７μＦ２．８％
、１９．８μＦ２４９チ、２０．９μＦ　３．１チであ
った。比較のためシランカップリング剤処理を行わなか
った以外同様にしてコンデンサを作製した。この場合１
２０Ｈ２における初期の容量、損失の平均値はそれぞれ
２０．７μＦ、　２．７俤であり、また１２５℃５００
時間無負荷放置後は１５．６μＦ、３．２％であった。

シランカップリング剤処理をおこなった場合は初期特性
を低下させることなく高温無負荷放置時の特性、とりわ
け容量の劣化を防止する効果があることが明らかであり
、本発明による電解コンデンサは極めて優れた寿命特性
を有することが実証された。

〈実施例１２〉 陽極化成により酸化皮膜形成後、硝酸マンガン３０％水
溶液に浸漬しさらに２５０℃で１０分加熱し熱分解二酸
化マンガンを表面に付着させ以外実施例１１と同様にし
てコンデンサを作製し、やはり同様に特性の測定を行っ
た０１２０Ｈ２における初期の容量、損失の平均値は［
ＫＢＭ４０３Ｊ、［ＫＢＭ５０３Ｊ、　「ＫＢＭ６０３
Ｊの場合それぞれ２２．４μＦ２．６チ、２２．６μＦ
　２．５チ、２１．９μＦ　２．７チであり、または１
２５℃５００時間無負荷放置後はそれぞれ２１．９μＦ
２．８チ、２２．２μＦ２．８％、２１．４μＦ３．９
チであった。実施例１１の場合と同様、ここでもシラン
カップリング剤処理をおこなった場合は初期特性を低下
させることなく高温無負荷放置時の特性、とりわけ容量
の劣化を防止する効果があることが明らかであり、本発
明による電解コンデンサは極めて優れた寿命特性を有す
ることが実証された。

なお実施例では、電解重合において溶媒としてアセトニ
トリルを、また支持電解質としてテトラエチルアンモニ
ウムバラトルエンスルフォネートを用いる場合について
のみ述べたが、その他のものを用いてもよく、本発明は
これらの種類によって限定されるものでない。

発明の効果 以上要するに、本発明は陽極化成または陽極酸化により
誘電体皮膜を形成した弁金属あるいはその上にさらに二
酸化マンガンを付着してなる陽極を、シランカップリン
グ剤、チタンカップリング剤、アルミニウムカップリン
グ剤から選ばれる一種のカップリング剤を用いて表面処
理を行った後、導電性高分子からなる固体電解質を設け
た固体電解コンデンサの製造方法を提供するもので、陽
極と電解質間の密着強度が改善され、高温無負荷寿命特
性等信頼性の安定した導電性高分子固体電解コンデンサ
が容易に得られるという利点を有する。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）陽極酸化あるいは陽極化成により表面に誘電体皮
   膜を形成した弁金属をシランカップリング剤を用いて表
   面処理を行った後導電性高分子から成る固体電解質層を
   設けることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法
   。
2. （２）陽極酸化あるいは陽極化成により表面に誘電体皮
   膜を形成した弁金属上に二酸化マンガンを付着させ、さ
   らにシランカップリング剤を用いて表面処理を行った後
   導電性高分子から成る固電解質層を設けることを特徴と
   する固体電解コンデンサの製造方法。
3. （３）請求項１又は２記載のシランカップリング剤に代
   え、チタンカップリング剤を用いた固体電解コンデンサ
   の製造方法。
4. （４）請求項１又は２記載のシランカップリング剤に代
   え、アルミニウムカップリング剤を用いた固体電解コン
   デンサの製造方法。
5. （５）導電性高分子がピロールあるいはその誘導体から
   選ばれる一種から、電解重合により合成されたものであ
   る請求項１から４のいずれかに記載の固体電解コンデン
   サの製造方法。
6. （６）請求項５記載のピロールに代え、チオフェンある
   いはその誘導体から選ばれる一種を用いた固体電解コン
   デンサの製造方法。
7. （７）請求項５又は６記載の電解重合に代え、酸化重合
   を用いた固体電解コンデンサの製造方法。
8. （８）弁金属がアルミニウムもしくはタンタルである請
   求項１から４のいずれかに記載の固体電解コンデンサの
   製造方法。