JPH0264601A - 多層膜裏面反射鏡 - Google Patents
多層膜裏面反射鏡Info
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- C03C17/3663—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties specially adapted for use as mirrors
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02B5/0825—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
- G02B5/0833—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only comprising inorganic materials only
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- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
- C03C2217/734—Anti-reflective coatings with specific characteristics comprising an alternation of high and low refractive indexes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は反射鏡に係り、特に防眩性、高視認性、装飾性
、生産性、コスト性等に優れた多層膜裏面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜裏面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
、生産性、コスト性等に優れた多層膜裏面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜裏面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
［従来技術］
ガラス基板の裏面に誘電体多層膜を形成し、その外側に
金属膜を設けてなる多層膜裏面反射鏡として、特開昭６
０−２１２７０４号公報には、誘電体多層膜が高屈折率
物質からなるλ／４波長膜と、低屈折率物質からなるλ
／４波長膜を交互に積層した後、高屈折率物質からなる
λ／２波長膜を積層してなるものが開示されている。ま
た特開昭６０−２１２７０５号公報には、高屈折率物質
からなるλ／４波長膜と、低屈折率物質からなるλ／４
波長膜とを交互に４層積層してなるものが開示されてい
る。さらに米国時ａ１第４６７３２４８号明細書には、
ガラス基板上に、順次、１層の低屈折率物質と１層の高
屈折率物質とを積層したものが開示されている。
金属膜を設けてなる多層膜裏面反射鏡として、特開昭６
０−２１２７０４号公報には、誘電体多層膜が高屈折率
物質からなるλ／４波長膜と、低屈折率物質からなるλ
／４波長膜を交互に積層した後、高屈折率物質からなる
λ／２波長膜を積層してなるものが開示されている。ま
た特開昭６０−２１２７０５号公報には、高屈折率物質
からなるλ／４波長膜と、低屈折率物質からなるλ／４
波長膜とを交互に４層積層してなるものが開示されてい
る。さらに米国時ａ１第４６７３２４８号明細書には、
ガラス基板上に、順次、１層の低屈折率物質と１層の高
屈折率物質とを積層したものが開示されている。
さらに他の多層膜裏面反射鏡として、特開昭６３−７４
００５号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を
設け、さらにその上に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を４〜
８層、１１暇次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する４・〜８層の誘電体膜の少くとも１層は
λ／２の光学膜厚を有する多層膜裏面反射鏡が開示され
ている。
００５号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を
設け、さらにその上に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を４〜
８層、１１暇次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する４・〜８層の誘電体膜の少くとも１層は
λ／２の光学膜厚を有する多層膜裏面反射鏡が開示され
ている。
［従来技術の問題点］
ガラス基板の裏面に誘電体多層膜を形成し、その外側に
金属膜を設けてなる、上述の従来の多層膜裏面反射鏡の
分光反射特性を第２図に示す。
金属膜を設けてなる、上述の従来の多層膜裏面反射鏡の
分光反射特性を第２図に示す。
第２図において、前記特開昭６０−２１２７０４号公報
の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は曲線（ａ）によっ
て示されるが、曲線（ａ）より明らかなように、この多
層膜裏面反射鏡の場合には、反射率が４３０ｎｍから５
５０ｎｍにかけて高く、逆に、５５０ｎｍから７００ｎ
ｍにかけて著しく減少しており、反射色が青色を帯びる
ことになる。このため、反射鏡を通して見る背景の色バ
ランスが大幅にくずれ、特に赤色が見えにくくなり、視
認性が悪いという欠点がある。
の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は曲線（ａ）によっ
て示されるが、曲線（ａ）より明らかなように、この多
層膜裏面反射鏡の場合には、反射率が４３０ｎｍから５
５０ｎｍにかけて高く、逆に、５５０ｎｍから７００ｎ
ｍにかけて著しく減少しており、反射色が青色を帯びる
ことになる。このため、反射鏡を通して見る背景の色バ
ランスが大幅にくずれ、特に赤色が見えにくくなり、視
認性が悪いという欠点がある。
また第３図に示す、人間の１１の比視感度Ｖ′（λ）
（同図、曲線（１）参照）および自動車の前照灯（ヘッ
ドライト）の分光エネルギー特性Ｐ（λ） （同図、直
線（２）参照〉並びにそれらの積Ｐ（λ）ＸＶ’ （
λ） （同図、曲線（３）参照）がら明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に４８０−５５０ｎｍである。この特開昭６０−２１２
７０４号公報記載の反射鏡の場合に、第２図の曲線（ａ
）の分光反射特性の反射率の高い領域がちょうど上記の
波長。
（同図、曲線（１）参照）および自動車の前照灯（ヘッ
ドライト）の分光エネルギー特性Ｐ（λ） （同図、直
線（２）参照〉並びにそれらの積Ｐ（λ）ＸＶ’ （
λ） （同図、曲線（３）参照）がら明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に４８０−５５０ｎｍである。この特開昭６０−２１２
７０４号公報記載の反射鏡の場合に、第２図の曲線（ａ
）の分光反射特性の反射率の高い領域がちょうど上記の
波長。
領域と一致するなめ、夜間の追従車の前照灯に対する防
眩効果は期待される程には良くない。
眩効果は期待される程には良くない。
また前記特開昭６０−２１２７０５号公報の多層膜裏面
反射鏡の分光反射特性及び前記米国特許第４６７３２４
８号明細書の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は第２図
の曲線（ｂ）及び（Ｃ）によってそれぞれ示されるが、
これらの曲線＜ｂ）及び（Ｃ）は前記曲線（ａ）とほぼ
同様のパターンを有するので、これらの裏面反射鏡も前
記裏面反射鏡と同様に視認性及び防眩性が良くないこと
が明らかである。
反射鏡の分光反射特性及び前記米国特許第４６７３２４
８号明細書の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は第２図
の曲線（ｂ）及び（Ｃ）によってそれぞれ示されるが、
これらの曲線＜ｂ）及び（Ｃ）は前記曲線（ａ）とほぼ
同様のパターンを有するので、これらの裏面反射鏡も前
記裏面反射鏡と同様に視認性及び防眩性が良くないこと
が明らかである。
一方、従来技術として最後に挙げた特開昭６３−７４０
０５号公報の多層膜裏面反射鏡は、視認性、防眩性はず
ぐれているが、誘電体多層膜の層数が４〜８層と多く、
また光吸収膜の塗装、焼成を、誘電体多層膜形成のため
の真空蒸着と別工程で行なわなければならないため、生
産性も悪く、コストアップにつながる欠点があった。
０５号公報の多層膜裏面反射鏡は、視認性、防眩性はず
ぐれているが、誘電体多層膜の層数が４〜８層と多く、
また光吸収膜の塗装、焼成を、誘電体多層膜形成のため
の真空蒸着と別工程で行なわなければならないため、生
産性も悪く、コストアップにつながる欠点があった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は従来の裏面反射鏡の上述の如き問題点を
解消し、視認性、防眩性、装飾性、生産性、コスト性等
に優れた裏面反射鏡を提供することにある。
解消し、視認性、防眩性、装飾性、生産性、コスト性等
に優れた裏面反射鏡を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上述の間開点を解決するためになされたもので
あり、本発明の多層膜裏面反射鏡は、基材の片面に誘電
体多層膜を設け、さらにその上に金属ないし半導体膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、１層の、光学膜厚が
λＯ／２（λＯは設計の中心となる波長である）の高屈
折率＋！ｊ８貫膜と、１層の、光学膜厚が０．０５λ０
（λｏ／２０）〜０，４λｏ （２１５λ０）の低屈折
率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、一方、前記低屈折率物質膜は前
記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導
体膜側に存在することを特徴とする。
あり、本発明の多層膜裏面反射鏡は、基材の片面に誘電
体多層膜を設け、さらにその上に金属ないし半導体膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、１層の、光学膜厚が
λＯ／２（λＯは設計の中心となる波長である）の高屈
折率＋！ｊ８貫膜と、１層の、光学膜厚が０．０５λ０
（λｏ／２０）〜０，４λｏ （２１５λ０）の低屈折
率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、一方、前記低屈折率物質膜は前
記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導
体膜側に存在することを特徴とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の多層膜裏面反射鏡−おいて用いられる基材とし
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
本発明の多層膜裏面反射鏡においては、上記基材の片面
に誘電体多層膜が設けられ、さらにその上に金属ないし
半導体膜が設けられている。
に誘電体多層膜が設けられ、さらにその上に金属ないし
半導体膜が設けられている。
そこで先ず、基材の片面に設けられる誘電体多層膜につ
いて説明すると、この誘電体多層膜は、１層の高屈折率
物質膜と１層の低屈折率物質膜とを少なくとも有する。
いて説明すると、この誘電体多層膜は、１層の高屈折率
物質膜と１層の低屈折率物質膜とを少なくとも有する。
ここに前記高屈折率物質膜は、屈折率が１．９〜２．４
の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよ
うな高屈折率物質としてはＳｉｎ、Ｔ”ｉ０２ 、Ｔａ
２０５Ｚｒ０２．トＩｆＯ２等の酸化物やＺ ｎ Ｓ等
の硫化物およびこれらの混合物が適宜用いられる。また
前記低屈折率物質膜は、屈折率が１．３〜１．８の物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記低屈折
率物質膜は、屈折率が１．３〜１゜８の低屈折率物質に
よって形成するのが好ましく、このような低屈折率物質
としては、５ｉ０２゜Ａｌ２Ｏ３等の酸化物やＭｇＦ２
、ＣｅＦ３等の弗化物およびこれらの混合物が適宜用
いられる。
の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよ
うな高屈折率物質としてはＳｉｎ、Ｔ”ｉ０２ 、Ｔａ
２０５Ｚｒ０２．トＩｆＯ２等の酸化物やＺ ｎ Ｓ等
の硫化物およびこれらの混合物が適宜用いられる。また
前記低屈折率物質膜は、屈折率が１．３〜１．８の物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記低屈折
率物質膜は、屈折率が１．３〜１゜８の低屈折率物質に
よって形成するのが好ましく、このような低屈折率物質
としては、５ｉ０２゜Ａｌ２Ｏ３等の酸化物やＭｇＦ２
、ＣｅＦ３等の弗化物およびこれらの混合物が適宜用
いられる。
但し、高屈折率物質及び低屈折率物質の屈折率は上述の
範囲に限定されるものではなく、例えば上で低屈折率物
質として挙げたＡ Ｉ ２０３ （屈折率１．６３＞
やＣｅＦ３（屈折率１．６３＞などを高屈折率物質とし
て用いることもできる。
範囲に限定されるものではなく、例えば上で低屈折率物
質として挙げたＡ Ｉ ２０３ （屈折率１．６３＞
やＣｅＦ３（屈折率１．６３＞などを高屈折率物質とし
て用いることもできる。
上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、λ０／２（λＯは
設計の中心となる波長である〉に限定され、−力、上記
の低屈折率物質膜の光学膜厚は０．０５〜０．４λＯに
限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理
由は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性
共にずぐれた反射特性が得られるからである。
設計の中心となる波長である〉に限定され、−力、上記
の低屈折率物質膜の光学膜厚は０．０５〜０．４λＯに
限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理
由は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性
共にずぐれた反射特性が得られるからである。
低屈折率物質膜の光学膜厚はλ０／８又はλＯ／４であ
るのが特に好ましい。
るのが特に好ましい。
また光学膜厚がλｏ／４の１種の高屈折率物質膜と、こ
れに隣接する、光学膜厚がλＯ／４の他社の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλＯ／′２の高屈折率物質膜を
形成しても良い。
れに隣接する、光学膜厚がλＯ／４の他社の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλＯ／′２の高屈折率物質膜を
形成しても良い。
本発明の多層膜裏面反射鏡を構成する誘電体多層膜にお
いては、前記高屈折率物質膜と前記低屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の高屈折率物質膜は基材側
に設けられ、後者の低屈折率物質膜は金属ないし半導体
膜側に設けられる。
いては、前記高屈折率物質膜と前記低屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の高屈折率物質膜は基材側
に設けられ、後者の低屈折率物質膜は金属ないし半導体
膜側に設けられる。
このように両膜の相対的位置を限定した理由は、両膜の
相対的位置をこのように限定することによりはじめて防
眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得られるから
である。
相対的位置をこのように限定することによりはじめて防
眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得られるから
である。
また本発明の多層膜裏面反射鏡を構成する誘電体多層膜
においては、前記基材と前記高屈折率物質との間に、も
う１層の低屈折率物質膜を設け、この１層の低屈折率物
質膜と、前記高屈折率物質膜及び前記低屈折率物質膜と
の合計３層の誘電体膜によって誘電体多層膜を構成して
もよい。この付加的に設けられる低屈折率物質膜は前記
低屈折率物質膜と同様に、１．３〜１．８の屈折率を有
する、例えばＳ ｉ ０２ 、 Ａ １２０３等の酸化
物やＭｇＦ２．ＣｅＦ３等の弗化物およびこれらの混合
物から選択される物質により形成されるが、２つの低屈
折率物質膜は屈折率が同一であっても異なっていても良
いので、付加的低屈折率物質膜を形成する物質は前記低
屈折率物質膜を形成する物質と同種のものであっても異
種のものであっても良い。
においては、前記基材と前記高屈折率物質との間に、も
う１層の低屈折率物質膜を設け、この１層の低屈折率物
質膜と、前記高屈折率物質膜及び前記低屈折率物質膜と
の合計３層の誘電体膜によって誘電体多層膜を構成して
もよい。この付加的に設けられる低屈折率物質膜は前記
低屈折率物質膜と同様に、１．３〜１．８の屈折率を有
する、例えばＳ ｉ ０２ 、 Ａ １２０３等の酸化
物やＭｇＦ２．ＣｅＦ３等の弗化物およびこれらの混合
物から選択される物質により形成されるが、２つの低屈
折率物質膜は屈折率が同一であっても異なっていても良
いので、付加的低屈折率物質膜を形成する物質は前記低
屈折率物質膜を形成する物質と同種のものであっても異
種のものであっても良い。
この付加的低屈折率物質膜の膜厚は特に限定されないが
、０．１〜３λＯであるのが好ましい。
、０．１〜３λＯであるのが好ましい。
この誘電体多層膜の形成方法としては、蒸着法、スパッ
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはＣＶＤ法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはＣＶＤ法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
次に、本発明の多層膜裏面反射鏡において、前記誘電体
多層股上に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
多層股上に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
この金属ないし半導体膜は、反射膜として機能するもの
であり、反射率が３０％以上、特に５０〜８０％である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Ｃｒ、Ｎｉ、ＡＩ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｆｅ、
Ｓｉ、Ｇｅなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも１種を含む合金などが用
いられる。
であり、反射率が３０％以上、特に５０〜８０％である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Ｃｒ、Ｎｉ、ＡＩ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｆｅ、
Ｓｉ、Ｇｅなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも１種を含む合金などが用
いられる。
合金の例としては、インコネル（Ｎｉ８０重量％、Ｃｒ
１４重ｉ％、Ｆｅ６重量％から主として構成され、そ
の他の不純物を微量含む）やクロメル（Ｎ ｉ ８０重
量％、Ｃｒ ２０重量％から主として構成され、その他
の不純物を微量含む）が挙げられる。
１４重ｉ％、Ｆｅ６重量％から主として構成され、そ
の他の不純物を微量含む）やクロメル（Ｎ ｉ ８０重
量％、Ｃｒ ２０重量％から主として構成され、その他
の不純物を微量含む）が挙げられる。
この金属ないし半導体膜の形成方法も、前記誘電体多層
膜の場合と同様のコーティング方法が採用される。
膜の場合と同様のコーティング方法が採用される。
［実施例］
以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
実施例１
第１図（Ａ＞は本発明の多層膜裏面反射鏡の好ましい実
施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基板、
２は屈折率２．３０のＴｉＯ２からなる光学膜厚λ０／
２（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は５４０ ｎｍであり、従ってλ０／２は２７０層ｍで
ある）の高屈折率膜層（２層層）、３は屈折率１．３８
のＭｇＦ２からなる光学膜厚λｏ ／４ （１３５層ｍ
）の低屈折率膜層（ｌ−層）、４はＣｒ膜である。すな
わち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側から２層４層−→１−層→Ｃｒ膜の順で多層
膜が形成されている。この多層膜裏面反射鏡の分光反射
特性を第４図に示す。第４図から明らかなように、この
実施例の多層膜裏面反射鏡は、従来の多層膜裏面反射鏡
に比べて、Ｍ順応比視感度とヘッドライトの分光エネル
ギーの積の高い領域４８ｏｎｍ・〜５５０ｎｍの反射率
が低下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にと
って明るさの感度の低い青及び赤の波長である４ ３０
ｎｍ〜４８０ ｎｍ（青）及び５８０〜７００層ｍ
（赤）における反射率が上昇しているので、視認性にす
ぐれている。
施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基板、
２は屈折率２．３０のＴｉＯ２からなる光学膜厚λ０／
２（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は５４０ ｎｍであり、従ってλ０／２は２７０層ｍで
ある）の高屈折率膜層（２層層）、３は屈折率１．３８
のＭｇＦ２からなる光学膜厚λｏ ／４ （１３５層ｍ
）の低屈折率膜層（ｌ−層）、４はＣｒ膜である。すな
わち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側から２層４層−→１−層→Ｃｒ膜の順で多層
膜が形成されている。この多層膜裏面反射鏡の分光反射
特性を第４図に示す。第４図から明らかなように、この
実施例の多層膜裏面反射鏡は、従来の多層膜裏面反射鏡
に比べて、Ｍ順応比視感度とヘッドライトの分光エネル
ギーの積の高い領域４８ｏｎｍ・〜５５０ｎｍの反射率
が低下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にと
って明るさの感度の低い青及び赤の波長である４ ３０
ｎｍ〜４８０ ｎｍ（青）及び５８０〜７００層ｍ
（赤）における反射率が上昇しているので、視認性にす
ぐれている。
実施例２
第１図（Ｂ）は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、１１はガラス基板、］
２は屈折率２．３０の１１０２からなる光学膜厚λＯ／
２（本実施例において、設計の中心となる光の波長λＯ
は６００ ｎｍであり、従ってλＯ／２は３００層ｍで
ある）の高屈折率膜層（２）１層）、１３は屈折率１．
４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚λｏ／８（７５層
ｍ＞の低屈折率膜層（１，７２層）、１４はＣｒ膜であ
る。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側から２）（層→Ｌ／２層−→Ｃｒ膜
の順で多層膜が形成されている。
の要部拡大断面図であり、図中、１１はガラス基板、］
２は屈折率２．３０の１１０２からなる光学膜厚λＯ／
２（本実施例において、設計の中心となる光の波長λＯ
は６００ ｎｍであり、従ってλＯ／２は３００層ｍで
ある）の高屈折率膜層（２）１層）、１３は屈折率１．
４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚λｏ／８（７５層
ｍ＞の低屈折率膜層（１，７２層）、１４はＣｒ膜であ
る。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側から２）（層→Ｌ／２層−→Ｃｒ膜
の順で多層膜が形成されている。
この多層膜裏面反射鏡は第５図より明らかなように、実
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を足腰
防眩性および視認性にすぐれている。
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を足腰
防眩性および視認性にすぐれている。
実施例３
第１図（Ｃ）は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、２１はガラス基板、２
２は屈折率１．４６のＳ ｊ、 ０２からなる光学膜厚
λＯ／４（本実施例において、設３１の中心となる光の
波長λＯは５４０ ｎｍであり、従ってλＯ／４は１３
５叩である）の低屈折率膜層（Ｌ層）、２３は屈折率２
．３０のＴｉＯ２からなる光学膜厚λ０／２（２７０層
ｍ）の高屈折率膜層（２層１層）、２４は屈折率１．３
８のＭ ｇ Ｆ ２からなる光学膜厚λ０ ／４ ＜、
１３５層ｍ）の低屈折率膜層（Ｌ層）、２５はＧｅ膜
である。
の要部拡大断面図であり、図中、２１はガラス基板、２
２は屈折率１．４６のＳ ｊ、 ０２からなる光学膜厚
λＯ／４（本実施例において、設３１の中心となる光の
波長λＯは５４０ ｎｍであり、従ってλＯ／４は１３
５叩である）の低屈折率膜層（Ｌ層）、２３は屈折率２
．３０のＴｉＯ２からなる光学膜厚λ０／２（２７０層
ｍ）の高屈折率膜層（２層１層）、２４は屈折率１．３
８のＭ ｇ Ｆ ２からなる光学膜厚λ０ ／４ ＜、
１３５層ｍ）の低屈折率膜層（Ｌ層）、２５はＧｅ膜
である。
すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からＬ１層→２Ｈ層−→ｌ−２２層→Ｇ
ｅＪ！Ｑの順で多層膜が形成されている。
の片面に基板側からＬ１層→２Ｈ層−→ｌ−２２層→Ｇ
ｅＪ！Ｑの順で多層膜が形成されている。
この多層膜裏面反射鏡は、第６図より明らかなように、
実施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にずぐれている。
実施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にずぐれている。
実施例４
第１図（Ｄ）は、本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、３１はガラス基板、
３２は屈折率２．３０の”Ｉ”ｉｏ２からなる光学膜厚
λｏ／４（本実施例において、設Ｊ１の中心となる光の
波長λ０は５４０層ｍであり、従ってλ０／４は１３５
層ｍである）の高屈折率膜層（８１層）、３３は屈折率
２．０５のＺｒＯ２からなる光学膜厚λＯ／４ （１３
５層ｍ）の高屈折率膜層（１４２層）、３４は屈折率１
．４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚λ０ ／４ （
１３５層ｍ）の低屈折率膜層（■−層）、３５はＣｒ膜
である。
例の要部拡大断面図であり、図中、３１はガラス基板、
３２は屈折率２．３０の”Ｉ”ｉｏ２からなる光学膜厚
λｏ／４（本実施例において、設Ｊ１の中心となる光の
波長λ０は５４０層ｍであり、従ってλ０／４は１３５
層ｍである）の高屈折率膜層（８１層）、３３は屈折率
２．０５のＺｒＯ２からなる光学膜厚λＯ／４ （１３
５層ｍ）の高屈折率膜層（１４２層）、３４は屈折率１
．４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚λ０ ／４ （
１３５層ｍ）の低屈折率膜層（■−層）、３５はＣｒ膜
である。
ずなわら、この実施例の多層膜裏面反射鏡は、ガラス基
板の片面に基板からＨ１層→Ｈ２層→Ｉ−層→Ｃｒ膜の
順で多層膜が形成されている（なお８１層と１１２層に
よって光学膜厚λｏ／’、２の高屈折率膜層（２Ｈ層）
が形成されている）。
板の片面に基板からＨ１層→Ｈ２層→Ｉ−層→Ｃｒ膜の
順で多層膜が形成されている（なお８１層と１１２層に
よって光学膜厚λｏ／’、２の高屈折率膜層（２Ｈ層）
が形成されている）。
この多層膜裏面反射鏡は第７図より明らかなように、実
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例５
第１図（Ｅ）は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、４１．はガラス基板、
４２は屈折率１．４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚
λＯ／４（本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ０は６００層ｍであり、従ってλＯ／４は１５０ｒ
ｌｌｌｌである）の低屈折率膜層（１−１層）、４３は
屈折率２．３０の’Ｔ’ ｉ ０２からなる光学膜厚λ
Ｏ／４ （１５０層ｍ）の高屈折率膜層（Ｉ４１層）、
４４は屈折率２．０５のＺｒＯ２からなる光学膜厚λＯ
／４（１５０層ｍ）の高屈折率膜層（８２層〉、４５は
屈折率１．３８のＭｇＦ２からなる光学膜厚λ０／８（
７５層ｍ）の低屈折率膜層（Ｌ２／２層）、４６はＣｒ
膜である。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板からＬ１層→Ｈ１層→Ｈ２層→
Ｌ２／２層→Ｃｒ膜の順で多層膜が形成されている（な
お１１層とＨ２層によって光学膜厚λ０／２の高屈折率
膜層（２）−１層）が形成されている）。
の要部拡大断面図であり、図中、４１．はガラス基板、
４２は屈折率１．４６のＳ ｉ ０２からなる光学膜厚
λＯ／４（本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ０は６００層ｍであり、従ってλＯ／４は１５０ｒ
ｌｌｌｌである）の低屈折率膜層（１−１層）、４３は
屈折率２．３０の’Ｔ’ ｉ ０２からなる光学膜厚λ
Ｏ／４ （１５０層ｍ）の高屈折率膜層（Ｉ４１層）、
４４は屈折率２．０５のＺｒＯ２からなる光学膜厚λＯ
／４（１５０層ｍ）の高屈折率膜層（８２層〉、４５は
屈折率１．３８のＭｇＦ２からなる光学膜厚λ０／８（
７５層ｍ）の低屈折率膜層（Ｌ２／２層）、４６はＣｒ
膜である。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板からＬ１層→Ｈ１層→Ｈ２層→
Ｌ２／２層→Ｃｒ膜の順で多層膜が形成されている（な
お１１層とＨ２層によって光学膜厚λ０／２の高屈折率
膜層（２）−１層）が形成されている）。
この多層膜裏面反射鏡は第８図より明らかなように、実
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にずぐれている。
施例１の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にずぐれている。
また実施例１〜５の多層膜裏面反射鏡は、第４〜８図か
ら明らかなように、不要かつ有害な紫外線の反射を抑え
、これをカットするという利点も確認された。
ら明らかなように、不要かつ有害な紫外線の反射を抑え
、これをカットするという利点も確認された。
以上、実施例１〜５により本発明の多層膜裏面反射鏡に
ついて説明してきたが、実施例１〜３の誘電体多層膜に
おいて２層層をＨ１層→Ｈ２層または［（２層→Ｈ１層
にした場合にも同様の結果が得られる。また実施例４お
よび実施例５におけるト１１層→Ｈ２層をＨ２層→Ｈ１
層にしても同様の結果が得られる。
ついて説明してきたが、実施例１〜３の誘電体多層膜に
おいて２層層をＨ１層→Ｈ２層または［（２層→Ｈ１層
にした場合にも同様の結果が得られる。また実施例４お
よび実施例５におけるト１１層→Ｈ２層をＨ２層→Ｈ１
層にしても同様の結果が得られる。
実施例１・〜５における誘電体多層膜の各層を等価膜に
置き換えても同様の反射特性が得られる。
置き換えても同様の反射特性が得られる。
さらに基板としてガラスの代りにプラスチックを用いて
も同等の反射特性が得られる。
も同等の反射特性が得られる。
裏面鏡の場合に、本来の反射像を作る裏面からの光に加
え、表面から垂直入射の場合的４％の不必要な反射があ
る。この不必要な反射を除くために本発明の多層膜裏面
鏡の表面に反射防止膜を施すことも有効である。
え、表面から垂直入射の場合的４％の不必要な反射があ
る。この不必要な反射を除くために本発明の多層膜裏面
鏡の表面に反射防止膜を施すことも有効である。
［発明の効果］
本発明の多層膜裏面反射鏡は次のような技術的効果を有
する。
する。
（ｉ） 防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第４〜８図から明らかなように、第３
図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）ＸＶ’（λ〉
の値の大きな４８０ｎｍから５５０ｎｎで反射率が低い
の゛で防眩効果にすぐれている。
図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）ＸＶ’（λ〉
の値の大きな４８０ｎｍから５５０ｎｎで反射率が低い
の゛で防眩効果にすぐれている。
（ｉｉ） 視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第４〜８図に示すように防眩に必要な
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域（４
００〜４８０ｎｍ）の反射率を青の領域（４００〜４８
０ｎｍ）や赤の領域（５９０〜７５０ｎｍ）よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性（コントラスト）が向上するとい
う利点もある。
００〜４８０ｎｍ）の反射率を青の領域（４００〜４８
０ｎｍ）や赤の領域（５９０〜７５０ｎｍ）よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性（コントラスト）が向上するとい
う利点もある。
（ｉｉｉ）装飾性、ファツション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、そ
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
（ｉＶ） 生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体多
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必
要な、前記特開昭６３−７４００５号公報の反射鏡の場
合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必
要な、前記特開昭６３−７４００５号公報の反射鏡の場
合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、誘電体多層膜の層数が
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜裏面反射鏡が提供された
。
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜裏面反射鏡が提供された
。
第１図は本発明の多層膜裏面反射鏡の要部拡大断面図、
第２図は従来の反射鏡の分光反射特性図、第３図は人間
の目の暗順応比視感度および自動車前照灯の分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車前照灯の分光エネルギー特性図、第４図、第５図、第
６図、第７図及び第８図は本発明の反射鏡の分光反射特
性図である。 １．１．１．２］、３１．４１・・・ガラス基板、２゜
３．１２，１３，２２，２３，２４，３２，３３゜３４
．４２，４３，４４，４５．・・・誘電体膜、４゜１４
．２５，３５．４６・・・金属ないし牛導体膜。
第２図は従来の反射鏡の分光反射特性図、第３図は人間
の目の暗順応比視感度および自動車前照灯の分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車前照灯の分光エネルギー特性図、第４図、第５図、第
６図、第７図及び第８図は本発明の反射鏡の分光反射特
性図である。 １．１．１．２］、３１．４１・・・ガラス基板、２゜
３．１２，１３，２２，２３，２４，３２，３３゜３４
．４２，４３，４４，４５．・・・誘電体膜、４゜１４
．２５，３５．４６・・・金属ないし牛導体膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基材の片面に誘電体多層膜を設け、さらにその上に
金属ないし半導体膜を設けてなり、前記誘電体多層膜は
、１層の、光学膜厚が λ＿０／２（λ＿０は設計の中心となる波長である）の
高屈折率物質膜と、１層の、光学膜厚が０．０５〜０．
４λ＿０の低屈折率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、、一方、前記低屈折率物質膜は
前記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半
導体膜側に存在する ことを特徴とする多層膜裏面反射鏡。 ２、前記低屈折率物質膜の光学膜厚が、λ＿０／８又は
λ＿０／４である、請求項１に記載の多層膜裏面反射鏡
。 ３、前記誘電体多層膜が、前記基材と前記高屈折率物質
膜との間に、もう１層の低屈折率物質膜を含む、請求項
１に記載の多層膜裏面反射鏡。 ４、光学膜厚がλ＿０／２の前記高屈折率物質膜が、光
学膜厚がλ＿０／４の１種の高屈折率物質膜と、これに
隣接する、光学膜厚がλ＿０／４の他種の高屈折率物質
膜とによって形成されている、請求項１に記載の多層膜
裏面反射鏡。
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