JP2719375B2 - 多層膜表面反射鏡 - Google Patents
多層膜表面反射鏡Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は反射鏡に係り、特に防眩制、高視認性、装飾
性、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関
する。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミ
ラー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾
ミラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅
広く利用される。
性、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関
する。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミ
ラー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾
ミラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅
広く利用される。
［従来技術］ 多層膜表面反射鏡の一例として、特開昭63−165805号
公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設け、さ
らに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を３〜
６層順次積層して構成されており、かつ誘電体多層膜を
構成する３〜６層の誘電体膜の少くとも１層はλ/2の光
学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されている。
公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設け、さ
らに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を３〜
６層順次積層して構成されており、かつ誘電体多層膜を
構成する３〜６層の誘電体膜の少くとも１層はλ/2の光
学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されている。
第２図に示す、人間の目の暗順応比視感度Ｖ′（λ）
（同図、曲線（１）参照）及び自動車ヘッドライト（ハ
ロゲンランプ）の分光エネルギー特性Ｐ（λ）（同図、
直線（２）参照）並びにそれらの積Ｐ（λ）×Ｖ′
（λ）（同図、曲線（３）参照）から明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480nm〜550nmであり、この波長領域での反射率が低い
ことが防眩効果を得るための重要な要素であるが、前記
特開昭63−165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡は、
その分光反射率特性を第３図に示すように、480nm〜550
nmの波長領域において反射率が低く防眩効果に優れてい
る。またこの反射鏡は防眩に必要な波長領域では、反射
率が低く、その他の波長領域では、反射率が高くなって
いるので視認性にも優れている。
（同図、曲線（１）参照）及び自動車ヘッドライト（ハ
ロゲンランプ）の分光エネルギー特性Ｐ（λ）（同図、
直線（２）参照）並びにそれらの積Ｐ（λ）×Ｖ′
（λ）（同図、曲線（３）参照）から明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480nm〜550nmであり、この波長領域での反射率が低い
ことが防眩効果を得るための重要な要素であるが、前記
特開昭63−165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡は、
その分光反射率特性を第３図に示すように、480nm〜550
nmの波長領域において反射率が低く防眩効果に優れてい
る。またこの反射鏡は防眩に必要な波長領域では、反射
率が低く、その他の波長領域では、反射率が高くなって
いるので視認性にも優れている。
［従来技術の問題点］ しかしながら、特開昭63−165805号公報に記載の多層
膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる誘電体
多層膜の層数が３〜６層と多く、誘電体多層膜の形成の
ための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、同一基
板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、焼成し
て光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性が悪
く、コストアップにつながるという欠点があった。
膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる誘電体
多層膜の層数が３〜６層と多く、誘電体多層膜の形成の
ための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、同一基
板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、焼成し
て光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性が悪
く、コストアップにつながるという欠点があった。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は従来の表面反射鏡の上述の如き問題点
を解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生
産性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供すること
にある。
を解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生
産性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供すること
にある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
であり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金
属ないし半導体膜を設け、さらにその上に１層以上の屈
折率物質層からなる光学膜厚が３λ0/4（λ０は設計の
中心となる光の波長であり、多層膜表面反射鏡の分光反
射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有す
ることになるように設定される）の誘電体膜を設けてな
り、該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性
が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有することを
特徴とする。
であり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金
属ないし半導体膜を設け、さらにその上に１層以上の屈
折率物質層からなる光学膜厚が３λ0/4（λ０は設計の
中心となる光の波長であり、多層膜表面反射鏡の分光反
射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有す
ることになるように設定される）の誘電体膜を設けてな
り、該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性
が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有することを
特徴とする。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の多層膜表面反射鏡において用いられる基材と
しては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても
良い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくと
も一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平
凸板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好まし
い。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチック
が挙げられるが、その他の材質のものを用いることもで
きる。
しては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても
良い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくと
も一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平
凸板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好まし
い。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチック
が挙げられるが、その他の材質のものを用いることもで
きる。
本発明の多層膜表面反射鏡においては、上記基材の片
面に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘
電体膜が設けられている。
面に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘
電体膜が設けられている。
そこで先ず、本発明の多層膜表面反射鏡において、基
材の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
材の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
この金属ないし半導体膜、反射鏡として機能するもの
であり、反射率が30％以上、特に50〜80％であるものを
用いるのが好ましい。このような金属ないし半導体膜と
しては、Cr、Ni、Rh、Al、Ag、Co、Fe、Si、Geなどの金
属ないし半導体の単体や、これらの金属ないし半導体の
少なくとも１種を含む合金などが用いられる。合金の例
としては、インコネル（Ni80重量％、Cr14重量％、Fe6
重量％から主として構成され、その他の不純物を微量含
む）やクロメル（Ni80重量％、Cr20重量％から主として
構成され、その他の不純物を微量含む）が挙げられる。
金属ないし半導体膜は、１層の金属ないし半導体層によ
って形成しても良いが、特に反射鏡の反射率を可視領域
で上げるには、１層の金属ないし半導体膜上にさらに反
射率の高い異種の金属ないし半導体膜を形成することも
できる。また３種以上の金属ないし半導体層を形成して
もよい。
であり、反射率が30％以上、特に50〜80％であるものを
用いるのが好ましい。このような金属ないし半導体膜と
しては、Cr、Ni、Rh、Al、Ag、Co、Fe、Si、Geなどの金
属ないし半導体の単体や、これらの金属ないし半導体の
少なくとも１種を含む合金などが用いられる。合金の例
としては、インコネル（Ni80重量％、Cr14重量％、Fe6
重量％から主として構成され、その他の不純物を微量含
む）やクロメル（Ni80重量％、Cr20重量％から主として
構成され、その他の不純物を微量含む）が挙げられる。
金属ないし半導体膜は、１層の金属ないし半導体層によ
って形成しても良いが、特に反射鏡の反射率を可視領域
で上げるには、１層の金属ないし半導体膜上にさらに反
射率の高い異種の金属ないし半導体膜を形成することも
できる。また３種以上の金属ないし半導体層を形成して
もよい。
この金属ないし半導体膜の形成方法としては、後記誘
電体膜の場合と同様のコーティング方法（蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法など）
が採用される。
電体膜の場合と同様のコーティング方法（蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法など）
が採用される。
次に、前記金属ないし半導体膜上に設けられる誘電体
膜について説明すると、この誘電体膜は、１層以上の屈
折率物質層からなる光学膜厚が３λ0/4（λ０は設計の
中心となる光の波長であり、多層膜表面反射鏡の分光反
射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有す
ることになるように設定される）の誘電体膜である。こ
こに前記屈折率物質層は、屈折率が1.3〜2.4の屈折率物
質によって形成するのが好ましく、このような屈折率物
質としては、SiO,TiO2,Ta2O5,ZrO2,SiO2,HfO2、Al2O3等
の酸化物やMgF2,CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物および
これらの混合物が適宜用いられる。
膜について説明すると、この誘電体膜は、１層以上の屈
折率物質層からなる光学膜厚が３λ0/4（λ０は設計の
中心となる光の波長であり、多層膜表面反射鏡の分光反
射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有す
ることになるように設定される）の誘電体膜である。こ
こに前記屈折率物質層は、屈折率が1.3〜2.4の屈折率物
質によって形成するのが好ましく、このような屈折率物
質としては、SiO,TiO2,Ta2O5,ZrO2,SiO2,HfO2、Al2O3等
の酸化物やMgF2,CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物および
これらの混合物が適宜用いられる。
上記の如く誘電体膜の光学膜厚は３λ0/4に限定され
る。この膜厚を上記に限定した理由は、この限定により
はじめて防眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得
られるからである。
る。この膜厚を上記に限定した理由は、この限定により
はじめて防眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得
られるからである。
光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体膜は、１層の屈折率
物質層によって形成しても良いが、光学膜厚がλ0/4の
１種の屈折率物質層と、これに隣接する、光学膜厚が２
λ0/4の他種の屈折率物質層とによって光学膜厚が３λ0
/4の誘電体膜を形成しても良い。
物質層によって形成しても良いが、光学膜厚がλ0/4の
１種の屈折率物質層と、これに隣接する、光学膜厚が２
λ0/4の他種の屈折率物質層とによって光学膜厚が３λ0
/4の誘電体膜を形成しても良い。
また、光学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質層と、λ0
/4の他種の屈折率物質層と、λ0/4のさらに他種の屈折
率物質層とによって光学膜厚が３λ0/4の誘電体膜を形
成しても良い。さらに光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体
膜は、光学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質と、この両
側に設けられた、光学膜厚がλ0/4の他種の屈折率物質
層によって形成され、両側に設けられた屈折率物質層が
同種のものであっても良い。
/4の他種の屈折率物質層と、λ0/4のさらに他種の屈折
率物質層とによって光学膜厚が３λ0/4の誘電体膜を形
成しても良い。さらに光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体
膜は、光学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質と、この両
側に設けられた、光学膜厚がλ0/4の他種の屈折率物質
層によって形成され、両側に設けられた屈折率物質層が
同種のものであっても良い。
この誘電体膜の形成方法としては、蒸着法、スパッタ
法、イオンプレーティング法等の物理的コーティング方
法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等のコー
ティング方法が挙げられる。
法、イオンプレーティング法等の物理的コーティング方
法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等のコー
ティング方法が挙げられる。
［実施例］ 以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明す
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
実施例１ 第１図（Ａ）は本発明の多層膜表面反射鏡の好ましい
実施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基
板、２はCr膜、３は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚
３λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ０は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）
の屈折率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜
→3M層の順で多層膜が形成されている。この多層膜表面
反射鏡の分光反射特性を第４図に示す。第４図から明ら
かなように、この実施例の多層膜表面反射鏡は、後記比
較例の多層膜表面反射鏡に比べて、暗順応比視感度とヘ
ッドライトの分光エネルギーの積の高い領域にほぼ相当
する480nm〜580nmの反射率が低下しているので、防眩性
にすぐれ、かつ人間の目にとって明るさの感度の低い青
及び赤の波長である400nm〜480nm（青）及び580nm〜700
nm（赤）における反射率が上昇しているので、視認性に
すぐれている。
実施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基
板、２はCr膜、３は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚
３λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ０は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）
の屈折率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜
→3M層の順で多層膜が形成されている。この多層膜表面
反射鏡の分光反射特性を第４図に示す。第４図から明ら
かなように、この実施例の多層膜表面反射鏡は、後記比
較例の多層膜表面反射鏡に比べて、暗順応比視感度とヘ
ッドライトの分光エネルギーの積の高い領域にほぼ相当
する480nm〜580nmの反射率が低下しているので、防眩性
にすぐれ、かつ人間の目にとって明るさの感度の低い青
及び赤の波長である400nm〜480nm（青）及び580nm〜700
nm（赤）における反射率が上昇しているので、視認性に
すぐれている。
実施例２ 第１図（Ｂ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、12
はCr膜、13はRh膜、14は屈折率1.46のSiO2からなる光学
膜厚３λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光
の波長は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）
屈折率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の多
層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→
Rh膜→3M層の順で多層膜が形成されている。
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、12
はCr膜、13はRh膜、14は屈折率1.46のSiO2からなる光学
膜厚３λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光
の波長は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）
屈折率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の多
層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→
Rh膜→3M層の順で多層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は第５図より明らかなように、
実施例１の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。また実施
例１の多層膜表面反射鏡よりも全体的に反射率が向上し
ており、高反射性を有している。
実施例１の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。また実施
例１の多層膜表面反射鏡よりも全体的に反射率が向上し
ており、高反射性を有している。
実施例３ 第１図（Ｃ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、22
はGe膜、23は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚３λ0/
4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）の屈折
率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の多層膜
表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜→3M層
の順で多層膜が形成されている。
例の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、22
はGe膜、23は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚３λ0/
4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は540nmであり、従って３λ0/4は405nmである）の屈折
率膜層（3M層）である。すなわち、この実施例の多層膜
表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜→3M層
の順で多層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は、第６図に示すように、実施
例１の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
例１の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例４ 第１図（Ｄ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、32
はCr膜、33は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、34は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚
２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成
されている（なお、M1層と2M2層によって光学膜厚３λ0
/4の屈折率膜層（3M層）が形成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、32
はCr膜、33は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、34は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚
２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成
されている（なお、M1層と2M2層によって光学膜厚３λ0
/4の屈折率膜層（3M層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は、第４図に示された実施例１
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。
実施例５ 第１図（Ｅ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、42
はCr膜、43はRh膜、44は屈折率1.46のSiO2からなる光学
膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の
波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）
の屈折率膜層（M1層）、45は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）で
ある。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は、ガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→Rh膜→M1層→2M2層
の順で多層膜が形成されている（なおM1層と2M2層によ
って光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形成され
ている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、42
はCr膜、43はRh膜、44は屈折率1.46のSiO2からなる光学
膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の
波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）
の屈折率膜層（M1層）、45は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）で
ある。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は、ガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→Rh膜→M1層→2M2層
の順で多層膜が形成されている（なおM1層と2M2層によ
って光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形成され
ている）。
この多層膜表面反射鏡は第５図に示された実施例２の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。また高反射性を有してい
る。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。また高反射性を有してい
る。
実施例６ 第１図（Ｆ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、52
はGe膜、53は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、54は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚
２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からGe膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成
されている（なおM1層と2M2層よって光学膜厚３λ0/4の
屈折率膜層（3M層）が形成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、52
はGe膜、53は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、54は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚
２λ0/4（270nm）の屈折率膜層（2M2層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からGe膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成
されている（なおM1層と2M2層よって光学膜厚３λ0/4の
屈折率膜層（3M層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第６図に示された、実施例３
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。
実施例７ 第１図（Ｇ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、61はガラス基板、62
はCr膜、63は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λｏは
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、64は屈折率1.63のCeF3からなる光学膜層λ
0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、65は屈折率1.46の
SiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M3
層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡
はガラス基板の片面に基板側からCr膜→M1層→M2層→M3
層の順で多層膜が形成されている（なおM1層とM2層とM3
層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形
成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、61はガラス基板、62
はCr膜、63は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λｏは
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜
層（M1層）、64は屈折率1.63のCeF3からなる光学膜層λ
0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、65は屈折率1.46の
SiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M3
層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡
はガラス基板の片面に基板側からCr膜→M1層→M2層→M3
層の順で多層膜が形成されている（なおM1層とM2層とM3
層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形
成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第４図に示した実施例１の多
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
実施例８ 第１図（Ｈ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、71はガラス基板、72
はCr膜、73はRh膜、74は屈折率1.63のAl2O3からなる光
学膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光
の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmであ
る）の屈折率膜層（M1層）、75は屈折率1.63のCeF3から
なる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、76
は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の
屈折率膜厚（M3層）である。すなわち、この実施例の多
層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→
Rh膜→M1層→M2層→M3層の順で多層膜が形成されている
（なおM1層とM2層とM3層によって光学膜厚３λ0/4の屈
折率膜層（3M層）が形成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、71はガラス基板、72
はCr膜、73はRh膜、74は屈折率1.63のAl2O3からなる光
学膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光
の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmであ
る）の屈折率膜層（M1層）、75は屈折率1.63のCeF3から
なる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、76
は屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の
屈折率膜厚（M3層）である。すなわち、この実施例の多
層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→
Rh膜→M1層→M2層→M3層の順で多層膜が形成されている
（なおM1層とM2層とM3層によって光学膜厚３λ0/4の屈
折率膜層（3M層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は、第５図に示された、実施例
２の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防
眩性および視認性にすぐれている。また高い反射性を有
している。
２の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防
眩性および視認性にすぐれている。また高い反射性を有
している。
実施例９ 第１図（Ｉ）は、本発明の多層膜表面反射鏡の他の実
施例の要部拡大断面図であり、図中、81はガラス基板、
82はGe膜、83は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0
/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率
膜層（M1層）、84は屈折率1.63のCeF2からなる光学膜厚
λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、85は屈折率1.46
のSiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層
（M3層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層→M2
層→M3層の順で多層膜が形成されている（なおM1層とM2
層とM3層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M
層）が形成されている）。
施例の要部拡大断面図であり、図中、81はガラス基板、
82はGe膜、83は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0
/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０
は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率
膜層（M1層）、84は屈折率1.63のCeF2からなる光学膜厚
λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、85は屈折率1.46
のSiO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層
（M3層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層→M2
層→M3層の順で多層膜が形成されている（なおM1層とM2
層とM3層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M
層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第６図に示された実施例３の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
実施例10 第１図（Ｊ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面大図であり、図中、91はガラス基板、
92はCr膜、93は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0
/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長は54
0nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜層
（M1層）、94は屈折率1.63のCeF3からなる光学膜厚λ0/
4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、95は屈折率1.63のAl
2O3からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率層（M
1層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射
鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→M1層→M2層→
M1層の順で多層膜が形成されている（なお２つのM1層と
１つのM2層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M
層）が形成されている）。
例の要部拡大断面大図であり、図中、91はガラス基板、
92はCr膜、93は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0
/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長は54
0nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折率膜層
（M1層）、94は屈折率1.63のCeF3からなる光学膜厚λ0/
4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、95は屈折率1.63のAl
2O3からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率層（M
1層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射
鏡はガラス基板の片面に基板側からCr膜→M1層→M2層→
M1層の順で多層膜が形成されている（なお２つのM1層と
１つのM2層によって光学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M
層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第４図に示された実施例１の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
実施例11 第１図（Ｋ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、101はガラス基板、1
02はCr膜、103はRh膜、104は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心とな
る光の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmで
ある）の屈折率膜層（M1層）、105は屈折率1.63のCeF3
からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M
2層）、106は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4
（135nm）の屈折率膜層（M1層）である。すなわち、こ
の実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板
側からCr膜→Rh膜→M1層→M2層→M1層の順で多層膜が形
成されている（なお２つのM1層と１つのM2層によって光
学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形成されてい
る）。
例の要部拡大断面図であり、図中、101はガラス基板、1
02はCr膜、103はRh膜、104は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚λ0/4（本実施例において、設計の中心とな
る光の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmで
ある）の屈折率膜層（M1層）、105は屈折率1.63のCeF3
からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M
2層）、106は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4
（135nm）の屈折率膜層（M1層）である。すなわち、こ
の実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板
側からCr膜→Rh膜→M1層→M2層→M1層の順で多層膜が形
成されている（なお２つのM1層と１つのM2層によって光
学膜厚３λ0/4の屈折率膜層（3M層）が形成されてい
る）。
この多層膜表面反射鏡は第５図に示された実施例２の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。また高い反射性を有して
いる。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。また高い反射性を有して
いる。
実施例12 第１図（Ｌ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、111はガラス基板、1
12はGe膜、113は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ
0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ
０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折
率膜層（M1層）、114は屈折率1.63のCeF3からなる光学
膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、115は屈折
率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折
率膜層（M1層）である。すなわち、この実施例の多層膜
表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層
→M2層→M1層の順で多層膜が形成されている（なお２つ
のM1層と１つのM2層によって化学膜厚３λ0/4の屈折率
膜層（3M層）が形成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、111はガラス基板、1
12はGe膜、113は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ
0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ
０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の屈折
率膜層（M1層）、114は屈折率1.63のCeF3からなる光学
膜厚λ0/4（135nm）の屈折率膜層（M2層）、115は屈折
率1.63のAl2O3からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の屈折
率膜層（M1層）である。すなわち、この実施例の多層膜
表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層
→M2層→M1層の順で多層膜が形成されている（なお２つ
のM1層と１つのM2層によって化学膜厚３λ0/4の屈折率
膜層（3M層）が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第６図に示された実施例３の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
実施例１〜12における誘電体膜の各層を等価膜に置き
換えても同様の反射特性が得られる。
換えても同様の反射特性が得られる。
比較例 第７図（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施例１の多層膜表
面反射鏡において、屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚
３λ0/4の屈折率層（3M層）を、同一物質で光学膜厚２
λ0/4の屈折率膜層（2M層）、光学膜厚４λ0/4の屈折率
膜層（4M層）にそれぞれ変えた、比較例の多層膜表面反
射鏡の要部拡大断面図であり、図中、121、131はガラス
基板、122,132はCr膜、123は2M層、133は4M層である。
すなわちこの比較例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の
片面に基板側からCr膜→2M層（または4M層）の順で多層
膜が形成されている。
面反射鏡において、屈折率1.46のSiO2からなる光学膜厚
３λ0/4の屈折率層（3M層）を、同一物質で光学膜厚２
λ0/4の屈折率膜層（2M層）、光学膜厚４λ0/4の屈折率
膜層（4M層）にそれぞれ変えた、比較例の多層膜表面反
射鏡の要部拡大断面図であり、図中、121、131はガラス
基板、122,132はCr膜、123は2M層、133は4M層である。
すなわちこの比較例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の
片面に基板側からCr膜→2M層（または4M層）の順で多層
膜が形成されている。
この比較例の多層膜表面反射鏡の分光反射特性を第８
図に示す（なお図中、（１）は曲線のCr膜上に2M層を有
する場合、（２）の曲線はCr膜上に4M層を有する場合に
該当する）。
図に示す（なお図中、（１）は曲線のCr膜上に2M層を有
する場合、（２）の曲線はCr膜上に4M層を有する場合に
該当する）。
第８図から明らかなように、比較例の多層膜表面反射
鏡は、実施例１〜12の多層膜表面反射鏡と異なり、暗順
応比視感度とヘッドライトの分光エネルギーの積の高い
領域480−550nmの反射率が高くなっているので、防眩性
が悪く、かつ人間にとって明るさの感度の低い青及び赤
の波長である430nm〜480nm（青）及び580nm〜700nm
（赤）における反射率が低くなっているため視認性も悪
くなっている。
鏡は、実施例１〜12の多層膜表面反射鏡と異なり、暗順
応比視感度とヘッドライトの分光エネルギーの積の高い
領域480−550nmの反射率が高くなっているので、防眩性
が悪く、かつ人間にとって明るさの感度の低い青及び赤
の波長である430nm〜480nm（青）及び580nm〜700nm
（赤）における反射率が低くなっているため視認性も悪
くなっている。
よって防眩性および視認性をも多層膜表面反射鏡を得
るためには実施例１〜12及び比較例からわかるようにガ
ラス基板の片面に基板側から金属ないし半導体膜及び光
学膜厚３λ0/4の3M層をこの順で形成させることが必須
であることが明らかとなった。
るためには実施例１〜12及び比較例からわかるようにガ
ラス基板の片面に基板側から金属ないし半導体膜及び光
学膜厚３λ0/4の3M層をこの順で形成させることが必須
であることが明らかとなった。
［発明の効果］ 本発明の多層膜表面反射鏡は次のような技術的効果を
有する。
有する。
（ｉ）防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第４〜６図から明らかなように、第
２図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）×Ｖ′
（λ）の値の大きな領域にほぼ相当する480nmから580nm
で反射率が低いので防眩効果にすぐれている。
２図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）×Ｖ′
（λ）の値の大きな領域にほぼ相当する480nmから580nm
で反射率が低いので防眩効果にすぐれている。
（ii）視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第４〜６図に示すように防眩に必要
な波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射
率が高くなっているので、すぐれた視認性が確保され
る。
な波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射
率が高くなっているので、すぐれた視認性が確保され
る。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域
（490〜580nm）の反射率を青の領域（400〜480nm）や赤
の領域（590〜750nm）よりも下げてあり、結果として
青、赤の目の感度の低い色を増感することから色の分別
性（コントラスト）が向上するという利点もある。
（490〜580nm）の反射率を青の領域（400〜480nm）や赤
の領域（590〜750nm）よりも下げてあり、結果として
青、赤の目の感度の低い色を増感することから色の分別
性（コントラスト）が向上するという利点もある。
（iii）装飾性、ファッション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、
その反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色
は高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
その反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色
は高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
（iv）生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体
膜の層数が少ないことおよびこの誘電体膜と金属ないし
半導体膜とを同一の成膜手段によって形成することがで
きること等の利点を有するので、形成される誘電体多層
膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必要な、
前記特開昭63−165805号公報の反射鏡の場合と異なり、
生産性及びコスト性にすぐれている。
膜の層数が少ないことおよびこの誘電体膜と金属ないし
半導体膜とを同一の成膜手段によって形成することがで
きること等の利点を有するので、形成される誘電体多層
膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必要な、
前記特開昭63−165805号公報の反射鏡の場合と異なり、
生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、層数が少ないにも拘
らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光線カット性等の
利点を有する多層膜表面反射鏡が提供された。
らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光線カット性等の
利点を有する多層膜表面反射鏡が提供された。
第１図は本発明の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、
第２図は人間の目の暗順応比視感度および自動車前照灯
の分光エネルギー特性並びにそれらの積である人間の目
に感じる自動車前照灯の分光エネルギー特性図、第３図
は従来の反射鏡の分光反射特性図、第４図、第５図及び
第６図は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第７図は比
較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、第８図は比
較例の反射鏡の分光反射特性図である。
第２図は人間の目の暗順応比視感度および自動車前照灯
の分光エネルギー特性並びにそれらの積である人間の目
に感じる自動車前照灯の分光エネルギー特性図、第３図
は従来の反射鏡の分光反射特性図、第４図、第５図及び
第６図は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第７図は比
較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、第８図は比
較例の反射鏡の分光反射特性図である。
Claims (6)
- 【請求項１】基材の片面に金属ないし半導体膜を設け、
さらにその上に１層以上の屈折率物質層からなる光学膜
厚が３λ0/4（λ０は設計の中心となる光の波長であ
り、多層膜表面反射鏡の分光反射率特性が波長域480nm
〜580nmに反射率の低い谷を有することになるように設
定される）の誘電体膜を設けてなり、 該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性が波
長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有する ことを特徴とする多層膜表面反射鏡。 - 【請求項２】光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体膜が、１
層の屈折率物質層によって形成されている、請求項１に
記載の多層膜表面反射鏡。 - 【請求項３】光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体膜が、光
学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質層と、光学膜厚が２
λ0/4の他種の屈折率物質層とによって形成されてい
る、請求項１に記載の多層膜表面反射鏡。 - 【請求項４】光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体膜が、光
学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質層と、光学膜厚がλ0
/4の他種の屈折率物質層と、光学膜厚がλ0/4のさらに
他種の屈折率物質層とによって形成されている、請求項
１に記載の多層膜表面反射鏡。 - 【請求項５】光学膜厚が３λ0/4の前記誘電体膜が、光
学膜厚がλ0/4の１種の屈折率物質層と、この両側に設
けられた、光学膜厚がλ0/4の他種の屈折率物質層とに
よって形成され、両側に設けられた屈折率物質層が同種
のものである、請求項１に記載の多層膜表面反射鏡。 - 【請求項６】金属ないし半導体膜が１層又は２層以上の
金属ないし半導体層によって形成されている、請求項１
〜請求項５のいずれかに記載の多層膜表面反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63303012A JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63303012A JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148003A JPH02148003A (ja) | 1990-06-06 |
| JP2719375B2 true JP2719375B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=17915878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63303012A Expired - Lifetime JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2719375B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0933959A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Olympus Optical Co Ltd | 位相制御膜構造体 |
| JPWO2018216122A1 (ja) * | 2017-05-23 | 2020-01-16 | 株式会社島津製作所 | 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59188602A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-26 | Nippon Soken Inc | 自動車用反射鏡 |
| JP2509922B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1996-06-26 | ホーヤ 株式会社 | 多層膜表面反射鏡 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP63303012A patent/JP2719375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02148003A (ja) | 1990-06-06 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |
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