JPS61189501A - 透明低反射板 - Google Patents
透明低反射板Info
- Publication number
- JPS61189501A JPS61189501A JP60031331A JP3133185A JPS61189501A JP S61189501 A JPS61189501 A JP S61189501A JP 60031331 A JP60031331 A JP 60031331A JP 3133185 A JP3133185 A JP 3133185A JP S61189501 A JPS61189501 A JP S61189501A
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- JP
- Japan
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- layer
- refractive index
- reflectance
- substrate
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は透明基板表面に３層の反射防止膜なコーティビ
グした透明低反射板、特にＣＲＴの破損防止及び破損時
のガラス破片飛散防止のために（ｔＲＴの前面に使用す
るのに適した中心波長付近の反射光を低減した透明低反
射板−関する。
グした透明低反射板、特にＣＲＴの破損防止及び破損時
のガラス破片飛散防止のために（ｔＲＴの前面に使用す
るのに適した中心波長付近の反射光を低減した透明低反
射板−関する。
従来の技術
従来からガラス板の表面に単層あるいは多層の反射防止
膜をコーティングした透明低反射板が知られている。反
射防止膜の最も一般的なものの一つとして次に述べる構
成の３層反射膜が知られている。この３層の反射防止膜
は空気側から基板側へ順に第１層、第２層、及び第３層
とすると、第１層に低屈折率（屈折率ｎｌ−／、ｊざ）
のＭｇＦ２．第２層ニ高屈折率（屈折率ｎ２−２．０−
２．／ ）のＺｒＯ２とＴｉＯ２又はＺｒＯとＴｉＯ２
との混合物、第３層にガラス板の屈折率と第２層の屈折
率の中間の屈折率（屈折率ｎ３−／、Ａ３）をも”）
ＡＡ！２０３又はＣｊｅＦ３ ヲ用い、中心波長をＡ０
とすると各層の光学膜厚を第１層より順にＡ０ ／４’
ｅλ０／２．λｏ／ダとしたものである。これらの反
射防止膜は真空蒸着法でガラス板表面に形成されるので
あるが、第２層にＺｒＯを蒸着する際、蒸着時間の経過
とともに屈折率が低下し、基板側から空気側に向って屈
折率が低下するので、中心波長λ０付近の反射率が増大
する欠点があった。この欠点を防ぐため、真空蒸着する
際、蒸着時間の経過により屈折率の一定な膜を形成する
ＺｒＯ２とＴｉＯ２との混合物質を第２層とした反射防
止膜も知られている。
膜をコーティングした透明低反射板が知られている。反
射防止膜の最も一般的なものの一つとして次に述べる構
成の３層反射膜が知られている。この３層の反射防止膜
は空気側から基板側へ順に第１層、第２層、及び第３層
とすると、第１層に低屈折率（屈折率ｎｌ−／、ｊざ）
のＭｇＦ２．第２層ニ高屈折率（屈折率ｎ２−２．０−
２．／ ）のＺｒＯ２とＴｉＯ２又はＺｒＯとＴｉＯ２
との混合物、第３層にガラス板の屈折率と第２層の屈折
率の中間の屈折率（屈折率ｎ３−／、Ａ３）をも”）
ＡＡ！２０３又はＣｊｅＦ３ ヲ用い、中心波長をＡ０
とすると各層の光学膜厚を第１層より順にＡ０ ／４’
ｅλ０／２．λｏ／ダとしたものである。これらの反
射防止膜は真空蒸着法でガラス板表面に形成されるので
あるが、第２層にＺｒＯを蒸着する際、蒸着時間の経過
とともに屈折率が低下し、基板側から空気側に向って屈
折率が低下するので、中心波長λ０付近の反射率が増大
する欠点があった。この欠点を防ぐため、真空蒸着する
際、蒸着時間の経過により屈折率の一定な膜を形成する
ＺｒＯ２とＴｉＯ２との混合物質を第２層とした反射防
止膜も知られている。
発明が解決しようとする問題点
そのような反射防止膜は例えば中心波長をλ〇−！；
／ Ｏｎｍにすると第３図（Ｃ１に示すように可視波長
領域（ｔｔｏｏ〜７００ｎｍ）における反射抑制効果が
得られる。しかしながらこの反射防止膜でも人間の目に
感じやすい中心波長λ０−ｊ１０ｎｍ付近の反射率が０
．２層程度となり、緑色の反射光が目立ち、この反射防
止膜を有する透明低反射板を、ＣＲＴ使用のディスプレ
イ装置の前面ガラス板として用いた場合にＣＲＴ画面の
視認性の向上を妨げる欠点があった。
／ Ｏｎｍにすると第３図（Ｃ１に示すように可視波長
領域（ｔｔｏｏ〜７００ｎｍ）における反射抑制効果が
得られる。しかしながらこの反射防止膜でも人間の目に
感じやすい中心波長λ０−ｊ１０ｎｍ付近の反射率が０
．２層程度となり、緑色の反射光が目立ち、この反射防
止膜を有する透明低反射板を、ＣＲＴ使用のディスプレ
イ装置の前面ガラス板として用いた場合にＣＲＴ画面の
視認性の向上を妨げる欠点があった。
本発明は３層の反射防止膜をコーティングした透明低反
射板であって、中心波長λ０付近の反射率を更に低減し
た透過画像の視認性の優れた透明低反射板を得ることに
ある。
射板であって、中心波長λ０付近の反射率を更に低減し
た透過画像の視認性の優れた透明低反射板を得ることに
ある。
問題点を解決するための手段
本発明は中心波長λ０付近の反射率を低減するため、透
明基板表面に積層される３層の反射防止膜を有する透明
低反射板の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から
空気側に向って増大した分布を持たせる。
明基板表面に積層される３層の反射防止膜を有する透明
低反射板の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から
空気側に向って増大した分布を持たせる。
すなわち、本発明は透明基板表面に積層された３層の反
射防止膜を有する表面反射を低減させた低反射板におい
て、該３層の反射防止膜の空気側より基板側に敢えて第
２層目の反射防止膜の屈折率が基板側から空気側に向っ
て増大していることを特徴とする透明低反射板を提供す
るものである。
射防止膜を有する表面反射を低減させた低反射板におい
て、該３層の反射防止膜の空気側より基板側に敢えて第
２層目の反射防止膜の屈折率が基板側から空気側に向っ
て増大していることを特徴とする透明低反射板を提供す
るものである。
本発明において、第１層の低屈折率層を形成する材料と
して屈折率ｎ１がｎｌ−／、３０〜八ｌｊの範囲にある
ＭｇＦ ２が使用でき、第２層の高屈折率層を形成する
材料として屈折率ｎ２がｎ２−／、９！；ＳＡ、１５の
範囲にあるＺｒＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１のいずれかとＴｉ０
２ｔＴａ２Ｑ５．ＣｅＯ２のいずれかとの混合物、又は
Ｉｎ２Ｏ３と５ｎ０２等の混合物が使用でき、第３層の
中屈折率層を形成する材料として、屈折率ｎ３がｎ３−
／、６０〜１．８０の範囲にあるＡＩ！２０３ ｙＣｅ
Ｆ３ｙＴ１１０２等が使用でき、第１層から順にその光
学膜厚ｎ１ｄｌ 。
して屈折率ｎ１がｎｌ−／、３０〜八ｌｊの範囲にある
ＭｇＦ ２が使用でき、第２層の高屈折率層を形成する
材料として屈折率ｎ２がｎ２−／、９！；ＳＡ、１５の
範囲にあるＺｒＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１のいずれかとＴｉ０
２ｔＴａ２Ｑ５．ＣｅＯ２のいずれかとの混合物、又は
Ｉｎ２Ｏ３と５ｎ０２等の混合物が使用でき、第３層の
中屈折率層を形成する材料として、屈折率ｎ３がｎ３−
／、６０〜１．８０の範囲にあるＡＩ！２０３ ｙＣｅ
Ｆ３ｙＴ１１０２等が使用でき、第１層から順にその光
学膜厚ｎ１ｄｌ 。
ｎ２ｄ２＊ｎ３ｄ３を夫々ほぼｎ１ｄ４−λ０／” ｙ
” ２ｄ ２−２’０／Ｊ Ｈｎ３ｄ３＝λ０／４’
（但しＡ０は中心波長）とし、透明基板に屈折率がへ弘
９〜／、！；７のものを用いるのが好ましい。そして第
２層は空気側の屈折率と基板側の屈折率との差が０．０
２以上の膜であることが好ましい。またそのような膜は
ＺｒＯ２とＴｉＯ２等との混合物を蒸着条件を変化させ
ることにより得ることができる。
” ２ｄ ２−２’０／Ｊ Ｈｎ３ｄ３＝λ０／４’
（但しＡ０は中心波長）とし、透明基板に屈折率がへ弘
９〜／、！；７のものを用いるのが好ましい。そして第
２層は空気側の屈折率と基板側の屈折率との差が０．０
２以上の膜であることが好ましい。またそのような膜は
ＺｒＯ２とＴｉＯ２等との混合物を蒸着条件を変化させ
ることにより得ることができる。
作 用
本発明による３層の反射防止膜を有する透明低反射板は
その３層の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から
空気側に向って増大した分布をもたせたことにより、中
心波長λ０付近の反射率が低減される。
その３層の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から
空気側に向って増大した分布をもたせたことにより、中
心波長λ０付近の反射率が低減される。
実施例
以下、本発明の実施例について詳述する。
実施例１
第１図は本発明の構成を示す縦断面であり、（ＡＪは空
気層、（Ｂ）は屈折率が八！２の基板ガラス、（Ｃ）は
基板ガラス（Ｂ）の表面にコーティングされた反射防止
膜で、反射防止膜（Ｃ）は空気（Ａｔ側から基板ガラス
（Ｂｌ側へ順に第１層（１）、第２層（２）、第３層（
３）の３層構造である。そして第３層（３）は屈折率が
７．６３で、且つ厚みが２０ ｆ ｎｍのＡＪｇ０３膜
を真空蒸着法により形成し、第２層（２）は厚み方向の
平均屈折率が２．１０で、且つ厚みがｊｊｇｎｍのＺｒ
Ｏ２とＴｉＯ２の混合物膜を真空蒸着法により形成し、
第１層（１）は屈折率が八３１で、且つ厚みが／ ７６
ｎｍのＭｇ２Ｆｇ膜を真空蒸着法により形成した。第
２層（２）を形成するＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物膜は
真空蒸着時基板ガラス温度を約２６０”Ｃ雰囲気中の酸
素分圧を約／Ｘ１Ｏ−４ｔＯｒｒ程度に一定とすると膜
の蒸着速度と屈折率（測定波長タダＯｎｍ）との間に第
４！図に示すような関係が得られるので、第２層（２）
の膜は蒸着速度を変えて第２図（（転）に示すように基
板ガラス側の２６ ｔ ｎｍの厚みは屈折率が２．０７
、空気側への２６ｒｎｍは屈折率が２．第２になるよ
うに形成される、得られた４明低反射板は第３図（ａ）
のような分光反射率を呈した。
気層、（Ｂ）は屈折率が八！２の基板ガラス、（Ｃ）は
基板ガラス（Ｂ）の表面にコーティングされた反射防止
膜で、反射防止膜（Ｃ）は空気（Ａｔ側から基板ガラス
（Ｂｌ側へ順に第１層（１）、第２層（２）、第３層（
３）の３層構造である。そして第３層（３）は屈折率が
７．６３で、且つ厚みが２０ ｆ ｎｍのＡＪｇ０３膜
を真空蒸着法により形成し、第２層（２）は厚み方向の
平均屈折率が２．１０で、且つ厚みがｊｊｇｎｍのＺｒ
Ｏ２とＴｉＯ２の混合物膜を真空蒸着法により形成し、
第１層（１）は屈折率が八３１で、且つ厚みが／ ７６
ｎｍのＭｇ２Ｆｇ膜を真空蒸着法により形成した。第
２層（２）を形成するＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物膜は
真空蒸着時基板ガラス温度を約２６０”Ｃ雰囲気中の酸
素分圧を約／Ｘ１Ｏ−４ｔＯｒｒ程度に一定とすると膜
の蒸着速度と屈折率（測定波長タダＯｎｍ）との間に第
４！図に示すような関係が得られるので、第２層（２）
の膜は蒸着速度を変えて第２図（（転）に示すように基
板ガラス側の２６ ｔ ｎｍの厚みは屈折率が２．０７
、空気側への２６ｒｎｍは屈折率が２．第２になるよ
うに形成される、得られた４明低反射板は第３図（ａ）
のような分光反射率を呈した。
実施例コ
実施例１と同様に基板ガラス上に反射防止膜Ｃとして第
３層（３）として屈折率が八６３で且つ厚みが２ｏ ｒ
ｎｍのＡｌ２Ｏ３膜を、第２層（２）として厚み方向
の平均屈折率が２．／ ０で、且つ厚みがｓｓｔｎｍの
ＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物膜を、第１層（１）として
屈折率が八３１で、且つ厚みが／ ７ ＆ ｎｍのＭｇ
２Ｆ２膜をした。
３層（３）として屈折率が八６３で且つ厚みが２ｏ ｒ
ｎｍのＡｌ２Ｏ３膜を、第２層（２）として厚み方向
の平均屈折率が２．／ ０で、且つ厚みがｓｓｔｎｍの
ＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物膜を、第１層（１）として
屈折率が八３１で、且つ厚みが／ ７ ＆ ｎｍのＭｇ
２Ｆ２膜をした。
得られた透明低反射板は第３図（ｂ）のような分光反射
率を呈した。
率を呈した。
発明の効果
以上のように本発明は３層の反射防止膜を有する透明低
反射板の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から空
気側に向って増大した分布をもたせることにより、人間
の目の感度が高い中心波長（ｊ／（７層ｍ）付近の反射
率をきわめて小さくすることができ、光の残存反射率を
低くできるので、本発明に係る反射板ＣＲＴ表示装置の
前面に用いれば室内照明光などの反射による画像が見に
くくなることを防ぎ、表示画面を利用する作業者の目の
疲れ等を防ぐことができる。
反射板の第２層目の反射防止膜の屈折率を基板側から空
気側に向って増大した分布をもたせることにより、人間
の目の感度が高い中心波長（ｊ／（７層ｍ）付近の反射
率をきわめて小さくすることができ、光の残存反射率を
低くできるので、本発明に係る反射板ＣＲＴ表示装置の
前面に用いれば室内照明光などの反射による画像が見に
くくなることを防ぎ、表示画面を利用する作業者の目の
疲れ等を防ぐことができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は透
明低反射板の縦断面図、第２図は反射防止膜の第２層目
の屈折率分布を示し、第３図は透明低反射板の分光反射
特性（但し、（Ｃ）は従来の透明低反射板によるもの）
であり、第１図はＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物の蒸着速
度と成形膜の屈折率との関係を示す図である。 Ａ：空気層 Ｂ：基 板 Ｃ：反射防止膜ｌ：反射
防止膜の第１層 ２＝第２層３：第３層 第１図 第２図 叩Ｊ−力りり巾１！ （中１叱籏蚤χ０）第３図 第４図 豫Ａ速度試／５ｅｃ） 手 続 補 正 書 昭和６０年３月２ｑ日 特許庁長官殿 “゛・亭゛−上ゝ ／ 事件の表示 特願昭６０−．３／３３／号 −０発明の名称 透明低反射板 ３ 補正をする者 事件と、の関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町４丁目８番地名 称
（ｌθθ）日本板硝子株式会社代表者 刺 賀 信
雄 グ代理人 ２、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５７．：１７”
１１”−゛−−゛ ｊ、ミ・’：１． ）ｙ。 ２ 補正の内容 （１）明細書第７頁第３行目の「厚みが２０１ｎｍ Ｊ
を「光学的厚みが／２１ｎｍ Ｊに補正する。 （２）明細書筒７頁第ｊ行目の「厚みがｊＪＧｎｍＪを
「光学的厚みが、２ｊＧｎｍＪに補正する。 （３）明細書第７頁第７行目の「厚みが１７６ｎｍＪを
「光学的厚みがｌコｒｎｍＪに補正する。 （４）明細書第７頁第１０行目の「約２６０℃雰囲気中
」を「約２６０℃、雰囲気中」に補正する。 （５）明細書筒７頁第ｉｓ行目のｒＦ４ｒｎｍの厚み」
を「／２ｒｎｍの厚み」に補正する。 （６）明細書第７頁第７６行目の［２６，ｒｎｍＪをｒ
／２１ｎｍＪに補正する。 （７）明細書第１頁第１行目から同第２行目の「厚みが
２０１ｎｍ Ｊを「厚みが／２１ｎｍ Ｊに補正する。 （８）明細書第１頁第３行目の「厚みがｊｊ４ｎｍ Ｊ
を「光学的厚みがＪｊ６ｎｌｎＪに補正する。 （９） 明細書筒１頁第ｊ行目の［厚みが／７４ｎｍ
Ｊを［光学的厚みが／Ｊ／ｎｆｆ１Ｊに補正する。 以上
明低反射板の縦断面図、第２図は反射防止膜の第２層目
の屈折率分布を示し、第３図は透明低反射板の分光反射
特性（但し、（Ｃ）は従来の透明低反射板によるもの）
であり、第１図はＺｒＯ２とＴｉＯ２の混合物の蒸着速
度と成形膜の屈折率との関係を示す図である。 Ａ：空気層 Ｂ：基 板 Ｃ：反射防止膜ｌ：反射
防止膜の第１層 ２＝第２層３：第３層 第１図 第２図 叩Ｊ−力りり巾１！ （中１叱籏蚤χ０）第３図 第４図 豫Ａ速度試／５ｅｃ） 手 続 補 正 書 昭和６０年３月２ｑ日 特許庁長官殿 “゛・亭゛−上ゝ ／ 事件の表示 特願昭６０−．３／３３／号 −０発明の名称 透明低反射板 ３ 補正をする者 事件と、の関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町４丁目８番地名 称
（ｌθθ）日本板硝子株式会社代表者 刺 賀 信
雄 グ代理人 ２、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５７．：１７”
１１”−゛−−゛ ｊ、ミ・’：１． ）ｙ。 ２ 補正の内容 （１）明細書第７頁第３行目の「厚みが２０１ｎｍ Ｊ
を「光学的厚みが／２１ｎｍ Ｊに補正する。 （２）明細書筒７頁第ｊ行目の「厚みがｊＪＧｎｍＪを
「光学的厚みが、２ｊＧｎｍＪに補正する。 （３）明細書第７頁第７行目の「厚みが１７６ｎｍＪを
「光学的厚みがｌコｒｎｍＪに補正する。 （４）明細書第７頁第１０行目の「約２６０℃雰囲気中
」を「約２６０℃、雰囲気中」に補正する。 （５）明細書筒７頁第ｉｓ行目のｒＦ４ｒｎｍの厚み」
を「／２ｒｎｍの厚み」に補正する。 （６）明細書第７頁第７６行目の［２６，ｒｎｍＪをｒ
／２１ｎｍＪに補正する。 （７）明細書第１頁第１行目から同第２行目の「厚みが
２０１ｎｍ Ｊを「厚みが／２１ｎｍ Ｊに補正する。 （８）明細書第１頁第３行目の「厚みがｊｊ４ｎｍ Ｊ
を「光学的厚みがＪｊ６ｎｌｎＪに補正する。 （９） 明細書筒１頁第ｊ行目の［厚みが／７４ｎｍ
Ｊを［光学的厚みが／Ｊ／ｎｆｆ１Ｊに補正する。 以上
Claims (6)
- （１）透明基板表面に積層された３層の反射防止膜を有
する表面反射を低減させた透明な低反射板において、該
３層の反射防止膜の空気側より基板側に数えて第２層目
の反射防止膜の屈折率が基板側から空気側に向って増大
していることを特徴とする透明低反射板。 - （２）透明基板の屈折率が１．４９〜１．５７、該透明
基板表面に積層される３層の反射防止膜が空気側より基
板側に数えて第１層の屈折率ｎ＿１がｎ＿１＝１．３０
〜１．４５、第２層の屈折率ｎ＿２がｎ＿２＝１．９５
〜２．１５、第３層の屈折率ｎ＿３がｎ＿３＝１．６０
〜１．８０であり、第１層より順に、その光学膜厚ｎ＿
１ｄ＿１、ｎ＿２ｄ＿２、ｎ＿３ｄ＿３かつ夫々ほぼｎ
＿１ｄ＿１＝λ＿０／４、ｎ＿２ｄ＿２＝λ＿０／２、
ｎ＿３ｄ＿３＝λ＿０／４（但しλ＿０は中心波長）で
ある特許請求の範囲第１項記載の透明低反射板。 - （３）第２層の空気側表面の屈折率ｎ＿２″と第２層の
基板側表面の屈折率ｎ＿２′との差が０．０２以上の膜
である特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の透明低
反射板。 - （４）第２層がＺｒＯ＿２とＴｉＯ＿２との混合物から
なる特許請求の範囲第２項乃至第３項のいずれかに記載
の透明低反射板。 - （５）第１層がＭｇＦ＿２からなる特許請求の範囲第１
項乃至第４項のいずれかに記載の透明低反射板。 - （６）第３層がＡｌ＿２Ｏ＿３及びＣｅＦ＿３のいずれ
か一方からなる特許請求の範囲第１項乃至第３項のいず
れかに記載の透明低反射板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60031331A JPS61189501A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 透明低反射板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60031331A JPS61189501A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 透明低反射板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189501A true JPS61189501A (ja) | 1986-08-23 |
Family
ID=12328273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60031331A Pending JPS61189501A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 透明低反射板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61189501A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480904A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Transparent plate stuck with conductive antireflection film |
| DE3928939A1 (de) * | 1988-08-31 | 1990-03-01 | Hoya Corp | Vielschichtiger zurueckreflektierender spiegel |
| US5318830A (en) * | 1991-05-29 | 1994-06-07 | Central Glass Company, Limited | Glass pane with reflectance reducing coating |
| US5496621A (en) * | 1993-04-16 | 1996-03-05 | Central Glass Company, Limited | Glass pane with reflectance reducing coating and combiner of head-up display system |
| EP1164112A1 (en) * | 2000-06-16 | 2001-12-19 | Denglas Technologies, LLC | Multilayer antireflection coatings for heat-treatable inorganic substrates and methods for making same |
| US6410173B1 (en) | 1998-11-30 | 2002-06-25 | Denglas Technologies, Llc | Antireflection coatings and other multilayer optical coatings for heat-treatable inorganic substrates and methods for making same |
| JP2007148037A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Tamron Co Ltd | 反射防止膜およびその製造方法 |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP60031331A patent/JPS61189501A/ja active Pending
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