JPS6042445B2 - 多層薄膜光学系 - Google Patents
多層薄膜光学系Info
- Publication number
- JPS6042445B2 JPS6042445B2 JP52119695A JP11969577A JPS6042445B2 JP S6042445 B2 JPS6042445 B2 JP S6042445B2 JP 52119695 A JP52119695 A JP 52119695A JP 11969577 A JP11969577 A JP 11969577A JP S6042445 B2 JPS6042445 B2 JP S6042445B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- optical system
- film
- multilayer
- titanium dioxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は二酸化チタンＴｉＯ２とフッ化マグネシウム
ＭｇＦ２の薄膜の交互層より成る多層薄膜光学系に関す
るものである。
ＭｇＦ２の薄膜の交互層より成る多層薄膜光学系に関す
るものである。
誘電体多層蒸着膜は各種フィルターに用いられている
が、目標とする透過特性を得る為には高屈折率の膜と低
屈折率の膜の屈折率比の大きなものを用いると有利な場
合がある。
が、目標とする透過特性を得る為には高屈折率の膜と低
屈折率の膜の屈折率比の大きなものを用いると有利な場
合がある。
ハードコーテイン・グにおいて、二酸化チタンＴｉＯ。
の膜とフッ化マグネシウムＭｇＦ。の膜は屈折率比も大
きく耐久性に富み有用な組み合せである。 この二酸化
チタンとフッ化マグネシウムより成る多層蒸着膜は、蒸
着時の基板の温度が高いと可視域の短波長側で可成りの
吸収を生じる。
の膜とフッ化マグネシウムＭｇＦ。の膜は屈折率比も大
きく耐久性に富み有用な組み合せである。 この二酸化
チタンとフッ化マグネシウムより成る多層蒸着膜は、蒸
着時の基板の温度が高いと可視域の短波長側で可成りの
吸収を生じる。
例えば基板温度を３００℃にして、二酸化チタン膜の蒸
着時の真空度を１．５〜２×１０−’Ｔｏｒｒ）蒸着ス
ピードを幾可学的膜厚で２〜３Ａ／ｓｅｃ、フッ化マグ
ネシウム膜の蒸着時の真空度を２×１０−５Ｔｏｒｒ）
蒸着スピードを幾可学的膜厚で６〜９八／ｓｅｃの条件
の下で、ＴＩＯ濃を３１４λｏ、ＭｇＦ２膜を１１４λ
Ｏ（但しλ。は設計波長で、λ０＝５００ｎｍである）
の膜厚で交互に蒸着し１０層膜を形成すると、該１０層
膜は可視域の短波長側て可成りの吸収を生じる。この吸
収を除去するには、基板の温度を２３０℃以下にして蒸
着を行なえば良いが、基板を２３０℃以下にすると、前
記蒸着条件で形成したＴｉＯ。膜とＭｇＦ。膜の交互層
より成る多層膜は膜クラックを生じてしまう。本発明は
二酸化チタンＴｉＯ２の膜とフッ化マグネシウムＭｇＦ
２の膜の交互層より成る多層薄膜光学系において、可視
域の短波長側で吸収が無く且つ膜クラックをも生じない
様な多層薄膜光学系を提供するものである。
着時の真空度を１．５〜２×１０−’Ｔｏｒｒ）蒸着ス
ピードを幾可学的膜厚で２〜３Ａ／ｓｅｃ、フッ化マグ
ネシウム膜の蒸着時の真空度を２×１０−５Ｔｏｒｒ）
蒸着スピードを幾可学的膜厚で６〜９八／ｓｅｃの条件
の下で、ＴＩＯ濃を３１４λｏ、ＭｇＦ２膜を１１４λ
Ｏ（但しλ。は設計波長で、λ０＝５００ｎｍである）
の膜厚で交互に蒸着し１０層膜を形成すると、該１０層
膜は可視域の短波長側て可成りの吸収を生じる。この吸
収を除去するには、基板の温度を２３０℃以下にして蒸
着を行なえば良いが、基板を２３０℃以下にすると、前
記蒸着条件で形成したＴｉＯ。膜とＭｇＦ。膜の交互層
より成る多層膜は膜クラックを生じてしまう。本発明は
二酸化チタンＴｉＯ２の膜とフッ化マグネシウムＭｇＦ
２の膜の交互層より成る多層薄膜光学系において、可視
域の短波長側で吸収が無く且つ膜クラックをも生じない
様な多層薄膜光学系を提供するものである。
本発明においては、二酸化チタンＴｉＯ２膜とフ化マグ
ネシウムＭｇＦ′２膜が共に引張り応力を有することに
着目した。
ネシウムＭｇＦ′２膜が共に引張り応力を有することに
着目した。
そしてＴｉＯ２膜の少なくとも一層をＴｌＯ２の屈折率
に近く且つ圧縮応力を有する膜で置換すること、あるい
はＭｇＦ２膜の少なくとも一層をＭｇＦ２の屈折率に近
く且つ圧縮応力を有する膜て置換することにより、基板
の温度を２３０℃以下にして蒸着しても膜クラックを生
じないものである。尚、ＴｉＯ２膜、ＭｇＦ２膜が引張
り応力を有することは、Ｗ．ＨｅｉｔｍａｎＩｌ著ＲＰ
ｒＯｐｅｒｔｉｅｓＯｆｅｖａｐＯｒａｔｅｄＳｌＯ２
，ＳｉＯｘＮｙａｎｄＴｉＯ２，ｆｌｌｍｓＪＡｐｐｌ
ｌｄＯＰｔｉＣＳ，ｌ９７ｌ年ＶＯＬｌＯ，ＮＯ．ｌ２
２６８５〜２６８９又はＡｒｌｔｈＯｎｙＥ．ＥｎｎＯ
ｓ著ＲＳｔｒ′ＥｓｓｅｓｄｅｖｅＩＯｐｅｄｉｎＯｐ
ｔｉｃａＩｆｉｌｍｃＯａｔｉｎｇｓＪＡｐｐｌｌｅｄ
Ｏｐｔｉｃｓ，ｌ９６６年ＶＯＬ５，ＮＯ．ｌ，５ｌ〜
６１に示されている。本発明に係る薄膜光学系において
は、フッ化マグネシウム膜と置換する膜に使用される圧
縮応力を有する物質としては、フッ化トリウム′１１１
Ｆ４、二酸化シリコンＳｉＯ２、及び酸化マグネシウム
陰ρがある。
に近く且つ圧縮応力を有する膜で置換すること、あるい
はＭｇＦ２膜の少なくとも一層をＭｇＦ２の屈折率に近
く且つ圧縮応力を有する膜て置換することにより、基板
の温度を２３０℃以下にして蒸着しても膜クラックを生
じないものである。尚、ＴｉＯ２膜、ＭｇＦ２膜が引張
り応力を有することは、Ｗ．ＨｅｉｔｍａｎＩｌ著ＲＰ
ｒＯｐｅｒｔｉｅｓＯｆｅｖａｐＯｒａｔｅｄＳｌＯ２
，ＳｉＯｘＮｙａｎｄＴｉＯ２，ｆｌｌｍｓＪＡｐｐｌ
ｌｄＯＰｔｉＣＳ，ｌ９７ｌ年ＶＯＬｌＯ，ＮＯ．ｌ２
２６８５〜２６８９又はＡｒｌｔｈＯｎｙＥ．ＥｎｎＯ
ｓ著ＲＳｔｒ′ＥｓｓｅｓｄｅｖｅＩＯｐｅｄｉｎＯｐ
ｔｉｃａＩｆｉｌｍｃＯａｔｉｎｇｓＪＡｐｐｌｌｅｄ
Ｏｐｔｉｃｓ，ｌ９６６年ＶＯＬ５，ＮＯ．ｌ，５ｌ〜
６１に示されている。本発明に係る薄膜光学系において
は、フッ化マグネシウム膜と置換する膜に使用される圧
縮応力を有する物質としては、フッ化トリウム′１１１
Ｆ４、二酸化シリコンＳｉＯ２、及び酸化マグネシウム
陰ρがある。
又、二酸化チタン膜と置換する膜に使用される圧縮応力
を有する物質としては硫化亜鉛Ｚｎｓｌ二酸化セリウム
ＣｅＯ２がある。第１図は本発明に係る一実施例として
１２層構成の青反射色分解薄膜光学系の透過率特性曲線
を示すもので、実線はＴｉＯ２膜とＭｇＦ′２膜から成
る構成の特性曲線、破線は基板側から１０層目のＭｇＦ
′２膜をＳｉＯ２膜で置換した場合の特性曲線を示す。
この薄膜光学系のデータを第１表に示す。尚ＴｉＯ２膜
の屈折率はｎ＝２．０１＋−』Ｊ−（λは波長で、
λ−２５５単位はＮｎｌ）の分散式で
表わされ、ＭｇＦ２の屈折率は、ｎ＝１．鳳ＳｉＯ２膜
の屈折率はｎ＝１．４９であり、空気側からの入射角が
４３．６はの場合である。
を有する物質としては硫化亜鉛Ｚｎｓｌ二酸化セリウム
ＣｅＯ２がある。第１図は本発明に係る一実施例として
１２層構成の青反射色分解薄膜光学系の透過率特性曲線
を示すもので、実線はＴｉＯ２膜とＭｇＦ′２膜から成
る構成の特性曲線、破線は基板側から１０層目のＭｇＦ
′２膜をＳｉＯ２膜で置換した場合の特性曲線を示す。
この薄膜光学系のデータを第１表に示す。尚ＴｉＯ２膜
の屈折率はｎ＝２．０１＋−』Ｊ−（λは波長で、
λ−２５５単位はＮｎｌ）の分散式で
表わされ、ＭｇＦ２の屈折率は、ｎ＝１．鳳ＳｉＯ２膜
の屈折率はｎ＝１．４９であり、空気側からの入射角が
４３．６はの場合である。
第１表に示す構成の膜は、基板の温度を２３０℃以下に
して蒸着したことは言うまでもないが、第１図の特性曲
線より明らかな様に、この実施例においては１０層目の
ＭｇＦ′２膜をＳｉα膜て置換することにより膜クラッ
クを防止するだけでなく、更に透過率特性も向上するも
の、である。薗面の簡単な説明 第２１図は本発明の多層薄膜光学系の一実施例の透過率
特性を示す図。
して蒸着したことは言うまでもないが、第１図の特性曲
線より明らかな様に、この実施例においては１０層目の
ＭｇＦ′２膜をＳｉα膜て置換することにより膜クラッ
クを防止するだけでなく、更に透過率特性も向上するも
の、である。薗面の簡単な説明 第２１図は本発明の多層薄膜光学系の一実施例の透過率
特性を示す図。
λ・・・・・・波長、Ｔ・・・・・・透過率。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 二酸化チタンＴｉＯ＿２の薄膜とフッ化マグネシウ
ムＭｇＦ＿２の薄膜とを交互に積層した多層薄膜光学系
において、フッ化マグネシウムに近い屈折率を有し且つ
圧縮応力を有する薄膜で上記フッ化マグネシウムの薄膜
の少なくとも一層を置換することにより膜クラックを防
止する事を特徴とする多層薄膜光学系。 ２ 上記フッ化マグネシウムの薄膜と置換する薄膜は、
二酸化シリコンＳｉＯ＿２の薄膜である特許請求の範囲
第１項記載の多層薄膜光学系。 ３ 上記フッ化マグネシウムの薄膜と置換する薄膜は、
フッ化トリウムＴｈＦ＿２の薄膜である特許請求の範囲
第１項記載の多層薄膜光学系。 ４ 上記フッ化マグネシウムの薄膜と置換する薄膜は、
酸化マグネシウムＭｇＯの薄膜である特許請求の範囲第
１項記載の多層薄膜光学系。 ５ 二酸化チタンＴｉＯ＿２の薄膜とフッ化マグネシウ
ムＭｇＦ＿２の薄膜とを交互に積層した多層薄膜光学系
において、二酸化チタンに近い屈折率を有し且つ圧縮応
力を有する薄膜で上記二酸化チタンの薄膜の少なくとも
一層を置換することにより膜クラックを防止する事を特
徴とする多層薄膜光学系。 ６ 上記二酸化チタンの薄膜と置換する薄膜は硫化亜鉛
ＺｎＳの薄膜である特許請求の範囲第５項記載の多層薄
膜光学系。 ７ 上記二酸化チタンの薄膜と置換する薄膜は二酸化セ
リウムＣｅＯ＿２の薄膜である特許請求の範囲第５項記
載の多層薄膜光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52119695A JPS6042445B2 (ja) | 1977-10-05 | 1977-10-05 | 多層薄膜光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52119695A JPS6042445B2 (ja) | 1977-10-05 | 1977-10-05 | 多層薄膜光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5453549A JPS5453549A (en) | 1979-04-26 |
| JPS6042445B2 true JPS6042445B2 (ja) | 1985-09-21 |
Family
ID=14767768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52119695A Expired JPS6042445B2 (ja) | 1977-10-05 | 1977-10-05 | 多層薄膜光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042445B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5831307A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-24 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉フイルタ− |
| JPH0629882B2 (ja) * | 1986-04-14 | 1994-04-20 | 東芝硝子株式会社 | 多層膜反射鏡 |
| DE102004025646A1 (de) * | 2004-05-24 | 2005-12-22 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Hochreflektierender dielektrischer Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung |
| CN103233200A (zh) * | 2013-03-28 | 2013-08-07 | 同济大学 | 一种355nm高阈值高反膜的制备方法 |
-
1977
- 1977-10-05 JP JP52119695A patent/JPS6042445B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5453549A (en) | 1979-04-26 |
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