JPH0262545A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は新規な感光性樹脂組成物に関するものである。

さらに詳しくいえば、本発明は、硬化速度が極めて速く
、かつ良好な保存安定性を有する上に、テンティング性
や解像度に優れるなどの特徴を有し、特に印刷回路板作
成に適したレジスト材料として好適な感光性樹脂組成物
に関するものである。

従来の技術 近年、プリント配線板の製造やレリーフ版の製造には、
感光性樹脂を用いた７オトレジスト法が用いられている
。このフォトレジスト法においては、例えば、まず透明
なフィルムなどの支持体上に、感光性樹脂組成物を塗布
して感光性樹脂層を形成したのち、この感光性樹脂層を
所望の画像を設けようとする基板表面に接するように積
層し、次いで該感光樹脂層に、原画を介して活性光を照
射して露光させたのち、未露光部分を溶剤又はアルカリ
水溶液による現像処理により除去して、該原画に対応す
る画像を形成させる方法が、通常とられている。

このような用途に用いられる感光樹脂組成物に用いられ
る光重合開始剤としては、従来、ベンゾイン類、ケトン
類、キノン類、ジケトン類、アルキルオキシムエステル
類など、あるいはそれらの併用系、例えばベンゾフェノ
ン／ミヒラーズブトン、チオキサントン／芳香族アミン
、２．４．５−）リアリールイミダゾリルニ量体／ミヒ
ラーズケトンなどが知られている。

しかしながら、これらの光重合開始剤においては、一般
に硬化速度が十分ではなく、また、硬化速度と保存安定
性を同時に満足するものは得られていない。さらに、ミ
ヒラーズケトンは、３６０ｎｍ近傍に大きな吸収をもつ
ため、紫外線照射により硬化させた場合、感光性樹脂層
下部の硬化が十分ではなく、硬化後のラインが流れやす
く、微細パターン作成には不適当である上、硬化膜強度
が十分でないために、テンティング性に劣るなどの欠点
がある。

例えば、２，４．５４リアリ一ルメタイミダゾリル二量
体とｐ−アミノフェニルケトンとの併用系（特公昭４８
−３８４０３号公報）では硬化速度が十分でないし、ま
たチオキサントン又はそのアルキル若しくはハロゲン化
誘導体とｐ−ジアルキルアミノ安息香酸又はそのエステ
ル化物と２．４．５−　トリアリールイミダゾリルニ量
体との３成分系（特開昭６１−１８８５３３号公報）や
チオキサントン又はその誘導体と２−メチル−１−［４
−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパ
ン−１−オンと２．４．５−１−リアリールイミダゾリ
ルニ量体との３成分系（特開昭６１−１８８５３４号公
報）は、硬化速度が十分でない上、レジスト材料として
用いた場合、その保存安定性、特にレジストを基板に密
着させた状態で保存した場合の安定性に劣り、大幅な感
度低下を免れないなどの欠点を有している。

発明が解決しようとする課題 本発明は、このような従来の感光性樹脂組成物が有する
欠点を克服し、硬化速度が極めて速く、かつ良好な保存
安定性を有する上、テンティング性や解像度に優れるな
どの特徴を有する感光性樹脂組成物を提供することを目
的としてなされたものである。

課題を解決するための手段 本発明者らは、前記の優れた特徴を有する感光性樹脂組
成物を開発するために鋭意研究を重ねた結果、光重合開
始剤として、ベンゾインジアルキルエーテル類と２．４
．５−　トリアリールイミダゾリル二量体とを併用する
ことにより、十分な硬化速度をもち、しかも、硬化後の
ラインの密着性が良好で、かつ十分なテンティング性を
もつものが得られること、及びベンゾインジアルキルエ
ーテル類と２．４．５−トリアリールイミダゾリル二量
体とチオキサントン化合物とｐ−ジアルキルアミノ安息
香酸誘導体の４成分を併用することにより、感度が著し
く高い上に、保存安定性にも優れるものが得られること
を見い出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至
った。

すなわち、本発明は、（Ａ）α、β−不飽和エチレン系
単量体単位を有するバインダーポリマー、（Ｂ）光重合
性上ツマ−及び（Ｃ）光重合開始剤を含有して成る感光
性樹脂組成物において、該光重合開始剤として、（イ）
一般式 ％式％ （式中のＲ１及びＲ２は、それぞれ水素原子又はアルキ
ル基であり、それらは同一であってもよいし、たがいに
異なっていてもよい） で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ロ）　２，４．５−　ドリアリールイミダゾリル二量
体の中から選ばれた少なくとも１種とを、又はこれらと
、さらに（ハ）一般式 （式中のＲ３及びＲ４は、それぞれ水素原子、ハロゲン
原子又はアルキル基であり、それらは同一であってもよ
いし、たがいに異なっていてもよい）で表わされる化合
物の中から選ばれた少なくとも１種と（ニ）一般式 （式中のＲ５及びＲ６は、それぞれアルキル基であり、
それらは同一であってもよいし、たがいに異なっていて
もよく、Ｒ７はカルボキシル基、アルコキンカルボニル
基又はニトリル基である）で表わされる化合物の中から
選ばれた少なくとも１種とを併用することを特徴とする
感光性樹脂組成物を提供するものである。

以下、本発明の詳細な説明する。

本発明組成物における（Ａ）成分のバインダーポリマー
としては、α、β−不飽和エチレン系単量体単位を有す
る高分子量重合体が用いられる。該α。

β−不飽和エチレン系単量体単位を構成する単量体とし
ては、例えば、スチレン、０−メチルスチレン、ｍ−メ
チルスチレン、ｐ−メチルスチレン、αメチルスチレン
、ｐ−エチルスチレン、２．４−ジメチルスチレンｓ　
ｐ−ｒｌ−ブチルスチレン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルスチ
レン、ｐ−ｎ−へキシルスチレン、ｐ−１−オクチルス
チレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−フェニルスチレン
、３．４−ジクロロスチレンなどのスチレン類、ビニル
ナフタレン類、エチレンやプロピレン、ブチレン％Ｃ３
〜Ｃ３０及びそれ以上のσ−オレフィン類、塩化ビニル
、臭化ビニル、弗化ビニルなどのハロゲン化ビニル類、
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニノ呟酪酸ビニルなどのビ
ニルエステル類、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メ
タ）アクリル酸ｎ−ブチノ呟（メタ）アクリル酸イソブ
チル、（メタ）アクリル酸ｎ−オクチル、（メタ）アク
リル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシ
ル、（メタ）アクリル酸２−クロロエチル、（メタ）ア
クリル酸フェニル、α−クロロアクリル酸メチル、メタ
クリル酸ジメチルアミノエチルなどのα−メチレン脂肪
族モノカルボン酸エステル類、アクリロニ１−リル、メ
タクリロニトリル、アクリルアミドなどの（メタ）アク
リル酸誘導体、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエ
ーテルナトノビニルエーテル類、ビニルメチルケトン、
ビニルエチルケトンなどのビニルケトン類、Ｎ−ビニル
ビロール、Ｎ−ヒニルカルバゾール、Ｎ−ビニルインド
ールなどのＮ−ビニル化合物などが挙げられる。これら
の単量体は１種用いてもよいし、また２種以上を組み合
わせて用いてもよい。特に、アルカリ可溶性のバインダ
ーポリマーとするには、カルボキシル基を含む単量体、
例えば（メタ）アクリル酸、７マル酸、ケイ皮酸、クロ
トン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半
エステルなどの中から選ばれた少なくとも１種が併用さ
れる。

このようなアルカリ可溶性バインダーポリマー中に含ま
れるカルボキシル基の含有量は、カルボキシル基当量で
、通常１００〜６００、好ましくは２００〜４５０の範
囲で選ばれる。ここでカルボキシル基当量とは、カルボ
キシル基１当量が含まれるダラム重量を意味する。さら
にこのアルカリ可溶性バインダーポリマーは、その重量
平均分子量が通常１．０００〜５００，０００、好まし
くは２０．０００〜２００，０００の範囲で選ばれる。

一方、アルカリ可溶性でないバインダーポリマーの場合
は、その重量平均分子量は、通常１０，０００〜５００
，０００、好ましくは２０，０００〜３００，０００の
範囲で選ばれる。

本発明組成物における（Ｂ）成分の光重合性モノマーに
ついては、末端エチレン性不飽和基を少なくとも１個有
する不飽和化合物であればよく、特に制限はない。この
ような光重合性モノマーとしては、従来公知の化合物（
特公昭５５〜３８９６１号公報、特開昭５８−８８７月
号公報、特願昭６２−２２４０２５号などに記載されて
いる化合物）の中から任意のものを選択して用いること
ができる。

本発明組成物に８いては、（Ｃ）成分の光重合開始剤と
して、（イ）一般式 （式中のＲ１及びＲ２は前記と同じ意味をもつ）で表わ
される化合物の中から選ばれた少なくとも１種と（ロ）
２，４．５−トリアリールイミダゾリルニ量体とが併用
される。前記（イ）成分の一般式（Ｉ）で表わされる化
合物としては、例えばベンゾインジメチルエーテル、ベ
ンゾインジエチルエーテル、ベンゾインジイソプロピル
エーテルなどが好ましく挙げられ、これらの化合物は１
種用いてもよいし、２種以上を組み合わせてもよい。

また、（ロ）成分の２．４．５−トリアリールイミダゾ
リルニ量体は、一般式 （式中のＡｒ’、Ａｒ２及びＡｒ３は、それぞれ置換基
を有しない、又はハロゲン原子やアルコキシ基などの置
換基を有するフェニル基であり、それらは同一であって
もよいし、たがいに異なっていてもよい）で表わされる
化合物であり、このようなものとしては、例えば２．４
．５−トリフェニルイミダゾリルニＪｉＬ体、２−（ｏ
−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル
ニ量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）４．５−ジフェ
ニルイミダゾリルニ量体、２−（ｏ−メトキシフェニル
）−４，５−ジフェニルイミタソリルニＡ体、２．４−
シ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミタソリ
ルニｉｋ体、２−（ｏ−エトキシフェニル）−４，５−
ジフェニルイミダゾリルニ量体、２，４−ジ（ｐエトキ
シフェニル）−５−フェニルイミダゾリルニ量体などが
挙げられる。これらの化合物はそれぞれ単独で用いても
よいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明組成物においては、該（Ｃ）成分の光重合開始剤
として、前記（イ）成分及び（ロ）成分とともに、所望
に応じ、さらに（ハ）一般式 （式中のＲ３及びＲ４は前記と同じ意味をもつ）で表わ
される化合物の中から選ばれた少なくとも１種と（ニ）
一般式 （式中のＲ６、Ｒ６及びＲ７は前記と同じ意味をもつ）
で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
を併用することができる。

前記（ハ）成分の一般式（ＩＩ）で表わされる化合物と
しては、例えばチオキサントン、２−メチルチオキサン
トン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチ
オキサントン、２．４−ジメチルチオキサントン、２．
４−ジエチルチオキサントン、２．４−ジイソプロピル
チオキサントンなどのチオキサントンのアルキル化誘導
体、２−クロロチオキサントン、２．４−シクロロチオ
キサントンなどのチオキサントンのハロゲン化誘導体な
どが挙げられる。これらの化合物はそれぞれ単独で用い
てもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

一方、前記（ニ）成分の一般式（Ｉ［Ｉ）で表わされる
化合物としては、該式中のＲ５及びＲ６が炭素数１〜３
のアルキル基であるものが好ましく、また、Ｒ７がアル
コキシカルボニル基である場合には、そのアルキル基の
炭素数が１８以下のものが好ましい。このようなものと
しては、例えば、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジ
エチルアミノ安息香酸、ｐ−ジイソプロピルアミノ安息
香酸及びこれらとアルコールとのエステル化物、ｐ−ジ
メチルアミノベンゾニトリル、ｐ−ジエチルアミノベン
ゾニトリル、ｐ−ジイソプロピルアミノベンゾニトリル
などのニトリル化合物が挙げられる。前記エステル化物
を形成するアルコール成分としては、例えばメタノール
、エタノール、エチレングリコール、β−メトキシエタ
ノール、β−エトキシエタノール、β−ブトキシエタノ
−Ｊ呟ｆｉ−プロパツール、１ｓｏ−’ロバノール、ｎ
−ブタノーノ呟５ｅＣ−ブタノール、ｎ−アミルアルコ
ール、１ｓｏ−アミルアルコール、ｎ−ヘキシルアルコ
ール、ヘプチルアルコール、オクチルアルコール、ステ
アリルアルコールなどの炭素数ｌ〜１８のアルコールを
用いることができる。前記（ニ）成分の化合物は１種用
いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明組成物における前記（Ａ）成分のバインダーポリ
マーの含有量は、通常５〜９０重量％、好ましくは３０
〜７０重量％の範囲で選ばれ、また（Ｂ）成分の光重合
性モノマーの含有量は、通常５〜９０重量％、好ましく
は２０〜６０重量％の範囲で選ばれる。

さらに、（Ｃ）成分の光重合開始剤の含有量については
、（イ）成分と（ロ）成分の２成分併用系では、通常該
組成物に対して、それぞれ０．１−１０重量％の範囲で
選ばれる。また、（イ）成分と（ロ）成分と（ハ）成分
と（ニ）成分の４成分併用系では、通常該組成物に対し
て、それぞれ帆１〜１０重量％の範囲で選ばれるが、（
ハ）成分と（ニ）成分との割合が、重量比で１０：ｌな
いし１：１０の範囲にあることが好ましい。

本発明においては、光重合開始剤として、前記の（イ）
成分と（ロ）成分とを併用することにより、はじめて（
イ）成分及び（ロ）成分をそれぞれ単独で添加したのみ
では得られない所期の効果が発揮される。さらに、前記
（イ）成分及び（ロ）成分とともに、（ハ）成分と（ニ
）成分とを併用することにより、−層その効果を助長さ
せることができる。

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じ、熱安定性
や保存安定性を向上させるだめのラジカル重合禁止剤、
通常の染料や顔料、あるいは、光硬化部分と未硬化部分
とを区別するための光照射により発色する発色系染料や
退色系染料などの着色物質、可塑剤などの添加剤を添加
することができる。

前記ラジカル重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキ
シフェノール、ヒドロキノン、ピロガロールナフチルア
ミン、Ｌ−ブチルカテコール、塩化第一銅、２．６−ジ
ー（−ブチル−ｐ−クレゾール、２．２′−メチレンビ
ス（４−エチル−６−し−ブチルフェノール）、２．２
’−メチレンビス（２−メチル−６−ｔ−’チルフェノ
ールなどが挙げられ、通常の染料や顔料などの着色物質
としては、例えば、７クシン、オーラミン塩基、カルコ
キシドグリーンＳ１パラマジエンタ、クリスタルバイオ
レット、メチルオレンジ、ナイルプル−２Ｂ、　　ビク
トリアブルー、マラカイトグリーン、ペイシックブルー
２０、ダイアモンドグリーンなどが挙げられる。

また、該発色系染料としては、ロイコ染料とハロゲン化
合物との組合せがよく知られており、ロイコ染料として
は、例えばトリス（４−ジメチルアミノフェニル）メタ
ン［ロイコクリスタルバイオレット］、トリス（４−ジ
エチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン［ロイコマ
ラカイトグリーン］などが挙げられる。一方、ハロゲン
化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イ
ンブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭
化ヘンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニル
スルホン、四臭化炭素、トリス（２，３−シフ。

モプロピル）ホスフェート、トリスクロロアセトアミド
、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、１，１．１トリク
ロロ−２，２−ヒスＣｐ−クロロフェニル）エタンヘキ
サクロロエタンなどが挙げられる。

さらに、可塑剤などの添加剤としては、例えばジエチル
フタレート、ジフェニルフタレートなどの７タル酸工ス
テル系化合物、ポリエチレングリコール、ポリエチレン
グリコールジアセテート、ポリエチレングリコールジメ
チルエーテルなどのポリエーテル系化合物、Ｎ、Ｎ−ジ
メチルスルホンアミドなどのスルホンアミド系化合物な
どが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、印刷回路板作成用レジス
ト材料として、好適に用いられる。次に、その１例を示
すと、まず該組成物を透明なフィルムなどの支持体上に
塗布して感光性樹脂層を形成したのち、この感光性樹脂
層を所望の画像を設けようとする基板表面に加熱圧着し
て積層する。この際の加熱温度は、通常４０〜１６０°
Ｃの範囲である。

次に、該感光性樹脂層に、マスクフィルムを介して活性
光を照射して画像形成露光を行ったのち、支持体を剥離
し、例えばアルカリ水溶液などを用いて現像処理を行い
、未露光部を除去する。次いで、この現像処理により露
出した金属面をエツチング又はめっき処理による公知の
方法を用いて、金属の画像パターンを形成したのち、硬
化レジスト画像を通常前記の現像処理で用いたアルカリ
水溶液よりも、さらに強いアルカリ性の水溶液によって
剥離させることにより、所望の印刷回路板を得ることが
できる。

なお、本発明の感光性樹脂組成物は、他に、印刷版の製
造などにも使用できる。

発明の効果 本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として、特
定のベンゾインジアルキルエステル類と２．４．５−　
トリアリールイミダゾリルニ量体とを併用することで、
高感度となり、かつ感光性樹脂層と基板表面との密着性
にも優れ、さらにテンティング膜強度も飛躍的に向上し
、プリント配線板の製造などに使用されるレジスト材料
として極めて効果的に用いることができる。

また、本発明の感光性樹脂組成物は、光重合間始剤とし
て、前記成分とともに、さらに特定の構造を有するチオ
キサントン化合物とｐ−ジアルキルアミノ安息香酸誘導
体とを併用して、４成分系とすることで、感度が驚異的
に向上する上、高解像度で、かつ保存安定性にも優れた
ものとなり、画像形成材料として使用した場合、低露光
量においても安定したレジスト画像を得ることが可能で
ある。

実施例 次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、
本発明はこれらの例によってなんら限定されるものでは
ない。

実施例１ 第１表に示す感光性樹脂組成物の溶液を調製し、厚さ２
５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコ
ーターを用いて均一に塗布し、９５°Ｃの乾燥機中で５
分間乾燥して、厚さ５０μｍの感光性樹脂層を形成させ
た。

次に、該感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを積層していない表面上に厚さ４０μｍのポリエ
チレンフィルムを張り合せて積層フィルムを得たのち、
この積層フィルムのポリエチレンフィルムを剥がしなが
ら、該感光性樹脂層を銅張積層基板にホットロールラミ
ネーターにより１０５°Ｃでラミネートした。この積層
体にネガフィルムを通して超高圧水銀灯（オーク製作所
ＨＭＷ−２０１ＫＢ）により、６０ｍＪ／ｃｍ”で露光
し、次いでポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離
したのち、１重量％炭酸ナトリウム水溶液を約７０秒間
スプレーし、未露光部分を溶解除去したところ、良好な
画像（これをレジスト画像と称する）を得た。感度はコ
ダック２１段ステップタブレットＮｏ、２を用いて６段
目まで硬化膜が残っていた。

このレジスト画像はライン／スペースが１／１のライン
で５０μｍまで解像が可能であった。また、１本の独立
したラインについては３０μｍのラインまで流れること
なく良好な密着性を示した。テンティング性については
、４＋ｌ１ｌＩＩのスルーホール径をもつ基板にラミネ
ートし、上記を同様にして８　０　ｍＪ／ｃｍ”で露光
し、上記と同一条件で現像したところ、破れやシワなど
の異常は全く発生しなかったが、４回目の現像ではじめ
てシワが発生した。

実施例２〜３ 第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた以
外は、実施例１と同様に実施した。評価結果を第２表に
示す。

比較例１〜４ 第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた以
外は、実施例１と同様に実施した。評価結果を第２表に
示す。

実施例４ 第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製し、
実施例１と同じ方法により積層フィルムを得た。次いで
、同様にラミネート、露光したのち、１、１．１−）リ
クロロエタンで約１００秒間スプレーし、同様にして評
価を行った。その結果を第２表に示す。

比較例５ 第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製し、
実施例４と同様に実施した。評価結果を第２表に示す。

［注１ Ａ−１：ＭＭＡ７３Ｍ量％とｎ−ＢＡ５重量％とＭＭＡ
２２Ｍ量％との３元共重合体、重量平均分子量１２万Ａ
−２：ＭＭ八重重合 体 表 ［新中村化学（株）製、ＢＰＥ−５００１Ｂ−３：　ト
リメチロールプロパントリアクリレートＢ−４：テトラ
エチレングリコールジアクリレートＣ−２：２−（ｏ−
クロロフェニル）−４，５−ジフエニルイミダゾリルニ
量体 ［を主］ ｌ）　コダック２１段ステップタブレットＮ００２を通
して、６０　ｍＪ／ｃｍ２で露光（超高圧水銀灯）し、
現像したのちの硬化膜の残っている段数。

２）ｌ）と同条件のときに、−本独立したラインが、断
線、蛇行、欠けなどがなく、保持されている最小ライン
巾（μｍ）。

３）テンティング膜強度の加速テスト スルーホール径４ｍｍ１の基板にラミネートし、８０　
ｍＪ／ｃｍ”で露光したのち、テンティング膜にシワが
発生するまで現像をくり返す。そのシワが発生するまで
の現像回数。

実施例５ 第３表に示す感光性樹脂組成物の溶液を調製し、厚さ２
５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコ
ーターを用いて均一に塗布したのち、これを９５°Ｃの
乾燥機中で３分間乾燥して、厚さ３０μｍの感光性樹脂
層を形成した。

次に、該感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを積層していない表面上に厚さ４０μｍのポリエ
チレンフィルムを張り合せて積層フィルムを得た。この
積層フィルムを実施例１と同様にラミネートしたのち、
４０ｍＪ／ｃｍ”で露光し、１重量％炭酸ナトリウム水
溶液で約４０秒間現像したところ、良好な画像を得た。

感度はコダック２１段ステップタブレットＮ０９２を用
いて８段目まで硬化膜が残っていた。

このレジスト画像は、ライン／スペースが１／１のライ
ンで４０μｍまで解像が可能であった。また１本の独立
しｔ；ラインについては、３０μｍのラインまで流れる
ことなく良好な密着、性を示した。

次に塩化第二銅エツチング液（５０°Ｃ）でエツチング
したところ、エツチング液によるしみ込みもなく、シャ
ープな銅ラインが形成できた。さらに保存安定性テスト
として、該積層フィルムを５０℃、４５％ＲＨに３日間
放置したのち、同様の評価を行ったところ、感度の低下
は見られず、その他の性能にも変化はなかった。また、
該積層フィルムを銅張積層板にラミネートし、次いで３
５°Ｃ１６５％ＲＨに３日間放置したのち、露光現像し
評価したところ、この場合にも性能には変化は見られな
かった。

さらに、実施例１と同様の方法で、感光性樹脂層の厚み
が５０μｍの積層フィルムを作成し、テンティング性の
評価を行ったところ、４回目の現像ではじめてシワの発
生が見られた。

実施例６〜９ 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた以
外は、実施例５と全く同様に実施した。

評価結果を第４表に示す。

比較例６ 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製し、
実施例５と同様に、感光性積層フィルムを作成し、同様
に評価を行ったところ、感度はコダック２１段ステップ
タブレットＮｏ、２で、５段と低かった。また、１本の
独立ラインについても、５０μｍ以下のラインが流れ、
良好な密着性が得られたのは６０μｍにすぎなかった。

さらに感光性積層フィルムの保存安定性テストについて
は、５０℃保存テストでは１段の感度低下、ラミネート
後の３５°Ｃ１６５％ＲＨ保存テストでは、１〜２段の
感度低下が見られた。また、テンティング性の評価では
、２回目の現像でシワの発生が見られＩこ　。

比較例７．８ 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いｔ；
以外は、実施例５と同様に実施した。評価結果を第４表
に示す。

実施例１０ 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製し、
実施例５と同じ方法により積層フィルムを得た。次に、
同様にラミネート露光したのち、１．１．ｉトリクロロ
エタンで約６０秒間スプレーし、以下、同様の評価を行
った。その結果を第４表に示す。

比較例９ 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた以
外は、実施例ＩＯと同様に実施した。評価結果を第４表
に示す。

／ ／ ／ ／ Ａ−１％　Ａ−２、Ｂ−ＩＳ　Ｂ−２、Ｂ−３、Ｂ−５
、Ｃ−１及びＣ−２は第１表と同じ意味をもつ。

第 表 ［注１ １）　コダック２１段ステップタブレットＮｏ、２を通
して超高圧水銀灯で４０　ｍＪ／ｃｙｒ”露光し、現像
したのちの硬化膜の残っている段数。

２）ｌ）と同条件で現像した際、ライン／スペース＝ｌ
／ｌの解像度テストパターンでレジスト画像がシャープ
に得られている最小値（μｍ）。

３）■）と同条件で現像した際、１本の独立したレジス
トラインが、断線、蛇行、欠けなどがなく保持されてい
る最小ライン巾（μｍ）。

４）感光性積層フィルムを５０°０４５％ＲＨで７日間
保存したのち、■）と同様に感度を評価し、保存前と後
で低下した感度の段数。

５）感光性積層フィルムを銅張積層板にラミネートし、
３０°０６５％ＲＨで７日間保存したのち、ｌ）と同様
に感度を評価し、保存前と後で低下した感度の段数。

６）感光性積層フィルム（感光性層の厚み５０μｍ）を
スルーホール径４朋−の基板にラミネートし、４０　ｍ
Ｊ／ｃｔａ”で露光したのち、テンティング膜にシワが
発生するまで現像をくり返す。そのシワが発生するまで
の現像回数。

特許出願人　旭化成工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　（Ａ）α，β−不飽和エチレン系単量体単位を有す
   るバインダーポリマー、（Ｂ）光重合性モノマー及び（
   Ｃ）光重合開始剤を含有して成る感光性樹脂組成物にお
   いて、該光重合開始剤として、（イ）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中のＲ＾１及びＲ＾２は、それぞれ水素原子又はア
   ルキル基であり、それらは同一であってもよいし、たが
   いに異なっていてもよい） で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
   （ロ）２，４，５−トリアリールイミダゾリル二量体の
   中から選ばれた少なくとも１種とを併用することを特徴
   とする感光性樹脂組成物。 ２　（Ａ）α，β−不飽和エチレン系単量体単位を有す
   るバインダーポリマー、（Ｂ）光重合性モノマー及び（
   Ｃ）光重合開始剤を含有して成る感光性樹脂組成物にお
   いて、該光重合開始剤として、（イ）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中のＲ＾１及びＲ＾２は、それぞれ水素原子又はア
   ルキル基であり、それらは同一であってもよいし、たが
   いに異なっていてもよい） で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
   （ロ）２，４，５−トリアリールイミダゾリル二量体の
   中から選ばれた少なくとも１種と（ハ）一般式▲数式、
   化学式、表等があります▼ （式中のＲ＾３及びＲ＾４は、それぞれ水素原子、ハロ
   ゲン原子又はアルキル基であり、それらは同一であって
   もよいし、たがいに異なっていてもよい）で表わされる
   化合物の中から選ばれた少なくとも１種と（ニ）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中のＲ＾５及びＲ＾６は、それぞれアルキル基であ
   り、それらは同一であってもよいし、たがいに異なつて
   いてもよく、Ｒ＾７はカルボキシル基、アルコキシカル
   ボニル基又はニトリル基である）で表わされる化合物の
   中から選ばれた少なくとも１種とを併用することを特徴
   とする感光性樹脂組成物。