JP2675345B2

JP2675345B2 - 感光性樹脂組成物

Info

Publication number: JP2675345B2
Application number: JP63214426A
Authority: JP
Inventors: 直洋久世; 英樹松田
Original assignee: 旭化成工業株式会社
Priority date: 1988-08-29
Filing date: 1988-08-29
Publication date: 1997-11-12
Anticipated expiration: 2012-11-12
Also published as: JPH0262545A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は新規な感光性樹脂組成物に関するものであ
る。さらに詳しくいえば、本発明は、硬化速度が極めて
速く、かつ良好な保存安定性を有する上に、テンティン
グ性や解像度に優れるなどの特徴を有し、特に印刷回路
板作成に適したレジスト材料として好適な感光性樹脂組
成物に関するものである。

従来の技術近年、プリント配線板の製造やレリーフ版の製造に
は、感光性樹脂を用いたフォトレジスト法が用いられて
いる。このフォトレジスト法においては、例えば、まず
透明なフィルムなどの支持体上に、感光性樹脂組成物を
塗布して感光性樹脂層を形成したのち、この感光性樹脂
層を所望の画像を設けようとする基板表面に接するよう
に積層し、次いで該感光樹脂層に、原画を介して活性光
を照射して露光させたのち、未露光部分を溶剤又はアル
カリ水溶液による現像処理により除去して、該原画に対
応する画像を形成させる方法が、通常とられている。

このような用途に用いられる感光樹脂組成物に用いら
れる光重合開始剤としては、従来、ベンゾイン類、ケト
ン類、キノン類、ジケトン類、アルキルオキシムエステ
ル類など、あるいはそれらの併用系、例えばベンゾフェ
ノン／ミヒラーズケトン、チオキサントン／芳香族アミ
ン、2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体／ミヒラ
ーズケトンなどが知られている。

しかしながら、これらの光重合開始剤においては、一
般に硬化速度が十分ではなく、また、硬化速度と保存安
定性を同時に満足するものは得られていない。さらに、
ミヒラーズケトンは、360nm近傍に大きな吸収をもつた
め、紫外線照射により硬化させた場合、感光性樹脂層下
部の硬化が十分ではなく、硬化後のラインが流れやす
く、微細パターン作成には不適当である上、硬化膜強度
が十分でないために、テンティング性に劣るなどの欠点
がある。

例えば、2,4,5−トリアリールメタイミダゾリル二量
体とｐ−アミノフェニルケトンとの併用系（特公昭48−
38403号公報）では硬化速度が十分でないし、またチオ
キサントン又はそのアルキル若しくはハロゲン化誘導体
とｐ−ジアルキルアミノ安息香酸又はそのエステル化物
と2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体との３成分
系（特開昭61−188533号公報）やチオキサントン又はそ
の誘導体と２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェ
ニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オンと2,4,5
−トリアリールイミダゾリル二量体との３成分系（特開
昭61−188534号公報）は、硬化速度が十分でない上、レ
ジスト材料として用いた場合、その保存安定性、特にレ
ジストを基板に密着させた状態で保存した場合の安定性
に劣り、大幅な感度低下を免れないなどの欠点を有して
いる。

発明が解決しようとする課題本発明は、このような従来の感光性樹脂組成物が有す
る欠点を克服し、硬化速度が極めて速く、かつ良好な保
存安定性を有する上、テンティング性や解像度に優れる
などの特徴を有する感光性樹脂組成物を提供することを
目的としてなされたものである。

課題を解決するための手段本発明者らは、優れた物性を示す感光性樹脂組成物を
開発するために鋭意研究を重ねた結果、光重合開始剤と
して、ベンゾインジアルキルエーテル類と2,4,5−トリ
アリールイミダゾリル二量体とチオキサントン化合物と
ｐ−ジアルキルアミノ安息香酸誘導体の４成分を併用す
ることにより、硬化速度が速く、硬化後のラインの密着
性がよく、テンティング性が優れ、しかも感度が高く、
保存安定性が良好な感光性樹脂組成物が得られることを
見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。

すなわち、本発明は、（Ａ）α，β−不飽和エチレン
系単量体単位を有するバインダーポリマー、（Ｂ）光重
合性モノマー及び（Ｃ）光重合開始剤を含有して成る感
光性樹脂組成物において、該光重合開始剤として、
（イ）一般式（式中のR¹及びR²は、それぞれ水素原子又はアルキル
基であり、それらは同一であってもよいし、たがいに異
なっていてもよい）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ロ）2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体の中か
ら選ばれた少なくとも１種と（ハ）一般式（式中のR³及びR⁴は、それぞれ水素原子、ハロゲン原
子又はアルキル基であり、それらは同一であってもよい
し、たがいに異なっていてもよい）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ニ）一般式（式中のR⁵及びR⁶は、それぞれアルキル基であり、そ
れらは同一であってもよいし、たがいに異なっていても
よく、R⁷はカルボキシル基、アルコキシカルボニル基又
はニトリル基である）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
を併用することを特徴とする感光性樹脂組成物を提供す
るものである。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明組成物における（Ａ）成分のバインダーポリマ
ーとしては、α，β−不飽和エチレン系単量体単位を有
する高分子量重合体が用いられる。該α，β−不飽和エ
チレン系単量体単位を構成する単量体としては、例え
ば、スチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレ
ン、ｐ−メチルスチレン、α−メチルスチレン、ｐ−エ
チルスチレン、2,4−ジメチルスチレン、ｐ−ｎ−ブチ
ルスチレン、ｐ−tert−ブチルスチレン、ｐ−ｎ−ヘキ
シルスチレン、ｐ−ｎ−オクチルスチレン、ｐ−メトキ
シスチレン、ｐ−フェニルスチレン、3,4−ジクロロス
チレンなどのスチレン類、ビニルナフタレン類、エチレ
ンやプロピレン、ブチレン、C₃〜C₃₀及びそれ以上のα
−オレフィン類、塩化ビニル、臭化ビニル、弗化ビニル
などのハロゲン化ビニル類、酢酸ビニル、プロピオン酸
ビニル、酪酸ビニルなどのビニルエステル類、（メタ）
アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メ
タ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチ
ル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル
酸ｎ−オクチル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル
酸２−クロロエチル、（メタ）アクリル酸フェニル、α
−クロロアクリル酸メチル、メタクリル酸ジメチルアミ
ノエチルなどのα−メチレン脂肪族モノカルボン酸エス
テル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アク
リルアミドなどの（メタ）アクリル酸誘導体、ビニルメ
チルエーテル、ビニルエチルエーテルなどのビニルエー
テル類、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンなど
のビニルケトン類、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルカ
ルバゾール、Ｎ−ビニルインドールなどのＮ−ビニル化
合物などが挙げられる。これらの単量体は１種用いても
よいし、また２種以上を組み合わせて用いてもよい。特
に、アルカリ可溶性のバインダーポリマーとするには、
カルボキシル基を含む単量体、例えば（メタ）アクリル
酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マ
レイン酸無水物、マレイン酸半エステルなどの中から選
ばれた少なくとも１種が併用される。

このようなアルカリ可溶性バインダーポリマー中に含
まれるカルボキシル基の含有量は、カルボキシル基当量
で、通常100〜600、好ましくは200〜450の範囲で選ばれ
る。ここでカルボキシル基当量とは、カルボキシル基１
当量が含まれるグラム重量を意味する。さらにこのアル
カリ可溶性バインダーポリマーは、その重量平均分子量
が通常1,000〜500,000好ましくは20,000〜200,000の範
囲で選ばれる。一方、アルカリ可溶性でないバインダー
ポリマーの場合は、その重量平均分子量は、通常10,000
〜500,000、好ましくは20,000〜300,000の範囲で選ばれ
る。

本発明組成物における（Ｂ）成分の光重合性モノマー
については、末端エチレン性不飽和基を少なくとも１個
有する不飽和化合物であればよく、特に制限はない。こ
のような光重合性モノマーとしては、従来公知の化合物
（特公昭55−38961号公報、特開昭58−88741号公報、特
開昭63−184744号公報などに記載されている化合物）の
中から任意のものを選択して用いることができる。

本発明組成物においては、（Ｃ）成分の光重合開始剤
として、（イ）一般式（式中のR¹及びR²は前記と同じ意味をもつ）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ロ）2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体と
（ハ）前記一般式（II）で示されるチオキサントン化合
物と（ニ）前記一般式（III）で示されるアニリン誘導
体とを併用することが必要である。前記（イ）成分の一
般式（Ｉ）で表わされる化合物としては、例えばベンゾ
インジメチルエーテル、ベンゾインジエチルエーテル、
ベンゾインジイソプロピルエーテルなどが好ましく挙げ
られ、これらの化合物は１種用いてもよいし、２種以上
を組み合わせてもよい。

また、（ロ）成分の2,4,5−トリアリールイミダゾリ
ル二量体は、一般式（式中のAr¹，Ar²及びAr³は、それぞれ置換基を有しな
い、又はハロゲン原子やアルコキシ基などの置換基を有
するフェニル基であり、それらは同一であってもよい
し、たがいに異なっていてもよい）で表わされる化合物
であり、このようなものとしては、例えば2,4,5−トリ
フェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、、２−
（ｏ−フルオロフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾ
リル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−4,5−ジ
フェニルイミダゾリル二量体、2,4−ジ（ｐ−メトキシ
フェニル）−５−フェニルイミダゾリル二量体、２−
（ｏ−エトキシフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾ
リル二量体、2,4−ジ（ｐ−エトキシフェニル）−５−
フェニルイミダゾリル二量体などが挙げられる。これら
の化合物はそれぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を
組み合わせて用いてもよい。

前記（ハ）成分の一般式（II）で表わされる化合物と
しては、例えばチオキサントン、２−メチルチオキサン
トン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチ
オキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサ
ントンなどのチオキサントンのアルキル化誘導体、２−
クロロチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン
などのチオキサントンのハロゲン化誘導体などが挙げら
れる。これらの化合物はそれぞれ単独で用いてもよい
し、２種以上を組み合わせ用いてもよい。

一方、前記（ニ）成分の一般式（III）で表わされる
化合物としては、該式中のR⁵及びR⁶が炭素数１〜３のア
ルキル基であるものが好ましく、また、R⁷がアルコキシ
カルボニル基である場合には、そのアルキル基の炭素数
が18以下のものが好ましい。このようなものとしては、
例えば、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルア
ミノ安息香酸、ｐ−ジイソプロピルアミノ安息香酸及び
これらとアルコールとのエステル化物、ｐ−ジメチルア
ミノベンゾニトリル、ｐ−ジエチルアミノベンゾニトリ
ル、ｐ−ジイソプロピルアミノベンゾニトリルなどのニ
トリル化合物が挙げられる。前記エステル化物を形成す
るアルコール成分としては、例えばメタノール、エタノ
ール、エチレングリコール、β−メトキシエタノール、
β−エトキシエタノール、β−ブトキシエタノール、ｎ
−プロパノール、iso−プロパノール、ｎ−ブタノー
ル、sec−ブタノール、ｎ−アミルアルコール、iso−ア
ミルアルコール、ｎ−ヘキシルアルコール、ヘプチルア
ルコール、オクチルアルコール、ステアリルアルコール
などの炭素数１〜18のアルコールを用いることができ
る。前記（ニ）成分の化合物は１種用いてもよいし、２
種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明組成物における前記（Ａ）成分のバインダーポ
リマーの含有量は、通常５〜90重量％、好ましくは30〜
70重量％の範囲で選ばれ、また（Ｂ）成分の光重合性モ
ノマーの含有量は、通常５〜90重量％、好ましくは20〜
60重量％の範囲で選ばれる。

さらに、（Ｃ）成分の光重合開始剤の含有量について
は、通常該組成物に対して、それぞれ01〜10重量％の範
囲で選ばれるが、（ハ）成分と（ニ）成分との割合が、
重量比で10:1ないし1:10の範囲にあることが好ましい。

本発明においては、光重合開始剤として、前記の
（イ）成分と（ロ）成分とを併用することにより、はじ
めて（イ）成分及び（ロ）成分をそれぞれ単独で添加し
たのみでは得られない所期の効果が発揮され、さらに、
前記（イ）成分及び（ロ）成分とともに、（ハ）成分と
（ニ）成分とを併用することにより、一層その効果を助
長させることができる。

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じ、熱安定
性や保存安定性を向上させるためのラジカル重合禁止
剤、通常の染料や顔料、あるいは、光硬化部分と未硬化
部分とを区別するための光照射により発色する発色系染
料や退色系染料などの着色物質、可塑剤などの添加剤を
添加することができる。

前記ラジカル重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メト
キシフェノール、ヒドロキノン、ピロガロールナフチル
アミン、ｔ−ブチルカテコール、塩化第一銅、2,6−ジ
−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、2,2′−メチレンビス
（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、2,2′−
メチレンビス（２−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール
などが挙げられ、通常の染料や顔料などの着色物質とし
ては、例えば、フクシン、オーラミン塩基、カルコキシ
ドグリーンＳ、パラマジェンタ、クリスタルバイオレッ
ト、メチルオレンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブル
ー、マラカイトグリーン、ベイシックブルー20、ダイア
モンドグリーンなどが挙げられる。

また、該発色系染料としては、ロイコ染料とハロゲン
化合物との組合せがよく知られており、ロイコ染料とし
ては、例えばトリス（４−ジメチルアミノフェニル）メ
タン［ロイコクリスタルバイオレット］、トリス（４−
ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン［ロイコ
マラカイトグリーン］などが挙げられる。一方、ハロゲ
ン化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化
イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、
臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニ
ルスルホン、四臭化炭素、トリス（2,3−ジブロモプロ
ピル）ホスフェート、トリスクロロアセトアミド、ヨウ
化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−トリクロロ−2,2
−ビス（ｐ−クロロフェニル）エタンヘキサクロロエタ
ンなどが挙げられる。

さらに、可塑剤などの添加剤としては、例えばジエチ
ルフタレート、ジフェニルフタレートなどのフタル酸エ
ステル系化合物、ポリエチレングリコール、ポリエチレ
ングリコールジアセテート、ポリエチレングリコールジ
メチルエーテルなどのポリエーテル系化合物、N,N−ジ
メチルスルホンアミドなどのスルホンアミド系化合物な
どが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、印刷回路板作成用レジ
スト材料として、好適に用いられる。次に、その１例を
示すと、まず該組成物を透明なフィルムなどの支持体上
に塗布して感光性樹脂層を形成したのち、この感光性樹
脂層を所望の画像を設けようとする基板表面に加熱圧着
して積層する。この際の加熱温度は、通常40〜160℃の
範囲である。

次に、該感光性樹脂層に、マスクフィルムを介して活
性光を照射して画像形成露光を行ったのち、支持体を剥
離し、例えばアルカリ水溶液などを用いて現像処理を行
い、未露光部を除去する。次いで、この現像処理により
露出した金属面をエッチング又はめっき処理による公知
の方法を用いて、金属の画像パターンを形成したのち、
硬化レジスト画像を通常前記の現像処理で用いたアルカ
リ水溶液よりも、さらに強いアルカリ性の水溶液によっ
て剥離させることにより、所望の印刷回路板を得ること
ができる。

なお、本発明の感光性樹脂組成物は、他に、印刷版の
製造などにも使用できる。

発明の効果本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として、
特定のベンゾインジアルキルエステル類と2,4,5−トリ
アリールイミダゾリル二量体とを併用することで、高感
度となり、かつ感光性樹脂層と基板表面との密着性にも
優れ、さらにテンティング膜強度も飛躍的に向上し、プ
リント配線板の製造などに使用されるレジスト材料とし
て極めて効果的に用いることができ、さらに特定の構造
を有するチオキサントン化合物とｐ−ジアルキルアミノ
安息香酸誘導体とを併用して、４成分系とすることで、
感度が驚異的に向上する上、高解像度で、かつ保存安定
性にも優れたものとなり、画像形成材料として使用した
場合、低露光量においても安定したレジスト画像を得る
ことが可能である。

実施例次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明する
が、本発明はこれらの例によってなんら限定されるもの
ではない。

参考例１第１表に示す感光性樹脂組成物の溶液を調製し、厚さ
25μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコ
ーターを用いて均一に塗布し、95℃の乾燥機中で５分間
乾燥して、厚さ50μｍの感光性樹脂層を形成させた。

次に、該感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレート
フィルムを積層していない表面上に厚さ40μｍのポリエ
チレンフィルムを張り合せて積層フィルムを得たのち、
この積層フィルムのポリエチレンフィルムを剥がしなが
ら、該感光性樹脂層を銅張積層基板にホットロールラミ
ネーターにより105℃でラミネートした。この積層体に
ネガフィルムを通して超高圧水銀灯（オーク製作所HMW
−201KB）により、60mJ/cm²で露光し、次いでポリエチ
レンテレフタレートフィルムを剥離したのち、１重量％
炭酸ナトリウム水溶液を約70秒間スプレーし、未露光部
分を溶解除去したところ、良好な画像（これをレジスト
画像と称する）を得た。感度はコダック21段ステップタ
ブレットNo.2を用いて６段目まで硬化膜が残っていた。
このレジスト画像はライン／スペースが1/1のラインで5
0μｍまで解像が可能であった。また、１本の独立した
ラインについては30μｍのラインまで流れることなく良
好な密着性を示した。テンティング性については、4mm
φのスルーホール径をもつ基板にラミネートし、上記を
同様にして80mJ/cm²で露光し、上記と同一条件で現像し
たところ、破れやシワなどの異常は全く発生しなかった
が、４回目の現像ではじめてシワが発生した。

参考例２〜３第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた
以外は、参考例１と同様に実施した。評価結果を第２表
に示す。

比較例１〜４第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた
以外は、参考例１と同様に実施した。評価結果を第２表
に示す。

参考例４第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製
し、参考例１と同じ方法により積層フィルムを得た。次
いで、同様にラミネート、露光したのち、1,1,1−トリ
クロロエタンで約100秒間スプレーし、同様にして評価
を行った。その結果を第２表に示す。

比較例５第１表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製
し、参考例４と同様に実施した。評価結果を第２表に示
す。

実施例１第３表に示す感光性樹脂組成物の溶液を調製し、厚さ
25μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコ
ーターを用いて均一に塗布したのち、これを95℃の乾燥
機中で３分間乾燥して、厚さ30μｍの感光性樹脂層を形
成した。

次に、該感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレート
フィルムを積層していない表面上に厚さ40μｍのポリエ
チレンフィルムを張り合せて積層フィルムを得た。この
積層フィルムを参考例１と同様にラミネートしたのち、
40mJ/cm²で露光し、１重量％炭酸ナトリウム水溶液で約
40秒間現像したところ、良好な画像を得た。感度はコダ
ック21段ステップタブレットNo.2を用いて８段目まで硬
化膜が残っていた。

このレジスト画像は、ライン／スペースが1/1のライ
ンで40μｍまで解像が可能であった。また１本の独立し
たラインについては、30μｍのラインまで流れることな
く良好な密着性を示した。次に塩化第二銅エッチング液
（50℃）でエッチングしたところ、エッチング液による
しみ込みもなく、シャープな銅ラインが形成できた。さ
らに保存安定性テストとして、該積層フィルムを50℃、
45％RHに３日間放置したのち、同様の評価を行ったとこ
ろ、感度の低下は見られず、その他の性能にも変化はな
かった。また、該積層フィルムを銅張積層板にラミネー
トし、次いで35℃、65％RHに３日間放置したのち、露光
現像し評価したところ、この場合にも性能には変化は見
られなかった。

さらに、参考例１と同様の方法で、感光性樹脂層の厚
みが50μｍの積層フィルムを作成し、テンティング性の
評価を行ったところ、４回目の現像ではじめてシワの発
生が見られた。

実施例２〜５第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた
以外は、実施例１と全く同様に実施した。評価結果を第
４表に示す。

比較例６第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製
し、実施例１と同様に、感光性積層フィルムを作成し、
同様に評価を行ったところ、感度はコダック21段ステッ
プタブレットNo.2で、５段と低かった。また、１本の独
立ラインについても、50μｍ以下のラインが流れ、良好
な密着性が得られたのは60μｍにすぎなかった。さらに
感光性積層フィルムの保存安定性テストについては、50
℃保存テストでは１段の感度低下、ラミネート後の35
℃、65％RH保存テストでは、１〜２段の感度低下が見ら
れた。また、テンティング性の評価では、２回目の現像
でシワの発生が見られた。

比較例7,8 第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた
以外は、実施例１と同様に実施した。評価結果を第４表
に示す。

実施例６第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製
し、実施例１と同じ方法により積層フィルムを得た。次
に、同様にラミネート露光したのち、1,1,1−トリクロ
ロエタンで約60秒間スプレーし、以下、同様の評価を行
った。その結果を第４表に示す。

比較例９第３表に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いた
以外は、実施例６と同様に実施した。評価結果を第４表
に示す。

Ａ−１、Ａ−２、Ｂ−１、Ｂ−２、Ｂ−３、Ｂ−５、
Ｃ−１及びＣ−２は第１表と同じ意味をもつ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）α，β−不飽和エチレン系単量体単
位を有するバインダーポリマー、（Ｂ）光重合性モノマ
ー及び（Ｃ）光重合開始剤を含有して成る感光性樹脂組
成物において、該光重合開始剤として、（イ）一般式（式中のR¹及びR²は、それぞれ水素原子又はアルキル基
であり、それらは同一であってもよいし、たがいに異な
っていてもよい）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ロ）2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体の中か
ら選ばれた少なくとも１種と（ハ）一般式（式中のR³及びR⁴は、それぞれ水素原子、ハロゲン原子
又はアルキル基であり、それらは同一であってもよい
し、たがいに異なっていてもよい）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
（ニ）一般式（式中のR⁵及びR⁶は、それぞれアルキル基であり、それ
らは同一であってもよいし、たがいに異なっていてもよ
く、R⁷はカルボキシル基、アルコキシカルボニル基又は
ニトリル基である）で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも１種と
を併用することを特徴とする感光性樹脂組成物。