JPH0256706A - 磁気ヘッドコアの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドコアの製造方法Info
- Publication number
- JPH0256706A JPH0256706A JP20768188A JP20768188A JPH0256706A JP H0256706 A JPH0256706 A JP H0256706A JP 20768188 A JP20768188 A JP 20768188A JP 20768188 A JP20768188 A JP 20768188A JP H0256706 A JPH0256706 A JP H0256706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- magnetic head
- film
- magnetic
- head core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 22
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録装置に用いられる磁気ヘッドに関する
ものである。
ものである。
小型磁気記録装置の記録密度は増加する一方である。そ
のためそれに対応すべく磁気ヘッド及び記録媒体の開発
が求められている。この高記録密度化を達成するために
磁気ヘッドにおいては、より飽和磁束密度の高い金属磁
性膜を従来のフェライトよりなる磁気ヘッドのギャップ
部にのみ形成したいわゆるメタルインギャップヘッド（
以下ＭＩ’Ｇヘッドと呼ぶ）が開発され実用化されるに
至ってきている。従来このＭＩＧヘッドは、第３図（ａ
）、（ｂ）に示す様に、フェライトよりなり、コイル巻
き線用の溝■を有し、磁気ギャップ深さを規定する斜面
■を有する第１の磁性体ブロック■と、それと対向し磁
気ギャップを形成する第２の磁性体ブロック■より構成
されるが、例えばセンダスト膜［相］の様な、金属磁性
膜を形成する第２の磁性体のギャップ対向面■は平坦な
面である。
のためそれに対応すべく磁気ヘッド及び記録媒体の開発
が求められている。この高記録密度化を達成するために
磁気ヘッドにおいては、より飽和磁束密度の高い金属磁
性膜を従来のフェライトよりなる磁気ヘッドのギャップ
部にのみ形成したいわゆるメタルインギャップヘッド（
以下ＭＩ’Ｇヘッドと呼ぶ）が開発され実用化されるに
至ってきている。従来このＭＩＧヘッドは、第３図（ａ
）、（ｂ）に示す様に、フェライトよりなり、コイル巻
き線用の溝■を有し、磁気ギャップ深さを規定する斜面
■を有する第１の磁性体ブロック■と、それと対向し磁
気ギャップを形成する第２の磁性体ブロック■より構成
されるが、例えばセンダスト膜［相］の様な、金属磁性
膜を形成する第２の磁性体のギャップ対向面■は平坦な
面である。
この面に金属磁性膜を形成した後第３図（ｃ）に示す様
にガラスボンディングによって一体として磁気ヘッドコ
アブロック を得る。この後、所定の厚みに切断し、ト
ラック加工を施こし第３図（ｄ）に示す磁気ヘッドコア
を得ている。
にガラスボンディングによって一体として磁気ヘッドコ
アブロック を得る。この後、所定の厚みに切断し、ト
ラック加工を施こし第３図（ｄ）に示す磁気ヘッドコア
を得ている。
しかし、前述の従来技術では、磁性体ブロックであるフ
ェライトとフェライト上に形成するセンダスト膜とでは
熱膨脹率に差があるために、スパッタ等によってフェラ
イト上にセンダスト膜を形成する際や、その後の６００
℃前後の高温大で行なわれるガラスボンディングの際に
、膜が剥がれてしまったり、ギャップ部にクラックを発
生させてしまう。また仮に見かけは膜の剥れやクラック
がなくても、膜の内部に応力歪が残り磁性膜特性を劣化
し、磁気ヘッドの特性劣化の原因となる。
ェライトとフェライト上に形成するセンダスト膜とでは
熱膨脹率に差があるために、スパッタ等によってフェラ
イト上にセンダスト膜を形成する際や、その後の６００
℃前後の高温大で行なわれるガラスボンディングの際に
、膜が剥がれてしまったり、ギャップ部にクラックを発
生させてしまう。また仮に見かけは膜の剥れやクラック
がなくても、膜の内部に応力歪が残り磁性膜特性を劣化
し、磁気ヘッドの特性劣化の原因となる。
また、膜の密着性が悪くなるので、フェライトとセンダ
スト膜の間に本来のギャップとは異なる擬似ギャップが
発生し信頼性を劣化させるという多くの課題を有する。
スト膜の間に本来のギャップとは異なる擬似ギャップが
発生し信頼性を劣化させるという多くの課題を有する。
そこで本発明はこの様な課題を解決するもので、その目
的とする所は、磁気記録装置の高密度化を実現する、高
性能な磁気ヘッドを歩留り良く安定的に製造出来る製造
方法を提供する所にある。
的とする所は、磁気記録装置の高密度化を実現する、高
性能な磁気ヘッドを歩留り良く安定的に製造出来る製造
方法を提供する所にある。
本発明による磁気ヘッドコアの製造方法は、磁気ヘッド
コアを構成する２体の磁性体ブロックのギャップ対向面
に強磁性金属薄膜を成膜しギャップ部を形成した磁気ヘ
ッドコアにおいて、この強磁性金属薄膜を成膜する磁性
体ブロックのギャップ対向面に、この強磁性金属薄膜を
成膜する前にギャップの深さ方向にギャップ対向面を分
割する横溝とギャップの幅方向にギャップ対向面を分割
する縦溝を加工する工程を有することを特徴とする。
コアを構成する２体の磁性体ブロックのギャップ対向面
に強磁性金属薄膜を成膜しギャップ部を形成した磁気ヘ
ッドコアにおいて、この強磁性金属薄膜を成膜する磁性
体ブロックのギャップ対向面に、この強磁性金属薄膜を
成膜する前にギャップの深さ方向にギャップ対向面を分
割する横溝とギャップの幅方向にギャップ対向面を分割
する縦溝を加工する工程を有することを特徴とする。
第１図に本発明による磁気ヘッドコアの斜視図を示す。
また、第２図にその磁気ヘッドコアを得るための工程を
表わす斜視図を示す。本発明の製造方法の実施例をこの
工程を追って説明する。
表わす斜視図を示す。本発明の製造方法の実施例をこの
工程を追って説明する。
第２図（ａ）に示す様に、磁気ヘッドコアを構成する第
１の磁性体ブロック■には、コイル巻き線用溝■と、ギ
ヤツブ深さを規定する斜面■を施こしである。またもう
一方の第２図（ｂ）に示す第２の磁性体ブロック■にお
いては、ギャップ対向面■をギャップ深さ方向に分割す
る横溝■を研削加工によって０．０３〜０．１順程度の
深さに加工する。さらにこの横溝■と直交しギャップの
幅方向にギャップ対向面を分割する縦溝■を研削加工に
よってストレート部深さで０．１ｍｍ程度の深さで加工
する。これらの横溝■及び縦溝■によって分割された微
小なギャップ対向面の長さ■は０．６＋ｗ以下であり、
幅■は０ 、 １〜０ 、 ３ ｍｒ＊である事か必要
である。この様に分割された微小なギャップ対向面に強
磁性金属薄膜としてセンダスト膜［相］をスパッタによ
って形成した後に、第２図（ｃ）に示す様に、６００℃
前後の温度条件下でガラスボンディングによって一体と
して磁気ヘッドコアブロック を得る。この様に、熱膨
脹率が１０５〜１１５Ｘ １０−’／’Ｃであるフェラ
イトと、１３０〜１４０ｘｌＯ−’／’Ｃであるセンダ
スト膜を、６００℃の高温過程を経ても、それぞれの微
小なギャップ対向面においてはフェライトとセンダスト
の伸縮差は０．３〜０．６μｍに押える事が出来る。こ
れは、微小に分割されないフェライト上に膜を着けであ
る場合に比べ、磁性体ブロックの長さを３０ｍｎとする
と、５０〜２００分の１の伸縮差という事になる。従っ
て金属薄膜に残る応力歪は非常に小さくなり磁気特性劣
化を防止する事が出来るとともに、膜の密着性も保たれ
るので、フェライトとセンダスト間での擬似ギャップの
発生を防ぐ事が出来る。また、工程途中で膜がＩすれた
りギャップ部にクラックが発生するといった川もなし歩
留り良く磁気ヘッドコアが得られる。
１の磁性体ブロック■には、コイル巻き線用溝■と、ギ
ヤツブ深さを規定する斜面■を施こしである。またもう
一方の第２図（ｂ）に示す第２の磁性体ブロック■にお
いては、ギャップ対向面■をギャップ深さ方向に分割す
る横溝■を研削加工によって０．０３〜０．１順程度の
深さに加工する。さらにこの横溝■と直交しギャップの
幅方向にギャップ対向面を分割する縦溝■を研削加工に
よってストレート部深さで０．１ｍｍ程度の深さで加工
する。これらの横溝■及び縦溝■によって分割された微
小なギャップ対向面の長さ■は０．６＋ｗ以下であり、
幅■は０ 、 １〜０ 、 ３ ｍｒ＊である事か必要
である。この様に分割された微小なギャップ対向面に強
磁性金属薄膜としてセンダスト膜［相］をスパッタによ
って形成した後に、第２図（ｃ）に示す様に、６００℃
前後の温度条件下でガラスボンディングによって一体と
して磁気ヘッドコアブロック を得る。この様に、熱膨
脹率が１０５〜１１５Ｘ １０−’／’Ｃであるフェラ
イトと、１３０〜１４０ｘｌＯ−’／’Ｃであるセンダ
スト膜を、６００℃の高温過程を経ても、それぞれの微
小なギャップ対向面においてはフェライトとセンダスト
の伸縮差は０．３〜０．６μｍに押える事が出来る。こ
れは、微小に分割されないフェライト上に膜を着けであ
る場合に比べ、磁性体ブロックの長さを３０ｍｎとする
と、５０〜２００分の１の伸縮差という事になる。従っ
て金属薄膜に残る応力歪は非常に小さくなり磁気特性劣
化を防止する事が出来るとともに、膜の密着性も保たれ
るので、フェライトとセンダスト間での擬似ギャップの
発生を防ぐ事が出来る。また、工程途中で膜がＩすれた
りギャップ部にクラックが発生するといった川もなし歩
留り良く磁気ヘッドコアが得られる。
第２図（Ｃ）に示した磁気ヘッドコアブロックを、縦溝
部分で完全切断する工程及び所定のトラック幅に磁気ヘ
ッドコア先端を絞り込む加工工程を行う事によって第１
図に示す磁気ヘッドコアが得られる。
部分で完全切断する工程及び所定のトラック幅に磁気ヘ
ッドコア先端を絞り込む加工工程を行う事によって第１
図に示す磁気ヘッドコアが得られる。
以上述べた様に、本発明によれば、ギャップ部に強磁性
金属薄膜を形成する前に、その形成面を横方向及び縦方
向に溝加工を施こすことによって微小な部分に分割して
おくことによって、磁気ギャップを形成した際に、膜が
剥れる事もなくまたギャップ部にクラックの発生もなく
高歩留りで、しかも、擬似ギャップの発生のない高記録
密度化に適した、優れた特性を有する磁気ヘッドコアが
安価に得られるという効果を有する。
金属薄膜を形成する前に、その形成面を横方向及び縦方
向に溝加工を施こすことによって微小な部分に分割して
おくことによって、磁気ギャップを形成した際に、膜が
剥れる事もなくまたギャップ部にクラックの発生もなく
高歩留りで、しかも、擬似ギャップの発生のない高記録
密度化に適した、優れた特性を有する磁気ヘッドコアが
安価に得られるという効果を有する。
第１図は本発明により得られた磁気ヘッドコアの一実施
例を示す斜視図。 第２図（ａ）〜（ｅ）は本発明による磁気ヘッドコアの
製造方法の工程を示す斜視図。 第３図（ａ）〜（ｄ）は従来の磁気ヘッドコアの製造方
法の工程を示す斜視図。 ６ ・ ７ ・ ８・ ９ ・ １０ ・ １１ ・ １２ ・ 横溝 縦溝 微小なギャップ対向面の長さ 微小なギャップ対向面の幅 センダスト膜 磁気ヘッドコアブロック 磁気ヘッドコア 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１の磁性
体ブロック コイル巻線用溝 ギャップ深さを規定する斜面 第２の磁性体ブロック ギャップ対向面 第 ■ ／ 図 第 ２ 回 （ｂ） 第 口 第 Ｚ 図 （Ｃ） 舅 ■（α） 晃 巳（１）） 第 回 （Ｃ） 単 湧 （改）
例を示す斜視図。 第２図（ａ）〜（ｅ）は本発明による磁気ヘッドコアの
製造方法の工程を示す斜視図。 第３図（ａ）〜（ｄ）は従来の磁気ヘッドコアの製造方
法の工程を示す斜視図。 ６ ・ ７ ・ ８・ ９ ・ １０ ・ １１ ・ １２ ・ 横溝 縦溝 微小なギャップ対向面の長さ 微小なギャップ対向面の幅 センダスト膜 磁気ヘッドコアブロック 磁気ヘッドコア 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１の磁性
体ブロック コイル巻線用溝 ギャップ深さを規定する斜面 第２の磁性体ブロック ギャップ対向面 第 ■ ／ 図 第 ２ 回 （ｂ） 第 口 第 Ｚ 図 （Ｃ） 舅 ■（α） 晃 巳（１）） 第 回 （Ｃ） 単 湧 （改）
Claims (1)
- 磁気ヘッドコアを構成する２体の磁性体ブロックの少な
くとも一方のギャップ対向面に強磁性金属薄膜を成膜し
ギャップ部を形成した磁気ヘッドコアにおいて、該強磁
性金属薄膜を成膜する前記磁性体ブロックのギャップ対
向面に、該強磁性金属薄膜を成膜する前にギャップの深
さ方向にギャップ対向面を分割する横溝とギャップの幅
方向にギャップ対向面を分割する縦溝を加工する工程を
有する事を特徴とする磁気ヘッドコアの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20768188A JPH0256706A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20768188A JPH0256706A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0256706A true JPH0256706A (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=16543812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20768188A Pending JPH0256706A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0256706A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198406A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Kurashiki Kako Co Ltd | スプリングシートラバー |
-
1988
- 1988-08-22 JP JP20768188A patent/JPH0256706A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198406A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Kurashiki Kako Co Ltd | スプリングシートラバー |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0256706A (ja) | 磁気ヘッドコアの製造方法 | |
| JPH0256707A (ja) | 浮動型磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JP2589870B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0830909A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2954784B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS62140225A (ja) | 浮上型磁気ヘツド | |
| JPS61280009A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH01204206A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62128013A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH0231309A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63249918A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63124208A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH03292605A (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS61243921A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP2000353302A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS62277607A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6286518A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS634406A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH04325904A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6138522B2 (ja) | ||
| JPH02130708A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPS63306505A (ja) | 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 | |
| JPH10154306A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH01149208A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63288407A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 |