JPH0252404A - 厚膜抵抗体 - Google Patents

厚膜抵抗体

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Publication number
JPH0252404A
JPH0252404A JP63205297A JP20529788A JPH0252404A JP H0252404 A JPH0252404 A JP H0252404A JP 63205297 A JP63205297 A JP 63205297A JP 20529788 A JP20529788 A JP 20529788A JP H0252404 A JPH0252404 A JP H0252404A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
resistance
resistance value
trimming
thick film
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Pending
Application number
JP63205297A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiaki Nishikawa
敏明 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は混成集積回路装置用厚膜印刷基板の圧膜抵抗体
に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の厚膜抵抗体は、絶縁基板上に形成した導
体層に一部重ねて、1種類のシート抵抗値の抵抗材料で
1つの抵抗体を形成していた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の厚膜抵抗体は、絶縁基板上に形成した導
体層に一部重ねて1種類のシート抵抗値の抵抗材料で1
つの抵抗体を形成していたので、レーザトリミングによ
る抵抗調整範囲がトリミング前の抵抗値の約2.5倍迄
に限定され、狭いという欠点があった。
また、トリミング後のマイクロクラックによる抵抗値の
変化の効果が大きいなめ、抵抗値を高精度に調整するこ
とが難しいという欠点もあった。
本発明の目的は、抵抗値を高範囲で高精度に調整できる
厚膜抵抗体を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の厚膜抵抗体は、絶縁基板上に形成した導体層に
一部重ねて形成する厚膜抵抗体において、少くとも2種
類のシート抵抗値の異る抵抗材料を用いて抵抗体が形成
されている。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の一実施例の斜視図である。
第1図に示すように、絶縁基板上に形成した導体1に一
部重ねてシート抵抗値100Ωの低抵抗材料を用いて低
抵抗体2を形成し、また、低抵抗体2に接してシート抵
抗値IKΩの高抵抗材料を用いて高低体3を形成したも
のである。
レーザトリミングにより低抵抗体2をトリミング溝4の
様にカットし、目標抵抗値の99%に調整し、高抵抗体
3をトリミング溝5の様にカットし、目標抵抗値に調整
する。低抵抗体2のトリミング溝4から発生するマイク
ロクラック6が十分安定した後、高抵抗体3をトリミン
グすると、マイクロクラック7が抵抗値に及ぼす影響が
小さいことから高精度トリミングを可能にする。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、絶縁基板上に形成した導
体層に一部重ねて少くとも2種類のシート抵抗値の異る
抵抗材料を用いて厚膜抵抗体を形成することにより、抵
抗値を高範囲で高精度に調整できる厚膜抵抗体を実現で
きる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の斜視図である。 1・・・導体層、2・・・低紙゛抗体、3・・・高抵抗
体、4.5・・・トリミング溝、6,7・・・マイクロ
クラック。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  絶縁基板上に形成した導体層に一部重ねて形成する厚
    膜抵抗体において、少くとも2種類のシート抵抗値の異
    る抵抗材料を用いて抵抗体を形成したことを特徴とする
    厚膜抵抗体。
JP63205297A 1988-08-17 1988-08-17 厚膜抵抗体 Pending JPH0252404A (ja)

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