JPH02303047A - ウエハチヤツク方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェハ等のウェハチャック方法及び装
置に関する。

（従来の技術） 半導体ウェハ、ガラス板、アルミナ、水晶板、セラミッ
ク板、サファイヤ板その他の９エノ−を洗浄、乾燥した
り、各種の塗布等を行ったりするため、ウェハをチャッ
クする装置が権々用いられている。例えば、スクラビン
グ装置では、ウェハを真空ポンプによってチャックプレ
ート上に密着させ、表面から洗浄液やジェット水流を噴
射してブラシ洗浄をしているが、裏面が汚れたり、吸着
作用のためにクエへのセンタ一部が歪んだりするおそれ
がある。また、機械的にクエへの周縁を把持するメカニ
カルチャックでは、９工への裏面に水がまわり込んで付
着するという間聴があった。

（発明の解決課題） 本発明はそのような実情に鑑み、ウェハを載置するだけ
でＵ単電二支持することができるようにすると共ζ；つ
二への裏面（；洗浄水がまわり込んだり、汚染されるこ
とがないようなウェハチャック方法及び１！置を提供し
ようとするも６である。

（課題解決の手段） 本発明は、上記の目的を達成するよう、ウェハをチャッ
クプレート上ミニ間隙をあけて＠置し、該クエへの裏面
に中央から周辺に向けて気体を噴出し、該ウェハをチャ
ックプレート面に吹寄セつつ該チャックプレートを回転
するようにしたウェハチャック方法が提供される。

（実施例） 図において、チャックプレート（１）は、円板状に形成
され、モーター（２）の軸（３）にボス部（４）をねじ
着して回転可能（二設けられている。該チャックプレー
　）　（１）の周囲には、ウェハ（５）の周辺を担持す
るよう複数の支持片（６）を形成してあり、該支持片に
よってウェハ（５）はチャックプレートとの間に狭い間
隙をあけて載置される。該間隙は、後記するように気体
の噴流によってウェハを吹寄せることかできるよう約０
．２〜３θ■に形成するとよい。該支持片（６）は、ポ
リアセタール（デルリン）で作られているがその他の耐
食性、耐薬品性のある合成樹脂材料、金属材料等で作る
ことができ、上記ウェハを載置する係止肩（ηを有する
。該係止肩（７）は、第３図１＝示すようＣ：、下方に
わずか傾斜させてあり、また、上方に立上る支承縁（８
）と該支承縁（８）の上端から斜め外方へ傾斜する案内
面（９）を設けである。該案内面（９）の傾斜角度は、
上方からウェハ（５）を落し込んだとき、該ウェハな的
確（；係止肩（７）へ導くことができるような角度、例
えば約ｌｊ度程度：二形成しである。上記支承縁（８）
は、弗７図に示すように、平面からみて直線状に形成し
であるが、排水性を考虞して鋭角に、例えば第９図に示
すように約９θ度に、屈曲させて設けることもできる。

上記支持片（６）は、ねじαＧでチャックプレート（１
）に取付けてあり、図において、該支持片間のプレート
の一部には切欠部α◇を形成しであるが、該切欠部を設
けない円板状に形成してもよい。なお、該チャックプレ
ート（１）の、平面からみて横軸方向の一部には、直線
状の爪受入部０を設け、ウェハをチャックから取り出す
際、メカニカル爪（図示略）をウェハ周縁に入り込める
ようにしである。

上記チャックプレート（ｌ）の中央には、周辺に向けて
気体を噴出するよう噴出口Ｑ３を設けである。

該噴出口ａ３の開口部は、チャックプレート（１）の上
面より深い位置にあり、かつ縁部シニ丸味Ｑ４を形成し
吹き出し音を防ぐと共（二吸着力を増すよう（ニしであ
る。上記噴出口α３の内端には、テフロン系の保護チュ
ーブαＧを嵌着してあり、該チューブαＧは上記モータ
ー軸（３３を貫通して延びクリーン馬ガス等の気体の噴
出ｆＩＡ＜図示略）に連絡している。

該保護チューブにより、Ｎ、ガスは金属に接することな
く噴出口α３まで導かれる。なお、該噴出口Ｑ３部分は
、ビスαＧによりチャックプレート（１）に固着されて
いる。

而して、ウェハ（５）は、適宜の搬送手段でチャックプ
レート（１）の上面に運んでから該チャックプレートを
上昇させて支持片（６）・・・間で受支するようにした
り、適宜のメカニカル爪（図示略）で周縁を把持してチ
ャックプレート上に落し込むよう（；シて支持片（６）
・・・間で支承する。このよう（−して、チャックプレ
ート（１）上に間隙をあけてウェハを載置したら、クリ
ーンＮ、ガス等の気体を噴出口Ｉ’ｌ：’Ｉから周辺に
向けて噴出すれば、ウェハ（５）はベル反イ方式により
チャックプレート面に吹寄せられ、確実にチャックされ
る。その後、該チャックプレートを回転しながらクエへ
の表面に洗浄液や高圧ジェット水流を噴射し適宜洗浄ブ
ラシで洗浄すればよい。この際、洗浄液等の液体がクエ
への裏面にまわり込もうとしても、ウェハ裏面とチャッ
クプレートの間にＮ、ガスが周円状に吹き出しているた
め、裏面に付着するごと゛はない。

洗浄後は、スピンドライできる回転数までチャックプレ
ートを回転してウェハを乾燥し、上記メカニカル爪上し
くは搬送手段で運び出せばよい。

（発明の効果） 本発明は以上のように構成され、クエへの裏面にクリー
ンＮ、ガス等を吹きつけてウェハ裏面に付着する水分を
除去すると共に該ウェハを支持片に確実に保持でき、ウ
ェハ周縁まできれいに洗浄することができ、裏面を汚染
することもない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第７図は平面図、第２図
は断面図、第３図は支持片部分の拡大断面図、第４を因
は変形例の平面図である。 １・・・チャックプレート、３・・・モータ軸、５・・
・つエバ、６・・・支持片、１３・・・噴出口特許出願
人　　株式会社塩谷製作所 第２図　　　　　＼

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　回転可能なチャックプレートとの間に間隙をあけて
   ウェハを載置し、該ウェハを上記チャックプレートの中
   央から周辺に向けて噴出する気体により該チャックプレ
   ート面に吹寄せつつ回転させることを特徴とするウェハ
   チャック方法。 ２　チャックプレートを回転可能に設け、該チヤツクプ
   レートの周囲にウェハの周辺を担持するよう複数の支持
   片を形成しかつ該チャックプレートの中央に周辺に向け
   て気体を噴出するよう噴出口を設けたウェハチャック装
   置。