JP2010029929A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に複数のデバイス10aが形成されたワーク10の内部に改質領域を形成するレーザ加工装置であって、前記ワーク10表面の前記デバイス10aが形成された領域に対向する凹部21aと、該凹部21aを囲繞して立設され、前記ワーク10表面の周縁部に設けられた前記デバイス10aが形成されていない領域を接触保持する環状の保持面を有する外周部21bと、を備えた保持手段2と、前記ワーク10の変位を検出する変位検出手段4と、前記ワーク10と前記凹部21aと前記外周部21bとによって形成される空間102内の圧力を調整する圧力調整手段7と、前記ワーク10裏面に向けて該ワークを透過する波長のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、を具備するレーザ加工装置1を提供する。
【選択図】図4
Description
まず、図1及び図2を参照し、本発明の第一実施形態に係るレーザ加工装置の構成を概説する。図1は、レーザ加工装置の構成を示す斜視図である。図2は、図1に示す保持手段2の具体的構成を示す斜視図である。
次に、レーザ加工装置1の動作、すなわち、レーザ加工装置1を用いたワーク10の加工方法について説明する。
次に、図6を参照し、本発明の第二実施形態に係るレーザ加工装置について説明する。図は、本発明の第二実施形態に係るレーザ加工装置の構成の一部を示す。(a)は保持手段2の凹部21aと外周部21bの平面図であり、(b)は(a)中、A-A断面に対応する断面図に対応する。
次に、レーザ加工装置2の動作、すなわち、レーザ加工装置2を用いたワーク10の加工方法について説明する。なお、本実施形態のレーザ加工装置における上記以外の構成は、前述したレーザ加工装置1と同様である。
2 保持手段
3 レーザ光照射手段
4 変位検出手段
5 レーザ光
6 吸引手段
7 圧力調整手段
71 ブロー手段
711 導入口
72 排気手段
721 排出口
8 エアーノズル
10 ワーク
10a デバイス
10b 余剰領域
102 空間
11 リングフレーム
12 粘着テープ
21a 凹部
211a、212a、213a、214a 区画
21b 外周部
211b 保持面
212b 切欠
22 クランプ
31 台座
32a、32b、35a、35b 案内レール
33a、36a ボールねじ
33b、36b モータ
33c、36c 軸受けブロック
34、37 滑動ブロック
Claims (7)
- 表面に複数のデバイスが形成されたワークの内部に改質領域を形成するレーザ加工装置であって、
前記ワーク表面の前記デバイスが形成された領域に対向する凹部と、
該凹部を囲繞して立設され、前記ワーク表面の周縁部に設けられた前記デバイスが形成されていない領域を接触保持する保持面を有する外周部と、を備えた保持手段と、
前記ワークの変位を検出する変位検出手段と、
前記ワークと前記凹部と前記外周部とによって形成される空間内の圧力を調整する圧力調整手段と、
前記ワーク裏面に向けて該ワークを透過する波長のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、を具備するレーザ加工装置。 - 前記圧力調整手段は、前記変位検出手段からの信号出力に基づき前記空間内に空気を導入するブロー手段と、該出力に基づき前記空間内から空気を排出する排気手段と、を備える請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記変位検出手段は、前記凹部の前記ワーク表面に臨む位置に配置されている請求項2記載のレーザ加工装置。
- 前記空間が、保持された前記ワークの表面方向に沿って複数の区画に分割され、
該区分毎に前記ブロー手段と前記排気手段と前記変位検出手段とがそれぞれ配置されている請求項3記載のレーザ加工装置。 - 前記圧力調整手段は、前記空間内において保持されたワーク表面方向に沿った気流を噴射する気流形成手段を備え、
前記気流によるベルヌーイ効果に基づいて前記ワークの反り及び/又はうねりを矯正する請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記外周部が、前記気流を前記空間外へ通流させるための切欠を有する請求項5記載のレーザ加工装置。
- 表面に複数のデバイスが形成され、裏面に貼付された粘着テープを介して環状フレームの開口部に支持されているワークに対して、レーザ光を照射し、該ワーク内に改質領域を形成するレーザ加工方法であって、
前記ワーク表面の前記デバイスが形成された領域に対向する凹部と、
該凹部を囲繞して立設され、前記ワーク表面の周縁部に設けられた前記デバイスが形成されていない領域を接触保持する保持面を有する外周部と、を備えた保持手段により前記ワークを保持する工程と、
前記ワークの変位を検出する工程と、
検出された変位に基づいて、前記ワークと前記凹部と前記外周部とによって形成される空間内の圧力を調整して、前記ワークの反り及び/又はうねりを矯正する工程と、
前記ワークの裏面側から、前記ワーク及び前記粘着テープを透過する波長のレーザ光を、前記ワーク内部に焦点を合わせて、分割予定ラインに沿って照射する工程と、を有するレーザ加工方法。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2011177771A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Hitachi High-Technologies Corp | レーザ加工方法及びレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 |
US11839933B2 (en) | 2020-02-27 | 2023-12-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
US11858056B2 (en) | 2020-02-27 | 2024-01-02 | Honda Motor Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59208741A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエ−ハ用吸着チヤツク装置 |
JPH02303047A (ja) * | 1989-05-18 | 1990-12-17 | Shioya Seisakusho:Kk | ウエハチヤツク方法及び装置 |
JPH04152512A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Fujitsu Ltd | ウエハチャック |
JPH04357820A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | ウェーハ吸着装置及びウェーハ吸着方法 |
JP2002192367A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2006173520A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Canon Inc | レーザ割断方法および該方法により割断可能な被割断部材 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59208741A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエ−ハ用吸着チヤツク装置 |
JPH02303047A (ja) * | 1989-05-18 | 1990-12-17 | Shioya Seisakusho:Kk | ウエハチヤツク方法及び装置 |
JPH04152512A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Fujitsu Ltd | ウエハチャック |
JPH04357820A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | ウェーハ吸着装置及びウェーハ吸着方法 |
JP2002192367A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2006173520A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Canon Inc | レーザ割断方法および該方法により割断可能な被割断部材 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011177771A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Hitachi High-Technologies Corp | レーザ加工方法及びレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 |
US11839933B2 (en) | 2020-02-27 | 2023-12-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
JP7402081B2 (ja) | 2020-02-27 | 2023-12-20 | 本田技研工業株式会社 | レーザ加工装置 |
US11858056B2 (en) | 2020-02-27 | 2024-01-02 | Honda Motor Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
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