JPH02302094A - ビアの形成方法 - Google Patents

ビアの形成方法

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JPH02302094A
JPH02302094A JP12245789A JP12245789A JPH02302094A JP H02302094 A JPH02302094 A JP H02302094A JP 12245789 A JP12245789 A JP 12245789A JP 12245789 A JP12245789 A JP 12245789A JP H02302094 A JPH02302094 A JP H02302094A
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sheet
ventilation
elastic film
suction
hole
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Kenichiro Abe
健一郎 阿部
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 吸引台にグリーンシートを積載し、該吸引台の吸引によ
って該グリーンシートに設けられた貫通穴に導電材の充
填を行うことでビアを形成するビアの形成方法に関し、 グリーンシートに形成されるビアの品質向上を図ること
を目的とし、 弾性を有する弾性フィルムと、該弾性フィルムより通気
抵抗が小さく、かつ、剛性を有する通気シートとをラミ
ネートすることでシート材を形成すると共に、該弾性フ
ィルムがグリーンシート側に、該通気シートが吸引台側
にそれぞれ配置されるように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は吸引台にグリーンシートを積載し、該吸引台の
吸引によって該グリーンシートに設けられた貫通穴に導
電材の充填を行うことでビアを形成するビアの形成方法
に関する。
セラミック基板に設けられるビアの形成は、一般的にセ
ラミック基板となるグリーンシートに貫通穴を加工し、
その貫通穴に金属粉または導体ペーストなどを充填し、
焼成によって行われる。
このようなビアの形成では、充填される金属粉または導
体ペーストなどの充填密度が粗であるとビアの品質が低
下する。
したがって、金属粉または導体ペーストなどの充填は、
充填密度が高く、かつ、均一に行われることが重要であ
る。
〔従来の技術〕
従来は第4図の従来の説明図に示すように行われていた
。第4図の(a)は側面断面図、(b)はグリーンシー
トの側面断面図である。
第4図の(a)に示すように、ビア6を形成する引 貫通穴5が設けられたグリーンシート4を吸熱孔3を有
する吸引台lに積載し、グリーンシート4と吸引台1と
の間には通気性の紙材より成るシート部材12を張架し
、グリーンシート4の上面4Aにはフィルム13を重ね
るように構成されていた。
引 この場合の吸央孔3は直径が約1皿程度で、1cm間隔
で吸引台1に配列されている。
また、フィルム13にはグリーンシート4の貫通穴5に
合致される穴13Aが設けられ、フィルム13は貫通穴
5と穴13Aとが合致することで重ね合わされている。
引 そこで、シート部材12を介して吸引台1の吸÷孔3か
らエア2の吸引を行う一方、フィルム13の上に金属粉
または導体ペースト10を載せ、スキージIIを矢印方
向に摺動させることで穴13Aを通して、貫通穴5に金
属粉または導体ペースト10の充填が行われる。
したがって、貫通穴5に金属粉または導体ペースト10
の充填が充填されみた後は、(b)に示すようにグリー
ンシート4を取り出し、焼成が行われる。
(発明が解決しようとする課題〕 このようなシート部材12を介して吸引を行うことで貫
通穴5に金属粉または導体ベース)10の充填を行うこ
とでは、第4図の(b)に示すA部のように、ビア6の
周囲に金属粉または導体ペースト10が付着することが
生じる。
これはグリーンシート4とシート部材12との当接され
た隙間に金属粉または導体ペースト10が入り込むこと
によって形成されるものであり、A部に示す金属粉また
は導体ペースト10による付着が生じると、ビア6間の
ピッチPが小さい場合は互いのビア6が短絡する問題を
有していた。
このような金属粉または導体ペースト10による付着を
防止するためには、例えば、シート部材12の一面に粘
着性の溶剤を塗布し、A部に示す金属粉または導体ペー
スト10による付着を除去することも考えられる。
しかし、シート部材12の一面に粘着性の溶剤を塗布こ
とではシート部材12の通気性が悪くなり、吸引台1に
よる吸引力の低下し、金属粉または導体ペースト10の
充填密度が低くなり、ビア6の品質が劣化することにな
り、更に、グリーンシート4には粘着性の溶剤が付着さ
れるため、その溶剤を除去する工数が必要となり、逆に
コストアップとなる問題を有していた。
そこで、本発明では、グリーンシートに形成されるビア
の品質向上を図ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理説明図である。
第1図に示すように、弾性を有する弾性フィルム8と、
該弾性フィルム8より通気抵抗が小さく、かつ、剛性を
有する通気シート9とをラミネートすることでシート材
7を形成すると共に、該弾性フィルム8がグリーンシー
ト4側に、該通気シート9が吸引台1側にそれぞれ配置
されるように構成する。
このように構成することによって前述の課題は解決され
る。
(作用) 即ち、吸引台1とグリーンシート4との間に張架される
シート材7を弾性を有する弾性フィルム8と、剛性を存
する通気シート9とによって構成し、弾性フィルム8に
よって グリーンシート4との密着性を良くし、また、
通気シート9によって弾性フィルム8の変形を極力、抑
制するようにしたものである。
したがって、従来のようなどアロの周囲に金属粉または
導体ペースト10の付着がなく、更に、溶剤などの付着
が防げ、しかも、均一な吸引によって金属粉または導体
ベース)10の充填密度を所定の値にすることができ、
ビア6の品質の向上が図れる。
[実施例] 以下本発明を第2図および第3図を参考に詳細に説明す
る。第2図は本考案による一実施例の説明図で、(a)
 (b)は側面断面図、第3図は本発明のシート材の要
部拡大図である。全図を通じて、同一符号は同一対象物
を示す。
第2図の(a)に示すように吸気孔3を有する吸引台l
の上面1^には弾性フィルム8と通気シート9とをラミ
ネートすることで形成されたシート材7を張架するよう
にしたものである。
実際には、弾性フィルム8としては約30μmmの厚み
の多孔質口フッ化エチレン樹脂フィルムを用い、通気シ
ート9としては約70μコの厚みの防塵紙を用い、多孔
質口フッ化エチレン樹脂フィルムおよび通気シートには
それぞれ所定の通気孔(多孔質口フッ化エチレン樹脂フ
ィルムは参考顕微鏡写真1、通気シートは参考顕微鏡写
真2に示す)を有しており、それぞれの通気孔による通
気抵抗は弾性フィルム8より通気シー[・9の方が大き
くなるように形成されている。
そこで、グリーンシート4にビア6を形成する場合は、
(b)に示すように、シート材7にグリーンシート4を
重ね、シート材7を介して吸引孔3よりエア2を吸引し
、貫通穴5に前述と同様に金属粉または導体ペースト1
0の充填によって行われる。
この場合、第3図に示すように弾性フィルム8がグリー
ンシート4側に密着されるように配置することでグリー
ンシート4と弾性フィルム8との間に隙間が生じること
な(、前述のような隙間によって金属粉または導体ベー
ス1−10の付着を防ぐことができ、また、弾性フィル
ム8の変形は通気シート9によって補強され、グリーン
シート4を重ね合わせた時、弾性フィルム8にシワが生
じることなく、弾性フィルム8の通気性を損なうことが
防げる。
更に、通気抵抗は弾性フィルム8よりも通気シート9の
方が大きく形成されているため、グリーンシート4を吸
引台1に積載し、吸引孔3によるエア2の吸引による吸
引力A1は、吸引孔3の直上に位置した貫通穴5−1 
と、吸引孔3より離れた個所に位置した貫通孔5−2と
は通気シート9の通気抵抗によって矢印A2に示すよう
にバランスがとられることになる。
そこで、それぞれの貫通穴5−1 と5−2とには均一
な密度となる金属粉または導体ペースト10の充填が行
える。
〔発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、弾性フィルムと
通気シートとをラミネートされたシート材によって金属
粉または導体ペーストの充填を行うことで、弾性フィル
ムによってグリーンシートとの密着性を良くし、金属粉
または導体ベースI・が貫通穴の周囲に付着することが
ないように、しかも、通気シートの通気抵抗によって吸
引力のバランスを取ることで、それぞれの貫通穴に於け
る金属粉または導体ペーストの充填密度の均一化を得る
ことができる。
したがって、従来のような隣接ビア間が短絡するような
ことがなく、また、充填密度の均一化によりビアの品質
を向上させることができ、実用的効果は大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理説明図。 第2図は本発明による一実施例の説明図で、(a)(b
)は側面断面図、 \ 第3図は本発明のシート材の要部拡大図。 第4図は従来の説明図で、(a)は側面断面図。 (b)はグリーンシートの側面断面図を示す。 図において、 1は吸引台、      2はエア。 3は吸引孔、      4はグリーンシート5は貫通
穴、      6はビア。 7はシート材、     8は弾性フィルム。 9は通気シート、     1Aは上面を示す。 6ヒ゛′ア 第  1   しn 二Zシート材 (へ) 本毛朗t−ろ一炙亀例の1剋明記 )イ   2   図 3、!I及引lム 本発5月のシートオオの要郁才広犬図 第 3  図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. エア(2)を吸引する吸引孔(3)を有する吸引台(1
    )と、該吸引台(1)の上面(1A)に張架されるシー
    ト材(7)と、貫通穴(5)を有し、該シート材(7)
    を介在することで該吸引台(1)に積載されるグリーン
    シート(4)とを備え、該吸引台(1)による該エア(
    2)の吸引が該シート材(7)を介して行い、該貫通穴
    (5)に導電材の充填を行うことでビア(6)を形成す
    るビアの形成方法において、弾性を有する弾性フィルム
    (8)と、該弾性フィルム(8)より通気抵抗が大きく
    、かつ、剛性を有する通気シート(9)とをラミネート
    することで前記シート材(7)を形成すると共に、該弾
    性フィルム(8)が前記グリーンシート(4)側に、該
    通気シート(9)が前記吸引台(1)側にそれぞれ配置
    されることを特徴とするビアの形成方法。
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