JPS63299196A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 セラミック基板のグリーンシートに形成されたスルホー
ル孔内にスルホール導体となるペーストを充填するに際
し、グリーンシートとバキュームテーブルとの間に多数
の微細孔を有する有機フィルムを介在させ、該有機フィ
ルムを介して樹脂フィルム（以後マイラフィルムと記す
）上のペーストをスルホール内に充填する構成とし、ス
ルホール内へのペーストの充填率をよくするとともに、
グリーンシート裏面でのペーストのにじみをなくするよ
うにしている。

〔産業上の利用分野〕

本発明はセラミック基板の製造方法に関し、特にグリー
ンシートのスルホール内へのペーストの充填方法を改良
したセラミック基板の製造方法に関するものである。

電子機器の配線基板として用いられているセラミック基
板の製造工程において、セラミック基板を形成するグリ
ーンシートの表面と裏面の回路間を導通するために孔明
けされた多数のスルーホール内にスルホール導体となる
ペーストを充填するペースト充填工程がある。

このペースト充填工程において、ペーストを全てのスル
ホール内に効率よく充填するとともに、ペーストがスル
ホール以外に流出して不要な導体を形成することをなく
する必要があり、それがためのペースト充填方法が要望
されている。

〔従来の技術〕

第３図は従来のペースト充填構造の側断面図、第４図は
従来のペースト充填を示す側断面である。

第３図に示すように、従来のペースト充填構造は、キャ
リアフィルム（マイラフィルム）　２が添付された状態
で孔明を終了したグリーンシート１を和紙４を介してバ
キュームテーブル３」−に載置し、バキュームテーブル
３に配設された吸引用孔３−１〜３−　ｎより吸引しな
がら、ステージ７によりマイラフィルム２上に載置され
たペースト５をスルホール１−１〜１−ｎに充填する構
造となっている。

いま第３図の矢印に示すように、バキュームテーブル３
に配設された吸引用孔３−１〜３−ｎより空気を外部に
排出すると、ステージ７により充填されたペースト５は
、マイラフィルム２の孔２−１〜２−　ｎおよびグリー
ンシートｌのスルホール孔１−１〜１−ｎを介して吸引
され、前記番孔を通って和紙４に至り、和紙４で遮断さ
れて第４図に示すように、スルホール孔１−１〜１−ｎ
内に充填される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のペースト充填構造においては、グリーンシート１
のスルホール孔１−１〜１−ｎとバキュームテーブル３
の吸引用孔３−１〜３−ｎとの孔位置とが１対１で対応
していないため、対応していない位置ではペーストの吸
引力が弱くなり、スルホール孔１−１〜１−ｎへのペー
スト５の充填が不完全となる。

また、グリーンシートｌとバキュームテーブル３との間
に和紙４を挟んでスルホール内にペースト５を充填する
と、和紙４はペースト５を吸収す９己百１土ζへ一＾「
ａ―百よれ（９１θ１慨硲則り通気性に欠けるため、第
４図のａに示すように、和紙４からペース斗５かにじみ
でてグリーンジートドの裏面すに付着する。このグリー
ンシート１の裏面すに付着したペーストは、その後転写
されて不要な導体パターンとなってしまい、後工程での
印刷でのパターンショートの原因となりセラミック基板
の信頼性を低下せしめる。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、全て
のスルホール孔内に完全にペーストを充填することがで
きるとともに、グリーンシートの裏面においてペースト
のにじみが発生しないペースト充填方法を提供すること
を目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明のペースト充填構造の側断面図を示して
おり、マイラフィルム２が貼付された状態でスルホール
用孔１−１〜１−ｎ明けを終了したグリーンシート１を
多数の通気性微細孔を有する有機フィルム６を介してバ
キュームテーブル３上に載置し、前記バキュームテーブ
ルに配設された吸引用孔３−１〜３−　ｎより前記有機
フィルム６を介して前記グリーンシート全体を吸引しな
がら前記マイラフィルム２上に設けられたペースト５を
前記スルホール孔１−１〜ｉ−ｎ内に充填する構成とし
ている。

〔作用〕

有機フィルム６ば、孔径がサブミクロンオーダで、左右
、上下方向に連結した三次元網状構造の連通孔からなっ
ている。これがために通気性が良く、バキームテーブル
３に配設された吸引用孔３−１〜３−ｎより空気が外部
に排出することによってグリーンシート全面を吸引する
ことができる。

これによって全てのスルホール１−１〜１−ｎは真空引
きされ、全てのスルホール孔１＝１−１−ｎ内にペース
ト５が完全に充填される。

また、有機フィルム６は、三次元網状構造の連結孔とな
っているため、ペースト５に含まれている有機溶剤の吸
収が極めて速く、ペースト５のにじみ量を抑えてグリー
ンシート１の裏面にペーストが付着することをなくする
。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例のペースト充填構造の側断面
図、第２図は一実施例のペースト充填を示す側断面であ
る。

第１図に示すように、一実施例のペースト充填構造は、
マイラフィルム２が貼付された状態で孔明を終了したグ
リーンシート１を微多孔質の有機フィルム６を介してバ
キュームテーブル３上に載置し、マイラフィルム２の上
方にてステージ７により充填されたペースト５をバキュ
ームテーブル３に配設された吸引用孔３−１〜３−ｎよ
り吸引する構成としている。

いま第１図の矢印で示すように、バキュームテーブル３
に配設された吸引用孔より空気を外部に排出すると、マ
イラフィルム上に設けられたペースト５は、マイラフィ
ルム２の孔２−１〜２−ｎおよびグリーンシート１のス
ルホール孔１−１〜１−ｎを通って有機フィルム６に至
り、有機フィルム６で遮断され、第２図に示すように、
スルホール孔１−１〜１−ｎ内に充填される。

有機フィルム６は、第１図に示すように、孔径がサブミ
クロンオーダで、左右、上下方向に連結した三次元網状
構造の連結孔を有するポリオレフィン系樹脂（例えば、
商品名ハイボアー２０００．旭化成ＫＫ製）を使用して
おり、通気性がよく、且つ耐薬品性に優れ、有機溶剤の
吸収が非常に速い性質を有ている。

この通気性により、バキームテーブル３に配設された吸
引用孔３−１〜３−ｎより空気が外部に排出することに
よってグリーンシート全面を吸引し全てのスルホール孔
１−１〜１−ｎを真空引きしてスルホール孔１−１〜ｌ
−ｎ内にペースト５を完全に充填する。

また、有機溶剤の吸収を速く行うことにより、ペースト
５の溶剤分を素早く吸収してペースト５のにじみが少な
くなる。従ってグリーンシートの裏面にランドパターン
を印刷する際、印刷精度の許容範囲を広げることができ
ショートの確率を低くするすることができる。

従来の上質の和紙を用いたペースト充填方法においては
、にじみ量が１００μ−以上であったのに対して本実施
例の有機フィルムを用いると、にじみ量が２０μｍ以下
におさえることが可能となった。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、グリーンシートと
バキュームテーブルとの間に有機フィルムを挿入し、有
機フィルムを介してペーストを吸引してスルホール孔内
に充填することにより、全てのスルホール孔内にペース
トを完全に充填できるとともに、ペーストのグリーンシ
ート裏面へのにじみ量が少なくなり、グリーンシート裏
面での高精度のランドパターン印刷が可能となる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明のペースト充填構造の側断面図、第２図
は一実施例のペースト充填を示す側断面図、 第３図は従来のペースト充填構造の側断面図、第４図は
従来のペースト充填を示す側断面図である。 図において、１はグリーンシート、１−１〜１−ｎはス
ルホール孔、２はマイラフィルム、２−１〜２−ｎはマ
イラシート孔、３はバキュームテーブル、３−１〜３−
ｎは吸引用孔、４は和紙、５はペースト、６は有機フィ
ルム、７はステージ峯発明／＋τ−ｚＩ−走祷講逆一グ
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Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 樹脂フィルム（２）が貼付された状態でスルホール（１
   −１〜１−ｎ）孔明けを終了したグリーンシート（１）
   を多数の通気性微細孔を有する有機フィルム（６）を介
   してバキュームテーブル（３）上に載置し、前記バキュ
   ームテーブルに配設された吸引用孔（３−１〜３−ｎ）
   より前記有機フィルム（６）を介して前記グリーンシー
   ト全体を吸引しながら前記樹脂フィルム（２）上に設け
   られたペースト（５）を前記スルホール孔（１−１〜１
   −ｎ）内に充填するようにしたことを特徴とするセラミ
   ック基板の製造方法。