JPH0639998A - グリーンシート用厚膜印刷機 - Google Patents

グリーンシート用厚膜印刷機

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Publication number
JPH0639998A
JPH0639998A JP4105098A JP10509892A JPH0639998A JP H0639998 A JPH0639998 A JP H0639998A JP 4105098 A JP4105098 A JP 4105098A JP 10509892 A JP10509892 A JP 10509892A JP H0639998 A JPH0639998 A JP H0639998A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
paste
porous material
stage
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP4105098A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshimasa Tanaka
良昌 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP4105098A priority Critical patent/JPH0639998A/ja
Publication of JPH0639998A publication Critical patent/JPH0639998A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高アスペクト比のスルーホール(グリーンシ
ート厚/スルーホール径)へのビア充てんを可能にし、
すべてのパターンのビアフィルがステージの交換なしで
行う事ができる。 【構成】 印刷スキージ,スクリーンおよびグリーンシ
ート固定ステージからなるグリーンシート用厚膜印刷機
において、グリーンシート固定ステージのスルーホール
形成エリアに多孔質体を設け、さらに多孔質体と接続す
る真空ポンプを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、グリーンシート用厚膜
印刷機に関し、特にスルーホールへのペースト充填用の
グリーンシート固定ステージの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のグリーンシート用厚膜印
刷機は、グリーンシート固定ステージに真空吸引機構を
有していない、あるいは真空吸引機構が有ってもスルー
ホール1つに対し、吸引口1つを施す構造となってい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のグリー
ンシート用厚膜印刷機は、真空吸引機構が無い場合は、
アスペクト比(グリーンシート厚/スルーホール径)が
高い場合にはスルーホールへの完全なペースト充填が困
難であった。
【0004】図5は、真空吸引機構を有しないグリーン
シート用厚膜印刷機でのスルーホールへのペースト充填
の状態を示す断面図である。グリーンシート固定ステー
ジ1上に通気性シート6を介してグリーンシート4がセ
ットされ、グリーンシート4上のビアフィル用スクリー
ン7を通して導電性ペースト9がスルーホール5内に充
填されているが完全でなく、導伝性ペースが充填されな
い部分12を有する。これは、ペーストとステージの間
の空気の逃げ場が少なく、スキージ圧力だけのためペー
ストの充填圧力が弱いためである。この状態になると印
刷回数を増しても充填量は上がらない。吸引無しでスル
ーホール充填できるアスペクト比は最高でも1.5程度
に限られてしまい電気的にオープンするという問題が発
生する。
【0005】また、真空吸引機構を有していてもスルー
ホール1つに対し1つの吸引口では、スルーホール密度
が上がるにつれステージに開ける吸引口の加工精度が高
く要求されるようになる。それに加えパターン変更があ
った場合、グリーンシート固定ステージの改造も必要で
あった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のグリーンシート
厚膜印刷機は、固定ステージ上に載置したグリーンシー
トに印刷スキージを用いてスクリーンを通して導伝性ペ
ーストを印刷するグリーンシート用厚膜印刷機におい
て、前記グリーンシート固定ステージ上に設けられ、グ
リーンシートとグリーンシート固定ステージの間のスル
ーホール形成エリアに位置する通気性を有する多孔質体
と、前記多孔質体の下側を真空にする真空手段とを備え
る構造となっている。
【0007】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【0008】図1は本発明の一実施例の断面図、図2は
本実施例の分解斜視図である。図3および図4は吸引で
のペースト充填の断面図である。
【0009】本実施例は、グリーンシート固定ステージ
1のヴィアフィル領域に通気性を有する多孔質体2を備
え、さらにこれを真空ポンプ3と接続し真空吸引を行え
る構造となっている。この多孔質体の気孔率は60〜8
0%、気孔径は10〜200μmであり通気構造となっ
ている。
【0010】図1および図2のグリーンシート4はスリ
ップキャスティング法にて成膜されたものであり、シー
ト厚は100〜600μmである。グリーンシートに
は、シート上下の導通を得るためパンチングにてスルー
ホール5が100〜300μmの径で形成されている。
このグリーンシート4をグリーンシート固定ステージ1
にセットする。この際、多孔質体2の保護のため通気性
シート6を間に挟む。通気性シート6は疎水性のものが
適している。
【0011】これに、ヴィアフィル用スクリーン7を重
ね合わせスキージ8により導電性ペースト9を充填す
る。この時、多孔質体2による真空吸引機構がステージ
に備えてある為、ペースト9はスルーホール5の底部ま
で吸引されるが、上部にペースト充填されない部分が発
生する(図3)。そこを2度目の印刷(DoubleW
et Pass)によりペーストを完全に充填する。図
4に2回目の印刷によるペースト11を示す。このよう
に、真空吸引機構を設けることにより、高アスペクト比
(約2.5位まで可能)のスルーホールにもペースト充
填が可能となる。
【0012】また、吸引を多孔質体で行っているため、
どのようなパターンにも適用でき、ステージの吸引口を
精度良く加工する必要もない。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、グリーン
シート用厚膜印刷機のグリーンシート固定ステージに多
孔質体を設け、真空手段により多孔質体の下側を真空に
することにより、高アスペクト比のスルーホールへのペ
ースト充填を可能にし、全てのパターンに適用出来、吸
引口の加工精度も高く要求されないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面図である。
【図2】図1に示す実施例の分解斜視図である。
【図3】図1に示す実施例で導伝性ペースト9が充填さ
れたスルーホール5の断面図である。
【図4】図1に示す実施例で2度目の印刷後のスルーホ
ール5を示す断面図である。
【図5】従来のグリーンシート用厚膜印刷機での真空吸
引をしない場合の導伝ペースト9の充填状態を示すスル
ーホール5の断面図である。
【符号の説明】
1 グリーンシート固定ステージ 2 多孔質体 3 真空ポンプ 4 グリーンシート 5 スルーホール 6 通気性シート 7 ヴィアフィル用スクリーン 8 スキージ 9 導電性ペースト 10 スクリーン開孔部 11 2回目の印刷ペースト 12 ペースト充填されない部分

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定ステージ上に載置したグリーンシー
    トに印刷スキージを用いてスクリーンを通して導伝性ペ
    ーストを印刷するグリーンシート用厚膜印刷機におい
    て、前記グリーンシート固定ステージ上に設けられ、グ
    リーンシートとグリーンシート固定ステージの間のスル
    ーホール形成エリアに位置する通気性を有する多孔質体
    と、前記多孔質体の下側を真空にする真空手段とを備え
    ることを特徴とするグリーンシート用厚膜印刷機。
JP4105098A 1992-04-24 1992-04-24 グリーンシート用厚膜印刷機 Pending JPH0639998A (ja)

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JP4105098A JPH0639998A (ja) 1992-04-24 1992-04-24 グリーンシート用厚膜印刷機

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980818