JPH0722734A - セラミックグリーンシートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィルム - Google Patents
セラミックグリーンシートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィルムInfo
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- JPH0722734A JPH0722734A JP5187291A JP18729193A JPH0722734A JP H0722734 A JPH0722734 A JP H0722734A JP 5187291 A JP5187291 A JP 5187291A JP 18729193 A JP18729193 A JP 18729193A JP H0722734 A JPH0722734 A JP H0722734A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、簡単な工程で効率よく、しかも経
済的にセラミックグリーンシートの上記処理を行なうこ
とができる処理方法および該方法に使用されるキャリヤ
フィルムを提供することを目的とするものである。 【構成】 長尺のキャリヤフィルムを準備し、この上に
連続して長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートを
形成し、この状態で、スルーホールの形成、導体パター
ン形成、スルーホール導体充填を行なうセラミックグリ
ーンシートの処理方法において、多孔質板からなる印刷
ステージ上に、ウエブ状のセラミックグリーンシートの
所定単位部分を、前記キャリアフィルムが印刷ステージ
側になるように位置決め配置し、この状態で、前記導体
パターン形成およびスルーホール導体充填を行ない、こ
れを連続して繰り返し行なうことを特徴とするものであ
る。
済的にセラミックグリーンシートの上記処理を行なうこ
とができる処理方法および該方法に使用されるキャリヤ
フィルムを提供することを目的とするものである。 【構成】 長尺のキャリヤフィルムを準備し、この上に
連続して長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートを
形成し、この状態で、スルーホールの形成、導体パター
ン形成、スルーホール導体充填を行なうセラミックグリ
ーンシートの処理方法において、多孔質板からなる印刷
ステージ上に、ウエブ状のセラミックグリーンシートの
所定単位部分を、前記キャリアフィルムが印刷ステージ
側になるように位置決め配置し、この状態で、前記導体
パターン形成およびスルーホール導体充填を行ない、こ
れを連続して繰り返し行なうことを特徴とするものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィル
ムに関するものである。
ートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィル
ムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミックグリーンシートは、積層型セ
ラミック電子部品を製造する際に用いられるもので、通
常、セラミック顔料と熱可塑性樹脂その他で構成された
セラミックスラリーをキャリヤフィルム上に例えばドク
ターブレード法等により塗布することにより形成され
る。そして、このセラミックグリーンシートは、スルー
ホールが穴あけされ、該スルーホールに導体が充填さ
れ、そしてその表面に配線パターンが印刷される。この
ように、配線パターンが印刷されたセラミックグリーン
シートは、複数枚積層され、焼成されて、積層型セラミ
ック電子部品が製造される。
ラミック電子部品を製造する際に用いられるもので、通
常、セラミック顔料と熱可塑性樹脂その他で構成された
セラミックスラリーをキャリヤフィルム上に例えばドク
ターブレード法等により塗布することにより形成され
る。そして、このセラミックグリーンシートは、スルー
ホールが穴あけされ、該スルーホールに導体が充填さ
れ、そしてその表面に配線パターンが印刷される。この
ように、配線パターンが印刷されたセラミックグリーン
シートは、複数枚積層され、焼成されて、積層型セラミ
ック電子部品が製造される。
【０００３】積層型セラミック電子部品は、上下層の電
気的導通を図るため、上述のように、上記スルーホール
内にも導体を充填して、導体層を設けることとしてい
る。
気的導通を図るため、上述のように、上記スルーホール
内にも導体を充填して、導体層を設けることとしてい
る。
【０００４】従来、スルーホール内に導体層を設ける方
法の一つとして、スルーホールパターンと同一の吸引用
治具をセラミックグリーンシートの下面に配し、吸引し
ながら導体ペーストを印刷して、スルーホール内に導体
ペーストを充填する方法が採用されている（特願昭６０
−１３９４２３号参照）。
法の一つとして、スルーホールパターンと同一の吸引用
治具をセラミックグリーンシートの下面に配し、吸引し
ながら導体ペーストを印刷して、スルーホール内に導体
ペーストを充填する方法が採用されている（特願昭６０
−１３９４２３号参照）。
【０００５】しかしながら、このような従来の方法で
は、スルーホールパターンに対応した金型や治具が必要
であり、その製作費用が高価となり、また、複雑で厳格
な工程条件が必要であった。
は、スルーホールパターンに対応した金型や治具が必要
であり、その製作費用が高価となり、また、複雑で厳格
な工程条件が必要であった。
【０００６】そこで、特開昭６２−１２８１９５号公報
においては、「ヴイアホール用孔が穿孔されたセラミッ
クグリーンシートを離型性多孔質板の上面に配し、セラ
ミックグリーンシートに導体ペーストを印刷してヴイア
ホール用孔内に導体ペーストを塗布し、乾燥の後にセラ
ミックグリーンシートを離型性多孔質板より剥離するヴ
イアホールの形成方法。」が提案されている。
においては、「ヴイアホール用孔が穿孔されたセラミッ
クグリーンシートを離型性多孔質板の上面に配し、セラ
ミックグリーンシートに導体ペーストを印刷してヴイア
ホール用孔内に導体ペーストを塗布し、乾燥の後にセラ
ミックグリーンシートを離型性多孔質板より剥離するヴ
イアホールの形成方法。」が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】特開昭６２−１２８１
９５号公報に開示された上記方法によれば、費用が高く
つく治具等が不要であり、導体ペーストをヴイアホール
用孔内に良好に充填することができるが、上記導体ペー
ストのヴイアホール用孔内への充填の作業前に、グリー
ンシートを個片に切断し、これを金属枠に接着した状態
で、上記ヴイアホール用孔を形成し、このヴイアホール
用孔が形成された個片状のグリーンシートを離型性多孔
質板に張り替えなくてはならないので、工程数が多く、
また、作業を効率良く行なおうとすれば、離型性多孔質
板も多数準備する必要があり、不経済である。
９５号公報に開示された上記方法によれば、費用が高く
つく治具等が不要であり、導体ペーストをヴイアホール
用孔内に良好に充填することができるが、上記導体ペー
ストのヴイアホール用孔内への充填の作業前に、グリー
ンシートを個片に切断し、これを金属枠に接着した状態
で、上記ヴイアホール用孔を形成し、このヴイアホール
用孔が形成された個片状のグリーンシートを離型性多孔
質板に張り替えなくてはならないので、工程数が多く、
また、作業を効率良く行なおうとすれば、離型性多孔質
板も多数準備する必要があり、不経済である。
【０００８】そこで、本発明は、簡単な工程で効率よ
く、しかも経済的にセラミックグリーンシートの上記処
理を行なうことができる処理方法および該方法に使用さ
れるキャリヤフィルムを提供することを目的とするもの
である。
く、しかも経済的にセラミックグリーンシートの上記処
理を行なうことができる処理方法および該方法に使用さ
れるキャリヤフィルムを提供することを目的とするもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の
（１）〜（３）の発明で達成される。 （１）長尺のキャリヤフィルムを準備し、この上に連続
して長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートを形成
し、この状態で、スルーホールの形成、導体パターン形
成、スルーホール導体充填を行なうセラミックグリーン
シートの処理方法において、多孔質板からなる印刷ステ
ージ上に、ウエブ状のセラミックグリーンシートの所定
単位部分を、前記キャリアフィルムが印刷ステージ側に
なるように位置決め配置し、この状態で、前記導体パタ
ーン形成およびスルーホール導体充填を行ない、これを
連続して繰り返し行なうことを特徴とするセラミックグ
リーンシートの処理方法。 （２）長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートが連
続して形成されるようになっており、後のセラミックグ
リーンシートの処理の際の該セラミックグリーンシート
の位置決めのための位置決め孔が形成されるようになっ
ていることを特徴とするキャリヤフィルム。 （３）前記位置決め孔が予め形成されている上記（２）
のキャリヤフィルム。
（１）〜（３）の発明で達成される。 （１）長尺のキャリヤフィルムを準備し、この上に連続
して長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートを形成
し、この状態で、スルーホールの形成、導体パターン形
成、スルーホール導体充填を行なうセラミックグリーン
シートの処理方法において、多孔質板からなる印刷ステ
ージ上に、ウエブ状のセラミックグリーンシートの所定
単位部分を、前記キャリアフィルムが印刷ステージ側に
なるように位置決め配置し、この状態で、前記導体パタ
ーン形成およびスルーホール導体充填を行ない、これを
連続して繰り返し行なうことを特徴とするセラミックグ
リーンシートの処理方法。 （２）長尺のウエブ状のセラミックグリーンシートが連
続して形成されるようになっており、後のセラミックグ
リーンシートの処理の際の該セラミックグリーンシート
の位置決めのための位置決め孔が形成されるようになっ
ていることを特徴とするキャリヤフィルム。 （３）前記位置決め孔が予め形成されている上記（２）
のキャリヤフィルム。
【００１０】
【発明の作用・効果】本発明においては、キャリヤフィ
ルムを付けたままの長尺のウエブ状の状態でセラミック
グリーンシートへの導体パターンの形成やスルーホール
への導体の充填を行なうようにしたので、取扱いやす
く、工程の連続化が図られ、しかも多孔質板からなる印
刷ステージが一つでよく、また、キャリヤフィルムが該
多孔質板に接触するので、剥離剤が不要である。
ルムを付けたままの長尺のウエブ状の状態でセラミック
グリーンシートへの導体パターンの形成やスルーホール
への導体の充填を行なうようにしたので、取扱いやす
く、工程の連続化が図られ、しかも多孔質板からなる印
刷ステージが一つでよく、また、キャリヤフィルムが該
多孔質板に接触するので、剥離剤が不要である。
【００１１】
【実施例】以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ま
しい実施例について説明する。
しい実施例について説明する。
【００１２】図１は、本発明の実施例による長尺のウエ
ブ状のセラミックグリーンシートの製造装置の概念図で
あり、図２は、上記のセラミックグリーンシートへの処
理を説明するための概念図である。
ブ状のセラミックグリーンシートの製造装置の概念図で
あり、図２は、上記のセラミックグリーンシートへの処
理を説明するための概念図である。
【００１３】図１において、符号１はキャリヤフィルム
１を示し、このキャリヤフィルム１は、長尺状をなし、
ロール２に巻かれている。このロール２から巻き出され
たキャリヤフィルム１の上部には、ドクターブレード装
置３が配置されている。このドクターブレード装置３に
より、キャリヤフィルム１上には、セラミックスラリ４
からなる長尺の連続したウエブ状のセラミックグリーン
シート５が形成される。
１を示し、このキャリヤフィルム１は、長尺状をなし、
ロール２に巻かれている。このロール２から巻き出され
たキャリヤフィルム１の上部には、ドクターブレード装
置３が配置されている。このドクターブレード装置３に
より、キャリヤフィルム１上には、セラミックスラリ４
からなる長尺の連続したウエブ状のセラミックグリーン
シート５が形成される。
【００１４】このセラミックグリーンシート５は、ドク
ターブレード装置３の下流側に配置された所定の構造の
乾燥装置６によりある程度乾燥され、その後キャリヤフ
ィルム１が付いたままの状態で巻き取りロール７により
巻き取られる。
ターブレード装置３の下流側に配置された所定の構造の
乾燥装置６によりある程度乾燥され、その後キャリヤフ
ィルム１が付いたままの状態で巻き取りロール７により
巻き取られる。
【００１５】上記セラミックグリーンシート５は、この
ように巻き取られた状態で保管されるか、あるいは次の
処理工程へ移管される。
ように巻き取られた状態で保管されるか、あるいは次の
処理工程へ移管される。
【００１６】次に、図２を参照して、セラミックグリー
ンシートの処理工程について説明する。
ンシートの処理工程について説明する。
【００１７】まず、セラミックグリーンシート５は、ロ
ール１０からキャリヤフィルム１を下にした状態で巻き
出され、その状態で搬送される。なお、ロール１０は、
上記の巻き取りロール７であってよい。
ール１０からキャリヤフィルム１を下にした状態で巻き
出され、その状態で搬送される。なお、ロール１０は、
上記の巻き取りロール７であってよい。
【００１８】上記ロール１０の下流側には、穿孔装置１
１が設けられている。この穿孔装置１１により、セラミ
ックグリーンシート５の所定単位部分すなわち積層型セ
ラミック電子部品の一層分の所定形状内に所定パターン
で一つ以上のスルーホールが形成される。このスルーホ
ールは、キャリヤフィルム１を貫通し形成される。これ
とともに、キャリヤフィルム１には、後の工程に必要な
位置決め用の複数の位置決め孔が形成される。このよう
な穿孔装置１１は、従来から知られている構造のものを
用いればよいのでこれ以上の説明は省略する。なお、上
記キャリヤフィルム１に形成される位置決め孔は、該キ
ャリヤフィルムに予め形成しておいてもよい。
１が設けられている。この穿孔装置１１により、セラミ
ックグリーンシート５の所定単位部分すなわち積層型セ
ラミック電子部品の一層分の所定形状内に所定パターン
で一つ以上のスルーホールが形成される。このスルーホ
ールは、キャリヤフィルム１を貫通し形成される。これ
とともに、キャリヤフィルム１には、後の工程に必要な
位置決め用の複数の位置決め孔が形成される。このよう
な穿孔装置１１は、従来から知られている構造のものを
用いればよいのでこれ以上の説明は省略する。なお、上
記キャリヤフィルム１に形成される位置決め孔は、該キ
ャリヤフィルムに予め形成しておいてもよい。
【００１９】次に、セラミックグリーンシート５は、キ
ャリヤフィルム１が付いたまま、印刷装置１２に搬送さ
れる。この印刷装置１２は、通気性の多孔質板で構成さ
れた印刷ステージ１３を有している。この印刷ステージ
１３は、その縁部に、該ステージの表面から突出できる
ように上下方向に移動可能な複数の位置決めピン１４を
備えている。この位置決めピン１４が突出し、キャリヤ
フィルム１の位置決め孔に嵌合することにより、セラミ
ックグリーンシート５の位置決めが行なわれる。
ャリヤフィルム１が付いたまま、印刷装置１２に搬送さ
れる。この印刷装置１２は、通気性の多孔質板で構成さ
れた印刷ステージ１３を有している。この印刷ステージ
１３は、その縁部に、該ステージの表面から突出できる
ように上下方向に移動可能な複数の位置決めピン１４を
備えている。この位置決めピン１４が突出し、キャリヤ
フィルム１の位置決め孔に嵌合することにより、セラミ
ックグリーンシート５の位置決めが行なわれる。
【００２０】上記印刷ステージ１３の下方には、真空吸
引装置１５が設けられており、この真空吸引装置１５に
よって、セラミックグリーンシート５の所定部分をキャ
リヤフィルム１を下にした状態で吸引固定するようにな
っている。
引装置１５が設けられており、この真空吸引装置１５に
よって、セラミックグリーンシート５の所定部分をキャ
リヤフィルム１を下にした状態で吸引固定するようにな
っている。
【００２１】印刷装置１２は、セラミックグリーンシー
ト５の上方に配置された印刷スクリーン１６および印刷
スキージ１７を備えており、これによって吸引状態のセ
ラミックグリーンシート５の表面に導体ペーストで所定
の導体パターンを印刷するとともに、上記スルーホール
内に導体ペーストを充填する。このスルーホール内への
導体ペーストの充填は、上記吸引力装置１５の吸引力の
助けをかりて確実に行なわれる。ここで、上記スルーホ
ール内に余剰の導体ペーストが充填されたとしても、こ
の余剰分は、キャリヤフィルム１の下面に溢れるだけで
あり、この余剰分はセラミックグリーンシートのキャリ
ヤフィルムからの剥離の際に該キャリヤフィルムに付着
したまま除去されてしまうので、グリーンシートの導体
パターン等に悪影響を及ぼすようなことがない。
ト５の上方に配置された印刷スクリーン１６および印刷
スキージ１７を備えており、これによって吸引状態のセ
ラミックグリーンシート５の表面に導体ペーストで所定
の導体パターンを印刷するとともに、上記スルーホール
内に導体ペーストを充填する。このスルーホール内への
導体ペーストの充填は、上記吸引力装置１５の吸引力の
助けをかりて確実に行なわれる。ここで、上記スルーホ
ール内に余剰の導体ペーストが充填されたとしても、こ
の余剰分は、キャリヤフィルム１の下面に溢れるだけで
あり、この余剰分はセラミックグリーンシートのキャリ
ヤフィルムからの剥離の際に該キャリヤフィルムに付着
したまま除去されてしまうので、グリーンシートの導体
パターン等に悪影響を及ぼすようなことがない。
【００２２】上記印刷スクリーン１６は、取り換え可能
となっており、必要なパターンを選択して印刷を行なえ
るようになっている。
となっており、必要なパターンを選択して印刷を行なえ
るようになっている。
【００２３】以上のように導体パターンが印刷され、導
体ペーストの充填が行なわれたセラミックグリーンシー
ト５は、乾燥機１８にて乾燥される。次いで、切断装置
１９によって所定の単位（一つの基板）の外形に打ち抜
きラインが形成され、この後、キャリヤフィルム１から
剥離される。このようにグリーンシートが剥離されたキ
ャリヤフィルム１はロール２０上に巻き取られる。
体ペーストの充填が行なわれたセラミックグリーンシー
ト５は、乾燥機１８にて乾燥される。次いで、切断装置
１９によって所定の単位（一つの基板）の外形に打ち抜
きラインが形成され、この後、キャリヤフィルム１から
剥離される。このようにグリーンシートが剥離されたキ
ャリヤフィルム１はロール２０上に巻き取られる。
【００２４】剥離された所定の単位のセラミックグリー
ンシートは、金型において複数枚積層され、熱プレスさ
れ、ついで焼結される。この後、外部導体が印刷され、
焼付け焼成されて、積層型セラミック電子部品が完成さ
れる。
ンシートは、金型において複数枚積層され、熱プレスさ
れ、ついで焼結される。この後、外部導体が印刷され、
焼付け焼成されて、積層型セラミック電子部品が完成さ
れる。
【００２５】以上説明したように、本発明においては、
セラミックグリーンシートが長尺のウエブ状のままで、
しかもキャリヤフィルムを付けたままで、穿孔、導体印
刷等の処理工程が行なわれるので、個片に切断したセラ
ミックグリーンシートに改めてキャリヤフィルムを付け
る等の工程を省くことができ、処理工程を簡略化するこ
とができるとともに、多孔質板で構成される印刷ステー
ジを１つだけ準備すればよいので、実施する装置も経済
的に構成することができる。
セラミックグリーンシートが長尺のウエブ状のままで、
しかもキャリヤフィルムを付けたままで、穿孔、導体印
刷等の処理工程が行なわれるので、個片に切断したセラ
ミックグリーンシートに改めてキャリヤフィルムを付け
る等の工程を省くことができ、処理工程を簡略化するこ
とができるとともに、多孔質板で構成される印刷ステー
ジを１つだけ準備すればよいので、実施する装置も経済
的に構成することができる。
【図１】本発明の実施例による長尺のウエブ状のセラミ
ックグリーンシートの製造装置の概念図である。
ックグリーンシートの製造装置の概念図である。
【図２】上記のセラミックグリーンシートへの処理を説
明するための概念図である。
明するための概念図である。
１ キャリヤフィルム ２ ロール ３ ドクターブレード装置 ４ セラミックスラリ ５ セラミックグリーンシート ６ 乾燥機 ７ ロール １０ ロール １１ 穿孔装置 １２ 印刷装置 １３ 印刷ステージ １４ 位置決めピン １５ 真空吸引装置 １６ 印刷スクリーン １７ 印刷スキージ １８ 乾燥機 １９ 切断装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｙ 6921−4Ｅ
Claims (3)
- 【請求項１】 長尺のキャリヤフィルムを準備し、この
上に連続して長尺のウエブ状のセラミックグリーンシー
トを形成し、この状態で、スルーホールの形成、導体パ
ターン形成、スルーホール導体充填を行なうセラミック
グリーンシートの処理方法において、多孔質板からなる
印刷ステージ上に、ウエブ状のセラミックグリーンシー
トの所定単位部分を、前記キャリアフィルムが印刷ステ
ージ側になるように位置決め配置し、この状態で、前記
導体パターン形成およびスルーホール導体充填を行な
い、これを連続して繰り返し行なうことを特徴とするセ
ラミックグリーンシートの処理方法。 - 【請求項２】 長尺のウエブ状のセラミックグリーンシ
ートが連続して形成されるようになっており、後のセラ
ミックグリーンシートの処理の際の該セラミックグリー
ンシートの位置決めのための位置決め孔が形成されるよ
うになっていることを特徴とするキャリヤフィルム。 - 【請求項３】 前記位置決め孔が予め形成されている請
求項２のキャリヤフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5187291A JPH0722734A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | セラミックグリーンシートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5187291A JPH0722734A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | セラミックグリーンシートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722734A true JPH0722734A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=16203435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5187291A Pending JPH0722734A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | セラミックグリーンシートの処理方法およびそれに使用されるキャリヤフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004087561A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 多層基板製造工程集約機 |
| KR101532387B1 (ko) * | 2012-10-12 | 2015-07-09 | 주식회사 잉크테크 | 회로패턴 및 통홀 내 도통라인을 형성하는 인쇄회로기판 프린팅장치 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5187291A patent/JPH0722734A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004087561A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 多層基板製造工程集約機 |
| US6854418B2 (en) * | 2002-08-23 | 2005-02-15 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Intensive machine for performing a plurality of processes in fabrication of multilayer substrate |
| KR101532387B1 (ko) * | 2012-10-12 | 2015-07-09 | 주식회사 잉크테크 | 회로패턴 및 통홀 내 도통라인을 형성하는 인쇄회로기판 프린팅장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030825 |