JPH0777296B2 - ビアの形成方法 - Google Patents
ビアの形成方法Info
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- JPH0777296B2 JPH0777296B2 JP1122457A JP12245789A JPH0777296B2 JP H0777296 B2 JPH0777296 B2 JP H0777296B2 JP 1122457 A JP1122457 A JP 1122457A JP 12245789 A JP12245789 A JP 12245789A JP H0777296 B2 JPH0777296 B2 JP H0777296B2
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- sheet
- suction
- resin film
- ventilation
- green sheet
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 吸引孔が配列した吸引台と、該吸引台の上面に張設する
通気性のシート材とを備え、貫通穴が配列したグリーン
シートを該シート材を介して該吸引台上に載置し、該吸
引孔からエアを吸引して、該グリーンシート上の導電材
を該貫通穴に充填するビアの形成方法において、 グリーンシートに形成されるビアの品質向上を図ること
を目的とし、 該シート材は、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルムと、該多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルムより
通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シートとが、ラ
ミネートされてなるものとし、該多孔質四フッ化エチレ
ン樹脂フィルムを該グリーンシート側に、該通気シート
を該吸引台側にして、該吸引孔からエアを吸引する構成
とする。
通気性のシート材とを備え、貫通穴が配列したグリーン
シートを該シート材を介して該吸引台上に載置し、該吸
引孔からエアを吸引して、該グリーンシート上の導電材
を該貫通穴に充填するビアの形成方法において、 グリーンシートに形成されるビアの品質向上を図ること
を目的とし、 該シート材は、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルムと、該多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルムより
通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シートとが、ラ
ミネートされてなるものとし、該多孔質四フッ化エチレ
ン樹脂フィルムを該グリーンシート側に、該通気シート
を該吸引台側にして、該吸引孔からエアを吸引する構成
とする。
本発明は、吸引孔が配列した吸引台と、吸引台の上面に
張設する通気性のシート材とを備え、貫通穴が配列した
グリーンシートをシート材を介して吸引台上に載置し、
吸引孔からエアを吸引してグリーンシート上の導電材を
貫通穴に充填するビアの形成方法に関する。
張設する通気性のシート材とを備え、貫通穴が配列した
グリーンシートをシート材を介して吸引台上に載置し、
吸引孔からエアを吸引してグリーンシート上の導電材を
貫通穴に充填するビアの形成方法に関する。
セラミック基板に設けられるビアの形成は、一般的にセ
ラミック基板となるグリーンシートに貫通穴を加工し、
その貫通穴に金属粉または導体ペーストなどを充填し、
焼成によって行われる。
ラミック基板となるグリーンシートに貫通穴を加工し、
その貫通穴に金属粉または導体ペーストなどを充填し、
焼成によって行われる。
このようなビアの形成では、充填される金属粉または導
体ペーストなどの充填密度が粗であるとビアの品質が低
下する。
体ペーストなどの充填密度が粗であるとビアの品質が低
下する。
したがって、金属粉または導体ペーストなどの充填は、
充填密度が高く、かつ、均一に行われることが重要であ
る。
充填密度が高く、かつ、均一に行われることが重要であ
る。
従来は第４図の従来の説明図に示すように行われてい
た。第４図の（ａ）は側面断面図，（ｂ）はグリーンシ
ートの側面断面図である。
た。第４図の（ａ）は側面断面図，（ｂ）はグリーンシ
ートの側面断面図である。
第４図の（ａ）に示すように、ビア６を形成する貫通穴
５設けられたグリーンシート４を吸引孔３を有する吸引
台１に載置し、グリーンシート４と吸引台１との間には
通気性の紙材より成るシート部材12を張設し、グリーン
シート４の上面4Aにフィルム13を重ねるように構成され
ていた。
５設けられたグリーンシート４を吸引孔３を有する吸引
台１に載置し、グリーンシート４と吸引台１との間には
通気性の紙材より成るシート部材12を張設し、グリーン
シート４の上面4Aにフィルム13を重ねるように構成され
ていた。
この場合の吸引孔３は直径が約1mm程度で、1cm間隔で吸
引台１に配列されている。
引台１に配列されている。
また、フィルム13にはグリーンシート４の貫通穴５に合
致される穴13Aが設けられ、フィルム13は貫通穴５と穴1
3Aとが合致することで重ね合わされている。
致される穴13Aが設けられ、フィルム13は貫通穴５と穴1
3Aとが合致することで重ね合わされている。
そこで、シート部材12を介して吸引台１の吸引孔３から
エア２の吸引を行う一方、フィルム13の上に金属粉また
は導体ペースト10を載せ、スキージ11を矢印方向に摺動
させることで穴13Aを通して、貫通穴５に金属粉または
導体ペースト10の充填が行われる。
エア２の吸引を行う一方、フィルム13の上に金属粉また
は導体ペースト10を載せ、スキージ11を矢印方向に摺動
させることで穴13Aを通して、貫通穴５に金属粉または
導体ペースト10の充填が行われる。
したがって、貫通穴５に金属粉または導体ペースト10の
充填が充填された後は、（ｂ）に示すようにグリーンシ
ート４を取り出し、焼成が行われる。
充填が充填された後は、（ｂ）に示すようにグリーンシ
ート４を取り出し、焼成が行われる。
このようなシート部材12を介して吸引を行うことで貫通
穴５に金属粉または導体ペースト10の充填を行うことで
は、第４図の（ｂ）に示すＡ部のように、ビア６の周囲
に金属粉または導体ペースト10が付着することが生じ
る。
穴５に金属粉または導体ペースト10の充填を行うことで
は、第４図の（ｂ）に示すＡ部のように、ビア６の周囲
に金属粉または導体ペースト10が付着することが生じ
る。
これはグリーンシート４とシート部材12との当接された
隙間に金属粉または導体ペースト10が入り込むことによ
って形成されるものであり、Ａ部に示す金属粉または導
体ペースト10による付着が生じると、ビア６間のピッチ
Ｐが小さい場合は互いのビア６が短絡する問題を有して
いた。
隙間に金属粉または導体ペースト10が入り込むことによ
って形成されるものであり、Ａ部に示す金属粉または導
体ペースト10による付着が生じると、ビア６間のピッチ
Ｐが小さい場合は互いのビア６が短絡する問題を有して
いた。
このような金属粉または導体ペースト10による付着を防
止するためには、例えば、シート部材12の一面に粘着性
の溶剤を塗布し、Ａ部に示す金属粉または導体ペースト
10による付着を除去することも考えられる。
止するためには、例えば、シート部材12の一面に粘着性
の溶剤を塗布し、Ａ部に示す金属粉または導体ペースト
10による付着を除去することも考えられる。
しかし、シート部材12の一面に粘着性の溶剤を塗布こと
ではシート部材12の通気性が悪くなり、吸引台１による
吸引力の低下し、金属粉または導体ペースト10の充填密
度が低くなり、ビア６の品質が劣化することになり、更
に、グリーンシート４には粘着性の溶剤が付着されるた
め、その溶剤を除去する工数が必要となり、逆にコスト
アップとなる問題を有していた。
ではシート部材12の通気性が悪くなり、吸引台１による
吸引力の低下し、金属粉または導体ペースト10の充填密
度が低くなり、ビア６の品質が劣化することになり、更
に、グリーンシート４には粘着性の溶剤が付着されるた
め、その溶剤を除去する工数が必要となり、逆にコスト
アップとなる問題を有していた。
そこで、本発明では、グリーンシートに形成されるビア
の品質向上を図ることを目的とする。
の品質向上を図ることを目的とする。
第１図は本発明の原理説明図である。
上記の目的を達成するために本発明は、第１図に示すよ
うに、吸引孔３が配列した吸引台１と、吸引台１の上面
1Aに張設する通気性のシート材７とを備え、貫通穴５が
配列したグリーンシート４をシート材７を介して吸引台
１上に載置し、吸引孔３からエア２を吸引して、グリー
ンシート４上の導電材を貫通穴５に充填するビアの形成
方法において、 シート材７は、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８よ
る通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シート９と
が、ラミネートされてなるものとし、多孔質四フッ化エ
チレン樹脂フィルム８をグリーンシート４側に、通気シ
ート９を吸引台１側にして、吸引孔３からエア２を吸引
する構成となる。
うに、吸引孔３が配列した吸引台１と、吸引台１の上面
1Aに張設する通気性のシート材７とを備え、貫通穴５が
配列したグリーンシート４をシート材７を介して吸引台
１上に載置し、吸引孔３からエア２を吸引して、グリー
ンシート４上の導電材を貫通穴５に充填するビアの形成
方法において、 シート材７は、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８よ
る通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シート９と
が、ラミネートされてなるものとし、多孔質四フッ化エ
チレン樹脂フィルム８をグリーンシート４側に、通気シ
ート９を吸引台１側にして、吸引孔３からエア２を吸引
する構成となる。
即ち、吸引台１とグリーンシート４との間に張設するシ
ート材７を、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フィ
ルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８より
通気抵抗が大きく且つ剛性をする通気シート９とが、ラ
ミネートされてなるものとし、多孔質四フッ化エチレン
樹脂フィルム８によってグリーンシート４と密着性を良
くし、また通気シート９によって多孔質四フッ化エチレ
ン樹脂フィルム８の変形を極力抑制する。
ート材７を、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フィ
ルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８より
通気抵抗が大きく且つ剛性をする通気シート９とが、ラ
ミネートされてなるものとし、多孔質四フッ化エチレン
樹脂フィルム８によってグリーンシート４と密着性を良
くし、また通気シート９によって多孔質四フッ化エチレ
ン樹脂フィルム８の変形を極力抑制する。
また、通気シート９の通気抵抗を多孔質四フッ化エチレ
ン樹脂フィルム８の通気抵抗よりも大きくしたことによ
り、エアがほぼ平等に分配されて通気シート９を通過す
るようになり、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８
にシワが発生することが防止され、且つグリーンシート
４の各貫通穴に吸い込まれるエア量が均一化される。
ン樹脂フィルム８の通気抵抗よりも大きくしたことによ
り、エアがほぼ平等に分配されて通気シート９を通過す
るようになり、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８
にシワが発生することが防止され、且つグリーンシート
４の各貫通穴に吸い込まれるエア量が均一化される。
したがって、従来のようなビア６の周囲に金属粉または
導体ペースト10の付着がなく、更に、溶剤などの付着が
防げ、しかも、均一な吸引によって金属粉または導体ペ
ースト10の充填密度を所定の値にすることができ、ビア
６の品質の向上が図れる。
導体ペースト10の付着がなく、更に、溶剤などの付着が
防げ、しかも、均一な吸引によって金属粉または導体ペ
ースト10の充填密度を所定の値にすることができ、ビア
６の品質の向上が図れる。
以下本発明を第２図および第３図を参考に詳細に説明す
る。第２図は本考案による一実施例の説明図で、（ａ）
（ｂ）は側面断面図，第３図は本発明のシート材の要部
拡大図である。全図を通じて、同一符号は同一対象物を
示す。
る。第２図は本考案による一実施例の説明図で、（ａ）
（ｂ）は側面断面図，第３図は本発明のシート材の要部
拡大図である。全図を通じて、同一符号は同一対象物を
示す。
第２図の（ａ）に示すように吸引孔３が配列した吸引台
１の上面1Aに、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８よ
り通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シート９と
を、ラミネートしたシート材７を張設するようにしたも
のである。
１の上面1Aに、弾性ある多孔質四フッ化エチレン樹脂フ
ィルム８と、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８よ
り通気抵抗が大きく且つ剛性を有する通気シート９と
を、ラミネートしたシート材７を張設するようにしたも
のである。
実際には、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８は、
約30μｍの厚みの弾性あるフィルムを用い、通気シート
９としては約70μｍの厚みの防塵紙を用い、多孔質四フ
ッ化エチレン樹脂フィルムおよび通気シートにはそれぞ
れ所定の通気孔（多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム
は参考顕微鏡写真１、通気シートは参考顕微鏡写真２に
示す）を有しており、それぞれの通気孔による通気抵抗
多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８より通気シート
９の方が大きくなるように形成されている。
約30μｍの厚みの弾性あるフィルムを用い、通気シート
９としては約70μｍの厚みの防塵紙を用い、多孔質四フ
ッ化エチレン樹脂フィルムおよび通気シートにはそれぞ
れ所定の通気孔（多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム
は参考顕微鏡写真１、通気シートは参考顕微鏡写真２に
示す）を有しており、それぞれの通気孔による通気抵抗
多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム８より通気シート
９の方が大きくなるように形成されている。
そこで、グリーンシート４にビア６を形成する場合は、
（ｂ）に示すように、シート材にグリーンシート４を重
ね、シート材７を介して吸引孔３よりエア２を吸引し、
貫通穴５に前述と同様に金属粉または導体ペースト10の
充填によって行われる。
（ｂ）に示すように、シート材にグリーンシート４を重
ね、シート材７を介して吸引孔３よりエア２を吸引し、
貫通穴５に前述と同様に金属粉または導体ペースト10の
充填によって行われる。
この場合、第３図に示すように多孔質四フッ化エチレン
樹脂フィルム８がグリーンシート４側に密着されるよう
に配置することでグリーンシート４と多孔質四フッ化エ
チレン樹脂フィルム８との間に隙間が生じることなく、
前述のような隙間によって金属粉または導体ペースト10
の付着を防ぐことができ、また、弾性フィルム８の変形
は通気シート９によって補強され、グリーンシート４を
重ね合わせた時、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム
８にシワが生じることなく、多孔質四フッ化エチレン樹
脂フィルム８の通気性を損なうことが防げる。
樹脂フィルム８がグリーンシート４側に密着されるよう
に配置することでグリーンシート４と多孔質四フッ化エ
チレン樹脂フィルム８との間に隙間が生じることなく、
前述のような隙間によって金属粉または導体ペースト10
の付着を防ぐことができ、また、弾性フィルム８の変形
は通気シート９によって補強され、グリーンシート４を
重ね合わせた時、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム
８にシワが生じることなく、多孔質四フッ化エチレン樹
脂フィルム８の通気性を損なうことが防げる。
更に、通気抵抗は多孔質四フッ化樹脂フィルム８よりも
通気シート９の方が大きく形成されているため、グリー
ンシート４を吸引台１に積載し、吸引孔３によるエア２
の吸引による吸引力A1は、吸引孔３の直上に位置した貫
通穴５−１と、吸引孔３より離れた個所に位置した貫通
孔５−２とは通気シート９と通気抵抗によって矢印A2に
示すようにバランスがとられることになる。
通気シート９の方が大きく形成されているため、グリー
ンシート４を吸引台１に積載し、吸引孔３によるエア２
の吸引による吸引力A1は、吸引孔３の直上に位置した貫
通穴５−１と、吸引孔３より離れた個所に位置した貫通
孔５−２とは通気シート９と通気抵抗によって矢印A2に
示すようにバランスがとられることになる。
そこで、それぞれの貫通穴５−１と５−２とには均一な
密度となる金属粉または導体ペースト10の充填が行え
る。
密度となる金属粉または導体ペースト10の充填が行え
る。
以上説明したように、本発明によれば、多孔質四フッ化
エチレン樹脂フィルムと通気シートとをラミネートされ
たシート材によって金属粉または導体ペーストの充填を
行うことで、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルムによ
ってグリーンシートとの密着性を良くし、金属粉または
導体ペーストが貫通穴の周囲に付着することがないよう
に、しかも、通気シートの通気抵抗によって吸引力のバ
ランスを取ることで、それぞれの貫通穴に於ける金属粉
または導体ペーストの充填密度の均一化を得ることがで
きる。
エチレン樹脂フィルムと通気シートとをラミネートされ
たシート材によって金属粉または導体ペーストの充填を
行うことで、多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルムによ
ってグリーンシートとの密着性を良くし、金属粉または
導体ペーストが貫通穴の周囲に付着することがないよう
に、しかも、通気シートの通気抵抗によって吸引力のバ
ランスを取ることで、それぞれの貫通穴に於ける金属粉
または導体ペーストの充填密度の均一化を得ることがで
きる。
したがって、従来のような隣接ビア間が短絡するような
ことがなく、また、充填密度の均一化によりビアの品質
を向上させることがてき、実用的効果は大である、
ことがなく、また、充填密度の均一化によりビアの品質
を向上させることがてき、実用的効果は大である、
第１図は本発明の原理説明図， 第２図は本発明による一実施例の説明図で、（ａ）
（ｂ）は側面断面図， 第３図は本発明のシート材の要部拡大図， 第４図は従来の説明図で、（ａ）は側面断面図，（ｂ）
はグリーンシートの側面断面図を示す。 図において、 １は吸引台,2はエア， ３は吸引孔,4はグリーンシート， ５は貫通穴,6はビア， ７はシート材,8は多孔質四フッ化エチレン樹脂フィル
ム， ９は通気シート,1Aは上面を示す。
（ｂ）は側面断面図， 第３図は本発明のシート材の要部拡大図， 第４図は従来の説明図で、（ａ）は側面断面図，（ｂ）
はグリーンシートの側面断面図を示す。 図において、 １は吸引台,2はエア， ３は吸引孔,4はグリーンシート， ５は貫通穴,6はビア， ７はシート材,8は多孔質四フッ化エチレン樹脂フィル
ム， ９は通気シート,1Aは上面を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】吸引孔（３）が配列した吸引台（１）と、
該吸引台（１）の上面（1A）に張設する通気性のシート
材（７）とを備え、貫通穴（５）が配列したグリーンシ
ート（４）を該シート材（７）を介して該吸引台（１）
上に載置し、該吸引孔（３）からエアを吸引して該グリ
ーンシート（４）上の導電材を該貫通穴（５）に充填す
るビアの形成方法において、 該シート材（７）は、弾性ある多孔質四フッ化エチレン
樹脂フィルム（８）と、該多孔質四フッ化エチレン樹脂
フィルム（８）よりも通気抵抗が大きく且つ剛性を有す
る通気シート（９）とが、ラミネートされてなるもので
あり、 該多孔質四フッ化エチレン樹脂フィルム（８）を該グリ
ーンシート（４）側に、該通気シート（９）を該吸引台
（１）側にして、該吸引孔（３）からエアを吸引するこ
とを特徴とするビアの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1122457A JPH0777296B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ビアの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1122457A JPH0777296B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ビアの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02302094A JPH02302094A (ja) | 1990-12-14 |
| JPH0777296B2 true JPH0777296B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=14836328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1122457A Expired - Lifetime JPH0777296B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ビアの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777296B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3405685B2 (ja) * | 1998-10-07 | 2003-05-12 | 松下電器産業株式会社 | 回路基板の製造方法およびこれに使用する多孔質シート |
| JP3561434B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2004-09-02 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682919B2 (ja) * | 1987-05-18 | 1994-10-19 | 株式会社日立製作所 | 導体ペ−スト充填方法 |
| JPS63299196A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-06 | Fujitsu Ltd | セラミック基板の製造方法 |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP1122457A patent/JPH0777296B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02302094A (ja) | 1990-12-14 |
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