JP2759223B2 - グリーンシートの積層方法 - Google Patents
グリーンシートの積層方法Info
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- JP2759223B2 JP2759223B2 JP28675589A JP28675589A JP2759223B2 JP 2759223 B2 JP2759223 B2 JP 2759223B2 JP 28675589 A JP28675589 A JP 28675589A JP 28675589 A JP28675589 A JP 28675589A JP 2759223 B2 JP2759223 B2 JP 2759223B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、グリーンシート（セラミック生シート）の
積層方法に関するものである。
積層方法に関するものである。
［従来の技術］ グリーンシート（セラミック生シート）を積層して多
層回路基板を製造することは従来一般に知られている。
層回路基板を製造することは従来一般に知られている。
例えば、特開昭62−131597号公報においては、グリー
ンシートからキャリアシートを剥離する前の両シートが
一体化されている状態の積層用エレメントであって、前
記グリーンシートのみを貫通しているバイアホールに導
電ペーストが充填されると共に前記グリーンシートの表
面に導体パターンが形成された積層用エレメントを用い
て製造する方法が開示されている。
ンシートからキャリアシートを剥離する前の両シートが
一体化されている状態の積層用エレメントであって、前
記グリーンシートのみを貫通しているバイアホールに導
電ペーストが充填されると共に前記グリーンシートの表
面に導体パターンが形成された積層用エレメントを用い
て製造する方法が開示されている。
また、特公昭56−3679号公報においては、グリーンシ
ートからキャリアシートを剥離する前の両シートが一体
化されている状態の積層用エレメントであって、前記グ
リーンシート及び前記キャリアシートの両シートを貫通
しているバイアホールに導電ペーストが充填されると共
に前記グリーンシートと表面に導体パターンが形成され
た積層用エレメントを用いて製造する方法が開示されて
いる。
ートからキャリアシートを剥離する前の両シートが一体
化されている状態の積層用エレメントであって、前記グ
リーンシート及び前記キャリアシートの両シートを貫通
しているバイアホールに導電ペーストが充填されると共
に前記グリーンシートと表面に導体パターンが形成され
た積層用エレメントを用いて製造する方法が開示されて
いる。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、これらはいずれも、積層用エレメントのキャ
リアシートをグリーンシートから剥離してグリーンシー
トを単体にした後、このシートをハンドリングして次々
と積層するものであるから、軟らかく変形し易いグリー
ンシートのハドリングに困難を窮め、細心の注意を払っ
ても、皺や破損等が発生し易すかった。
リアシートをグリーンシートから剥離してグリーンシー
トを単体にした後、このシートをハンドリングして次々
と積層するものであるから、軟らかく変形し易いグリー
ンシートのハドリングに困難を窮め、細心の注意を払っ
ても、皺や破損等が発生し易すかった。
本発明は、このようなことに着目し、これを解決すべ
く各方面から鋭意検討の結果、積層用エレメントを、キ
ャリアシートを上側に位置させるように吸引保持テーブ
ルにセットした後、キャリアシートをグリーンシートか
ら剥離し、次いで、このグリーンシートと他の積層用エ
レメントのグリーンシートとを接着せしめると共にこの
エレメントのキャリアシートをグリーンシートから剥離
し、以下、このグリーンシートと次の積層用エレメント
のグリーンシートとを接着せしめるというようにして次
々と積層すればよいことを見出したのである。
く各方面から鋭意検討の結果、積層用エレメントを、キ
ャリアシートを上側に位置させるように吸引保持テーブ
ルにセットした後、キャリアシートをグリーンシートか
ら剥離し、次いで、このグリーンシートと他の積層用エ
レメントのグリーンシートとを接着せしめると共にこの
エレメントのキャリアシートをグリーンシートから剥離
し、以下、このグリーンシートと次の積層用エレメント
のグリーンシートとを接着せしめるというようにして次
々と積層すればよいことを見出したのである。
［課題を解決するための手段］ すなわち、本発明に係るグリーンシートの積層方法
は、グリーンシートからキャリアシートを剥離する前の
両シートが一体化されている状態の積層用エレメントで
あって、前記グリーンシートのみ若しくは前記グリーン
シート及び前記キャリアシートの両シートを貫通してい
るバイアホールに導電ペーストが充填されると共に前記
グリーンシートの表面に導体パターンが形成された積層
用エレメントの複数枚を用い、下記工程Ａ〜Ｄ若しくは
下記工程イ〜ニを経て前記積層用エレメントのグリーン
シート同志を積層せしめることを特徴とするものであ
る。
は、グリーンシートからキャリアシートを剥離する前の
両シートが一体化されている状態の積層用エレメントで
あって、前記グリーンシートのみ若しくは前記グリーン
シート及び前記キャリアシートの両シートを貫通してい
るバイアホールに導電ペーストが充填されると共に前記
グリーンシートの表面に導体パターンが形成された積層
用エレメントの複数枚を用い、下記工程Ａ〜Ｄ若しくは
下記工程イ〜ニを経て前記積層用エレメントのグリーン
シート同志を積層せしめることを特徴とするものであ
る。
工程A:前記積層用エレメントを、キャリアシートを上側
に位置させるように吸引保持テーブルにセットする工
程。
に位置させるように吸引保持テーブルにセットする工
程。
工程B:前記吸引保持テーブルにセットされた積層用エレ
メントのキャリアシートをグリーンシートから剥離し、
かつキャリアシートが剥離されたグリーンシートの被剥
離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。
メントのキャリアシートをグリーンシートから剥離し、
かつキャリアシートが剥離されたグリーンシートの被剥
離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。
工程C:接着剤が塗布された前記グリーンシートの被剥離
面に、他の積層用エレメントのグリーンシートを重ね合
せて接着し、次いで、このエレメントのキャリアシート
をグリーンシートから剥離すると共にこのグリーンシー
トの被剥離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。
面に、他の積層用エレメントのグリーンシートを重ね合
せて接着し、次いで、このエレメントのキャリアシート
をグリーンシートから剥離すると共にこのグリーンシー
トの被剥離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。
工程D:以下、前記工程Ｃを必要回数繰り返す工程。
工程イ：前記積層用エレメントを、キャリアシートを上
側に位置させるように吸引保持テーブルにセットし、か
つキャリアシートをグリーンシートから剥離する工程。
側に位置させるように吸引保持テーブルにセットし、か
つキャリアシートをグリーンシートから剥離する工程。
工程ロ：他の積層用エレメントのグリーンシートの表面
周縁部に接着剤を塗布して接着剤塗布済エレメントを準
備する工程。
周縁部に接着剤を塗布して接着剤塗布済エレメントを準
備する工程。
工程ハ：前記接着剤塗布済エレメントのグリーンシート
を、前記吸引保持テーブルにセットされているグリーン
シートの被剥離面に重ね合せて接着し、次いで、このエ
レメントのキャリアシートをグリーンシートから剥離す
る工程。
を、前記吸引保持テーブルにセットされているグリーン
シートの被剥離面に重ね合せて接着し、次いで、このエ
レメントのキャリアシートをグリーンシートから剥離す
る工程。
工程ニ：以下、先行して接着された上層のグリーンシー
トの被剥離面に対する前記接着剤塗布済エレメントのグ
リーンシートの重ね合せによる接着を必要回数繰り返す
工程。
トの被剥離面に対する前記接着剤塗布済エレメントのグ
リーンシートの重ね合せによる接着を必要回数繰り返す
工程。
［実施例］ 以下、実施例について図面に基いて述べると、積層用
エレメント１は、第１図において示されているように、
キャリアシート（プラスチックフィルム）２にグリーン
シート（セラミック生シート）３が付着されて構成さ
れ、かつ両シート2,3を貫通しているバイアホール４に
導電ペースト５が充填されていると共にグリーンシート
３の表面６に導体パターン７が形成されている。
エレメント１は、第１図において示されているように、
キャリアシート（プラスチックフィルム）２にグリーン
シート（セラミック生シート）３が付着されて構成さ
れ、かつ両シート2,3を貫通しているバイアホール４に
導電ペースト５が充填されていると共にグリーンシート
３の表面６に導体パターン７が形成されている。
なお、このエレメント１は、一般にグリーンテープと
呼ばれている大きなテープ体から一定大きさに打ち抜か
れ、次いで、これにバイアホール４が穿設された後、ス
クリーン印刷法によりホール４に導電ペースト５が充填
されると共に表面６に導体パターン７が印刷されて製造
される。
呼ばれている大きなテープ体から一定大きさに打ち抜か
れ、次いで、これにバイアホール４が穿設された後、ス
クリーン印刷法によりホール４に導電ペースト５が充填
されると共に表面６に導体パターン７が印刷されて製造
される。
本発明においては、このようなエレメント１を用いて
グリーンシート３を積層するが、その際、第２図におい
て示されているように、工程Ａ〜Ｃを経て行われる。
グリーンシート３を積層するが、その際、第２図におい
て示されているように、工程Ａ〜Ｃを経て行われる。
すなわち、工程Ａにおいては、積層用エレメント１
が、キャリアシート２を上側に位置させるように吸引保
持テーブル８の所定位置にセットされる。吸引保持テー
ブル８は、管路９を介して真空ポンプに接続されている
密閉構造状の中空体で構成され、かつこれの支持面10に
多数の吸気孔11を開口し、この孔11からの吸気により積
層用エレメント１を保持する。
が、キャリアシート２を上側に位置させるように吸引保
持テーブル８の所定位置にセットされる。吸引保持テー
ブル８は、管路９を介して真空ポンプに接続されている
密閉構造状の中空体で構成され、かつこれの支持面10に
多数の吸気孔11を開口し、この孔11からの吸気により積
層用エレメント１を保持する。
続いて、工程Ｂにおいては、吸引保持テーブル８にセ
ットされている積層用エレメント１のキャリアシート２
が、真空パッド12を介してグリーンシート３から剥離さ
れる。なお、その際、積層用エレメント１のグリーンシ
ート３は、キャリアシート２を剥す力より大きい力で吸
引保持テーブル８に保持される。
ットされている積層用エレメント１のキャリアシート２
が、真空パッド12を介してグリーンシート３から剥離さ
れる。なお、その際、積層用エレメント１のグリーンシ
ート３は、キャリアシート２を剥す力より大きい力で吸
引保持テーブル８に保持される。
而して、キャリアシート２が剥離され、グリーンシー
ト３の被剥離面13が露出されると、この面13の周縁部14
にスクリーン印刷法により接着剤15が塗布される。その
際、グリーンシート３の周縁より僅かに内側に塗布する
のが好ましく、これにより、後述するようにグリーンシ
ート同志を接着させた際、余剰の接着剤15がグリーンシ
ート３の周縁から外側へ押し出されて露出されるのを防
止することができる。
ト３の被剥離面13が露出されると、この面13の周縁部14
にスクリーン印刷法により接着剤15が塗布される。その
際、グリーンシート３の周縁より僅かに内側に塗布する
のが好ましく、これにより、後述するようにグリーンシ
ート同志を接着させた際、余剰の接着剤15がグリーンシ
ート３の周縁から外側へ押し出されて露出されるのを防
止することができる。
なお、接着剤15は例えば、アクリル系粘着剤等が用い
られる。
られる。
続いて、工程Ｃにおいては、接着剤15が塗布されたグ
リーンシート３の被剥離面13に、他の積層用エレメント
１のグリーンシート３が重ね合され、両グリーンシート
３が接着される。
リーンシート３の被剥離面13に、他の積層用エレメント
１のグリーンシート３が重ね合され、両グリーンシート
３が接着される。
この為、水平方向の移動を完全に防止し得て位置ずれ
の発生を防止することができ、そして、両グリーンシー
ト３同志が接着されると、このエレメント１のキャリア
シート２が、真空パッド12を介してグリーンシート３か
ら剥離され、更に、このグリーンシート３の被剥離面13
の周縁部14に接着剤15が塗布される。
の発生を防止することができ、そして、両グリーンシー
ト３同志が接着されると、このエレメント１のキャリア
シート２が、真空パッド12を介してグリーンシート３か
ら剥離され、更に、このグリーンシート３の被剥離面13
の周縁部14に接着剤15が塗布される。
以下、次の工程Ｄにおいては、上述の工程Ｃが必要回
数繰り返され、従って、グリーンシート３の所定枚数を
積層することができる。
数繰り返され、従って、グリーンシート３の所定枚数を
積層することができる。
なお、上述の例においては、吸引保持テーブル８に保
持されているグリーンシート３に対して接着剤15を塗布
して積層するが、これと反対に、吸引保持テーブル８に
保持されているグリーンシート３に対して重ね合す方の
積層用エレメント１のグリーンシート３に接着剤15を塗
布して積層してもよく、この場合においては、第３図に
おいて示されているように、工程イ〜ニを経て行われ
る。
持されているグリーンシート３に対して接着剤15を塗布
して積層するが、これと反対に、吸引保持テーブル８に
保持されているグリーンシート３に対して重ね合す方の
積層用エレメント１のグリーンシート３に接着剤15を塗
布して積層してもよく、この場合においては、第３図に
おいて示されているように、工程イ〜ニを経て行われ
る。
すなわち、工程イにおいては、積層用エメント１が、
キャリアシート２を上側に位置させるように吸引保持テ
ーブル８の所定位置にセットされ、かつこれのキャリア
シート２がグリーンシート３から剥離される。
キャリアシート２を上側に位置させるように吸引保持テ
ーブル８の所定位置にセットされ、かつこれのキャリア
シート２がグリーンシート３から剥離される。
一方、工程ロにおいては、他の積層用エレメント１の
グリーンシート３の表面周縁16に接着剤15が塗布され、
接着剤塗布済エレメント1aが準備される。
グリーンシート３の表面周縁16に接着剤15が塗布され、
接着剤塗布済エレメント1aが準備される。
続いて、工程ハにおいては、接着剤塗布済エレメント
1aのグリーンシート３が、吸引保持テーブル８にセット
されているグリーンシート３の被剥離面13に重ね合せら
れて接着され、次いで、このエレメント1aのキャリアシ
ート２がグリーンシート３から剥離される。
1aのグリーンシート３が、吸引保持テーブル８にセット
されているグリーンシート３の被剥離面13に重ね合せら
れて接着され、次いで、このエレメント1aのキャリアシ
ート２がグリーンシート３から剥離される。
以下、次の工程ニにおいては、先行して接着された上
側のグリーンシート３の被剥離表面13に対する接着剤塗
布済エレメント1aのグリーンシート３の重ね合せによる
接着が必要回数繰り返され、従って、グリーンシート３
の所定枚数を積層することができる。
側のグリーンシート３の被剥離表面13に対する接着剤塗
布済エレメント1aのグリーンシート３の重ね合せによる
接着が必要回数繰り返され、従って、グリーンシート３
の所定枚数を積層することができる。
なお、積層用エレメント１は、バイアホール４を、キ
ャリアシート２に貫通させないでグリーンシート３のみ
に貫通させたものであってもよい。
ャリアシート２に貫通させないでグリーンシート３のみ
に貫通させたものであってもよい。
また、吸引保持テーブル８は、所定角度に回転したり
あるいは上下動したりする等各種型式に装着してもよ
い。
あるいは上下動したりする等各種型式に装着してもよ
い。
［発明の効果］ 上述の如く、本発明においては、グリーンシートから
キャリアシートを剥離する前の両シートが一体化されて
いる状態の積層用エレメントを用いるから、グリーンシ
ートに皺や破損等を発生させないように容易にハンドリ
ングすることができ、従って、不良品の発生率を一段と
低下させることができると共に自動積層化を一段と容易
化することができる。
キャリアシートを剥離する前の両シートが一体化されて
いる状態の積層用エレメントを用いるから、グリーンシ
ートに皺や破損等を発生させないように容易にハンドリ
ングすることができ、従って、不良品の発生率を一段と
低下させることができると共に自動積層化を一段と容易
化することができる。
また、最初の積層用エレメントを吸引保持テーブルに
セットするから、画像処理等により容易に所定位置にセ
ットすることができると共にこのテーブルから後工程へ
の積層製品の移送を容易化することができ、しかも、保
持固定されている下段のグリーンシートと積層するグリ
ーンシートとを接着剤を介して一体化させた後において
キャリアシートを剥離するから、両シート同志の位置ず
れの発生を防止することができて良好に積層することが
できる。
セットするから、画像処理等により容易に所定位置にセ
ットすることができると共にこのテーブルから後工程へ
の積層製品の移送を容易化することができ、しかも、保
持固定されている下段のグリーンシートと積層するグリ
ーンシートとを接着剤を介して一体化させた後において
キャリアシートを剥離するから、両シート同志の位置ず
れの発生を防止することができて良好に積層することが
できる。
なお、グリーンシートは生の状態（未乾燥状態）であ
る為、キャリアシートから剥離したままに放置すると若
干、寸法が変化するが、本発明においては、積層までキ
ャリアシートに付着させているから、これを防止するこ
とができる。
る為、キャリアシートから剥離したままに放置すると若
干、寸法が変化するが、本発明においては、積層までキ
ャリアシートに付着させているから、これを防止するこ
とができる。
第１図は積層用エレメントの縦断面図、第２図及び第３
図は積層態様を示す図である。 １……積層用エレメント、1a……接着剤塗布済エレメン
ト、２……キャリアーシート、３……グリーンシート、
４……バイアホール、５……導電ペースト、６……表
面、７……導体パターン、８……吸引保持テーブル、13
……被剥離面、14……被剥離面の周縁部、15……接着
剤、16……表面周縁部
図は積層態様を示す図である。 １……積層用エレメント、1a……接着剤塗布済エレメン
ト、２……キャリアーシート、３……グリーンシート、
４……バイアホール、５……導電ペースト、６……表
面、７……導体パターン、８……吸引保持テーブル、13
……被剥離面、14……被剥離面の周縁部、15……接着
剤、16……表面周縁部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−76068（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−208915（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05K 34/46
Claims (1)
- 【請求項１】グリーンシートからキャリアシートを剥離
する前の両シートが一体化されている状態の積層用エレ
メントであって、前記グリーンシートのみ若しくは前記
グリーンシート及び前記キャリアシートの両シートを貫
通しているバイアホールに導電ペーストが充填されると
共に前記グリーンシートの表面に導体パターンが形成さ
れた積層用エレメントの複数枚を用い、下記工程Ａ〜Ｄ
若しくは下記工程イ〜ニを経て前記積層用エレメントの
グリーンシート同志を積層せしめることを特徴とするグ
リーンシートの積層方法。 工程A:前記積層用エレメントを、キャリアシートを上側
に位置させるように吸引保持テーブルにセットする工
程。 工程B:前記吸引保持テーブルにセットされた積層用エレ
メントのキャリアシートをグリーンシートから剥離し、
かつキャリアシートが剥離されたグリーンシートの被剥
離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。 工程C:接着剤が塗布された前記グリーンシートの被剥離
面に、他の積層用エレメントのグリーンシートを重ね合
せて接着し、次いで、このエレメントのキャリアシート
をグリーンシートから剥離すると共にこのグリーンシー
トの被剥離面の周縁部に接着剤を塗布する工程。 工程D:以下、前記工程Ｃを必要回数繰り返す工程。 工程イ：前記積層用エレメントを、キャリアシートを上
側に位置させるように吸引保持テーブルにセットし、か
つキャリアシートをグリーンシートから剥離する工程。 工程ロ：他の積層用エレメントのグリーンシートの表面
周縁部に接着剤を塗布して接着剤塗布済エレメントを準
備する工程。 工程ハ：前記接着剤塗布済エレメントのグリーンシート
を、前記吸引保持テーブルにセットされているグリーン
シートの被剥離面に重ね合せて接着し、次いで、このエ
レメントのキャリアシートをグリーンシートから剥離す
る工程。 工程ニ：以下、先行して接着された上層のグリーンシー
トの被剥離面に対する前記接着剤塗布済エレメントのグ
リーンシートの重ね合せによる接着を必要回数繰り返す
工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28675589A JP2759223B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | グリーンシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28675589A JP2759223B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | グリーンシートの積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148196A JPH03148196A (ja) | 1991-06-24 |
| JP2759223B2 true JP2759223B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=17708624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28675589A Expired - Fee Related JP2759223B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | グリーンシートの積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759223B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6592696B1 (en) * | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
| US6572830B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-06-03 | Motorola, Inc. | Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same |
| JP6321349B2 (ja) * | 2013-10-18 | 2018-05-09 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック積層体の製造方法 |
-
1989
- 1989-11-02 JP JP28675589A patent/JP2759223B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03148196A (ja) | 1991-06-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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