JPH02287511A - レーザスキャナの駆動装置 - Google Patents
レーザスキャナの駆動装置Info
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- JPH02287511A JPH02287511A JP1110025A JP11002589A JPH02287511A JP H02287511 A JPH02287511 A JP H02287511A JP 1110025 A JP1110025 A JP 1110025A JP 11002589 A JP11002589 A JP 11002589A JP H02287511 A JPH02287511 A JP H02287511A
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- Japan
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- piezoelectric actuator
- lever
- laser scanner
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1827—Motorised alignment
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、入射されたレーザ光を偏光ミラーの回転によ
り偏光してレーザ光の位置合わせを行なうレーザ加工機
用回転型スキャナ装置で、特にその回転のための駆動源
に圧電アクチュエータを用いたレーザスキャナの駆動装
置に関するものである。
り偏光してレーザ光の位置合わせを行なうレーザ加工機
用回転型スキャナ装置で、特にその回転のための駆動源
に圧電アクチュエータを用いたレーザスキャナの駆動装
置に関するものである。
上記レーザスキャナの駆動装置は第２図から第４図に示
するようになっていて、ミラー１、変位増幅機構として
の差動増速機２、軸３に固定されたレバー４、積層型の
圧電アクチュエータ５、反力ばね６等からなっている。
するようになっていて、ミラー１、変位増幅機構として
の差動増速機２、軸３に固定されたレバー４、積層型の
圧電アクチュエータ５、反力ばね６等からなっている。
そして圧電アクチュエータ５は入力された駆動信号に対
応して矢印Ａで示すように直動変位に発生し、この変位
がビン７を介してレバー４の一側部に作用し、これによ
りレバー４が反力ばね６の反力に抗して反時計方向に回
動される。
応して矢印Ａで示すように直動変位に発生し、この変位
がビン７を介してレバー４の一側部に作用し、これによ
りレバー４が反力ばね６の反力に抗して反時計方向に回
動される。
このとき軸３は一体、回動し、この軸３の回動は差動増
幅機２にて増幅されてミラーを固着した出力軸１０に伝
達されてミラー１が所定角度θだけ回転され、これによ
り図示しないレーザ発生源から入射されたレーザ光が偏
光される。
幅機２にて増幅されてミラーを固着した出力軸１０に伝
達されてミラー１が所定角度θだけ回転され、これによ
り図示しないレーザ発生源から入射されたレーザ光が偏
光される。
上記差動増速機２にはハーモニックドライブ（商品名）
が用いられている。
が用いられている。
上記従来のレーザスキャナの駆動装置にあっては、第４
図に示すように、圧電アクチュエータ５の先端部はレバ
ー４に設けたノツチ１１に係合したピン７に当接してお
り、また反力ばね６の先端部はピストン１２の先端を介
してレバー４に接触されていた。
図に示すように、圧電アクチュエータ５の先端部はレバ
ー４に設けたノツチ１１に係合したピン７に当接してお
り、また反力ばね６の先端部はピストン１２の先端を介
してレバー４に接触されていた。
上記従来のレーザスキャナの駆動装置にあっては、圧電
アクチユエータ５とレバー４との間に介装するピン７が
レバー４に設けたノツチ１１にてレバー４側に固定され
ていたため、圧電アクチュエータ５によりレバー４が八
〇だけ回動すると、圧電アクチュエータ５の作用線に対
してレバー４の支持点がずれてしまい、これにより、圧
電アクチュエータ５に対して剪断力Ｆｔが発生すると共
に、圧電アクチュエータ５の先端面とピン７との間に相
対移動が発生する。
アクチユエータ５とレバー４との間に介装するピン７が
レバー４に設けたノツチ１１にてレバー４側に固定され
ていたため、圧電アクチュエータ５によりレバー４が八
〇だけ回動すると、圧電アクチュエータ５の作用線に対
してレバー４の支持点がずれてしまい、これにより、圧
電アクチュエータ５に対して剪断力Ｆｔが発生すると共
に、圧電アクチュエータ５の先端面とピン７との間に相
対移動が発生する。
このため、圧電アクチュエータ５に横方向の力が発生し
てこれが破壊することがあり、またピンクとの間の相対
移動の発生により摩擦ロスが発生し、位置精度に対して
悪影響を与えていた。
てこれが破壊することがあり、またピンクとの間の相対
移動の発生により摩擦ロスが発生し、位置精度に対して
悪影響を与えていた。
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、圧電ア
クチュエータの作動時に、これの作用線に対する横方向
の力が作用することがないと共に、圧電アクチュエータ
の先端部における摩擦ロスをなくすことができ、圧電ア
クチュエータがその作用時に破壊することとがなくなる
と共に、レーザスキャナの駆動装置としての位置精度を
向上することができるレーザスキャナの駆動装置を提供
することを目的とするものである。
クチュエータの作動時に、これの作用線に対する横方向
の力が作用することがないと共に、圧電アクチュエータ
の先端部における摩擦ロスをなくすことができ、圧電ア
クチュエータがその作用時に破壊することとがなくなる
と共に、レーザスキャナの駆動装置としての位置精度を
向上することができるレーザスキャナの駆動装置を提供
することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明に係るレーザスキャ
ナの駆動装置は、圧電アクチュエータの直動変位にてレ
バーを反力ばね機構の反力に抗して回動し、この回動を
変位増幅機構にて増幅して大きな走査角を得るようにし
たレーザスキャナの駆動装置において、圧電アクチュエ
ータの先端とレバーとの接触部と、反力ばね機構とレバ
ーとの接触部に、回転自在の接触子を介在させた構成と
なっている。
ナの駆動装置は、圧電アクチュエータの直動変位にてレ
バーを反力ばね機構の反力に抗して回動し、この回動を
変位増幅機構にて増幅して大きな走査角を得るようにし
たレーザスキャナの駆動装置において、圧電アクチュエ
ータの先端とレバーとの接触部と、反力ばね機構とレバ
ーとの接触部に、回転自在の接触子を介在させた構成と
なっている。
圧電アクチュエータが直動変位されてレバーが回動され
るときに、圧電アクチュエータの先端部及び反力ばね機
構の先端部でレバーとの接触部ではコロガリ接触となり
、圧電アクチュエータ及び反力ばねの双方に作用線に対
する横方向の力が作用しない。
るときに、圧電アクチュエータの先端部及び反力ばね機
構の先端部でレバーとの接触部ではコロガリ接触となり
、圧電アクチュエータ及び反力ばねの双方に作用線に対
する横方向の力が作用しない。
本発明の実施例を第１図、第２図に基づいて説明する。
なおこの実施例において、第２図、第３図に示す従来例
と同一構成部材は同一符号を付して説明を省略する。
と同一構成部材は同一符号を付して説明を省略する。
差動増速機２の入力側の軸３に、ベルクランク状のレバ
ー１５を固着し、一方のアーム１５ａに、圧電アクチュ
エータ５の先端で、かつこれの自然状態における中心部
に接触するカムフォロア１６ａを回転自在に支持し、ま
た他方のアーム１５ｂに反力ばね６に指示されたプラン
ジャ１７の先端の中心部に接触するカムフォロア１６ｂ
が回転自在に支持しである。１８はプランジャガイドベ
アリングである。
ー１５を固着し、一方のアーム１５ａに、圧電アクチュ
エータ５の先端で、かつこれの自然状態における中心部
に接触するカムフォロア１６ａを回転自在に支持し、ま
た他方のアーム１５ｂに反力ばね６に指示されたプラン
ジャ１７の先端の中心部に接触するカムフォロア１６ｂ
が回転自在に支持しである。１８はプランジャガイドベ
アリングである。
上記構成において、圧電アクチュエータ５に駆動信号が
入力されてこれが直動変位されると、これに接触してい
るカムフォロア１６ａを介してレバー１５の一方のアー
ム１５ａに上記直動変位力が作用する。このとき、レバ
ー１５の他方のアーム１５ｂは反力ばね６にて支持され
ており、レバー１５は反力ばね６の反力に抗して所定角
だけ回動される。
入力されてこれが直動変位されると、これに接触してい
るカムフォロア１６ａを介してレバー１５の一方のアー
ム１５ａに上記直動変位力が作用する。このとき、レバ
ー１５の他方のアーム１５ｂは反力ばね６にて支持され
ており、レバー１５は反力ばね６の反力に抗して所定角
だけ回動される。
このとき、レバー１５の回動により、レバー１５の各カ
ムフォロア１６ａ、１６ｂと圧電アクチュエータ５の先
端、反力ばね６のプランジャ１７の先端との接触点はわ
ずかに各作用線に対して横方向にずれるが、このとき、
カムフォロア１６ａ、１６ｂが回転するから、各接触部
には横方向の力は発生しない。またこのときの接触部双
方間の接触摩擦はコロガリ摩擦となり、摩擦力はわずか
なものとなる。
ムフォロア１６ａ、１６ｂと圧電アクチュエータ５の先
端、反力ばね６のプランジャ１７の先端との接触点はわ
ずかに各作用線に対して横方向にずれるが、このとき、
カムフォロア１６ａ、１６ｂが回転するから、各接触部
には横方向の力は発生しない。またこのときの接触部双
方間の接触摩擦はコロガリ摩擦となり、摩擦力はわずか
なものとなる。
なお、上記カムフォロア１６ａ、１６ｂはコロガリベア
リングに置換することができる。
リングに置換することができる。
本発明によれば、圧電アクチュエータ５の作用時に、こ
れの作用線に対する横方向の力が作用することがなくな
ると共に、圧電アクチュエータ５の先端部における摩擦
ロスをなくすことができ、圧電アクチュエータ５がその
作用時に破壊することがなくなると共に、レーザスキャ
ナの駆動装置としての位置精度を向上することができる
。
れの作用線に対する横方向の力が作用することがなくな
ると共に、圧電アクチュエータ５の先端部における摩擦
ロスをなくすことができ、圧電アクチュエータ５がその
作用時に破壊することがなくなると共に、レーザスキャ
ナの駆動装置としての位置精度を向上することができる
。
第１図は本発明の実施例を示す要部の一部破断面図、第
２図から第４図は従、来例を示すもので、第２図は縦断
面図、第３図はその横断面図、第４図は要部の作用説明
図である。 ５は圧電アクチュエータ、６は反力ばね、１１はレバー
１６ａ、１６ｂはカムフォロア。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
２図から第４図は従、来例を示すもので、第２図は縦断
面図、第３図はその横断面図、第４図は要部の作用説明
図である。 ５は圧電アクチュエータ、６は反力ばね、１１はレバー
１６ａ、１６ｂはカムフォロア。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
Claims (1)
- 圧電アクチュエータ５の直動変位にてレバー１５を反力
ばね機構の反力に抗して回動し、この回動を変位増幅機
構にて増幅して大きな走査角を得るようにしたレーザス
キャナの駆動装置において、圧電アクチュエータ５の先
端とレバー１５との接触部と、反力ばね機構とレバー５
との接触部に、回転自在の接触子を介在させたことを特
徴とするレーザスキャナの駆動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110025A JP2554279B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | レーザスキャナの駆動装置 |
| US07/768,712 US5144470A (en) | 1989-04-28 | 1990-04-05 | Laser scanner driving apparatus |
| PCT/JP1990/000461 WO1990013842A1 (en) | 1989-04-28 | 1990-04-05 | Laser scanner driving apparatus |
| DE19904090739 DE4090739T (ja) | 1989-04-28 | 1990-04-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110025A JP2554279B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | レーザスキャナの駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287511A true JPH02287511A (ja) | 1990-11-27 |
| JP2554279B2 JP2554279B2 (ja) | 1996-11-13 |
Family
ID=14525205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1110025A Expired - Lifetime JP2554279B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | レーザスキャナの駆動装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5144470A (ja) |
| JP (1) | JP2554279B2 (ja) |
| DE (1) | DE4090739T (ja) |
| WO (1) | WO1990013842A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19710601C2 (de) * | 1997-03-14 | 1999-05-20 | Univ Magdeburg Tech | Bewegungsgenerator |
| US8570629B2 (en) | 2011-09-23 | 2013-10-29 | Steve Spears | Reciprocating laser scanning device |
| CN104199162B (zh) * | 2014-08-29 | 2016-04-20 | 成都科信达实业有限公司 | 顶点平移补偿驱动组件 |
| CN104821741B (zh) * | 2015-05-27 | 2017-03-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种大载荷、高精度、跨尺度压电旋转驱动器及驱动方法 |
| CN105428966A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-03-23 | 华中科技大学 | 一种外光路补偿调节装置及由其构成的激光器 |
| CN106982004B (zh) * | 2016-01-19 | 2019-05-17 | 北京航空航天大学 | 一种压电陶瓷作动器舵机伺服机构和舵机伺服方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2341128A1 (fr) * | 1976-02-16 | 1977-09-09 | Essilor Int | Dispositif d'orientation d'un miroir pour instrument de nivellement a laser |
| JPS571065Y2 (ja) * | 1977-03-25 | 1982-01-08 | ||
| JPS5817786B2 (ja) * | 1978-05-08 | 1983-04-09 | ミヨシ油脂株式会社 | 可燃性有機液体の帯電防止法 |
| JPS61134726A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 光偏向装置 |
| JPS61132919A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 光偏向装置 |
| DE3612751A1 (de) * | 1985-09-26 | 1987-04-02 | Licentia Gmbh | Antriebsanordnung fuer einen rotierenden kippspiegel |
| US4778233A (en) * | 1986-09-19 | 1988-10-18 | Ateo Corporation | Steering mirror |
| JPH01243013A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Komatsu Ltd | レーザスキャナの制御装置 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1110025A patent/JP2554279B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-04-05 US US07/768,712 patent/US5144470A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-05 WO PCT/JP1990/000461 patent/WO1990013842A1/ja active Application Filing
- 1990-04-05 DE DE19904090739 patent/DE4090739T/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4090739T (ja) | 1992-04-23 |
| JP2554279B2 (ja) | 1996-11-13 |
| WO1990013842A1 (en) | 1990-11-15 |
| US5144470A (en) | 1992-09-01 |
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