JPH01243013A - レーザスキャナの制御装置 - Google Patents
レーザスキャナの制御装置Info
- Publication number
- JPH01243013A JPH01243013A JP63070074A JP7007488A JPH01243013A JP H01243013 A JPH01243013 A JP H01243013A JP 63070074 A JP63070074 A JP 63070074A JP 7007488 A JP7007488 A JP 7007488A JP H01243013 A JPH01243013 A JP H01243013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation angle
- laser scanner
- mirror
- piezoelectric actuator
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はレーザ加工機（レーザマーカ、レーザトリマ）
ＯＡ機器、映像等において、レーザ光を走査するための
回転型レーザスキャナに関するものである。
ＯＡ機器、映像等において、レーザ光を走査するための
回転型レーザスキャナに関するものである。
（従来の技術）
従来のこの種の技術は特開昭５３−１４３９１０号公報
に開示されている。
に開示されている。
（発明が解決しようとする課題）
ところが、上記従来技術のものは回転角の測定に静電容
量型のセンサを使用しているため温度により測定誤差が
生じ設定角に対してドリフト（最小でも６００μｒ ａ
ｄ ／ ”Ｃ） シ又磁力による回転であるので、大
きな回転力を出すためには回転子自体も大きくなり結局
回転力が大きくなっても回転子自体も大きくなるので応
答時間が３〜４ｍ５ｅｃと長くなる問題があった。
量型のセンサを使用しているため温度により測定誤差が
生じ設定角に対してドリフト（最小でも６００μｒ ａ
ｄ ／ ”Ｃ） シ又磁力による回転であるので、大
きな回転力を出すためには回転子自体も大きくなり結局
回転力が大きくなっても回転子自体も大きくなるので応
答時間が３〜４ｍ５ｅｃと長くなる問題があった。
本発明は上記従来の問題点に着目し、温度によるドリフ
トが少なく、又応答時間が短いレーザスキャナを提供す
ることを目的とする。
トが少なく、又応答時間が短いレーザスキャナを提供す
ることを目的とする。
（課題を解決するための手段及び作用）レーザスキャナ
の回転角を指令する回転角指令器、この回転角指令器の
指令した回転角と上記レーザスキャナの回転角を入力と
して、これらの偏差を出力する比較器、上記比較器の出
力を増幅するパワーアンプ、上記パワーアンプの出力に
より直線作動する圧電アクチュエータと上記圧電アクチ
ュエータの直線作動を回転運動に変換する変換手段にミ
ラーを搭載したミラーマウントを連結したレーザスキャ
ナからなるレーザスキャナの制御装置とした。
の回転角を指令する回転角指令器、この回転角指令器の
指令した回転角と上記レーザスキャナの回転角を入力と
して、これらの偏差を出力する比較器、上記比較器の出
力を増幅するパワーアンプ、上記パワーアンプの出力に
より直線作動する圧電アクチュエータと上記圧電アクチ
ュエータの直線作動を回転運動に変換する変換手段にミ
ラーを搭載したミラーマウントを連結したレーザスキャ
ナからなるレーザスキャナの制御装置とした。
（実施例）
以下本発明の構成を実施例につき図面を参照にして説明
する。第１図は本発明の一実施例を示すものである０本
図において、１はレーザスキャナ５に回転角を指令する
ＣＰＵからなる回転角指令器である。２は回転角指令器
１の指令した回転角（■０）とレーザスキャナ５の回転
角（Ｖｏｆ）を入力としてこれらの偏差を出力する比較
器、３は比較器２の出力をＰ、Ｉ、Ｄ処理を行う制御回
路である。制御回路３からの出力をパワーアンプ４で増
幅してレーザスキャナ５の圧電アクチュエータ５−１に
出力する。
する。第１図は本発明の一実施例を示すものである０本
図において、１はレーザスキャナ５に回転角を指令する
ＣＰＵからなる回転角指令器である。２は回転角指令器
１の指令した回転角（■０）とレーザスキャナ５の回転
角（Ｖｏｆ）を入力としてこれらの偏差を出力する比較
器、３は比較器２の出力をＰ、Ｉ、Ｄ処理を行う制御回
路である。制御回路３からの出力をパワーアンプ４で増
幅してレーザスキャナ５の圧電アクチュエータ５−１に
出力する。
６は発光素子でレーザスキャナ５のミラー５−２を搭載
するミラーマウント５−３の反射面５−４に光を照射し
１反射光を集光レンズ７で集光し、受光素子８で検出し
位置信号変換部９にて受光部位に比例した電気信号に変
換して出力するものである。次にレーザスキャナ５の構
造の詳細について説明する。圧電アクチュエータ５−１
の下方には摺動部材５−５がガイド５−６に従い摺動自
在に設けてあり、バネ部材５−７により上方に付勢され
ている。
するミラーマウント５−３の反射面５−４に光を照射し
１反射光を集光レンズ７で集光し、受光素子８で検出し
位置信号変換部９にて受光部位に比例した電気信号に変
換して出力するものである。次にレーザスキャナ５の構
造の詳細について説明する。圧電アクチュエータ５−１
の下方には摺動部材５−５がガイド５−６に従い摺動自
在に設けてあり、バネ部材５−７により上方に付勢され
ている。
摺動部材５−５にはボールネジ５−８が取り付けてあり
、ボールネジ５−８はネジ軸５−９と螺合しており、ネ
ジ軸５−９はベアリング５−１０．５−１１により回転
自在に取り付けられている。ボールネジ軸５−９にはミ
ラーマウント５−３が取り付けられ、ミラーマウント５
−３にはミラー５−２と反射面５−４が設けである。従
って、圧電アクチュエータ５−１に電流を供給すれば圧
電アクチュエータ５−１は伸張し摺動部材５−５がバネ
部材５−７の押圧力に抗して下方に下るのでボールネジ
５−８も一緒に下る。ボールネジ５−８は上下方向には
移動するが回転運動をしないのでネジ軸５−９が回転し
、ミラーマウント５−３も回転し、ミラー５−２と反射
面５−４も回転する。
、ボールネジ５−８はネジ軸５−９と螺合しており、ネ
ジ軸５−９はベアリング５−１０．５−１１により回転
自在に取り付けられている。ボールネジ軸５−９にはミ
ラーマウント５−３が取り付けられ、ミラーマウント５
−３にはミラー５−２と反射面５−４が設けである。従
って、圧電アクチュエータ５−１に電流を供給すれば圧
電アクチュエータ５−１は伸張し摺動部材５−５がバネ
部材５−７の押圧力に抗して下方に下るのでボールネジ
５−８も一緒に下る。ボールネジ５−８は上下方向には
移動するが回転運動をしないのでネジ軸５−９が回転し
、ミラーマウント５−３も回転し、ミラー５−２と反射
面５−４も回転する。
次にレーザスキャナ５の作動を第２図の制御ンフローチ
ャートに基づいて説明する。１０１でＣＰＵにより回転
角度指令■０が入力される。
ャートに基づいて説明する。１０１でＣＰＵにより回転
角度指令■０が入力される。
１０２でレーザスキャナ５の回転角Ｖｏｆと回転角度指
令■０との偏差ΔＶを出力する。１０３でΔ■に比例し
た出力にΔ■を出力する。１０４でにΔＶに比例した変
位ΔＸを発生する。
令■０との偏差ΔＶを出力する。１０３でΔ■に比例し
た出力にΔ■を出力する。１０４でにΔＶに比例した変
位ΔＸを発生する。
１０５で変位ΔＸに比例する回転角Δθに変換する。
１０６でミラーマウント５−３の反射面５−４より受光
素子８へ反射信号入力する。
素子８へ反射信号入力する。
１０７で受光素子８と位置信号変換部９によりフィード
バック信号Ｖｏｆを入力、１０Ｂで回転角度指令■０と
フィードバンク信号Ｖｏｆの偏差が０なら位置決め完了
、０でなければ１０３に戻って再び同じフローをたどる
。
バック信号Ｖｏｆを入力、１０Ｂで回転角度指令■０と
フィードバンク信号Ｖｏｆの偏差が０なら位置決め完了
、０でなければ１０３に戻って再び同じフローをたどる
。
（発明の効果）
本発明は以上の様な構成としたので温度による設定角に
対するドリフトが無くなり又応答時間も短縮することが
可能となった。
対するドリフトが無くなり又応答時間も短縮することが
可能となった。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は制御フロ
ーチャートを示す図である。 １・・・回転角指令器 ２・・・比較器４・・・パワ
ーアンプ ５・・・レーザスキャナ５−１・・・圧電
アクチュエータ ５−３・・・ミラーマウント ５−４・・・ミラー 特許出願人 株式会社小松製作所 代理人 （弁理士）岡 １）和 喜
ーチャートを示す図である。 １・・・回転角指令器 ２・・・比較器４・・・パワ
ーアンプ ５・・・レーザスキャナ５−１・・・圧電
アクチュエータ ５−３・・・ミラーマウント ５−４・・・ミラー 特許出願人 株式会社小松製作所 代理人 （弁理士）岡 １）和 喜
Claims (1)
- レーザスキャナの回転角を指令する回転角指令器、この
回転角指令器の指令した回転角と上記レーザスキャナの
回転角を入力として、これらの偏差を出力する比較器、
上記比較器の出力を増幅するパワーアンプ、上記パワー
アンプの出力により直線作動する圧電アクチュエータと
上記圧電アクチュエータの直線作動を回転運動に変換す
る変換手段にミラーを搭載したミラーマウントを連結し
たレーザスキャナからなることを特徴としたレーザスキ
ャナの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070074A JPH01243013A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | レーザスキャナの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070074A JPH01243013A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | レーザスキャナの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243013A true JPH01243013A (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=13421033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63070074A Pending JPH01243013A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | レーザスキャナの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01243013A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013842A1 (en) * | 1989-04-28 | 1990-11-15 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser scanner driving apparatus |
-
1988
- 1988-03-24 JP JP63070074A patent/JPH01243013A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013842A1 (en) * | 1989-04-28 | 1990-11-15 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser scanner driving apparatus |
| US5144470A (en) * | 1989-04-28 | 1992-09-01 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser scanner driving apparatus |
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